JPS62150735A - ウエハ搬送装置 - Google Patents
ウエハ搬送装置Info
- Publication number
- JPS62150735A JPS62150735A JP29032685A JP29032685A JPS62150735A JP S62150735 A JPS62150735 A JP S62150735A JP 29032685 A JP29032685 A JP 29032685A JP 29032685 A JP29032685 A JP 29032685A JP S62150735 A JPS62150735 A JP S62150735A
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- JP
- Japan
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- wafer
- carrier
- carriers
- belt
- wafers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はウェハ搬送装置に関し、特に半導体製造装置或
いは検査装置における半導体ウェハのキャリア間の搬送
装置に関する。
いは検査装置における半導体ウェハのキャリア間の搬送
装置に関する。
［従来の技術］
半導体製造装置の生産性向上の要求に伴ない、ウェハの
搬送時間の短縮化或いはウェハの大口径化と共に、製造
装置や検査４Ａ置のインライン化やオンライン化が今後
ますます進もうとする状況にある。
搬送時間の短縮化或いはウェハの大口径化と共に、製造
装置や検査４Ａ置のインライン化やオンライン化が今後
ますます進もうとする状況にある。
このような状況のもとで、従来のウェハ搬送装置には、
（ａ）複数の未処理ウェハ満載キャリア（供給専用キャ
リア）と、それと同数の空のキャリア（回収専用キャリ
ア）とを備え、供給側キャリアから１枚ずつ取り出した
ウェハを、露光などの処理の後に回収側キャリアに収納
するようにした装置 （ｂ）複数の未処理ウェハ満載キャリアを備え、成るキ
ャリアから取り出したウェハを露光等の処理の後に再ひ
もとのキャリアのもとの位置に戻すようにした装置 の二種のものがある。
リア）と、それと同数の空のキャリア（回収専用キャリ
ア）とを備え、供給側キャリアから１枚ずつ取り出した
ウェハを、露光などの処理の後に回収側キャリアに収納
するようにした装置 （ｂ）複数の未処理ウェハ満載キャリアを備え、成るキ
ャリアから取り出したウェハを露光等の処理の後に再ひ
もとのキャリアのもとの位置に戻すようにした装置 の二種のものがある。
ところが（ａ）の装置では、全ウェハ処理後のキャリア
交換時に、空キャリアの回収側キャリア位置への移動動
作、処理済ウェハで満されたキヤリアの回収動作、およ
び新らたな未処理ウェハ満載キャリアの供給動作、の合
計三つの動作が必要であるため、オンライン化が困難で
あり、また搬送ラインに供給動作専用ラインと回収動作
専用ラインとが必要なため、インライン時にウェハの供
給口と回収口とが固定され、冗長性が乏しくなってしま
い、さらに前記のような両専用ラインを個々に有するこ
とと回収側に一組の余分な空キャリアを要することとに
よってウェハの大口径化とそれに伴うギヤリアの大型化
に対して装置占有面積の拡大が懸念され、工場の面積利
用率の向上に悪影響を及ぼす欠点がある。
交換時に、空キャリアの回収側キャリア位置への移動動
作、処理済ウェハで満されたキヤリアの回収動作、およ
び新らたな未処理ウェハ満載キャリアの供給動作、の合
計三つの動作が必要であるため、オンライン化が困難で
あり、また搬送ラインに供給動作専用ラインと回収動作
専用ラインとが必要なため、インライン時にウェハの供
給口と回収口とが固定され、冗長性が乏しくなってしま
い、さらに前記のような両専用ラインを個々に有するこ
とと回収側に一組の余分な空キャリアを要することとに
よってウェハの大口径化とそれに伴うギヤリアの大型化
に対して装置占有面積の拡大が懸念され、工場の面積利
用率の向上に悪影響を及ぼす欠点がある。
また（１））の装置でも、ウェハをキャリアから取り出
すとき、或いはキャリア内のもとの位置に収納するとぎ
に、最下段を除いて殆んどの場合に直下に別のウェハが
存在し、従ってウェハ出し入れに際して直下のウェハへ
のゴミの付着の危険が多く、またウェハの出し入れとい
う平行運動動作がむずかしいという欠点がある。
すとき、或いはキャリア内のもとの位置に収納するとぎ
に、最下段を除いて殆んどの場合に直下に別のウェハが
存在し、従ってウェハ出し入れに際して直下のウェハへ
のゴミの付着の危険が多く、またウェハの出し入れとい
う平行運動動作がむずかしいという欠点がある。
［問題点を解決するための手段］
本発明の課題は、前述の従来技術の欠点を除去して、イ
ンライン化やオンライン化に適し、しかも必要最低限の
キャリア台数で高効率の処理を可能とするウェハ搬送装
置を提供することである。
ンライン化やオンライン化に適し、しかも必要最低限の
キャリア台数で高効率の処理を可能とするウェハ搬送装
置を提供することである。
［問題点を解決するための手段］
本発明においては、前述の課題を達成するために、同一
平面上に三つ以上のウェハキャリアが配設されると共に
、これら各キャリア間を連絡結合する可動ハンドまたは
搬送ベルト装置などのウェハ移送手段が配備され、ざら
にいずれか一つのキャリアを当初空にしてウェハ回収用
にし、残りのキャリアをウェハを満載したウェハ供給用
キャリアとして用いると共に、何れかの供給用キャリア
が空になり次第これを同じ位置のまま次の回収用キャリ
アとして用いるべく前記移送手段が切換え可能になされ
ている。
平面上に三つ以上のウェハキャリアが配設されると共に
、これら各キャリア間を連絡結合する可動ハンドまたは
搬送ベルト装置などのウェハ移送手段が配備され、ざら
にいずれか一つのキャリアを当初空にしてウェハ回収用
にし、残りのキャリアをウェハを満載したウェハ供給用
キャリアとして用いると共に、何れかの供給用キャリア
が空になり次第これを同じ位置のまま次の回収用キャリ
アとして用いるべく前記移送手段が切換え可能になされ
ている。
［作 用］
本発明のウェハ搬送装置では、三つ以上のキャリアのう
ちの一つが当初空にされて回収用キャリアに用いられる
ので、残りの全てのキャリアをウェハ供給用の満載キャ
リアとすることができ、占有スペースの面で前述従来の
（１））の装置にキャリアひとつ分を加えた程度のもの
とすることができ、また回収キャリアが満載状態になっ
たときにも移送手段の切換えで新たな空キャリアを回収
用に充てることができるから、満載回収キャリアを未処
理ウェハ満載キャリアに交換するだけでよく、しかもこ
れは処理を続行中に行なうことができるものである。
ちの一つが当初空にされて回収用キャリアに用いられる
ので、残りの全てのキャリアをウェハ供給用の満載キャ
リアとすることができ、占有スペースの面で前述従来の
（１））の装置にキャリアひとつ分を加えた程度のもの
とすることができ、また回収キャリアが満載状態になっ
たときにも移送手段の切換えで新たな空キャリアを回収
用に充てることができるから、満載回収キャリアを未処
理ウェハ満載キャリアに交換するだけでよく、しかもこ
れは処理を続行中に行なうことができるものである。
本発明の実施例を図面と共に説明すれば以下の通りであ
る。
る。
［実施例］
第１〜第３図は本発明の実施例で、第１図は本装置の平
面図、第２図はキャリア上下動駆動部の詳細図、第３図
は、板状物体搬出入部上下駆動部の詳細図である。図に
おいて、１は板状物体〈ウェハ）、２はウェハ持運び用
キャリアでかつ最初は空であるキャリア（Ｎ Ｏ０１キ
ャリア）、３は未処理ウェハが当初満載収納されたキャ
リア（Ｎｏ。
面図、第２図はキャリア上下動駆動部の詳細図、第３図
は、板状物体搬出入部上下駆動部の詳細図である。図に
おいて、１は板状物体〈ウェハ）、２はウェハ持運び用
キャリアでかつ最初は空であるキャリア（Ｎ Ｏ０１キ
ャリア）、３は未処理ウェハが当初満載収納されたキャ
リア（Ｎｏ。
２キヤリア）、４は２と同様未処理ウェハが当初満載収
納されたキャリア（Ｎ Ｏ，３キヤリア）、５はＮ０１
１〜３の各キャリアを上下動可能に乗せるキャリア乗せ
台、６−１．６−２．６−３はＮｏ。
納されたキャリア（Ｎ Ｏ，３キヤリア）、５はＮ０１
１〜３の各キャリアを上下動可能に乗せるキャリア乗せ
台、６−１．６−２．６−３はＮｏ。
１〜３のキャリアに対しウェハ１を搬出入するためのベ
ルト、７−１．７−２．７−３はウェハ１を図示しない
半導体製造装置へ搬送するためのベルト、８はキャリア
２．３．４からウェハ１を搬出した時にウェハ１を止め
るためのストッパ、９と１３は搬入時のストッパ、１０
はベルト６とストッパ９．１３を固定するための搬出入
用基板、１１はキャリア２，３．４を所定量上下させる
送りネジ、１２はキャリア２．３．４を送りネジ１１で
上下させる時に案内として用いるリニアガイド、１４は
ウェハ１を搬送するときのガイド、１５は送りネジ１１
を駆動するモータ、１６はベルト６．７を支えるプーリ
、１１は搬出入用基板１０の上方移動品を規制するスト
ッパ、１８は搬出入用基板１０の上下動を案内するリニ
アガイド、１９は搬出入基板１０を上下させるエアーシ
リンダ、２０は搬出入部のベルトを駆動するモータ、２
１はウェハ搬送装置を固定する基板、２２はウェハ１の
有無を検知するセンサである。
ルト、７−１．７−２．７−３はウェハ１を図示しない
半導体製造装置へ搬送するためのベルト、８はキャリア
２．３．４からウェハ１を搬出した時にウェハ１を止め
るためのストッパ、９と１３は搬入時のストッパ、１０
はベルト６とストッパ９．１３を固定するための搬出入
用基板、１１はキャリア２，３．４を所定量上下させる
送りネジ、１２はキャリア２．３．４を送りネジ１１で
上下させる時に案内として用いるリニアガイド、１４は
ウェハ１を搬送するときのガイド、１５は送りネジ１１
を駆動するモータ、１６はベルト６．７を支えるプーリ
、１１は搬出入用基板１０の上方移動品を規制するスト
ッパ、１８は搬出入用基板１０の上下動を案内するリニ
アガイド、１９は搬出入基板１０を上下させるエアーシ
リンダ、２０は搬出入部のベルトを駆動するモータ、２
１はウェハ搬送装置を固定する基板、２２はウェハ１の
有無を検知するセンサである。
上記構成において、先ずＮｏ、３キヤリア４の乗ってい
るキャリア乗せ台を送りネジ１１とモータ１５により所
定量下降させる。次にエアシリンダ１９にエアーを送り
、搬出入基板１０を上方に移動し、ベルト６−３により
ウェハ１をＮ００３キヤリア４より搬出し、センサ２２
でウェハを検知した時にベルト６−３の連動を停止させ
、かつエアーシリンダ１９のエアーを央くことにより、
搬出入基板１０を所定足下力に移動させ、ウェハ１を搬
送用ベルト７−１に受は渡す。ウェハ１は搬送用ベルト
７−１により半導体露光装置などの半導体製造装置本体
く主要部）に送り込まれ所要の処理が施される。
るキャリア乗せ台を送りネジ１１とモータ１５により所
定量下降させる。次にエアシリンダ１９にエアーを送り
、搬出入基板１０を上方に移動し、ベルト６−３により
ウェハ１をＮ００３キヤリア４より搬出し、センサ２２
でウェハを検知した時にベルト６−３の連動を停止させ
、かつエアーシリンダ１９のエアーを央くことにより、
搬出入基板１０を所定足下力に移動させ、ウェハ１を搬
送用ベルト７−１に受は渡す。ウェハ１は搬送用ベルト
７−１により半導体露光装置などの半導体製造装置本体
く主要部）に送り込まれ所要の処理が施される。
次に半導体素子製造装置により処理されたウェハ１は搬
送装置側に返され、搬送ベルト７−１゜７−２．７−３
により現在空キャリアであるＮ０１１キヤリア２の回収
位置ａへ搬送される。ただしこの時、搬出入用ベルト６
−１．６−２．６−３は搬送用ベルト７−１．７−２．
７−３より下方の位置にありウェハ１とは接触しないよ
うな位置にある。同時にＮｏ、１キヤリア２が送りネジ
１１により所定量下方に移動し最下位置に所定の位置決
めを行なう。次にウェハ１が回収位置ａに位置決めされ
たことをセンサ２２により検知した後、エアーシリンダ
１９により搬出入用基板１ｏの上方へ所定量移動し、搬
出入ベルト６−１にＪ：す、ウェハ１をＮ００１キヤリ
ア２に収納し、その後搬出入用基板１０を下方に移動す
る。その後、Ｎｏ、１キヤリア２を送りネジ１１により
所定量（１ピッチ分）だけ上方に移動させる。
送装置側に返され、搬送ベルト７−１゜７−２．７−３
により現在空キャリアであるＮ０１１キヤリア２の回収
位置ａへ搬送される。ただしこの時、搬出入用ベルト６
−１．６−２．６−３は搬送用ベルト７−１．７−２．
７−３より下方の位置にありウェハ１とは接触しないよ
うな位置にある。同時にＮｏ、１キヤリア２が送りネジ
１１により所定量下方に移動し最下位置に所定の位置決
めを行なう。次にウェハ１が回収位置ａに位置決めされ
たことをセンサ２２により検知した後、エアーシリンダ
１９により搬出入用基板１ｏの上方へ所定量移動し、搬
出入ベルト６−１にＪ：す、ウェハ１をＮ００１キヤリ
ア２に収納し、その後搬出入用基板１０を下方に移動す
る。その後、Ｎｏ、１キヤリア２を送りネジ１１により
所定量（１ピッチ分）だけ上方に移動させる。
上記動作をＮｏ、３キヤリア４に収納されているウェハ
１の枚数弁だけ繰り返すと、Ｎｏ、１キヤリア２が処理
ウェハにより満され、Ｎｏ、３キヤリア４が空になる。
１の枚数弁だけ繰り返すと、Ｎｏ、１キヤリア２が処理
ウェハにより満され、Ｎｏ、３キヤリア４が空になる。
次からは、Ｎ００２キヤリア３の未処理ウェハを上記動
作と同様にしてこの新たに空になったＮ０１３キヤリア
４に収納する。このように供給側キャリアと回収側キャ
リアを順次ローテーションをかけながら使用してゆく。
作と同様にしてこの新たに空になったＮ０１３キヤリア
４に収納する。このように供給側キャリアと回収側キャ
リアを順次ローテーションをかけながら使用してゆく。
尚、図示の例には明示されていないが、キャリア上下駆
動及びベルトの回転は制御装置により管理されているこ
とは述べるまでもない。
動及びベルトの回転は制御装置により管理されているこ
とは述べるまでもない。
また図示の例において主セリフへのウェハの出し入れを
ベルト搬送で行なう場合を述べたが、これは第４図に示
すように多関接ロボット２３で駆動される可動ハンド２
４によって行なうようにしてもよい。
ベルト搬送で行なう場合を述べたが、これは第４図に示
すように多関接ロボット２３で駆動される可動ハンド２
４によって行なうようにしてもよい。
［発明の効果コ
以上述べたように、本発明によれば、ベルト装置や可動
ハンドなどのウェハ移送手段の切換え１ｌｉｌＪ御で空
になった供給用キャリアを次々に回収用キャリアとして
ローテーションさせながら利用するので、供給用キャリ
アと同数の余分な空キャリアを回収用に用意しなくても
すむから装置の大形化が回避でき、インライン化やオン
ライン化にも適合して高効率の処理が可能となるもので
ある。
ハンドなどのウェハ移送手段の切換え１ｌｉｌＪ御で空
になった供給用キャリアを次々に回収用キャリアとして
ローテーションさせながら利用するので、供給用キャリ
アと同数の余分な空キャリアを回収用に用意しなくても
すむから装置の大形化が回避でき、インライン化やオン
ライン化にも適合して高効率の処理が可能となるもので
ある。
第１図は本発明の実施例に係るウェハ搬送システムの平
面図、第２図はキャリア上下動駆動部の詳細を示す縦断
面図、第３図は板状物体（ウェハ）搬出入部上下駆動部
の詳細を示す縦断面図、第４図は別の実施例を示す平面
図である。 １はウェハ、２．３．４はキャリア、６−１゜６−２．
６−３は搬出入ベルト、７−１．７−２゜７−３は搬送
用ベルト、１５はキャリア上下動用モータ、１９はエア
ーシリンダ、２０はウェハ搬出入用ベルト駆動用モータ
、２１は搬送装置基板、２２はウェハセンサ、２３は多
関接ロボット、２４は可動ハンド装置を示す。
面図、第２図はキャリア上下動駆動部の詳細を示す縦断
面図、第３図は板状物体（ウェハ）搬出入部上下駆動部
の詳細を示す縦断面図、第４図は別の実施例を示す平面
図である。 １はウェハ、２．３．４はキャリア、６−１゜６−２．
６−３は搬出入ベルト、７−１．７−２゜７−３は搬送
用ベルト、１５はキャリア上下動用モータ、１９はエア
ーシリンダ、２０はウェハ搬出入用ベルト駆動用モータ
、２１は搬送装置基板、２２はウェハセンサ、２３は多
関接ロボット、２４は可動ハンド装置を示す。
Claims (1)
- 同一平面上に配置された三つ以上のウェハキャリアと、
これら各キャリア間を連絡結合する可動ハンドまたは搬
送ベルト装置などのウェハ移送手段とを備え、いずれか
一つのキャリアをウェハ回収用に、残りのキャリアをウ
ェハ供給用に用いると共に、何れかの供給用キャリアが
空になり次第にこれを同じ位置のまま次の回収キャリア
として用いるべく前記移送手段を切換え可能としたこと
を特徴とするウェハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29032685A JPS62150735A (ja) | 1985-12-25 | 1985-12-25 | ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29032685A JPS62150735A (ja) | 1985-12-25 | 1985-12-25 | ウエハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62150735A true JPS62150735A (ja) | 1987-07-04 |
Family
ID=17754626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29032685A Pending JPS62150735A (ja) | 1985-12-25 | 1985-12-25 | ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62150735A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5178638A (en) * | 1990-07-20 | 1993-01-12 | Tokyo Electron Limited | Pressure-reduced chamber system having a filter means |
| US5271788A (en) * | 1991-07-23 | 1993-12-21 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS592182A (ja) * | 1982-06-29 | 1984-01-07 | Nec Corp | リレ−シヨン生成装置 |
-
1985
- 1985-12-25 JP JP29032685A patent/JPS62150735A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS592182A (ja) * | 1982-06-29 | 1984-01-07 | Nec Corp | リレ−シヨン生成装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5178638A (en) * | 1990-07-20 | 1993-01-12 | Tokyo Electron Limited | Pressure-reduced chamber system having a filter means |
| US5271788A (en) * | 1991-07-23 | 1993-12-21 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus |
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