JPS62132222A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS62132222A JPS62132222A JP27277485A JP27277485A JPS62132222A JP S62132222 A JPS62132222 A JP S62132222A JP 27277485 A JP27277485 A JP 27277485A JP 27277485 A JP27277485 A JP 27277485A JP S62132222 A JPS62132222 A JP S62132222A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- iron nitride
- iron
- thin film
- nitride
- ferromagnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は窒化鉄薄膜を有する磁気記録媒体に関するもの
である。
である。
本発明は窒化鉄を利用する薄膜形の磁気記録媒体におい
て、磁性層としてγ° −窒化鉄ＣＦａａＮ）のような
強磁性窒化鉄とぐ一窒化鉄（Ｆ ｅ ｚＮ）のような非
磁性窒化鉄のン昆在した薄膜を形成することにより高保
持力を生じせしめ、これにより、電磁変換特性と耐久性
にすぐれ、ＣＯなどの高価な金属を使用しない高密度な
磁気記録媒体を実用に供するものである。
て、磁性層としてγ° −窒化鉄ＣＦａａＮ）のような
強磁性窒化鉄とぐ一窒化鉄（Ｆ ｅ ｚＮ）のような非
磁性窒化鉄のン昆在した薄膜を形成することにより高保
持力を生じせしめ、これにより、電磁変換特性と耐久性
にすぐれ、ＣＯなどの高価な金属を使用しない高密度な
磁気記録媒体を実用に供するものである。
磁気記録媒体は、従来、磁性粒子と結合剤としての高分
子樹脂及びその他の所要成分よりなる磁性塗料を非磁性
基体上に塗布する塗布法により製造されているが、より
高密度な磁気記録媒体を求めて、めっきやスパッタなど
により製造するＣＯを主成分とする金属薄膜媒体の研究
実用化が進んでいる。しかしこの金属薄膜媒体は耐食性
、耐摩耗性に劣るという欠点がある。
子樹脂及びその他の所要成分よりなる磁性塗料を非磁性
基体上に塗布する塗布法により製造されているが、より
高密度な磁気記録媒体を求めて、めっきやスパッタなど
により製造するＣＯを主成分とする金属薄膜媒体の研究
実用化が進んでいる。しかしこの金属薄膜媒体は耐食性
、耐摩耗性に劣るという欠点がある。
一方、窒化鉄はα゛−窒化鉄（Ｆｅ＋ｈＮｚ ）＋Ｔ゛
−窒化鉄（Ｆｅ４Ｎ）、＠−窒化鉄（ＦｅｄＮで２＜
Ｘ≦３）、ζ−窒化鉄（ＦｅｚＮ）などがあり、耐食性
、耐摩耗性にすぐれている。
−窒化鉄（Ｆｅ４Ｎ）、＠−窒化鉄（ＦｅｄＮで２＜
Ｘ≦３）、ζ−窒化鉄（ＦｅｚＮ）などがあり、耐食性
、耐摩耗性にすぐれている。
これら窒化鉄のなかでα”−窒化鉄、γ゛ −窒化鉄が
強磁性体であり、またε−窒化鉄も強磁性体を含むが、
窒素量が多くなるにつれてキューリ一点が低下し、Ｆｃ
Ｚ、３ＳＮ付近で室温となる。
強磁性体であり、またε−窒化鉄も強磁性体を含むが、
窒素量が多くなるにつれてキューリ一点が低下し、Ｆｃ
Ｚ、３ＳＮ付近で室温となる。
α”−窒化鉄は準安定相であり、生成条件に制限がある
が、γ゛ −窒化鉄は飽和磁化も金属差みで、比較的容
易に薄膜として得られるため、磁気記録材料として有望
であり、たとえば雑誌「固体物理」１９８４年（７）Ｖ
ＯＬ、１１．Ｎｏ、１９の７２１真から７２７頁に詳し
く述べられている。
が、γ゛ −窒化鉄は飽和磁化も金属差みで、比較的容
易に薄膜として得られるため、磁気記録材料として有望
であり、たとえば雑誌「固体物理」１９８４年（７）Ｖ
ＯＬ、１１．Ｎｏ、１９の７２１真から７２７頁に詳し
く述べられている。
窒化鉄自体は結晶磁気異方性が小さいため保持力を何ら
かの方法で大きくしてやる必要がある。
かの方法で大きくしてやる必要がある。
窒化鉄は融点以下で分解するため薄膜を形成する方法と
しては反応性イオンブレーティング法やスパッタ法など
が使用される。
しては反応性イオンブレーティング法やスパッタ法など
が使用される。
この場合、保持力を大きくする方法として、異種元素を
添加することにより結晶磁気異方性を大きくする方法が
あり、そのような元素の代表的なものとしてはＣＯが知
られているが、窒化鉄においては満足すべきものが見出
されていない。
添加することにより結晶磁気異方性を大きくする方法が
あり、そのような元素の代表的なものとしてはＣＯが知
られているが、窒化鉄においては満足すべきものが見出
されていない。
また形状異方性を付与する方法として斜め蒸着が有効な
ことが知られているが、窒化鉄の場合、窒素ガス雰囲気
中での活性化反応性蒸着となり、十分な斜め大斜効果が
です、保持力は期待するほどには大きくならない。
ことが知られているが、窒化鉄の場合、窒素ガス雰囲気
中での活性化反応性蒸着となり、十分な斜め大斜効果が
です、保持力は期待するほどには大きくならない。
そこで本発明は上記のような欠点を解決し、従来、２０
０〜３００エルステツドの保持力しか得られなかった窒
化鉄１膜磁性体に高保持力を付与することにより、電磁
変換特性と耐久性にすぐれた、Ｇｏなどの高価な金属を
使用しない、高密度な磁気記録媒体を得ることを目的と
している。
０〜３００エルステツドの保持力しか得られなかった窒
化鉄１膜磁性体に高保持力を付与することにより、電磁
変換特性と耐久性にすぐれた、Ｇｏなどの高価な金属を
使用しない、高密度な磁気記録媒体を得ることを目的と
している。
本発明では窒化鉄を利用した薄膜磁性層を有する磁気記
録媒体に高保持力を付与するため、磁性層として強磁性
窒化鉄と非磁性窒化鉄の混在した薄膜を形成させる。
録媒体に高保持力を付与するため、磁性層として強磁性
窒化鉄と非磁性窒化鉄の混在した薄膜を形成させる。
強磁性窒化鉄と非磁性窒化鉄の混在した？ｉ膜とするこ
とにより、強磁性窒化鉄の磁気的相互作用が弱められ、
更に形状異方性が付与されて高保持力が生じる。
とにより、強磁性窒化鉄の磁気的相互作用が弱められ、
更に形状異方性が付与されて高保持力が生じる。
窒化鉄同士であるため混在薄膜の形成も容易で安定であ
る。
る。
強磁性窒化鉄としてはα”−窒化鉄、γ゛ −窒化鉄、
ε−窒化鉄があるが、Ｔ゛ −窒化鉄及びε−窒化鉄が
比較的容易に安定して形成できる。
ε−窒化鉄があるが、Ｔ゛ −窒化鉄及びε−窒化鉄が
比較的容易に安定して形成できる。
非磁性窒化鉄としてはζ−窒化鉄とε−窒化鉄の一部分
が含まれるが、ζ−窒化鉄が利用しやすい。
が含まれるが、ζ−窒化鉄が利用しやすい。
薄膜形成方法としては反応性イオンブレーティング法１
反応性スパッタ法、窒化鉄をクーゲットとするスパッタ
法などが利用できる。
反応性スパッタ法、窒化鉄をクーゲットとするスパッタ
法などが利用できる。
実施例１
γ”−窒化鉄とζ−窒化鉄を扇形に交互に配列した複合
ターゲットを使用し、２極高周波スパッタ法により熱酸
化Ｓｉ上に０．３μｍに成膜した。
ターゲットを使用し、２極高周波スパッタ法により熱酸
化Ｓｉ上に０．３μｍに成膜した。
これをＸ線回折によって固定したところ、Ｔ”−窒化鉄
とζ−窒化鉄の強いピークの他に、ε−窒化鉄と帰属不
明のいくつかの弱いピークが認められた。
とζ−窒化鉄の強いピークの他に、ε−窒化鉄と帰属不
明のいくつかの弱いピークが認められた。
生成膜の磁束密度は２７５０ガウスで保持力は８８０エ
ルステツドであった。
ルステツドであった。
この窒化鉄膜は耐食性、耐摩耗性にすぐれ十分磁気記録
媒体として実用に供し得るものである。
媒体として実用に供し得るものである。
実施例２
Ｆｅをターゲットとし、アルゴンガスに窒素ガスを混合
させ、２極高周波スパック装置により反応スパッタによ
り熱酸化Ｓｉ上に０．３μｍに成膜した。
させ、２極高周波スパック装置により反応スパッタによ
り熱酸化Ｓｉ上に０．３μｍに成膜した。
これをＸ線回折により固定したところ、γ° −窒化鉄
とε−窒化鉄、ζ−窒化鉄が確認された。
とε−窒化鉄、ζ−窒化鉄が確認された。
生成膜の磁束密度は２９７０ガウスで保持力は７２０エ
ルステツドであった。
ルステツドであった。
この窒化鉄膜も十分磁気記録媒体として実用に供し得る
ものである。
ものである。
上記では非磁性基体として熱酸化Ｓｉを用いたが、この
他にアルミニウム合金、ガラス、セラミック、更にポリ
エステル、ポリイミドなどの高分子樹脂も利用できる。
他にアルミニウム合金、ガラス、セラミック、更にポリ
エステル、ポリイミドなどの高分子樹脂も利用できる。
本発明は以上述べたように強磁性窒化鉄と非磁性窒化鉄
の混在した薄膜とすることにより、窒化鉄を利用した薄
膜形の磁気記録媒体の高保持力化が可能となる。
の混在した薄膜とすることにより、窒化鉄を利用した薄
膜形の磁気記録媒体の高保持力化が可能となる。
以上
Claims (1)
- 磁性層として強磁性窒化鉄と非磁性窒化鉄の混在した薄
膜を有することを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27277485A JPS62132222A (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27277485A JPS62132222A (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62132222A true JPS62132222A (ja) | 1987-06-15 |
Family
ID=17518555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27277485A Pending JPS62132222A (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62132222A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0415155A2 (en) * | 1989-08-10 | 1991-03-06 | Sanyo Electric Co., Ltd. | A perpendicular magnetic recording medium and method of forming the same |
| US6621732B2 (en) * | 2000-10-17 | 2003-09-16 | International Business Machines Corporation | Magnetic element, memory device and write head |
| CN113493895A (zh) * | 2020-03-19 | 2021-10-12 | 甘肃省科学院传感技术研究所 | 一种γ′-Fe4N磁性多孔膜的制备方法及其应用 |
-
1985
- 1985-12-04 JP JP27277485A patent/JPS62132222A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0415155A2 (en) * | 1989-08-10 | 1991-03-06 | Sanyo Electric Co., Ltd. | A perpendicular magnetic recording medium and method of forming the same |
| US6621732B2 (en) * | 2000-10-17 | 2003-09-16 | International Business Machines Corporation | Magnetic element, memory device and write head |
| CN113493895A (zh) * | 2020-03-19 | 2021-10-12 | 甘肃省科学院传感技术研究所 | 一种γ′-Fe4N磁性多孔膜的制备方法及其应用 |
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