JPS5862827A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPS5862827A JPS5862827A JP56162452A JP16245281A JPS5862827A JP S5862827 A JPS5862827 A JP S5862827A JP 56162452 A JP56162452 A JP 56162452A JP 16245281 A JP16245281 A JP 16245281A JP S5862827 A JPS5862827 A JP S5862827A
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Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
- G11B5/672—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers having different compositions in a plurality of magnetic layers, e.g. layer compositions having differing elemental components or differing proportions of elements
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は垂直記録方式に適した磁気記録媒体に関する。
一般に短波長記録特性の優れた磁気記録方式として、垂
直記録方式がある。この方式においては媒体の膜面に垂
直方向が磁化容易軸である垂直記録媒体が盛装となる。
直記録方式がある。この方式においては媒体の膜面に垂
直方向が磁化容易軸である垂直記録媒体が盛装となる。
このような媒体に信号を記録すると残留磁化は媒体の膜
面に垂直方向を向き、従って信号が短波長になる程媒体
内反磁界は減少し、優れた再生出力が得られる。垂直記
録媒体は高分子材料あるいは非磁性金属から成る基板上
に、Ｃｏとｃ ｒを主成分とし垂直方向に磁化容易軸を
有する磁性層（以下この磁性層をＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜
と呼ぶ）をスパッタリング法あるいは真空蒸着法により
形成したものである。ｃｏとＯｒを主成分としたスパッ
タ膜あるいは蒸着膜は、Ｃｒの量が約３０重量％以下の
範囲では結晶系が稠密六方構造であり、そのＣ軸を膜面
に対して垂直方向に配向させることができ、かつ垂直方
向の異方性磁界が反磁界よりも大きくなるまで飽和磁化
を低下させることが可能なので垂直磁化膜を実現できる
。またＣｒを約１８重量係以上含むＣｏ −Ｃｒ垂直磁
化膜は優れた耐食性を有しており、６０’Ｃ９０％雰囲
気中に６か月間放置しても殆ど変化はみられない。しか
し基板上に直接にＣｏ −Ｃｒ垂直磁化膜を形成した垂
直記録媒体（以下この媒体を単層膜ｍ＃−と呼ぶ）は、
信号を記録再生する際の効率が低い。これを改善するた
めに第１図に示すような構造の媒体（以下この媒体を２
層膜媒体と呼ぶ）が開発されている。これは高分子材料
あるいは非磁性金属から成る基板１とＣｏ −Ｃｒ垂直
磁化膜３との間て、膜面内に磁化容易軸を有するパーマ
ロイより成る磁性層２を設けたものである。なおパーマ
ロイとはＦｅ及び７ＶＪｉを主成分とする合金の総称で
ある。この様な構造を有する２層膜媒体を用いれば、単
層膜媒体に比べ記録再生効率が改善され、特に第２図に
示す様な補助磁極励磁型垂直ヘッドにより信号を記録再
生する際には、記録時及び再生時いずれの場合において
も約２゜ｄＢの効率改善が認められている。なお、第２
図において、４は強磁性薄膜より成る主磁極、６は励磁
巻線６の巻かれた強磁性コアより成る補助磁極であり、
両磁極で媒体をはさんでいる。
面に垂直方向を向き、従って信号が短波長になる程媒体
内反磁界は減少し、優れた再生出力が得られる。垂直記
録媒体は高分子材料あるいは非磁性金属から成る基板上
に、Ｃｏとｃ ｒを主成分とし垂直方向に磁化容易軸を
有する磁性層（以下この磁性層をＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜
と呼ぶ）をスパッタリング法あるいは真空蒸着法により
形成したものである。ｃｏとＯｒを主成分としたスパッ
タ膜あるいは蒸着膜は、Ｃｒの量が約３０重量％以下の
範囲では結晶系が稠密六方構造であり、そのＣ軸を膜面
に対して垂直方向に配向させることができ、かつ垂直方
向の異方性磁界が反磁界よりも大きくなるまで飽和磁化
を低下させることが可能なので垂直磁化膜を実現できる
。またＣｒを約１８重量係以上含むＣｏ −Ｃｒ垂直磁
化膜は優れた耐食性を有しており、６０’Ｃ９０％雰囲
気中に６か月間放置しても殆ど変化はみられない。しか
し基板上に直接にＣｏ −Ｃｒ垂直磁化膜を形成した垂
直記録媒体（以下この媒体を単層膜ｍ＃−と呼ぶ）は、
信号を記録再生する際の効率が低い。これを改善するた
めに第１図に示すような構造の媒体（以下この媒体を２
層膜媒体と呼ぶ）が開発されている。これは高分子材料
あるいは非磁性金属から成る基板１とＣｏ −Ｃｒ垂直
磁化膜３との間て、膜面内に磁化容易軸を有するパーマ
ロイより成る磁性層２を設けたものである。なおパーマ
ロイとはＦｅ及び７ＶＪｉを主成分とする合金の総称で
ある。この様な構造を有する２層膜媒体を用いれば、単
層膜媒体に比べ記録再生効率が改善され、特に第２図に
示す様な補助磁極励磁型垂直ヘッドにより信号を記録再
生する際には、記録時及び再生時いずれの場合において
も約２゜ｄＢの効率改善が認められている。なお、第２
図において、４は強磁性薄膜より成る主磁極、６は励磁
巻線６の巻かれた強磁性コアより成る補助磁極であり、
両磁極で媒体をはさんでいる。
・以上の様に２層媒体によれば、単層膜媒体に比べ非常
に優れた記録再生効率が得られるが、ツク−□ マロイ膜はＣ０−Ｃｒ垂直磁化膜よりも耐食性が悪く、
ざらに両膜が直接接触しているために局部電池を発生し
腐食し易い。実際Ｋ Ｃｒを２０重量％含むＣｏ −Ｃ
ｒ垂直磁化膜のみから成る単層膜媒体と、これと同じ組
成のＣｏ−Ｃｒ膜及びパーマロイ膜から成る２層膜媒体
を同時に６０℃９０チ雰囲気中に入れ、１か月間放置し
た後に媒体表面を光学顕微鏡にて観察すると、単層膜媒
体は変化が見られなかったが、２層膜媒体においては・
・ン点状の錆が発生していた。
に優れた記録再生効率が得られるが、ツク−□ マロイ膜はＣ０−Ｃｒ垂直磁化膜よりも耐食性が悪く、
ざらに両膜が直接接触しているために局部電池を発生し
腐食し易い。実際Ｋ Ｃｒを２０重量％含むＣｏ −Ｃ
ｒ垂直磁化膜のみから成る単層膜媒体と、これと同じ組
成のＣｏ−Ｃｒ膜及びパーマロイ膜から成る２層膜媒体
を同時に６０℃９０チ雰囲気中に入れ、１か月間放置し
た後に媒体表面を光学顕微鏡にて観察すると、単層膜媒
体は変化が見られなかったが、２層膜媒体においては・
・ン点状の錆が発生していた。
本発明は２層膜媒体において、単層膜媒体よりも優れた
記録再生効率を有しかつ耐食性の改善された垂直記録媒
体を提供するものである。以下ＶＣ図面を用い本発明の
説明を行うＱ ２層膜媒体において、パーマロイ膜は一般にスパッタリ
ング法あるいは真空蒸着法により形成されるが、形成時
に酸素を導入するとできた膜は内部に酸素を含んだ状態
になる。電子線回折法により分析すると、この様な膜は
パーマロイと酸化物の混合したものであることがわかる
。真空蒸着法１１ により蒸着時に酸素を導入して作成した膜について、オ
ージェ電子分光法を用いて分析した膜中の酸素の平均値
と酸素導入量との関係を第３図に示 − す。この図より蒸着時の酸素導入量が多い程膜中の酸素
が増加していることがわかる。この様な酸素を含んだ膜
は含まない膜に比べて耐食性が良く、またＣ ｏ −Ｃ
ｒ膜をその上に形成した場合に両膜間の局部電池による
腐食も少なくなる。しかしパーマロイは酸素を含むと透
磁率μ及び飽和磁化Ｍｓが減少し、従って磁気特性が劣
化する。μ及びＭｓと膜中の酸素の平均値との関係を第
４図に示す。
記録再生効率を有しかつ耐食性の改善された垂直記録媒
体を提供するものである。以下ＶＣ図面を用い本発明の
説明を行うＱ ２層膜媒体において、パーマロイ膜は一般にスパッタリ
ング法あるいは真空蒸着法により形成されるが、形成時
に酸素を導入するとできた膜は内部に酸素を含んだ状態
になる。電子線回折法により分析すると、この様な膜は
パーマロイと酸化物の混合したものであることがわかる
。真空蒸着法１１ により蒸着時に酸素を導入して作成した膜について、オ
ージェ電子分光法を用いて分析した膜中の酸素の平均値
と酸素導入量との関係を第３図に示 − す。この図より蒸着時の酸素導入量が多い程膜中の酸素
が増加していることがわかる。この様な酸素を含んだ膜
は含まない膜に比べて耐食性が良く、またＣ ｏ −Ｃ
ｒ膜をその上に形成した場合に両膜間の局部電池による
腐食も少なくなる。しかしパーマロイは酸素を含むと透
磁率μ及び飽和磁化Ｍｓが減少し、従って磁気特性が劣
化する。μ及びＭｓと膜中の酸素の平均値との関係を第
４図に示す。
この図より膜中の酸素量が増加するに従い、磁気特性が
劣化することが明らかである。そこで２層膜媒体として
使用さノするパーマロイ膜においてμやＭｓが減少した
場合に記録再生効率がどのように変化するかを友験によ
り確かめた。実験結果の１１＋ｌｌを第５図ｒ（示す。
劣化することが明らかである。そこで２層膜媒体として
使用さノするパーマロイ膜においてμやＭｓが減少した
場合に記録再生効率がどのように変化するかを友験によ
り確かめた。実験結果の１１＋ｌｌを第５図ｒ（示す。
実線７及び破線８はそれぞれ記録効寮及び再生効率であ
る。なお実験に用いた２層膜媒体のパーマロイ膜の組成
はＦｅが２０ｖＩｔ％、Ｎｉが８０ｔｕｔ％であり、’
Ｃｏ −Ｃｒ垂直磁化膜の組成はＣｏが８０ ｗ ｔ
％、Ｃｒが２゜ｙ＋Ｊｔ ％である。膜厚はいずれも０
．１６μｍである。
る。なお実験に用いた２層膜媒体のパーマロイ膜の組成
はＦｅが２０ｖＩｔ％、Ｎｉが８０ｔｕｔ％であり、’
Ｃｏ −Ｃｒ垂直磁化膜の組成はＣｏが８０ ｗ ｔ
％、Ｃｒが２゜ｙ＋Ｊｔ ％である。膜厚はいずれも０
．１６μｍである。
また記録再生用ヘッドとしては第２図に示す補助磁極励
磁型垂直ヘッドを用い、波長０．６μｍの正弦波を記録
し再生した。第５図よりパーマロイ膜中の酸素の量が増
加すると記録効率及び再生効率が劣化することがわかる
。特に（酸素原子数）／（Ｆｅ原子数＋Ｎｉ原子数）が
８ｏ％になると酸素がない場合に比べて記録効率は２０
ｄＢ、再生効率は１８ｄＢ低下し、単層膜媒体と同程度
の効率になってしまう。従って２層膜媒体としての優位
性を保つためには（酸素原子数） ／ （Ｆ ｅ原子数
＋Ｎｉ原子数）を８０％以下にすることが心安である。
磁型垂直ヘッドを用い、波長０．６μｍの正弦波を記録
し再生した。第５図よりパーマロイ膜中の酸素の量が増
加すると記録効率及び再生効率が劣化することがわかる
。特に（酸素原子数）／（Ｆｅ原子数＋Ｎｉ原子数）が
８ｏ％になると酸素がない場合に比べて記録効率は２０
ｄＢ、再生効率は１８ｄＢ低下し、単層膜媒体と同程度
の効率になってしまう。従って２層膜媒体としての優位
性を保つためには（酸素原子数） ／ （Ｆ ｅ原子数
＋Ｎｉ原子数）を８０％以下にすることが心安である。
また耐食性に関しては２層膜媒体を６０℃９０％雰囲気
中に１か月間入れて、媒体表面を光学顕微鏡にて観察し
た結果、（酸素原子数）／（Ｆｅ原子数＋Ｎｉ原子数）
が２ｏ％未満の膜においては・・ン点状の錆が発生しで
いたが、２ｏ％以上の膜においては殆ど変化が見られな
かった。
中に１か月間入れて、媒体表面を光学顕微鏡にて観察し
た結果、（酸素原子数）／（Ｆｅ原子数＋Ｎｉ原子数）
が２ｏ％未満の膜においては・・ン点状の錆が発生しで
いたが、２ｏ％以上の膜においては殆ど変化が見られな
かった。
なおパーマロイ膜の組成を変えでも上記の結果とほぼ同
様の結果が得られた。
様の結果が得られた。
本発明によると以上の如く、２層膜媒体においてＦｅと
Ｎｉの合計原子数の２０％以Ｊ：８０ ％以下の原子数
の酸素を含むパーマロイ膜を使用することにより、記録
再生効率及び耐食性の優れた垂直記録媒体が得られる。
Ｎｉの合計原子数の２０％以Ｊ：８０ ％以下の原子数
の酸素を含むパーマロイ膜を使用することにより、記録
再生効率及び耐食性の優れた垂直記録媒体が得られる。
第１図は磁気記録媒体の断面図、第２図は上記磁気記録
媒体を用い記録再生を行っている様子を示す一部断面正
面図、第３図〜第６図は本発明を説明するための図で、
このうち第３図は第１の磁性層の一例であるパーマロイ
膜蒸着時の酸素導入針と同膜中の酸素含有量との関係を
示し、第４図は上記パーマロイ膜における酸素含有量と
透磁率ならびに飽和磁化との関係を示し、第５図は同じ
く上記パーマロイ膜における酸素含有量と記録再生効率
との関係を示す。 １・・・・−・基板、２・・・・・・パーマロイよりな
る磁性層、３・・・・・垂直磁化膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏１男 ほか１名ｌＩ
４１図 ＠２図 第３図 １Ｆｘ層１％ｅｙｎ蓼等Ａｔ （ｔｉｍｉｎ）第４図 丁１″ −Ｖ爾・ 第５図 ５０ 、意Ｉ原ｌ玖 （Ｃｒ１１−ＶＣｃ） ν 〔勢→
媒体を用い記録再生を行っている様子を示す一部断面正
面図、第３図〜第６図は本発明を説明するための図で、
このうち第３図は第１の磁性層の一例であるパーマロイ
膜蒸着時の酸素導入針と同膜中の酸素含有量との関係を
示し、第４図は上記パーマロイ膜における酸素含有量と
透磁率ならびに飽和磁化との関係を示し、第５図は同じ
く上記パーマロイ膜における酸素含有量と記録再生効率
との関係を示す。 １・・・・−・基板、２・・・・・・パーマロイよりな
る磁性層、３・・・・・垂直磁化膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏１男 ほか１名ｌＩ
４１図 ＠２図 第３図 １Ｆｘ層１％ｅｙｎ蓼等Ａｔ （ｔｉｍｉｎ）第４図 丁１″ −Ｖ爾・ 第５図 ５０ 、意Ｉ原ｌ玖 （Ｃｒ１１−ＶＣｃ） ν 〔勢→
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 基板上に膜面内に磁化容易軸を有しＦｅとＮｉを主成分
とする第１の磁性層が形成され、さらにその上に膜面に
垂直方向に磁化容易軸を有しＣ。 とＣｒを主成分とする第２の磁性層が形成された磁気記
録媒体において、前記第１の磁性層が原子数においてＦ
ｅ ｊｌ Ｎ ｉの合計原子数の２０チ以上８ｏ％以
下の酸素を含むことを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56162452A JPS5862827A (ja) | 1981-10-12 | 1981-10-12 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56162452A JPS5862827A (ja) | 1981-10-12 | 1981-10-12 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5862827A true JPS5862827A (ja) | 1983-04-14 |
Family
ID=15754874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56162452A Pending JPS5862827A (ja) | 1981-10-12 | 1981-10-12 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5862827A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59218626A (ja) * | 1983-05-27 | 1984-12-08 | Hitachi Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
| JPS60193126A (ja) * | 1984-03-13 | 1985-10-01 | Anelva Corp | 垂直磁化フレキシブルデイスク |
| EP0178685A2 (en) * | 1984-10-19 | 1986-04-23 | Sony Corporation | Perpendicular magnetic recording medium and method of making same |
-
1981
- 1981-10-12 JP JP56162452A patent/JPS5862827A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59218626A (ja) * | 1983-05-27 | 1984-12-08 | Hitachi Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
| JPS60193126A (ja) * | 1984-03-13 | 1985-10-01 | Anelva Corp | 垂直磁化フレキシブルデイスク |
| EP0178685A2 (en) * | 1984-10-19 | 1986-04-23 | Sony Corporation | Perpendicular magnetic recording medium and method of making same |
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