JPS6240703A - 超低鉄損一方向性けい素鋼板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 一方向性けい素鋼板の電気・磁気的特性の改善、なかで
も、鉄損の低減に係わる極限的な要請を満たそうとする
近年来の目覚ましい開発努力は、逐次その実を挙げつつ
あるが、その実施に伴う重大な弊害として、一方向性け
い素鋼板の使用に当たっての加工、組立てを経たのち、
いわゆるひずみ取り焼鈍がほどこされた場合に、特性劣
化の随伴を不可避に生じて、使途についての制限を受け
る不利が指摘される。

この明細書では、ひずみ取り焼鈍のような高温の熱履歴
を経ると否とに拘わらず、上記要請を有利に充足し得る
新たな方途を拓くことについての開発研究の成果に関連
して以下に述べる。

さて一方向性け′い素鋼板は、よく知られているとおり
製品の２次再結晶粒を（１１０）　（００１）　、すな
わちゴス方位に、高度に集積させたもので、主として変
圧器その他の電気機器の鉄心として使用され電気・磁気
的特性として製品の磁束密度（Ｂｏ。

値で代表される）が高く、鉄損（Ｗ＋ｔｚｓｏ値で代表
゛される）の低いことが要求される。

この一方向性けい素鋼板は複雑多岐にわたる工程を経て
製造されるが、今までにおびただしい発明・改善が加え
られ、今日では板厚０．３０ｍの製品の磁気特性がＢｏ
ｏ　１．９０Ｔ以上、１，７．。１．０５弱／ｋｇ以下
、また板厚０．２３ｍの製品の磁気特性がＢＩＧｌ、８
９Ｔ以上、１．／、。０．９０Ｗ／ｋｇ以下の超低鉄損
一方向性けい素鋼板が製造されるようになって来ている
。

特に最近では省エネの見地から電力損失の低減を特徴と
する請が著しく強まり、欧米では損失の少ない変圧器を
作る場合に鉄損の減少分を金額に換算して変圧器価格に
上積みする「ロス・エバリユエーション」　（鉄損評価
）制度が普及している。

（従来の技術） このような状況下において最近、一方向性けい素鋼板の
仕上げ焼鈍後の鋼板表面に圧延方向にほぼ直角方向での
レーザ照射により局部微小ひずみを導入して磁区を細分
化し、もって鉄損を低下させることが提案された（特公
昭５７−２２５２号、特公昭５７−５３４１９号、特公
昭５８−２６４０５号および特公昭５８−２６４０６号
各公報参照）。

この磁区細分化技術はひずみ取り焼鈍を施さない、積鉄
心向はトランス材料としては効果的であるが、ひずみ取
り焼鈍を施す、主として巻鉄心トランス材料にあっては
、レーザー照射によって折角に導入された局部微小ひず
みが焼鈍処理により解放されて磁区幅が広くなるため、
レーザー照射効果が失われるという欠点がある。

一方これより先に特公昭５２−２４４９９号公報におい
ては、一方向性けい素鋼板の仕上げ焼鈍後の鋼板表面を
鏡面仕上げするか又はその鏡面仕上げ面上に金属薄めっ
きやさらにその上に絶縁被膜を塗布焼付することによる
、超低鉄損一方向性けい素鋼板の製造方法が提案されて
いる。

しかしながらこの鏡面仕上げによる鉄損向上手法は、工
程的に採用するには、著しいコストアンプになる割りに
鉄損低減への寄与が充分でない上、とくに鏡面仕上げ後
に不可欠な絶縁被膜を塗布焼付した後の密着性に問題が
あるため、現在の製造工程において採用されるに至って
はいない。また特公昭５６−４１５０号公報においても
鋼板表面を鏡面仕上げした後、酸化物系セラミックス薄
膜を蒸着する方法が提案されている。しかしながらこの
方法も６００℃以上の高温焼鈍を施すと鋼板とセラミッ
ク層とが剥離するため、実際の製造工程では採用できな
い。

（発明が解決しようとする問題点） 発明者らは、上記した鏡面仕上げにより目指した鉄損向
上の実効をより有利に引き出すに当たって、特に今日の
省エネ材料開発の観点では上記のごときコストアップの
不利を凌駕する特性、なかでも、高温処理での特性劣化
を伴うことなくして絶縁層の密着性、耐久性の問題を克
服することが肝要と考え、この基本認識に立脚し、仕上
げ焼鈍済みの方向性けい素鋼板表面上の酸化物を除去し
た後に研磨を施して鏡面状態にする場合も含め、該酸化
物除去後における鋼板処理方法の抜本的な改善によって
とくに有利な超低鉄損化を達成する　　　　　　　きこ
とが、この発明の目的である。

（問題点を解決するための手段） さて発明者らは、上記の目的を達成すべく種々ゆｉｔ　
Ｌ　ｆ、ニー４８よ、カワツー、い□１つ。イ、よ４□
□あ　　　１表面上の酸化物を除去したのち、表面を化
学研磨または電解研磨によって中心線平均粗さで０．４
μｍ　　　　　　　Ｊ以下の鏡面状態とし、ついでかか
る鏡面仕上げ表　　　　　　　゛ごパ。

面上にたとえば蒸着により好ましくは０．１〜２．０μ
ｍ厚程度のＴｉ薄層を被成したのち、該Ｔｉ表面層を炭
化および／または窒化させることにより、鋼板表面上に
ＴｉＣ，ＴｉＮないしＴｉ（Ｃ，Ｎ）の極薄張力被膜を
形成させること（第１発明）、さらにはりん酸塩とコロ
イダルシリカを主成分とする絶縁被膜を形成させること
（第２発明）が、所期した目的の達成に極めて有効であ
ることの知見を得た。

ここにＴｉ表面層を炭化および／または窒化させる手段
としては、 仕上げ焼鈍後の一方向性けい素鋼板中にＣ：０．００１
〜０．０１０ｗｔχ（以下車に％で示す）およびＮ：　
０．０００５〜０．０１０ｗｔｏ％を含有させておき、
かかる鋼板の鏡面仕上げ表面上にＴｉの表面層を被成し
てから、非酸化性雰囲気中で焼鈍を施して鋼板中のＣお
よびＮの純化促進を図ること（第３．第４発明）、また
同じくＣおよびＮを所定量含有させた仕上げ焼鈍済みの
一方向性けい素鋼板の表面に、鏡面処理後、Ｔ４の表面
層を被成してから、炭化性ガスおよび／または窒化性ガ
ス雰囲気中で焼鈍を施して、ｆＡ板中のＣおよびＮの純
化促進と共に該雰囲気からの浸炭および／または浸窒を
図ること（第５、第６発明）、 さらに同しくＣおよびＮを所定量含有させた仕上げ焼鈍
済みの一方向性けい素鋼板の表面に、鏡面処理後、Ｔ１
の表面層を被成してから、非酸化性雰囲気中で焼鈍を施
して鋼板中のＣおよびＮの純化促進を図り、引続き炭化
性および／または窒化性ガス雰囲気中で焼鈍を施して該
雰囲気からの浸炭および／または浸窒作用を加味するこ
と（第７゜第８発明）、 がとりわけ有効であることも併せて究明し、この発明を
完成させるに至ったのである。

上記各発明の成功が導かれた具体的実験に従って、以下
説明を進める。

Ｃ：　０．０４２χ、Ｓｉ　：　３．３６χ、Ｍｎ　：
　０．０６６Ｘ、Ｓｅ：０．０２１χ、Ｍｏ　：　０．
０２５χおよ６ｓｂ　：　０．０２５χを含み、かつＮ
を０．００１〜０．０１５χの範囲において含有する種
々のけい素鋼スラブに熱間圧延を施して２，４龍厚の厚
の熱圧延としたのち、９００°Ｃで３分間の均一化焼鈍
を施し、ついで９５０°Ｃ１３分間の中間焼鈍を挟んで
２回の冷間圧延を施して最終板厚：　０．２３鶴の冷延
板とした。その後露点を５０〜１０℃の範囲で種々に変
化させた８２０℃の湿水素中て脱炭を兼ねる１次再結晶
焼鈍を施したのち、鋼板表面上にＡｈ０３　　：６０χ
、ＭｇＯ：２５χ、Ｚｒ０ｚ　：　１０χおよびＴｉ０
ｚ：５％の配合割合になる焼鈍分離剤を塗布してから、
８５０℃、５０時間の２次再結晶焼鈍、ついで飽水素中
で１２００℃、８時間の純化焼鈍を施した。

その後、各鋼板表面上の酸化物を酸洗により除去したの
ち、化学研磨により中心線平均粗さで０．０１μｍの鏡
面状態に仕上げ、ついで蒸着装置を用いて該鏡面仕上げ
表面上に０．７μｍ厚のＴｉ蒸着層を被成してから、］
１□ガス中で７５０℃、３時間の焼鈍を施した。

上記の製造工程中、仕上げ焼鈍段階における鋼中Ｃおよ
びＮ量と磁気特性、ならびに最終製品のＣおよびＮ量と
磁気特性との関係について調べた結果を表１に示す。

また表１には、Ｈ２ガス中での焼鈍後、さらにＮＺ＋１
（２ガス−、Ｎｚ＋Ａｒ、　ＣＨ４”Ｈｚ、ＣＨ４＋Ａ
ｒおよびＮ２＋Ｃ１１４＋１１□ガス雰囲気中で７５０
℃、５時間の焼鈍を施した後の鋼中Ｃ，Ｎ量および磁気
特性について調べた結果を併記する。

さらに各製品板の密着性について調べた結果も、表１に
併せて示す。

表１に示した結果から明らかなように、仕上げ焼鈍時に
おけるＣおよびＮｆｉがそれぞれ１００　ｐｐｍ以下の
試料を、鏡面研磨後、Ｔｉを蒸着してから、Ｈ２ガス中
で焼鈍するか、あるいはさらに炭化性および／または窒
化性ガス雰囲気中で焼鈍を施した場合に、磁束密度Ｂ、
。が１　、９０Ｔ以上で、かつ鉄損り、／、。が０．８
５Ｗ／ｋｇ以下の優れた特性が得られた。

ここに最終製品中のＣ，Ｎ量はいずれも、仕上げ焼鈍後
に比べて大幅に低減していることが注目される。

なお磁気特性が良好な製品はいずれも、密着性にも優れ
ていた。

次に上に述べた製造工程と同様にしてＴｉの蒸着層を被
成した鋼板に対し、Ｎ！＋Ｈ２、Ｎｚ＋Ａｒ、　ＣＨａ
＋Ｈ，、Ｃｔｌ、　＋ＡｒおよびＮｚ　＋　ＣＨａ　＋
　Ｈｚガス雰囲気中で８００℃、５時間の焼鈍を施して
得た製品の、鋼中Ｃ，Ｎ量および磁気特性について調べ
た結果を、密着性の調査結果と共に、表２に示す。

表２から明らかなように、仕上げ焼鈍後のＣ３Ｎｉｌが
それぞれ１００　ｐｐｍ以下の試料を、炭化性および／
または窒化性ガス雰囲気中で焼鈍した場合に、磁束密度
Ｂ１゜が１．９０Ｔ以上で、かつ鉄損ＷＩ？／ｓ１１が
０．８３Ｗ／ｋｇ以下の優れた特性が得られた。

また上記のＣ，Ｎ含有量のものはいずれも、密着性にも
優れたいた。

（作　用） 上に述べた磁気特性の向上は、Ｔｉ表面層被成後に、炭
化および／または窒化処理を施すことによって、ｍ板表
面にＴｉＣ，ＴｉＮないしＴｉ（Ｃ，Ｎ）からなる極薄
被膜が形成され、かかる被膜が鋼板に対し効果的に張力
を付与することによる。

またとくに、Ｔｉ表面膜の炭化および／または窒化処理
の際に、鋼板中のＣ，Ｎの拡散を利用することによって
、鋼板と該被膜の接合度が高まり、被膜密着性のより一
層の向上を図り得る。

次に、一方向性けい素鋼板の製造工程について一般的な
説明を含めてより詳しく説明する。

まず出発素材は、従来公知の一方向性けい素鋼素材、た
とえば ■ｃ　：　ｏ、ｏａ〜０．０５０χ、　Ｓｔ　：　２．
５０〜４．５χ、Ｍｎ　：　０．０１〜０．２χ、　　
Ｍｏ　：　０．００３〜０．１χ、Ｓｂ　？　０．００
５〜０．２χ、　Ｎ　：　０．０００５〜０．０１χ、
ＳおよびＳｅの１種あるいは２種合計で、０．００５〜
０．０５％を含有する組成、 ■Ｃ：　０．０３〜０．０８χ、　Ｓｉ　：　２．０〜
４．０χ、Ｓ　：　０．００５〜０．０５χ、Ｎ　：　
０．００１〜０．０１χ、Ａｌ　：　０．０１〜０．０
６χ、　Ｓｎ　：　０．０１〜０．５χ、Ｃｕ　：　０
．０１〜０．３χ、　　Ｍｎ　：　０．０１〜０．２χ
を含有する組成、 ■Ｃ７０，０３〜０．０６χ、　Ｓｔ　：　２．０〜４
．０χ、ｓ　：　ｏ、ｏｏｓ〜０．０５χ、Ｂ　：　０
．０ＱＯ３〜０．００４０χ、Ｎ　：　０．００１〜０
．０１χ、Ｍｎ　：　０．０１〜０．２Ｋを含有する組
成、 ■Ｃ：　０．０３〜０．０５Ｘ　、Ｓｉ　：　２．０〜
４．０！。

ｓｂ　：　ｏ、ｏｏｓ〜０．２χ、　Ｎ　：　０．００
０５〜０．０１χ、ＳおよびＳｅのうちいずれか１種ま
たは２種：０．００５〜０．０５χを含有する組成、■
Ｃ：　０．０３〜０．０５χ、　Ｓｉ　：　２．０〜４
．０χ、Ｎ　：　０．０００５〜０．０１χ、Ｓおよび
Ｓｓのうちいずれか１種または２種７０．００５〜０．
０５χを含有する組成、 の如きにおいて適用可能である。

次に熱延板は８００〜１１００℃の均一化焼鈍を経て１
回の冷間圧延で最終板厚とする１回冷延法か又は、通常
８５０℃から１０５０℃の中間焼鈍をはさんでさらに冷
延する２回冷延法にて、後者の場合最初の圧下率は５０
％から８０％程度、最終の圧下率は５０％から８５％程
度で０．１５１ｍから０．３５＋ｎ厚の最終冷延板厚と
する。

最終冷延を終わり製品板厚に仕上げた綱板は表面脱脂後
７５０℃から８５０℃の湿水素中で脱炭１次再結晶焼鈍
を施す。

ここに脱炭処理は、通常後続の２次再結晶焼鈍において
ゴス方位に強く集積した２次再結晶粒を発達させると共
に、純化焼鈍における鋼中Ｃのより一層の低減のために
、Ｃ量をできる限り低くし、もって鉄損の低減を図るた
めに行われるものであるが、この発明ではすでに逮べた
ように、Ｔｉを蒸着した後の焼鈍においてＮと共にＣの
純化が促進されることから、この脱炭焼鈍段階において
は従来はど厳しい脱炭を図る必要はなく、０．０１％以
下程度（好ましくは０．００１％以上）で充分である。

その後は通常、鋼板表面に九〇を主成分とする焼鈍分離
剤を塗布するが、この発明では、一般的には仕上げ焼鈍
後の形成を不可欠としていたフォルステライトをとくに
形成させない方がその後の鋼板の鏡面処理を簡便にする
のに有効であるので、焼鈍分離剤としてＡＩＺＯ３１Ｚ
ｒ０ｚ＋　ＴｉＯｚ等を５０％以上をＭｇＯに混入して
使用するのが好ましい。

その後２次再結晶焼鈍を行うが、この工程は（１１０）
　＜００１＞方位の２次再結晶粒を充分発達させるため
に施されるもので、通常箱焼鈍によって直ちに１０００
℃以上に昇温し、その温度に保持することによって行わ
れる。

この場合（１１０）　＜００１＞方位に、高度に揃った
２次再結晶粒組織を発達させるためには８２０℃から９
００℃の低温で保定焼鈍する方が有利であり、そのほか
例えば０．５〜１５°ｃ　／　ｈの昇温速度の除熱焼鈍
でもよい。

ついで飽水素中で純化焼鈍を施すが、製品板における被
膜密着性の一層の改善のためには、鋼板中にｃ　：　ｏ
、ｏｏｉ〜０．０１％およびＮ　：　０．０００５〜０
．０１％を残存させることが肝要である。このためには
純化焼鈍において、１１００℃以上、１〜２０時間とい
う条件の中から適切な焼鈍条件を選択すればよい。

その後、鋼板表面の酸化物被膜を、公知の酸洗などの化
学的除去や切削、研削などの機械的除去法またはそれら
の組合わせより除去する。

この酸化物除去処理の後、化学研磨、電解研磨などの化
学的研磨や、パフ研磨などの機械的研磨あるいはそれら
の組合せなど従来の手法により鋼板表面を鏡面状態つま
り中心線平均粗さ０．４μｍ以下に仕上げる。

その後、鏡面仕上げ表面上にＴｉの表面層を被成するが
、このときのＴｉ表面層厚は０．１〜２．０μｍ程度と
するのが好ましい。

またＴｉの表面層の被成方法は、これまで述べてきた蒸
着の他にＣＶＤ法、イオンブレーティング法あるいはイ
オンインプランテーション法等の方法であっても良い。

ついでＴｉ表面層付き方向性けい素鋼板に、非酸化性雰
囲気、また炭化性および／または窒化性雰囲気、さらに
は非酸化性雰囲気ついで炭化性および／または窒化性雰
囲気中で焼鈍を施すわけであるが、これらの焼鈍処理は
次の要領で行う。

ｉ）非酸化性雰囲気中での焼鈍 雰囲気ガスとしては、■２ガスやＡｒガスがとりわけ有
利に適合し、かかる雰囲気中において５００℃以上の温
度で焼鈍を行い、鋼板中のＣ，Ｈの表面への拡散を促進
させるのである。このとき鋼中Ｃ量がＮ量に比べて多い
場合には、鋼板表面には主としてＴｉＣよりなる極薄被
膜が、一方送の場合には主としてＴｉＮよりなる極薄被
膜が形成されることになる。

ｉｉ　）炭化性および／または窒化性ガス雰囲気中での
焼鈍 炭化性ガスとしては、ＣＨ，やＣ２Ｈ４などの炭化水素
系ガスおよびＣＯガス、さらにはこれらのガスとＮ２や
Ａｒガスとの混合ガスが、また窒化性ガスとしては、Ｎ
２ガスやＮｌｈガスならびにこれらのガスとＮ２やＡｒ
ガスとの混合ガスが有利に適合し、かかる雰囲気中にお
いて５００℃以上の温度で焼鈍を行うことによって、鋼
中Ｃ，Ｎの純化促進ならびに雰囲気ガスからの浸炭およ
び／または浸窒を図ることにより、鋼板表面に炭化物お
よび／または窒化物からなる混合薄膜を形成させる。

さらにこのようにして形成した極薄張力被膜上に、りん
酸塩とコロイダルシリカを主成分とする絶縁被膜の塗布
焼付を行うことが、１００万ＫＶ＾にも上る大容量トラ
ンスの使途において当然に必要であり、この絶縁性塗布
焼付層の形成の如きは、従来公知の手法をそのまま用い
て良い。

（実施例） （Ａ）　Ｃ：　０．０４１χ、Ｓｔ　：　３．４８χ９
、Ｍｎ　：　０．０６２χ、Ｍｏ　：　０．０２５Ｘ、
　Ｓｅ　：　０．０２２χ、Ｓｂ　：　０．０２５χお
よびＮ：０．００３８χ （Ｂ）　Ｃ：　０．０５３Ｘ、Ｓｔ　：　３．３２χ、
Ｍｎ　：　０．０７２χ、Ｓ：０．０１８χ、Ａｌ　：
　０．０２５χおよびＮ　：　０．００６６χ（Ｃ）　
　Ｃ：　０．０３９χ、Ｓｉ　：　３．３１χ　、Ｍｎ
　：　０．０５９χ、Ｓ：０．０３０χ、Ｂ　：　０．
００１９χ、Ｎ　：　０．００６８χおよびＣｕ：０．
１５χ （Ｄ）　　Ｃ：　０．０４６χ、Ｓｉ　：　３．０９χ
　、Ｍｎ　：　０．０６３χ、Ｓｅ：０．０１９χおよ
びＳｂ　：　０．０２５χ（Ｅ）　　Ｃ：　０．０３８
χ、Ｓｔ　：　３．０８χ　、Ｍｎ　：　０．０７１χ
、Ｓ　：０．０１９％ を含有する組成になるけい素鋼熱延板を用いた。

まず熱延板（Ａ）　、　（Ｃ）　、　（Ｄ）　、　（Ｅ
）については９００℃で均一化焼鈍を行った。他方熱延
板（Ｂ）は、１０５０℃で３分間の均一化焼鈍後、９０
０℃から急冷した。

その後（Ａ）　、　（Ｄ）　、　（［りについては、９
５０℃の中間焼鈍を挟んで２回の冷間圧延を行って０．
２３ｍの最終板厚とし、また（Ｂ）　、　（Ｃ）は１回
の強冷延によって０．２３ｍｍ厚の最終冷延板に仕上げ
たが、冷延途中に３００℃の温間圧延を挟んだ。

づいでこれらの冷延板表面を脱脂したのち、露点２５℃
の湿水素中における８３０℃の脱炭焼鈍後、Ａ１ｚＯ３
ニア０！　、ＭｇＯ：２５χ、ｚｒＯｔ＝５％からなる
焼鈍分離剤を塗布した。

その後、（八）、（Ｄ）は８５０℃で５０時間の２次再
結晶焼鈍を行ったのち、飽水素中で１２００℃、６時間
の純化焼鈍を施した。一方（Ｂ）　、　（Ｃ）　、　（
Ｅ）は８５０℃から５℃／ｈで１０５０℃まで昇温しで
２次再結晶させたのち、飽水素中で１２００℃、８時間
の純化焼鈍を施した。

その後得られた各鋼板を酸洗処理して、表面の酸化被膜
を除去してから、化学研磨によって中心線平均粗さ０．
０３μｍ以下の鏡面に仕上げた。

ついで鏡面仕上げ表面上に、０．７μｍ厚のＴｉの蒸着
層を被成した。

その後（Ａ）　、　（Ｂ）　、　（Ｃ）については、Ｎ
２ガス雰囲気中で８００℃、５時間の焼鈍を施し、一部
の試料についてはさらにＮＺおよび／またはＣＨ，ガス
を含有する雰囲気中で７００℃、３時間の焼鈍を施した
。

また（Ｄ）　、　（Ｅ）については、直ちにＮ２および
／またはＣＨ，ガスを含有する雰囲気中で８００℃、５
時間の焼鈍を施した。

かくして得られたＴｉＣ、ＴｉＮないしＴｉ（Ｃ，Ｎ）
からなる極薄被膜をそなえる方向性けい素鋼板の鋼中Ｃ
，Ｎ量、磁気特性および密着性について調べた結果を、
仕上げ焼鈍後の鋼中Ｃ，Ｎ量および磁気特性と比較して
、表３に示す。

また表３には、上記の極薄被膜付き方向性けい素鋼板の
表面に、さらにりん酸塩とコロイダルシリカを主成分と
するコーティング被膜を被成した製品の磁気特性につい
ての調査結果も併せて示す。

ン ；１ “： ）、５ 表３に示した成績から明らかなように、この発明に従い
、仕上げ焼鈍後の一方向性けい素鋼板につき、その表面
酸化物除去後、鏡面に仕上げてからＴｉの薄膜を被成し
たのち、非酸化性雰囲気中、または炭化性および／また
は窒化性ガス雰囲気中、さらには非酸化性雰囲気中つい
で炭化性および／または窒化性ガス雰囲気中において焼
鈍を施し、鋼板表面上にＴｉＣ，ＴｉＮないしＴｉ（Ｃ
，Ｎ）の極薄被膜を形成させることによって、良好な被
膜密着性の下に磁気特性とくに鉄損特性の著しい向上が
達成された。

（発明の効果） かくしてこの発明によれば、巻鉄心向はトランス材料と
しての使途におけるような高温でのひずみ取り焼鈍の如
き高温処理の適用の有無にかかわらず、磁気特性とくに
鉄損特性の大幅な改善を被膜密着性の向上に併せて実現
することができる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、仕上げ焼鈍済みの一方向性けい素鋼板につき、その
   表面酸化物を除去してから、研磨を施して中心線平均粗
   さで０．４μｍ以下の鏡面状態に仕上げ、ついで該鏡面
   仕上げ表面上にＴｉの表面層を被成したのち、該Ｔｉ表
   面層を炭化および／または窒化させることにより、鋼板
   表面上にＴｉＣ、ＴｉＮないしＴｉ（Ｃ、Ｎ）の極薄張
   力被膜を形成させることを特徴とする超低鉄損一方向性
   けい素鋼板の製造方法。 ２、仕上げ焼鈍済みの一方向性けい素鋼板につき、その
   表面酸化物を除去してから、研磨を旋して中心線平均粗
   さで０．４μｍ以下の鏡面状態に仕上げ、ついで該鏡面
   仕上げ表面上にＴｉの表面層を被成したのち、該Ｔｉ表
   面層を炭化および／または窒化させることにより、鋼板
   表面上にＴｉＣ、ＴｉＮないしＴｉ（Ｃ、Ｎ）の極薄張
   力被膜を形成し、しかるのちりん酸塩とコロイダルシリ
   カを主成分とする絶縁被膜を形成させることを特徴とす
   る超低鉄損一方向性けい素鋼板の製造方法。 ３、Ｃ：０．００１〜０．０１０ｗｔ％およびＮ：０．
   ０００５〜０．０１００ｗｔ％ を含有する組成になる仕上げ焼鈍済みの一方向性けい素
   鋼板につき、その表面酸化物を除去してから、研磨を施
   して中心線平均粗さで０．４μｍ以下の鏡面状態に仕上
   げ、ついで該鏡面仕上げ表面上にＴｉの表面層を被成し
   たのち、非酸化性雰囲気中で焼鈍を施して鋼板中のＣお
   よびＮの純化促進を図ることにより、鋼板表面上にＴｉ
   Ｃ、ＴｉＮないしＴｉ（Ｃ、Ｎ）の極薄張力被膜を形成
   させることを特徴とする超低鉄損一方向性けい素鋼板の
   製造方法。 ４、Ｃ：０．００１〜０．０１０ｗｔ％およびＮ：０．
   ０００５〜０．０１００ｗｔ％ を含有する組成になる仕上げ焼鈍済みの一方向性けい素
   鋼板につき、その表面酸化物を除去してから、研磨を施
   して中心線平均粗さで０．４μｍ以下の鏡面状態に仕上
   げ、ついで該鏡仕上げ表面上にＴｉの表面層を破戒した
   のち、非酸化性雰囲気中で焼鈍を施して鋼板中のＣおよ
   びＮの純化促進を図ることにより、鋼板表面上にＴｉＣ
   、ＴｉＮないしＴｉ（Ｃ、Ｎ）の極薄張力被膜を形成し
   、しかるのちりん酸塩とコロイダルシリカを主成分とす
   る絶縁被膜を形成させることを特徴とする超低鉄損一方
   向性けい素鋼板の製造方法。 ５、Ｃ：０．００１〜０．０１０ｗｔ％およびＮ：０．
   ０００５〜０．０１００ｗｔ％ を含有する組成になる仕上げ焼鈍済みの一方向性けい素
   鋼板につき、その表面酸化物を除去してから、研磨を施
   して中心線平均粗さで０．４μｍ以下の鏡面状態に仕上
   げ、ついで該鏡面仕上げ表面上にＴｉの表面層を被成し
   たのち、炭化性および／または窒化性ガス雰囲気中で焼
   鈍を施して、鋼板中のＣおよびＮの純化促進ならびに該
   雰囲気からの浸炭および／または浸窒作用により、鋼板
   表面上にＴｉＣ、ＴｉＮないしＴｉ（Ｃ、Ｎ）の極薄張
   力被膜を形成させることを特徴とする超低鉄損一方向性
   けい素鋼板の製造方法。 ６、Ｃ：０．００１〜０．０１０ｗｔ％およびＮ：０．
   ０００５〜０．０１００ｗｔ％ を含有する組成になる仕上げ焼鈍済みの一方向性けい素
   鋼板につき、その表面酸化物を除去してから、研磨を施
   して中心線平均粗さで０．４μｍ以下の鏡面状態に仕上
   げ、ついで該鏡面仕上げ表面上にＴｉの表面層を被成し
   たのち、炭化性および／または窒化性ガス雰囲気中で焼
   鈍を施して、鋼板中のＣおよびＮの純化促進ならびに該
   雰囲気からの浸炭および／または浸窒作用により、鋼板
   表面上にＴｉＣ、ＴｉＮないしＴｉ（Ｃ、Ｎ）の極薄張
   力被膜を形成し、しかるのちりん酸塩とコロイダルシリ
   カを主成分とする絶縁被膜を形成させることを特徴とす
   る超低鉄損一方向性けい素鋼板の製造方法。 ７、Ｃ：０．００１〜０．０１０ｗｔ％およびＮ：０．
   ０００５〜０．０１００ｗｔ％ を含有する組成になる仕上げ焼鈍済みの一方向性けい素
   鋼板につき、その表面酸化物を除去してから、研磨を施
   して中心線平均粗さで０．４μｍ以下の鏡面状態に仕上
   げ、ついで該鏡面仕上げ表面上にＴｉの表面層を被成し
   たのち、非酸化性雰囲気中で焼鈍を施して鋼板中のＣお
   よびＮの純化促進を図り、さらに炭化性および／または
   窒化性ガス雰囲気中で焼鈍を施して該雰囲気からの浸炭
   および／または浸窒作用を加味することにより、鋼板表
   面上にＴｉＣ、ＴｉＮないしＴｉ（Ｃ、Ｎ）の極薄張力
   被膜を形成させることを特徴とする超低鉄損一方向性け
   い素鋼板の製造方法。 ８、Ｃ：０．００１〜０．０１０ｗｔ％およびＮ：０．
   ０００５〜０．０１００ｗｔ％ を含有する組成になる仕上げ焼鈍済みの一方向性けい素
   鋼板につき、その表面酸化物を除去してから、研磨を施
   して中心線平均粗さで０．４μｍ以下の鏡面状態に仕上
   げ、ついで該鏡面仕上げ表面上にＴｉの表面層を被成し
   たのち、非酸化性雰囲気中で焼鈍を施して鋼板中のＣお
   よびＮの純化促進を図り、さらに炭化性および／または
   窒化性ガス雰囲気中で焼鈍を施して該雰囲気からの浸炭
   および／または浸窒作用を加味することにより、鋼板表
   面上にＴｉＣ、ＴｉＮないしＴｉ（Ｃ、Ｎ）の極薄張力
   被膜を形成し、しかるのちりん酸塩とコロイダルシリカ
   を主成分とする絶縁被膜を形成させることを特徴とする
   超低鉄損一方向性けい素鋼板の製造方法。