JPS62246788A

JPS62246788A - 情報記録媒体

Info

Publication number: JPS62246788A
Application number: JP61089241A
Authority: JP
Inventors: Seiichi Takado; 清一高堂
Original assignee: Victor Company of Japan Ltd
Current assignee: Victor Company of Japan Ltd
Priority date: 1986-04-18
Filing date: 1986-04-18
Publication date: 1987-10-27

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は情報記録媒体に関する。

（従来の技術）各種の情報信号を高い記録密度で記録することについて
の要望が高まるのにつれて、近年になって色々な構成原
理や動作原理に基づいて作られた情報記録媒体を用いて
情報信号の高密度記録再生が行われるようになったこと
は周知のとおりであり、各種の技術分野における高密度
記録再生の要求に応じるために、情報記録媒体の記録層
に情報信号によって強度変調された記録用ビームを照射
することにより、情報記録媒体における記録層に情報信
号に応じた物理変化あるいは化学変化を生じさせて情報
信号の記録が行われるようにした情報記録媒体について
も研究が行われるようになり。

光学的及びまたは電気的特性（光の透過率９反射率。

吸収率、電気抵抗、その他の特性）の異なる２つ以上の
安定な構造状態を有しており、外部から光学的、電気的
、熱的エネルギの印加によって、前記した安定な構造状
態間での転移を起こす材料を。

基板上に蒸着法あるいはスパッタリング法を適用して成
膜して記録層に用いるようにした相変化型に属する情報
記録媒体についても、例えば１回だけユーザが追加して
記録できる光ディスク（追記型光ディスク）や消去可能
な光ディスクなどとして、例えばオフィス用ファイルメ
モリ、その他の用途での実用化のために盛んに研究開発
が行われている。

相変化型に属する情報記録媒体は、既記録情報の消去の
可能性もあるという点で注目されていて、現在までに相
変化型の情報記録媒体としては、それの記録層に使用さ
れている記録材料として、それの構造が非晶質と結晶間
で転移するカルコゲナイド系の物質（ゲルマニウム、テ
ルル、アンチモン、シリコン、砒素、ビスマス、インジ
ュウム、ガリウム、タリウム、セレン、硫黄の色々な組
合わせからなる組成物）や、低級酸化物（例えば、Ｔｏ
とＴ　ａ　Ｏ２の混合物等）を用いたものが提案されて
おり、また、それの構造が結晶と結晶間で転移する合金
系（Ｉｎ−８ｓ、Ｃｕ−Ｚｎ）の無機物、あるいは銅フ
タロシアンなどの有機物が知られている。

（発明が解決しようとする問題点）ところが、カルコゲナイド系の組成物の薄膜からなる記
録層を有する情報記録媒体としては、従来、テルルを主
成分として記録感度やＣ／Ｎを大きくするようにしてい
たが、テルル単体の成膜で、非晶質を得ることは困難で
あり、本質的に構造緩和による結晶化のおそ紅が避けら
れないという問題点があり、また、低級酸化物（例えば
、ＴｅとＴ　ｅ　Ｏ２どの混合組成物等）の薄膜からな
る記録層が用いられている情報記録媒体では、最適記録
強度（記録層に相変化を起こさせることができる強度範
囲内のレーザ光強度であって、その強度のレーザ光が照
射された部分の記録層からの再生信号中における２次高
調波歪が極小になされる如きレーザ光強度）及び／また
は信号対雑音比が記録層を構成している物質の組成比に
よって大きく変化するために、所定の特性を備えている
光ディスクの大量生産を簡単に行なうことができないと
いう点が問題になった他に、記録層の構成に使用される
記録材料が毒性を有していたり、記録層の保存性（耐候
性）が不良であったりする点などが問題になるので１種
々の元素（例えば、Ａｓ、ＳｉｗＧｓ）を添加して特性
の改善を図かることが必要とされるが、多成分系での複
雑な組成配合、固溶反応、成膜、急冷等の製造過程にお
いて、均質な材料を大量に得ることが困難であり、また
、テルルの低級酸化物の例も報告されているが、極めて
耐候性に劣るという問題点が指摘されている。

さらに、合金系の結晶間の転移を利用するものはエネル
ギの吸収効率が悪く、記録感度が低いという欠点があり
、さらにまた、有機系の記録材料は、良好な特性のもの
が得られていない。

（問題点を解決するための手段）本発明は、錫の含有量Ｘが０．２　（ｘ　（０，４の範
囲であり、また、ゲルマニウムの含有量ｙが０．０５＜
ｙ　＜　０．１の範囲であって、残部がアンチモンであ
るような組成を有するアンチモン・錫・ゲルマニウム合
金　５ｂ（１−ｘ−ｙ）Ｓｎ（ｘ）Ｇｏ（ｙ）の薄膜を
基板上に記録層として設けた情報記録媒体（光ディスク
）、すなわち、高感度、高安定性を有するとともに、組
成範囲が比較的に広く、成膜条件が緩やかで製造も容易
な情報記録媒体を提供するものである。

（実施例）以下、添付図面を参照して本発明の情報記録媒体の具体
的な内容を詳細に説明する。

第１図は本発明の情報記録媒体の一部の縦断側面図であ
り、この第１図において１は基板、２は記録層である。

そして、本発明の情報記録媒体は錫の含有量Ｘが０．２
　（ｘ　（０，４の範囲であり、また、ゲルマニウムの
含有量ｙが０．０５　（ｙ　（０，１の範囲であって、
残部がアンチモンであるような組成を有するアンチモン
・錫・ゲルマニウム合金５ｂ（１−ｘ−ｙ）Ｓｎ（ｘ）
Ｇｅ（ｙ）の薄膜を基板１上に記録層２として設けた情
報記録媒体であって、前記した本発明の情報記録媒体は
、適当な基板１１例えば、アクリル板またはガラス板で
構成した基板１上に所定の組成比及び膜厚例えば１００
０オングストロームの膜厚を有するアンチモン・錫・ゲ
ルマニウム合金の薄膜からなる記録層２は、例えばＩ　
Ｘ　１０−”Ｔｏｒｒのアルゴンガスの雰囲気中で高周
波スパッタリング法を適用することによって容易−に作
ることができる（高周波スパッタリング法として、３元
独立同時スパッタリング法を適用してアン汗モン・錫・
ゲルマニウム合金薄膜による記録層を形成させても、あ
るいはアンチモン・匍・ゲルマニウム合金ターゲットを
用いるスパッタリング法を適用してアンチモン・錫・ゲ
ルマニウム合金＊ｇによる記録層を形成させてもよい）
。

基板１に記録Ｎｊ２を形成させる際には、基板を冷却す
るような必要はなく、数十ワットの高周波電力で約１０
００オングストロームの膜厚の記録層２を数分間で基板
１上に付着形成させることができる。成膜直後における
記録層２は半透明の非晶質の状態のものであり、これに
波長が７８００オングストロームのレーザ光のスポット
を照射すると、照射部は短時間で結晶に転移して光の透
過率が低下し光の反射率が上昇する。

基板１としてプリグループ付きの円盤を用い、それを毎
分１８００回転させながら、波長が７８００オングスト
ロームのレーザ光のスポットを断続して照射すると、円
盤の半径６０ｍｍの付近で３ミリワット〜３．５ミリワ
ッ１−程度のパワーのレーザ光で記録Ｍ２には相変化に
よる記録が行われることが確められたが、記録層２には
膜の変形は生じなかった。

また、レーザ光をＩ　Ｍ　Ｈｚの矩形波で強度変調して
記録層２に記録した場合には、Ｃ／Ｎとして略々５１ｄ
Ｂが得られ、また、２次高調波歪は基本波に対して一２
５ｄＢ程度であった。

記録層２の膜組成は、膜厚モニタ上ではアンチモンが６
５原子％、錫が２９原子％、ゲルマニウムが６原子％で
あり、また、Ｘ線マイクロアナリシスではアンチモンが
６６原子％、錫が３１原子％。

ゲルマニウムが３原子％であった。また、別の試料にお
ける記録層２の膜組成は、膜厚モニタ上ではアンチモン
が５４ｍ子％、錫が３６原子％、ゲルマニウムが１０原
子％であり、また、Ｘ線マイクロアナリシスではアンチ
モンが５７原子％、錫が３８原子％、ゲルマニウムが５
原子％であった。

このように本発明の情報記録媒体では、錫の含有量Ｘが
０．２　（ｘ　（０，４の範囲であり、また、ゲルマニ
ウムの含有量ｙが０．０５　（ｙ　＜　０．１の範囲で
あって、残部がアンチモンであるような組成を有するア
ンチモン・錫・ゲルマニウム合金８ｂ（１−ｘ−ｙ）Ｓ
ｎ（ｘ）Ｇｅ（ｙ）の薄膜が基板上に記録層として用い
らるので、組成範囲が既述したカルコゲナイド系の非晶
質膜に比較して広く、成膜条件が緩いのである。

ゲルマニウムの添加は、非晶質状態をより一層安定化さ
せ、また熱伝導をやや抑えて記録のパターンを整えて２
次高調波歪を低減させるように作用する。また、錫の添
加は記録結晶部のグレインノイズを低減させてＣ／Ｎを
高める作用をする。

ガラス基板に成膜したものを窒素雰囲気中で加熱しなが
ら、波長が６３２８オングストロームのレーザ光でモニ
ターして本発明の情報記録媒体の記録層２における光の
反射率が変化する転移点を調べたところ、第２図に示さ
れているように、転移点は約２００℃というように記録
感度の割には充分に高く、アクリル基板に同様に成膜し
たものを保護膜なしの状態で６０℃で湿度が９０％の恒
温槽中に置して一週間を経過しても外観上で何の変化も
認められず（剥離、溶解、ピンホールなどを生ぜず）、
良好な反射面を示している状態となっており、情報記録
媒体の記録層としては充分な耐候性を有しているものと
認められた。

（効果）以上、詳細に説明したところから明らかなように本発明
の情報記録媒体は、錫の含有量Ｘが０．２　（ｘ　（Ｑ
、４の範囲であり、また、ゲルマニウムの含有量ｙがｏ
、ｏｓ　（ｙ　＜　ｏ、ｔの範囲であって。

残部がアンチモンであるような組成を有するアンチモン
・錫・ゲルマニウム合金５ｂ（１−ｘ−ｙ）Ｓｎ（ｘ）Ｇｅ（ｙ）の薄膜を基板
上に記録層として設けた情報記録媒体情報記録媒体であ
って、この本発明の情報記録媒体は高い感度を有し、ま
た、高いＣ／Ｎを有しているとともに、耐候性が良好で
あり、安価で大量生産にも適する等の多くの利点を有す
るのであり、この本発明の情報記゛録媒体では従来の情
報記録媒体における諸欠点は良好に解決されるのである
二

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の情報記録媒体の一部の縦断側面図、第
２図は特性曲線図である。１・・・基板、２・・・記録層、特許出願人　　日本ビクター株式会社晃　２　図

Claims

【特許請求の範囲】錫の含有量ｘが０．２＜ｘ＜０．４の範囲であり、また
、ゲルマニウムの含有量ｙが０．０５＜ｙ＜０．１の範
囲であって、残部がアンチモンであるような組成を有す
るアンチモン・錫・ゲルマニウム合金Ｓｂ（１−ｘ−ｙ）Ｓｎ（ｘ）Ｇｅ（ｙ）の薄膜を基板上に記録層として設けた情報記録媒体