JPS6257922B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6257922B2 JPS6257922B2 JP692178A JP692178A JPS6257922B2 JP S6257922 B2 JPS6257922 B2 JP S6257922B2 JP 692178 A JP692178 A JP 692178A JP 692178 A JP692178 A JP 692178A JP S6257922 B2 JPS6257922 B2 JP S6257922B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- medium substrate
- displacement
- thin plate
- rotating
- position detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 34
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 23
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 21
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、例えば磁気デイスク装置に用いられ
る磁気デイスク基板等の薄板状回転記録媒体基板
の実際に使用される回転状態でその直径方向の面
精度を測定する薄板状回転記録媒体基板の面精度
測定装置に関するものである。
る磁気デイスク基板等の薄板状回転記録媒体基板
の実際に使用される回転状態でその直径方向の面
精度を測定する薄板状回転記録媒体基板の面精度
測定装置に関するものである。
近年磁気デイスク装置において磁気デイスク基
板の記録密度を上げるため磁気ヘツドの浮上量が
非常に小さくなつて来ており、微小な平滑の乱れ
が高速回転中では強く作用する。このため磁気デ
イスク基板の回転状態における面精度を正確に測
定する必要がある。この場合に特に磁気ヘツドは
磁気デイスク基板上をその直径方向に浮上しなが
ら移動するので、磁気デイスク基板回転状態の直
径方向の面精度が要求されるが、従来は回転した
状態では円周方向の面精度しか測定することがで
きず、同一回転位置における直径方向は静止した
状態でしか測定することができなかつた。
板の記録密度を上げるため磁気ヘツドの浮上量が
非常に小さくなつて来ており、微小な平滑の乱れ
が高速回転中では強く作用する。このため磁気デ
イスク基板の回転状態における面精度を正確に測
定する必要がある。この場合に特に磁気ヘツドは
磁気デイスク基板上をその直径方向に浮上しなが
ら移動するので、磁気デイスク基板回転状態の直
径方向の面精度が要求されるが、従来は回転した
状態では円周方向の面精度しか測定することがで
きず、同一回転位置における直径方向は静止した
状態でしか測定することができなかつた。
本発明はこのような点に鑑み、磁気デイスク基
板の実際の使用状態に対応した回転状態で直径方
向の面精度を測定することを目的としたものであ
る。そして、この目的は、薄板状回転記録媒体基
板を回転可能に保持する回転軸の特定位置が到来
したことを検出して検出信号を出力する回転位置
検出手段と、被検出部材の変位を非接触で検出す
る変位測定手段と、該媒体基板面に対して当該媒
体基板の理想的回転平面と平行な平面内で且つ該
回転軸の半径方向に該変位測定手段を移動させる
移動手段と、該回転軸を回転駆動する回転駆動手
段と、該移動手段及び回転駆動手段を動作させ、
該媒体基板を回転させると共に、該変位測定手段
を一方向に移動させた時に、該回転位置検出手段
より出力される検出信号が入力される毎に、該変
位測定手段の測定値を記録する記録手段と、を備
え、該薄板状回転記録媒体基板の回転状態での半
径方向の該媒体基板面の変位を略連続的に測定す
るようにしたことを特徴とする薄板状回転記録媒
体基板の面精度測定装置を提供することにより達
成される。
板の実際の使用状態に対応した回転状態で直径方
向の面精度を測定することを目的としたものであ
る。そして、この目的は、薄板状回転記録媒体基
板を回転可能に保持する回転軸の特定位置が到来
したことを検出して検出信号を出力する回転位置
検出手段と、被検出部材の変位を非接触で検出す
る変位測定手段と、該媒体基板面に対して当該媒
体基板の理想的回転平面と平行な平面内で且つ該
回転軸の半径方向に該変位測定手段を移動させる
移動手段と、該回転軸を回転駆動する回転駆動手
段と、該移動手段及び回転駆動手段を動作させ、
該媒体基板を回転させると共に、該変位測定手段
を一方向に移動させた時に、該回転位置検出手段
より出力される検出信号が入力される毎に、該変
位測定手段の測定値を記録する記録手段と、を備
え、該薄板状回転記録媒体基板の回転状態での半
径方向の該媒体基板面の変位を略連続的に測定す
るようにしたことを特徴とする薄板状回転記録媒
体基板の面精度測定装置を提供することにより達
成される。
以下に図面を参照して本発明の一実施例を具体
的に説明すると、添付の図面において磁気デイス
ク基板１は支持台２のエアーベアリング等により
回転自在に支持されており、その回転軸３がモー
タ４からの動力でベルト５とプーリ６を介して回
転され、この回転軸３に位置検出装置７が設けら
れている。この位置検出装置７は回転軸３に位置
検出マーク８，８′の付いた位置検出板９が取付
けられており、その位置検出マーク８，８′を位
置検出センサ１０，１０′で検出し且つ位置検出
センサ１０，１０′からの検出信号をチヤンネル
切換器１１で切換えるようになつている。また磁
気デイスク基板１上には変位測定センサ１２が高
精度のエアースライダ１３に取付けて非接触で磁
気デイスク基板１上の面変位を測定すべく設けら
れており、このような変位測定センサ１２は送り
モータ１４でエアースライダ１３を動作すること
により磁気デイスク基板１上をその直径方向内側
から外側に移動する。また更にこれらのチヤンネ
ル切換器１１と変位測定センサ１２は測定同期ゲ
ート開閉器１５に接続され、こゝから更に形状測
定器１６を介して記録計１７に電気的に接続され
ている。
的に説明すると、添付の図面において磁気デイス
ク基板１は支持台２のエアーベアリング等により
回転自在に支持されており、その回転軸３がモー
タ４からの動力でベルト５とプーリ６を介して回
転され、この回転軸３に位置検出装置７が設けら
れている。この位置検出装置７は回転軸３に位置
検出マーク８，８′の付いた位置検出板９が取付
けられており、その位置検出マーク８，８′を位
置検出センサ１０，１０′で検出し且つ位置検出
センサ１０，１０′からの検出信号をチヤンネル
切換器１１で切換えるようになつている。また磁
気デイスク基板１上には変位測定センサ１２が高
精度のエアースライダ１３に取付けて非接触で磁
気デイスク基板１上の面変位を測定すべく設けら
れており、このような変位測定センサ１２は送り
モータ１４でエアースライダ１３を動作すること
により磁気デイスク基板１上をその直径方向内側
から外側に移動する。また更にこれらのチヤンネ
ル切換器１１と変位測定センサ１２は測定同期ゲ
ート開閉器１５に接続され、こゝから更に形状測
定器１６を介して記録計１７に電気的に接続され
ている。
これによりモータ４の動力でベルト５とプーリ
６を介して回転軸３と共に磁気デイスク基板１が
実際の使用状態と一致した例えば3600rpmの高速
で回転すると、位置検出装置７においては位置検
出マーク８，８′を位置検出センサ１０，１０′で
検出し且つその検出信号をチヤンネル切換器１１
で切換えることにより、磁気デイスク基板１の直
径方向に測定指示信号が断続的に発生するように
なる。一方送りモータ１４によりエアースライダ
１３が動作することにより変位測定センサ１２は
磁気デイスク基板１上を直径方向に移動しながら
常時その面の変位を測定しており、このような変
位測定センサ１２による測定値が位置検出装置７
から測定指示信号が発生して測定同期ゲート開閉
器１５により形状測定器１６のゲートが開く毎に
記録計１７に順次記録される。こうして磁気デイ
スク基板１の直径方向に略連続的にその面の変位
が測定され、この場合の測定精度は0.2μｍ以下
であつた。
６を介して回転軸３と共に磁気デイスク基板１が
実際の使用状態と一致した例えば3600rpmの高速
で回転すると、位置検出装置７においては位置検
出マーク８，８′を位置検出センサ１０，１０′で
検出し且つその検出信号をチヤンネル切換器１１
で切換えることにより、磁気デイスク基板１の直
径方向に測定指示信号が断続的に発生するように
なる。一方送りモータ１４によりエアースライダ
１３が動作することにより変位測定センサ１２は
磁気デイスク基板１上を直径方向に移動しながら
常時その面の変位を測定しており、このような変
位測定センサ１２による測定値が位置検出装置７
から測定指示信号が発生して測定同期ゲート開閉
器１５により形状測定器１６のゲートが開く毎に
記録計１７に順次記録される。こうして磁気デイ
スク基板１の直径方向に略連続的にその面の変位
が測定され、この場合の測定精度は0.2μｍ以下
であつた。
このように本発明によると、磁気デイスク基板
１を回転した状態で磁気ヘツドの移動と同じ直径
方向の変位を測定することができるので、この測
定結果は実際の場合と直接対応し非常に都合の良
いものになる。また敏速且つ容易に測定すること
ができるので取扱いが簡単になり、高精度で正確
に測定することができる。
１を回転した状態で磁気ヘツドの移動と同じ直径
方向の変位を測定することができるので、この測
定結果は実際の場合と直接対応し非常に都合の良
いものになる。また敏速且つ容易に測定すること
ができるので取扱いが簡単になり、高精度で正確
に測定することができる。
添付の図面は、本発明による薄板状回転記録媒
体基板の面精度測定装置の一実施例を示す構成図
である。 １…磁気デイスク基板、２…支持台、３…回転
軸、４…モータ、５…ベルト、６…プーリ、７…
位置検出装置、８，８′…位置検出マーク、９…
位置検出板、１０，１０′…位置検出センサ、１
１…チヤンネル切換器、１２…変位測定センサ、
１３…エアースライダ、１４…送りモータ、１５
…測定同期ゲート開閉器、１６…形状測定器、１
７…記録計。
体基板の面精度測定装置の一実施例を示す構成図
である。 １…磁気デイスク基板、２…支持台、３…回転
軸、４…モータ、５…ベルト、６…プーリ、７…
位置検出装置、８，８′…位置検出マーク、９…
位置検出板、１０，１０′…位置検出センサ、１
１…チヤンネル切換器、１２…変位測定センサ、
１３…エアースライダ、１４…送りモータ、１５
…測定同期ゲート開閉器、１６…形状測定器、１
７…記録計。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 薄板状回転記録媒体基板を回転可能に保持す
る回転軸の特定位置が到来したことを検出して検
出信号を出力する回転位置検出手段と、 被検出部材の変位を非接触で検出する変位測定
手段と、 該媒体基板面に対して当該媒体基板の理想的回
転平面と平行な平面内で且つ該回転軸の半径方向
に該変位測定手段を移動させる移動手段と、 該回転軸を回転駆動する回転駆動手段と、 該移動手段及び回転駆動手段を動作させ、該媒
体基板を回転させると共に、該変位測定手段を一
方向に移動させた時に、該回転位置検出手段より
出力される検出信号が入力される毎に、該変位測
定手段より出力される該薄板状回転記録媒体基板
の変位測定値を記録する記録手段と、 を備え、該薄板状回転記録媒体基板の回転状態で
の半径方向の該媒体基板面の変位を略連続的に測
定するようにしたことを特徴とする薄板状回転記
録媒体基板の面精度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP692178A JPS54100769A (en) | 1978-01-25 | 1978-01-25 | Aurface accuracy meter for magnetic disc substrate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP692178A JPS54100769A (en) | 1978-01-25 | 1978-01-25 | Aurface accuracy meter for magnetic disc substrate |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54100769A JPS54100769A (en) | 1979-08-08 |
| JPS6257922B2 true JPS6257922B2 (ja) | 1987-12-03 |
Family
ID=11651697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP692178A Granted JPS54100769A (en) | 1978-01-25 | 1978-01-25 | Aurface accuracy meter for magnetic disc substrate |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS54100769A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02113462A (ja) * | 1988-10-21 | 1990-04-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | テープレコーダのリール機構のブレーキ装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63105010U (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-07 | ||
| JPH0615971B2 (ja) * | 1987-02-18 | 1994-03-02 | 日立造船株式会社 | 平面形状精度計測方法 |
-
1978
- 1978-01-25 JP JP692178A patent/JPS54100769A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02113462A (ja) * | 1988-10-21 | 1990-04-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | テープレコーダのリール機構のブレーキ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54100769A (en) | 1979-08-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS597213A (ja) | エンコ−ダ | |
| JP2006073075A5 (ja) | ||
| US5254946A (en) | Magnetic head and disk tester with head centrally mounted on radially-moving, rotatable platform that surrounds disk | |
| US6225799B1 (en) | Method and apparatus for testing magnetic heads and hard disks | |
| JPS6257922B2 (ja) | ||
| JPS6029054B2 (ja) | 電子伝動動力計 | |
| JP2002071504A (ja) | 振動計測方法、バランス修正方法と情報記録及び／又は再生装置 | |
| US3482841A (en) | Sound transducer instrument | |
| JPH021748Y2 (ja) | ||
| JP3199141B2 (ja) | ドラムリード測定装置と測定方法 | |
| EP1081691A3 (en) | Method and apparatus for measuring the eccentricity of disk | |
| JPH0426972Y2 (ja) | ||
| JPH05205414A (ja) | 磁気ディスク位置決め信号書込み装置 | |
| SU369493A1 (ru) | УСТРОЙСТВО дл ИЗМЕРЕНИЯ ПРОСКАЛЬЗЫВАНИЯ МАГНИТНОЙ ЛЕНТЫ ОТНОСИТЕЛЬНО ВЕДУЩЕГО ВАЛА::иотьКА | |
| JPS5914941Y2 (ja) | 磁気記録装置のヘツド位置設定装置 | |
| JPH0629778Y2 (ja) | 光学式ピックアップ位置検出装置 | |
| JP2565082Y2 (ja) | ウレタンフォーム発泡挙動計測装置 | |
| JPS63201910A (ja) | 磁気ヘツド位置測定用信号の記録装置 | |
| JPS6258105A (ja) | ロ−タリエンコ−ダ | |
| JPS5760564A (en) | Disc type recording and reproducing device | |
| JPS5729902A (en) | Automatic measuring device for runout of rotor | |
| SU371465A1 (ru) | Устройство для измерения сопротивления вращению привода лентопротяжного механизма | |
| JPH06160069A (ja) | 精密位置決め装置 | |
| SU781959A1 (ru) | Устройство дл определени качества равномерности движени магнитной ленты | |
| SU442365A1 (ru) | Способ измерени деформаций |