JPS6226659A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPS6226659A JPS6226659A JP60166326A JP16632685A JPS6226659A JP S6226659 A JPS6226659 A JP S6226659A JP 60166326 A JP60166326 A JP 60166326A JP 16632685 A JP16632685 A JP 16632685A JP S6226659 A JPS6226659 A JP S6226659A
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- magneto
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
- G11B5/672—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers having different compositions in a plurality of magnetic layers, e.g. layer compositions having differing elemental components or differing proportions of elements
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10586—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
- G11B11/10589—Details
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば書き換え可能な光磁気ディスクに適用
する光磁気記録媒体に関する。
する光磁気記録媒体に関する。
本発明はＴｂ希土類金属層と、Ｆｅを主体とする遷移金
属層が繰返えし積層されて成る光磁気記録層において、
その厚さを特定することによって、特に磁化量、保持力
、異方性にすぐれた光磁気記録媒体を構成する。
属層が繰返えし積層されて成る光磁気記録層において、
その厚さを特定することによって、特に磁化量、保持力
、異方性にすぐれた光磁気記録媒体を構成する。
本出願人は、先に希土類金属層と、遷移金属層とが交互
に積層された構造の光磁気記録層を有する光磁気記録媒
体を提供した（特開昭５９−２１７２４７号公開公報参
照）。この光磁気記録媒体は、角型比及び保磁力Ｈｃの
向上をはかることができるようにしたものである。
に積層された構造の光磁気記録層を有する光磁気記録媒
体を提供した（特開昭５９−２１７２４７号公開公報参
照）。この光磁気記録媒体は、角型比及び保磁力Ｈｃの
向上をはかることができるようにしたものである。
本発明においては、上述したように希土類金属層と、遷
移金属層との繰返えし積層構造を有する光磁気記録媒体
において、金属層の厚さが特性上大きな影響を及ぼすも
のであることを見出し、これに基づいて、より優れた特
性の光磁気記録媒体を提供するもである。
移金属層との繰返えし積層構造を有する光磁気記録媒体
において、金属層の厚さが特性上大きな影響を及ぼすも
のであることを見出し、これに基づいて、より優れた特
性の光磁気記録媒体を提供するもである。
本発明は、第１図に示すように、ガラス、アクリル、ポ
リカーボネイト等より成る基体＋１）上に、Ｔｂの希土
類金属Ｎ（２）をＦｅを主体とする遷移金層（３）とを
順次繰返えし蒸着、スパッタリング等によって積層して
記録層を構成する。
リカーボネイト等より成る基体＋１）上に、Ｔｂの希土
類金属Ｎ（２）をＦｅを主体とする遷移金層（３）とを
順次繰返えし蒸着、スパッタリング等によって積層して
記録層を構成する。
これらＴｂ希土類金属層（２）と遷移金属層（３）とは
夫々原子層オーダの厚さとするが、特にＴｂ層（２）の
厚さを２Å以上６人未満に選定する。このＴｂ希土類金
属Ｎ（２）の厚さは、Ｔｂの蒸着ないしはスパッタリン
グによる被着粒子径が３．５程度度であることがら単原
子層以下ないしは２原子層に相当する。
夫々原子層オーダの厚さとするが、特にＴｂ層（２）の
厚さを２Å以上６人未満に選定する。このＴｂ希土類金
属Ｎ（２）の厚さは、Ｔｂの蒸着ないしはスパッタリン
グによる被着粒子径が３．５程度度であることがら単原
子層以下ないしは２原子層に相当する。
上述した本発明による光磁気記録媒体によるときは大き
い磁化量、高い保持力等すぐれた磁気特性を示し、光磁
気記録媒体が得られた。これは、１個のＴｂ原子に２個
のＦｅ原子が結合した基本的原子対構成が記録磁化の方
向、つまり記録層の膜厚方向にほぼ揃って効率良く形成
されることによってすぐれた磁気特性、すなわち磁気異
方性が大で、保持力Ｈｃが大きく、磁化量が大きくなる
ものと思われる。
い磁化量、高い保持力等すぐれた磁気特性を示し、光磁
気記録媒体が得られた。これは、１個のＴｂ原子に２個
のＦｅ原子が結合した基本的原子対構成が記録磁化の方
向、つまり記録層の膜厚方向にほぼ揃って効率良く形成
されることによってすぐれた磁気特性、すなわち磁気異
方性が大で、保持力Ｈｃが大きく、磁化量が大きくなる
ものと思われる。
実施例１
全体として、１９原子％のＴｂの組成を有するＴｂ−Ｆ
ｅ磁化膜即ち光磁気記録層をガラス基体上に作製した。
ｅ磁化膜即ち光磁気記録層をガラス基体上に作製した。
このＴｂ−Ｆｅ磁化膜の作製は第２図に示すスパッタリ
ング装置によることができる。
ング装置によることができる。
このスパッタリング装置としては、マグネトロン型構成
をとり得る。この場合、ベルジャ（図示せず）内に、軸
心０−０′を中心として回転する基台（６）を設け、こ
れの例えば下面に目的とする光磁気記録媒体を構成する
ガラス扱、樹脂板等より成る基体（１）が配置される。
をとり得る。この場合、ベルジャ（図示せず）内に、軸
心０−０′を中心として回転する基台（６）を設け、こ
れの例えば下面に目的とする光磁気記録媒体を構成する
ガラス扱、樹脂板等より成る基体（１）が配置される。
そして、この基体（１）に対向して軸心０−０′を中心
に等角間隔、すなわち１８０° の角間隔を保持して２
個のスパッタ源（７）及び（８）を配置する。これらス
パッタ源（７）及び（８）と基台（６）、すなわち基体
（１）との間には、スパッタ源（７）及び（８）より夫
々スパッタされる金属のスパッタ位置を規制するマスク
（９）を配置する。スパッタ源（７）は希土類金ｉＴｂ
の板状体より成るターゲットα０）を有し、スパッタｔ
Ａ（８）は、遷移金属Ｆｅの板状体より成るターゲット
（１１）を有して成る。（１２）及び（１３）は、夫々
マグネットを示す。
に等角間隔、すなわち１８０° の角間隔を保持して２
個のスパッタ源（７）及び（８）を配置する。これらス
パッタ源（７）及び（８）と基台（６）、すなわち基体
（１）との間には、スパッタ源（７）及び（８）より夫
々スパッタされる金属のスパッタ位置を規制するマスク
（９）を配置する。スパッタ源（７）は希土類金ｉＴｂ
の板状体より成るターゲットα０）を有し、スパッタｔ
Ａ（８）は、遷移金属Ｆｅの板状体より成るターゲット
（１１）を有して成る。（１２）及び（１３）は、夫々
マグネットを示す。
マスク（９）は、例えば第３図に示すように、ターゲッ
トαω及び（１１）に対向する部分にこれらターゲット
ＱＯ）及び（１１）の中心を通る直線Ｘ方向に外側に向
って広がるいちょう形の窓（１４）及び（１５）が穿設
されて成り、基台（６）が停止した状態では基体（１）
の例えば主として一半部に一方のターゲット（ｌＯ）か
らの希土類金属がスパッタリングされ、主として他半部
に他方のターゲット（１１）からの遷移金属がスパッタ
リングされるようにする。
トαω及び（１１）に対向する部分にこれらターゲット
ＱＯ）及び（１１）の中心を通る直線Ｘ方向に外側に向
って広がるいちょう形の窓（１４）及び（１５）が穿設
されて成り、基台（６）が停止した状態では基体（１）
の例えば主として一半部に一方のターゲット（ｌＯ）か
らの希土類金属がスパッタリングされ、主として他半部
に他方のターゲット（１１）からの遷移金属がスパッタ
リングされるようにする。
そして基台（６）を回転させながらターゲラ１−ＱＯＩ
及び（１１）を負極側として直流スパッタリングを行う
。
及び（１１）を負極側として直流スパッタリングを行う
。
このようにして基台（６）を回転させながら全体として
２００〜５ｏｏｏｏ人の厚さ、例えば１０００人の厚さ
の積層磁化膜を形成する。この場合、例えばＴｂの成長
速度は１．６人／ｓｅｃであるとき、Ｆｅの成長速度２
．７人／ｓｅｃとなった。
２００〜５ｏｏｏｏ人の厚さ、例えば１０００人の厚さ
の積層磁化膜を形成する。この場合、例えばＴｂの成長
速度は１．６人／ｓｅｃであるとき、Ｆｅの成長速度２
．７人／ｓｅｃとなった。
実施例２
実施例１と同様の方法によって磁化膜の形成を行ったが
、全体としてＴｂを２１原子％に選定した。
、全体としてＴｂを２１原子％に選定した。
これら実施例１及び２による光磁気記録媒体の磁気的特
性をそのＴｂ金属層の厚さを変化させて測定した結果を
第４図に示す。破線曲線は全体としてＴｂの割合を１９
原子％とした場合、実線曲線は２１原子％とした場合で
あり、曲線、Ｋ１及びに２は磁気異方性係数の測定結果
であり、曲線ＭＳ１及びＭＳ２は磁界量の測定結果、曲
線ＨＣｚ及びＨＯ２は保磁力の測定結果を示す。
性をそのＴｂ金属層の厚さを変化させて測定した結果を
第４図に示す。破線曲線は全体としてＴｂの割合を１９
原子％とした場合、実線曲線は２１原子％とした場合で
あり、曲線、Ｋ１及びに２は磁気異方性係数の測定結果
であり、曲線ＭＳ１及びＭＳ２は磁界量の測定結果、曲
線ＨＣｚ及びＨＯ２は保磁力の測定結果を示す。
これによれば、Ｔｂ層（２）の厚さが２Å以上６人未満
ですぐれた各磁気的特性を示すことが分る。
ですぐれた各磁気的特性を示すことが分る。
更に、スパッタ条件をＴｂに関して０．６人、Ｆｅに関
し１．８５人とし、Ｔｂのスパッタリング速度を１６５
人／ ｓｅｃ 、 Ｆｅのスパッタリング速度を２．５
人／ｓｅｃとして、各層（２）及び（３）を夫々１秒間
、３秒間、６秒間で形成した膜厚として場合、つまりＴ
ｂ層（２）が１．５人でＦｅ層（３）が２．５人のとき
、ＴＩＪ（２）が４．５人で、 ７．５人のとき、Ｔｂ
層（２）が９人でＦｅ層（３）が１５人のときの各磁化
曲線を夫々第５図、第６図及び第７図に示す。このとき
の飽和磁化Ｍｓと、保持力Ｈｃを表１に示す。
し１．８５人とし、Ｔｂのスパッタリング速度を１６５
人／ ｓｅｃ 、 Ｆｅのスパッタリング速度を２．５
人／ｓｅｃとして、各層（２）及び（３）を夫々１秒間
、３秒間、６秒間で形成した膜厚として場合、つまりＴ
ｂ層（２）が１．５人でＦｅ層（３）が２．５人のとき
、ＴＩＪ（２）が４．５人で、 ７．５人のとき、Ｔｂ
層（２）が９人でＦｅ層（３）が１５人のときの各磁化
曲線を夫々第５図、第６図及び第７図に示す。このとき
の飽和磁化Ｍｓと、保持力Ｈｃを表１に示す。
これによってもＴｂ層（２）の厚さが６人未満で２Å以
上に相当する第７図の例がすぐれたＭＳ、ＨＣを有し、
また高い角型比を示している。
上に相当する第７図の例がすぐれたＭＳ、ＨＣを有し、
また高い角型比を示している。
上述したように本発明によれば、Ｔｂ希土類金属層（２
）と、Ｆｅ遷移金属層（３）とを繰返えし積層した磁化
膜の構造を採るものの両Ｔｂ屓（２）及び（３）を原子
層オーダの薄い層とし、特にＴｂ層（２）を２Å以上、
６人未満としたことによって磁化量が大で、保持力が大
で角型比にすぐれた特性を示すものである。
）と、Ｆｅ遷移金属層（３）とを繰返えし積層した磁化
膜の構造を採るものの両Ｔｂ屓（２）及び（３）を原子
層オーダの薄い層とし、特にＴｂ層（２）を２Å以上、
６人未満としたことによって磁化量が大で、保持力が大
で角型比にすぐれた特性を示すものである。
第１図は本発明による光磁気記録媒体の一例の路線的拡
大断面図、第２図はスパッタリング装置の一例の構成図
、第３図はそのマスクの平面図、第４図はＴｂ膜厚と各
磁気特性との関係の測定曲線図、第５図〜第７図は磁化
特性曲線図である。 （１）は基体、（２）はＴｂ希土類金属層、（３）はＦ
ｅ遷移・金属層、（４）は記録層である。 同 松隈秀盛、− 不梵唱１・よ？ｌ尤Ｘ区気言Ｃ乍軒某停め筺印面図第１
図 瓜 イ、 スノでツクリ；グ饅１．ｌ王隨八しコ 第２図
大断面図、第２図はスパッタリング装置の一例の構成図
、第３図はそのマスクの平面図、第４図はＴｂ膜厚と各
磁気特性との関係の測定曲線図、第５図〜第７図は磁化
特性曲線図である。 （１）は基体、（２）はＴｂ希土類金属層、（３）はＦ
ｅ遷移・金属層、（４）は記録層である。 同 松隈秀盛、− 不梵唱１・よ？ｌ尤Ｘ区気言Ｃ乍軒某停め筺印面図第１
図 瓜 イ、 スノでツクリ；グ饅１．ｌ王隨八しコ 第２図
Claims (1)
- 基体上にＴｂより成る希土類金属層と、Ｆｅを主体とす
る遷移金属層とが順次繰返えし積層されてなる光磁気記
録用磁化膜を有し、上記Ｔｂ希土類金属層の厚さが２Å
以上６Å未満に選定されて成る光磁気記録媒体。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60166326A JPS6226659A (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | 光磁気記録媒体 |
| CA000514368A CA1254385A (en) | 1985-07-26 | 1986-07-22 | Magneto-optical recording medium having amorphous artificially layered structure of rare earth element and transition metal element |
| EP86305763A EP0210855A3 (en) | 1985-07-26 | 1986-07-25 | Magneto-optical recording media |
| KR1019860006075A KR950001235B1 (ko) | 1985-07-26 | 1986-07-25 | 자기-광학 기록 매체 |
| US06/889,962 US4727005A (en) | 1985-07-26 | 1986-07-28 | Magneto-optical recording medium having amorphous artificially layered structure of rare earth element and transition metal element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60166326A JPS6226659A (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6226659A true JPS6226659A (ja) | 1987-02-04 |
Family
ID=15829282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60166326A Pending JPS6226659A (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6226659A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63211141A (ja) * | 1987-02-27 | 1988-09-02 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 光磁気記録媒体 |
| JPS63269354A (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-07 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPH02273348A (ja) * | 1989-04-13 | 1990-11-07 | Nec Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPH03160641A (ja) * | 1989-11-17 | 1991-07-10 | Nec Corp | 光磁気記録媒体 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61108112A (ja) * | 1984-10-31 | 1986-05-26 | Ricoh Co Ltd | 垂直磁化膜 |
-
1985
- 1985-07-26 JP JP60166326A patent/JPS6226659A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61108112A (ja) * | 1984-10-31 | 1986-05-26 | Ricoh Co Ltd | 垂直磁化膜 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63211141A (ja) * | 1987-02-27 | 1988-09-02 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 光磁気記録媒体 |
| JPS63269354A (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-07 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPH02273348A (ja) * | 1989-04-13 | 1990-11-07 | Nec Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPH03160641A (ja) * | 1989-11-17 | 1991-07-10 | Nec Corp | 光磁気記録媒体 |
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