JPS61165846A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS61165846A JPS61165846A JP538085A JP538085A JPS61165846A JP S61165846 A JPS61165846 A JP S61165846A JP 538085 A JP538085 A JP 538085A JP 538085 A JP538085 A JP 538085A JP S61165846 A JPS61165846 A JP S61165846A
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- Japan
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- film
- recording medium
- thin
- magneto
- optical recording
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁性喚を記@媒体とし、レーザー等の光ビー
ムを照射することに工り情報の記録、再生、消去を行う
光磁気記録において特和光磁気記録媒体に関する。
ムを照射することに工り情報の記録、再生、消去を行う
光磁気記録において特和光磁気記録媒体に関する。
従来、光磁気記録媒体忙関して、l5lIIK垂l[′
&方向に磁化容易軸を有するものとしてはMnB1 I
C代表される多結晶材料、磁性ガーネット暎などの単結
晶材料、そしてTb1Fe 、 G(LF@I 、 G
d0o 。
&方向に磁化容易軸を有するものとしてはMnB1 I
C代表される多結晶材料、磁性ガーネット暎などの単結
晶材料、そしてTb1Fe 、 G(LF@I 、 G
d0o 。
GaTb1Pe、 TbPeCo などの非晶質材料が
知られている。これらの中で、非晶質台金f4幌は生型
性、記録感度、記録密度といった点から総合的に優れて
いるため、現在実用に近いものとして研究されている。
知られている。これらの中で、非晶質台金f4幌は生型
性、記録感度、記録密度といった点から総合的に優れて
いるため、現在実用に近いものとして研究されている。
公知の非晶質合金薄膜は% Ga 、 T b 、 D
y等の重希土類元素と!Fe、Co等の遷移金属元素を
主成分とした合金薄−で、希土類と遷移金属の副格子磁
「ヒが等しくなり見かけの磁化がゼロになる磁気補償点
が室温付近にくる工うな組成で利用される。
y等の重希土類元素と!Fe、Co等の遷移金属元素を
主成分とした合金薄−で、希土類と遷移金属の副格子磁
「ヒが等しくなり見かけの磁化がゼロになる磁気補償点
が室温付近にくる工うな組成で利用される。
また、酸化物、窒化物からなる多重反射嘆や、金属反射
幌、′#性の異なる磁性−等を積層することによる記録
媒体側の物性向上と、記録・再生方法の改善、記録・再
生装置の改良などに工す、記録・再生特性は今や実用の
域に達している。
幌、′#性の異なる磁性−等を積層することによる記録
媒体側の物性向上と、記録・再生方法の改善、記録・再
生装置の改良などに工す、記録・再生特性は今や実用の
域に達している。
しかし、萌述の従来の光磁気記録媒体は仄のLうな欠点
を有している。
を有している。
■重希土類元素は、全希土類中の含有量が極めて少いた
め、資源的に問題があるばかゆでなく、重希土類の中の
特定の元素のみを大量に使用することは他の希土参元素
の需用がない限り、経済的に不S@で、従ってコストも
たいへん高い。1つて重希土類元素を主成分とする従来
の光磁気記録媒体は、コストお工び原料供給の面で制約
を受ける。
め、資源的に問題があるばかゆでなく、重希土類の中の
特定の元素のみを大量に使用することは他の希土参元素
の需用がない限り、経済的に不S@で、従ってコストも
たいへん高い。1つて重希土類元素を主成分とする従来
の光磁気記録媒体は、コストお工び原料供給の面で制約
を受ける。
■非晶質合金薄膜は主にスパッタ法に工って作成されて
いる。本来ターゲットとしては、所壜の組成の合金ター
ゲットを用いるが、Gd、Tb、llyといった重希土
類元素と?θ、Coなどの遷移金属元素を合金化すると
非常に脆く、大面積の合金ターゲットを作ることは困禰
であった。そこで、遷移金属ターゲットの上に希土類金
属ベレットを配置する方法、遷移金属と希土類金属の2
つのターゲットを用いて2元同時スパッタする方法、遷
移金属と希土類金属の単独材料でスポット状、板状に、
IJ@ターゲットを構成する方法(′#開昭5富−65
492)などが用いられているが、横の組成の一様性、
生産性等に欠点を有している。また。
いる。本来ターゲットとしては、所壜の組成の合金ター
ゲットを用いるが、Gd、Tb、llyといった重希土
類元素と?θ、Coなどの遷移金属元素を合金化すると
非常に脆く、大面積の合金ターゲットを作ることは困禰
であった。そこで、遷移金属ターゲットの上に希土類金
属ベレットを配置する方法、遷移金属と希土類金属の2
つのターゲットを用いて2元同時スパッタする方法、遷
移金属と希土類金属の単独材料でスポット状、板状に、
IJ@ターゲットを構成する方法(′#開昭5富−65
492)などが用いられているが、横の組成の一様性、
生産性等に欠点を有している。また。
粉末冶金の手法を用いて合金ターゲットも作られている
が、ターゲット中Ktまれる不純物カスのために良質の
横が得られないという欠点がある。
が、ターゲット中Ktまれる不純物カスのために良質の
横が得られないという欠点がある。
■従来の非晶質光磁気記録媒体の磁気カー回転角は(L
5度程度と小さく、さらに大きなカー回転角を示す材料
が求められている。
5度程度と小さく、さらに大きなカー回転角を示す材料
が求められている。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので1、
その目的とするところは低コストで大量生産可能で、な
かかつ、・カー回転角の大きな光磁気記録媒体を提供す
ることにある。
その目的とするところは低コストで大量生産可能で、な
かかつ、・カー回転角の大きな光磁気記録媒体を提供す
ることにある。
本発明の光磁気記録媒体は、−面に垂直な方向に磁化容
易軸を有する強磁性薄−において、NdとFeを主たる
成分として含有することを特徴とする。
易軸を有する強磁性薄−において、NdとFeを主たる
成分として含有することを特徴とする。
光磁気記録はII!面に垂直な磁区を記録単位とするた
めに、媒体としてはいわゆる垂直磁化膜が必要であるが
、軽希土類元素と遷移金属元素との磁気的@甘がフェロ
磁性であるゆえ磁化が大きく、一般にはこの組甘わせで
は垂直磁化−が得られないとされてきた。我々が、スパ
ッタ法を用いてH61P@、−1合金薄−をガラス基板
上忙作成したところ、基板温度を80℃から250Cに
設電することに1って、 Hdが20〜a o at俤
のMで垂直磁化−が得られた。またその光磁気特性は、
従来のGd、Tb、Dyを含む非晶質合金薄11Vr−
比較して同等以上の値が得られることがわかった。して
みると、@1表に示すLうにNdはGd、Tb、Dyと
いう工うな重希土類元素に比べ圧側的な資源の豊富さを
誇るので、 111(lが重希土類元素の代りに使用で
きるということは工業的にみて大変に意義の深いことで
ある。さらに、NdFef)合金ターゲットが通常の鋳
造と研磨1iCxつて作成できることも確認できた。
めに、媒体としてはいわゆる垂直磁化膜が必要であるが
、軽希土類元素と遷移金属元素との磁気的@甘がフェロ
磁性であるゆえ磁化が大きく、一般にはこの組甘わせで
は垂直磁化−が得られないとされてきた。我々が、スパ
ッタ法を用いてH61P@、−1合金薄−をガラス基板
上忙作成したところ、基板温度を80℃から250Cに
設電することに1って、 Hdが20〜a o at俤
のMで垂直磁化−が得られた。またその光磁気特性は、
従来のGd、Tb、Dyを含む非晶質合金薄11Vr−
比較して同等以上の値が得られることがわかった。して
みると、@1表に示すLうにNdはGd、Tb、Dyと
いう工うな重希土類元素に比べ圧側的な資源の豊富さを
誇るので、 111(lが重希土類元素の代りに使用で
きるということは工業的にみて大変に意義の深いことで
ある。さらに、NdFef)合金ターゲットが通常の鋳
造と研磨1iCxつて作成できることも確認できた。
本発明においては、該磁性薄−を構成するFeの一部を
Co、Niのうち1種類以上で置換した場合、その置a
mが遷移金属全体の50at%以下であるならは、垂直
磁化暎が得られる他、保磁力、キュリー1度、磁気カー
効果等の物性値を必要に応じて変えることができる。同
様なことは、Ndを他の軽希土類元素であるOe、Pr
、amで置換しそのa重量が5oat1以下の場合、お
工びFe とM(lに対して上記の置換を行った場合に
も一様な効果が祷られる。
Co、Niのうち1種類以上で置換した場合、その置a
mが遷移金属全体の50at%以下であるならは、垂直
磁化暎が得られる他、保磁力、キュリー1度、磁気カー
効果等の物性値を必要に応じて変えることができる。同
様なことは、Ndを他の軽希土類元素であるOe、Pr
、amで置換しそのa重量が5oat1以下の場合、お
工びFe とM(lに対して上記の置換を行った場合に
も一様な効果が祷られる。
第1表
〔実施例〕
以下、本発明の詳111f171−説明を実権例に基づ
き行なう。
き行なう。
実施例1
低周波溶解炉で溶解、鋳造して作成した150■φのN
d?θ甘金タせゲットを用い、′RFスパッタ法でガラ
ス基板上に磁性4喚を作成した。
d?θ甘金タせゲットを用い、′RFスパッタ法でガラ
ス基板上に磁性4喚を作成した。
合金ターゲットの組成お工び基板温度を変えて作成した
ところ、基@温度が80℃以下、250℃以上のときに
は、いずれの組成でも垂直磁化膜が得られなかったが、
80〜250℃の範囲で垂直磁化膜が得られ、特に基板
温度が160〜180℃のときには、Ndが20 at
%から40atlの組成で得られた。@1畷は、 Nd
x Fe、−c合金4嗅のカー回転角の組成依存性を示
し、第2図は保磁力ncの組成依存性を示している。垂
直磁化膜の得られる組成範囲では、カー回転角、保磁力
共に光磁気記録媒体としては十分な値を与える。
ところ、基@温度が80℃以下、250℃以上のときに
は、いずれの組成でも垂直磁化膜が得られなかったが、
80〜250℃の範囲で垂直磁化膜が得られ、特に基板
温度が160〜180℃のときには、Ndが20 at
%から40atlの組成で得られた。@1畷は、 Nd
x Fe、−c合金4嗅のカー回転角の組成依存性を示
し、第2図は保磁力ncの組成依存性を示している。垂
直磁化膜の得られる組成範囲では、カー回転角、保磁力
共に光磁気記録媒体としては十分な値を与える。
実権例2
一般式N do、、 (F e、−βMβ)。イ で表
わした時、β=。、2.。J * ’J *。、5.。
わした時、β=。、2.。J * ’J *。、5.。
9.の組成を有する合金ターゲットを作成した。ここで
MはOOまたはN1である。この合金ターゲットを用い
RFスパッタ法でガラス基板上に磁性R@を作成した。
MはOOまたはN1である。この合金ターゲットを用い
RFスパッタ法でガラス基板上に磁性R@を作成した。
NdQ、3 (FeG−4000J )(&?の試料を
除いて垂直磁化膜が得られた。駆5図。
除いて垂直磁化膜が得られた。駆5図。
纂4図おLび8g5図は、各々本実幅側にかいて得られ
たN do、、 (F e、−−Mβ)cj、ylll
lのθに、Ha、キエリ一温度Tc とFeの置換量の
関係である。COによる置換でθに、BQともに改善が
見られる。またN1による置換ではθkがやや大きくな
るが、β〉α5ではTc が実用範囲からはずれてしま
う。
たN do、、 (F e、−−Mβ)cj、ylll
lのθに、Ha、キエリ一温度Tc とFeの置換量の
関係である。COによる置換でθに、BQともに改善が
見られる。またN1による置換ではθkがやや大きくな
るが、β〉α5ではTc が実用範囲からはずれてしま
う。
実施例5
第6図は一般式を(N dl −txRa )lL?o
で表わすときaを0から0.6まで変えて作成したl辱
嗅のθにの組成依存性を表している。ここでRはOe、
Pr、amの各元素で、ターゲットは合金ターゲットを
用いた。αがα5工り多い組成では垂直磁化膜が得られ
なかったが、CeでNdを置換したjs@を除いてθに
は変化しないが増加する。また算7図に同じ試料のHa
の組成依存性を示すが、ここではsmで置換し走試料で
やや小さくなる他は増加する。
で表わすときaを0から0.6まで変えて作成したl辱
嗅のθにの組成依存性を表している。ここでRはOe、
Pr、amの各元素で、ターゲットは合金ターゲットを
用いた。αがα5工り多い組成では垂直磁化膜が得られ
なかったが、CeでNdを置換したjs@を除いてθに
は変化しないが増加する。また算7図に同じ試料のHa
の組成依存性を示すが、ここではsmで置換し走試料で
やや小さくなる他は増加する。
実権例4
第2表に示す組成の4嗅を同じ組成の合金ターゲットを
用いてスパッタ法にて作成した。2j!5表には、各試
料のカー回転角おLび保磁力を示す。
用いてスパッタ法にて作成した。2j!5表には、各試
料のカー回転角おLび保磁力を示す。
第5表からも明らかな工うに、軽希土類と遷移金属でN
d(!−Fet−置換することに工りNdFθ二元素の
4櫻に比べて、そのカー効果と磁気特性が改善される。
d(!−Fet−置換することに工りNdFθ二元素の
4櫻に比べて、そのカー効果と磁気特性が改善される。
さらに従来より仰られているTbFe。
GdFoと比較しても優れた特性を得ることができる。
鷹2表
里5表
〔発明の効果〕
以上述べた工うに本発明に工れば、光磁気記録媒体を構
成する記録層をNdとFeを主成分とする強磁性薄膜に
することに1抄、カー回転角が大きく量産性に優れた光
磁気記録媒体を低コストで供給できるという効果を有す
る。
成する記録層をNdとFeを主成分とする強磁性薄膜に
することに1抄、カー回転角が大きく量産性に優れた光
磁気記録媒体を低コストで供給できるという効果を有す
る。
第1図はNdxFelり薄膜のカー回転角と組成の関係
を示す図。 第2図はNdxFe j−X薄膜の保磁力と@成の関係
を示す図。 45図はNdwx(Fe1−pMp)ay薄喚のカー回
転角と組成の関係を示す図。 里4図はNd41(Fe1−pMp)、ア薄琲の保磁力
と組成の関係を示す図。 第5図はNdus (Fe 1−pMp ) (L7薄
嘆のキュリ一点と組成の関係を示す図。 hL 6 +nh (Nd1−aRa)hsFerhv
傅喚のカー回転角と組成の関係を示す図。 第7南は(Mal−aRa)cLsFea7薄嗅の保磁
力と組成の関係を示す図。 以上
を示す図。 第2図はNdxFe j−X薄膜の保磁力と@成の関係
を示す図。 45図はNdwx(Fe1−pMp)ay薄喚のカー回
転角と組成の関係を示す図。 里4図はNd41(Fe1−pMp)、ア薄琲の保磁力
と組成の関係を示す図。 第5図はNdus (Fe 1−pMp ) (L7薄
嘆のキュリ一点と組成の関係を示す図。 hL 6 +nh (Nd1−aRa)hsFerhv
傅喚のカー回転角と組成の関係を示す図。 第7南は(Mal−aRa)cLsFea7薄嗅の保磁
力と組成の関係を示す図。 以上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する強磁性薄
膜において、ネオジウム(Nd)と鉄(Fe)を主たる
成分として含有することを特徴とする光磁気記録媒体。 (2)コバルト(Co)、ニッケル(Ni)のうち少く
とも1種以上の元素を含み、その組成式を原子比で、N
d_x(Fe_1_−_αM_α)_1_−_x、(M
はCo、Niの1種以上)と表したとき、 0.20≦x≦0.40 0<α≦0.50 で限定される組成を有することを特徴とする、特許請求
の範囲第1項記載の光磁気記録媒体。 (3)セリウム(Ce)、プラセオジウム(Pr)、サ
マリウム(Sm)の1種以上でNdを置換したことを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の光磁気記録媒体。 (4)Feを原子比で50%以下をCo、Niの1種以
上で置換し、かつNdをCe、Pr、Smの1種以上で
置換したことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
光磁気記録媒体。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60005380A JP2594030B2 (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | 光磁気記録媒体 |
US07/193,020 US5100741A (en) | 1984-09-12 | 1988-05-12 | Magneto-optic recording systems |
US08/231,866 US5529854A (en) | 1984-09-12 | 1994-04-25 | Magneto-optic recording systems |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60005380A JP2594030B2 (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | 光磁気記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61165846A true JPS61165846A (ja) | 1986-07-26 |
JP2594030B2 JP2594030B2 (ja) | 1997-03-26 |
Family
ID=11609557
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60005380A Expired - Lifetime JP2594030B2 (ja) | 1984-09-12 | 1985-01-16 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2594030B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63168859A (ja) * | 1987-01-06 | 1988-07-12 | Daicel Chem Ind Ltd | 光磁気記録媒体 |
EP0324854A1 (en) * | 1986-08-22 | 1989-07-26 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Optomagnetic recording medium and process for its manufacture |
US5093174A (en) * | 1989-07-04 | 1992-03-03 | Teijin Limited | Optical recording medium |
US5492773A (en) * | 1988-09-13 | 1996-02-20 | Teijin Limited | Magneto-optical recording medium |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60128606A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-09 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 光磁気記録媒体 |
JPS60173810A (ja) * | 1984-02-20 | 1985-09-07 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 光磁気記録媒体 |
-
1985
- 1985-01-16 JP JP60005380A patent/JP2594030B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60128606A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-09 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 光磁気記録媒体 |
JPS60173810A (ja) * | 1984-02-20 | 1985-09-07 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 光磁気記録媒体 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0324854A1 (en) * | 1986-08-22 | 1989-07-26 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Optomagnetic recording medium and process for its manufacture |
JPS63168859A (ja) * | 1987-01-06 | 1988-07-12 | Daicel Chem Ind Ltd | 光磁気記録媒体 |
US5492773A (en) * | 1988-09-13 | 1996-02-20 | Teijin Limited | Magneto-optical recording medium |
US5093174A (en) * | 1989-07-04 | 1992-03-03 | Teijin Limited | Optical recording medium |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2594030B2 (ja) | 1997-03-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |