JPS6317706A - 物品の収納装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えば半導体ウェハを収納したウェハカセ
ットのような物品を収納する物品の収納装置に関し、特
に物品の出し入れの際の待時間を少なくした物品の収納
装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第５図は例えば特開昭６０−３９８４４号公報で開示さ
れた従来の物品の収納装置の側面図で、第６図は同じ（
正面図である。図において、（１）は半導体ウェハな多
数枚収納したウェハカセット、つまり物品を１個ずつ乗
せる棚、（２）は棚（１）を取付けて、常に水平に保た
れるバー、（３１はチェーンで、バー（２）の左右にあ
って等間隔に配置されたバー（２）を水平に保ったまま
巡回させるものである、（４）は物品搬送用のロボット
で、棚（１）に対して左右に移動できる左右移動部（４
ａ）と、上下に移動できる上下移動部（４ｂ）と、棚（
１）に対して前後に移動できる前後移動部（４Ｃ）と前
後移動部（４ｃ）の先端に取付けられ、カセットをつか
むことができるハンド（５）とからなっている、　（４
ｄ）はレールである。

なお、バー（２）、チェーン（３）を支持する支持部や
チェーン（３）を駆動する駆動部は図示を省略している
。

次に動作について説明する。棚（１）はバー（２）に取
付けられて、チェーン（３）の回転によって水平状態を
保ったまま巡回する。そして、ロボット（４）のアクセ
スしやすい特定の位置に目標とする棚（１）層へ置決め
する。棚（１）を巡回させて特定位置に位置決めする時
には、チェーン（３）の回転方向を選んで最短距離にな
るようにコントロールされる。位置決めされた棚（１）
に対して、ロボット（４）の左右移動部（４ａ）、上下
移動部（４ｂ）、前後移動部（４Ｃ）及びノ１ンド（５
）をコントロールしてカセットの取出し、積込みがなさ
れる。

【発明が解決しようとする問題点〕

従来のウェハカセット収納装置は回転側方式であるため
に、物品の出し入れの際最大１／２周の待時間が必要で
あった。また、装置の構造上スペースファクタが悪く、
大形になるなどの問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、物品の出し入れの際の待時間の減少が計れる
と同時に小形化でき、しかも構成、規模等の面で要求に
柔軟に対応することができる物品の収納装置を得ろこと
を目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る物品の収納装置は、物品が載せられる棚
を上下に複数段設け、かつ上下の棚と棚の間に棚１段分
のスペース段を介在させた１組の■及びこの１組の棚を
１段分ずつ上下に動かして位置決めする上下、駆ｔｌｌ
１機構とによって構成される硼ブロックを、複数ブロッ
ク奥行き方向に並べて配置したものである。

〔作　用〕

この発明においては、物品を載せろ上下の棚と棚の間に
！１段分のスペース段を介在させた１組の棚を上下に１
段分ずつ動かすことにより、物品の収納又は取出しが指
定された画と別の棚ブロツ夛のスペース段とを同じ高さ
に位置決めできるから、スペース段を通して指定された
棚に直接、物品を出し入れでき、物品の出し入れの高連
化が可能となる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例による物品の収納装置の構成単
位子ある棚ブロックを示す斜視図である。

第１図において、（１）は物品を載せる棚、すなわち収
納段で、物品つまりウェア１カセット１個な乗せること
かできるものである。（６）は内枠で、棚（１）が上下
に複数段取付けられている。（７）は仕切板、すなわち
スペース段で、棚（１）の上下間に棚１段分のスペース
を持たせて内枠（６）に取付けられている。

そして、（１１、（６１及び（７）により１組の棚が構
成されている。（８）は上下駆動＃構で内枠（６）を前
記の棚１段分のストロークで上下させて、後述のアクセ
ス位置と待避位置の２点に精度良く位置決めｔきるもの
である。（９）は外枠で、内枠（６）および上下駆動機
構（８）を保持するものである。αＯは前記説明のごと
く構成された棚ブロックである。

第２図は棚ブロックで構成された棚ブロツク群を示す斜
視図である。

第２図に示すように、棚ブロツク群Ｑｌｌは棚ブロック
αＯを複数個、この実施例では６１固奥行き方向に、つ
まり矢印−の方向に並べて配置して構成されている。

また、第２図では棚ブロツク群αＢが、さらに横方向に
４個並べて配置され棚ブロツク集合体を構成している。

したがって、棚ブロック００はマトリクス状に組合わせ
１配置されている。

次に、第３図及び第４図により動作を説明する。

先づ、物品の収納又は取出しが指定された棚（１ａ）の
ある棚ブロック（１０ａ）の上下駆動機構（８ａ）を動
作させて内枠（６ａ）を棚１段分押し上げ、棚（１ａ）
をアクセス位置、つまり物品を出し入れする位置に位置
決めする。一方、他の棚プロアク（１０ｂ）の内枠（６
ｂ）は上下駆動機構（８ｂ）を１段分下げて待避位置に
位置決めする。なお、前の状態が図示の位置であればそ
のままで、移動さゼな（てよい。また、待避位置とは後
述のように、棚ブロック（１０ｂ）のスペース段（７ｂ
）を通して棚（１ａ）の物品を出し入れするので、物品
を出し入れするために待避していると言う意味である。

上記のように内枠（６ａ　）、　（６ｂ　）が位置決め
されろと、物品の収納又は取出しが指定された棚（１ａ
）の位置と、別の棚ブロック（１０ｂ）の２ベ一ス段（
７ｂ）とが同じ高さに位置決めされ、スペース段（７ｂ
）を通して指定された棚（１ａ）に直接、物品を出し入
れできる。また、棚（１Ｃ）に物品を出し入れするには
次のようにすればよい。すなわち、内枠（６ｃ）を１段
分上げて棚（１Ｃ）をアクセス位置に位置決めし、内枠
（６ａ）を１段分下げることＫよう、内枠（６ａ）、　
（６ｂ）を待避位置とし、スペース段（７ａ）、　（７
ｂ）を通して棚（１ｃ）に物品を出し入れすることがで
きる。

他の棚ブロツク群（１１ｆ）、　（１１ｇ）、　（１１
ｈ）についても同様にして、物品の出し入れができる。

物品の出し入れは入手によってもできるが、ロボット（
４）を用いれば、自動化することができる。

すなわち、ロボット（４）は左右移動部（４＆）を動作
させて矢印０！ηの方向に移動して、アクセスしたい棚
ブロック（１０ａ）のある棚ブロツク群αルの正面に位
置決めを行なう。次に、上下移動部（４ｂ）を動作させ
てアクセスしたい棚（１ａ）の位置決めされた高さまで
、前後移動部（４ｃ）を上下方向、つまシ矢印（２）方
向に移動させる。そして、他の棚ブロック（１０ｂ）の
スペース段（７ｂ）の中に前後移動部（４Ｃ）を通して
ハンド（５）を前後させ、つまり矢印四の方向に前後さ
せて指定された棚（１ａ）をアクセスし、物品の収納又
は取出しを行なう。

なお、上記実施例では上下の棚２つの間にスペース段１
つを設けて１組の棚を構成しているが、これに限らず棚
を６つにし、棚と棚の間にスペース段を設け、３つの棚
と２つのスペース段によ９１組の棚を構成しても同様に
実施できる。

また、上記実施例では、第４図に示すように棚ブロツク
集合体の１側面にだけロポツ）　（４）　を配置したが
、棚ブロツク集合体の４側面にロボット（４）を配置し
、４側面からアクセスすることも可能である。なお、こ
の場合、外枠（９）はアングルなどで組立て、壁面のな
い構造とする。

〔発明の効果〕

この発明は以上説明した通り、物品を載せる上下の棚と
棚の間に棚１段分のスペース段を介在させた１組の棚を
上下に１段分ずつ動かすことにより、物品の収納又は取
出しが指定された棚、つまり収納段と別の棚ブロックの
スペース段とを同じ高さに位置決めできるから、スペー
ス段を通して指定された棚に直接、物品を出し入れでき
、物品の出し入れの高速化が可能となる。ユだ、モジュ
ール構造になっているので、省スペースおよび柔軟な構
成が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による物品の収納装置の構
成単位である棚ブロックを示す斜視図、第２図は棚ブロ
ックで構成された棚ブロツク群を示す斜視図、第３図は
この発明の一実施例の動作状態を示す側面図、第４図は
同じ（正面図、第５図は従来の物品の収納装置を示す側
面図、第６図は同じ（正面図である。 図中、（１）は棚、（６）は内枠、（７）は仕切板（ス
ペース段）、（８）は上下駆動機構、ａｏは棚ブロック
、口ηは棚ブロツク群である。 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示すＯ 代理人　弁理士　佐　藤　正　年 第１図 第２図 −寸０ψトの９

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 物品が載せられる棚を上下に複数段設け、かつ上下の棚
   と棚の間に棚１段分のスペース段を介在させた１組の棚
   及びこの１組の棚を棚１段分ずつ上下に動かして位置決
   めする上下駆動機構によつて構成される棚ブロックを複
   数個奥行き方向に並べて配置したことを特徴とする物品
   の収納装置。