JPS613515A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
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- JPS613515A JPS613515A JP12474284A JP12474284A JPS613515A JP S613515 A JPS613515 A JP S613515A JP 12474284 A JP12474284 A JP 12474284A JP 12474284 A JP12474284 A JP 12474284A JP S613515 A JPS613515 A JP S613515A
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- piezoelectric vibrator
- piezoelectric vibrating
- vibrating part
- vibrator
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0595—Holders; Supports the holder support and resonator being formed in one body
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、厚みすべり振動を利用した圧電振動子に関す
る。
る。
（従来技術）
電子機器など種々の分野で使用されている圧電振動子は
、時計やコンピュータなどの小型化にともない、４その
小型化が要求されてきている。
、時計やコンピュータなどの小型化にともない、４その
小型化が要求されてきている。
第８図乃至第１０図は従来の圧電振動子を示す図゛であ
る。・第８図乃至第１Ｏ図において、１は圧電振動子で
、圧電振動子ｌはＡＴカット等の水晶片２の両面に電極
３ａ、３ｂを設けることにより形成されている。４ａ、
４ｂは電極３ａ、３ｂの一部より外方へ延びる電極引き
出し部で、電極引き出し部４ａ、４ｂは互いに反対方向
に延びている。なお、前記電極３ａ、３ｂ及び電極引き
出し部４ａ 、４ｂは金、銀、アルミニウムなどの金属
を水晶片２の両面に蒸着することにより形成される。
る。・第８図乃至第１Ｏ図において、１は圧電振動子で
、圧電振動子ｌはＡＴカット等の水晶片２の両面に電極
３ａ、３ｂを設けることにより形成されている。４ａ、
４ｂは電極３ａ、３ｂの一部より外方へ延びる電極引き
出し部で、電極引き出し部４ａ、４ｂは互いに反対方向
に延びている。なお、前記電極３ａ、３ｂ及び電極引き
出し部４ａ 、４ｂは金、銀、アルミニウムなどの金属
を水晶片２の両面に蒸着することにより形成される。
そして、上記圧電振動子ｌは基台５に設けたワイヤーク
リップ６．６に挾持され、電極３ａ、３ｂは電極引き出
し部４ａ、４ｂ、ワイヤークリップ６．６を介して、外
部導出ピン７．７に電気的（ご接続されるものである。
リップ６．６に挾持され、電極３ａ、３ｂは電極引き出
し部４ａ、４ｂ、ワイヤークリップ６．６を介して、外
部導出ピン７．７に電気的（ご接続されるものである。
８は圧電振動子１を保護するケースで、ケース８は圧電
振動子ｌを密封するよう基台５に固着される。圧電振動
子ｌの周囲の密封された空間は不活性ガス（窒素、アル
ゴン等）が封入されているかまたは真空となっている。
振動子ｌを密封するよう基台５に固着される。圧電振動
子ｌの周囲の密封された空間は不活性ガス（窒素、アル
ゴン等）が封入されているかまたは真空となっている。
そして、このような厚みすべり振動を利用した圧電振動
子において、その振動周波数は水晶片の厚みにより決定
される。即ち、その厚みを薄くすればそれに応じて振動
周波数が高くなるのである。
子において、その振動周波数は水晶片の厚みにより決定
される。即ち、その厚みを薄くすればそれに応じて振動
周波数が高くなるのである。
ところで、従来上記の水晶片２の厚みの加工は、圧電材
料からなる板の両面を金属等で作られた互いに逆回転す
る研磨板ですり合せることにより行なっていた。
料からなる板の両面を金属等で作られた互いに逆回転す
る研磨板ですり合せることにより行なっていた。
（従来技術の問題点）
しかしながら、以上の従来例にあっては、〔１〕圧電振
動子の振動部以外の水晶片の部分も振動してしまう−こ
ととなるばかりか、その振動がワイヤークリップ６．６
を通じて外部に洩れるため、不要な振動エネルギーが必
要となり実効抵抗が増加することとなり、また〔２〕外
部からの衝撃に耐えるように剛性の高いワイヤークリッ
プ６．６で圧電振動子を強く固着すると、圧電振動子の
振動がワイヤークリップ６．６によって阻害され圧電振
動子のＱが低下することとなるため、該ワイヤークリッ
プ６．６の剛性を高く出来ず耐衝撃特性を向上させるこ
とが出来ず、また〔３〕この構造の圧電振動子にあって
は、物理的にその小型化に限界があり、現今の非常に小
型化された電子機器等に要求される圧電振動子の大きさ
に対応するには困難であるなど種々の欠点を有していた
。
動子の振動部以外の水晶片の部分も振動してしまう−こ
ととなるばかりか、その振動がワイヤークリップ６．６
を通じて外部に洩れるため、不要な振動エネルギーが必
要となり実効抵抗が増加することとなり、また〔２〕外
部からの衝撃に耐えるように剛性の高いワイヤークリッ
プ６．６で圧電振動子を強く固着すると、圧電振動子の
振動がワイヤークリップ６．６によって阻害され圧電振
動子のＱが低下することとなるため、該ワイヤークリッ
プ６．６の剛性を高く出来ず耐衝撃特性を向上させるこ
とが出来ず、また〔３〕この構造の圧電振動子にあって
は、物理的にその小型化に限界があり、現今の非常に小
型化された電子機器等に要求される圧電振動子の大きさ
に対応するには困難であるなど種々の欠点を有していた
。
さらに、上述の従来例にあっては、研磨によって水晶素
板の厚みを減少することに限界があり。
板の厚みを減少することに限界があり。
現状ではその厚みの限界は５０ＪＬｍ程度であった。ま
た、水晶素板の厚みが薄いと、第８図乃至第１０図に示
す従来の圧電振動子にあっては、組立時に破損しやすく
、また、組立後にあっても外部からの応力による水晶片
の′そり等の原因により破損を生じやすく、この点から
も水晶片の厚みの減少には限界があった。そしてこれら
の理由により、圧電振動子の基本波による周波数は３０
ＭＨ２付近が限界であり、それより高い周波数帯は三次
高調波、三次高調波等を利用することによってカバーさ
れていた。しかしながら、基本波による圧電振動子の方
が高調波利用の圧電振動子よりも一般にその緒特性は良
好である。
た、水晶素板の厚みが薄いと、第８図乃至第１０図に示
す従来の圧電振動子にあっては、組立時に破損しやすく
、また、組立後にあっても外部からの応力による水晶片
の′そり等の原因により破損を生じやすく、この点から
も水晶片の厚みの減少には限界があった。そしてこれら
の理由により、圧電振動子の基本波による周波数は３０
ＭＨ２付近が限界であり、それより高い周波数帯は三次
高調波、三次高調波等を利用することによってカバーさ
れていた。しかしながら、基本波による圧電振動子の方
が高調波利用の圧電振動子よりも一般にその緒特性は良
好である。
（発明の目的）
本発明の目的は、圧電振動子の振動部分の厚みが５０ｐ
ｍ程度以下のものが容易に作成できるとともに、組立時
や組立後に破損しにくい圧電振動子を提供するものであ
る。
ｍ程度以下のものが容易に作成できるとともに、組立時
や組立後に破損しにくい圧電振動子を提供するものであ
る。
本発明の他の目的は、容易に小型化が図れる圧電振動子
を提供するものである。
を提供するものである。
本発明のさらに他の目的は、圧電振動子の振動部の振動
と外部の振動とを有効にしゃ断する圧電振動子を提供す
るものである。
と外部の振動とを有効にしゃ断する圧電振動子を提供す
るものである。
（発明の概要）
本願に係る第一の発明は、両面に励振用の電極部を形成
した圧電振動部と、圧電振動部より厚い厚みで該圧電振
動部の外周に圧電振動部と同一の材料で一体に形成し表
面に励振用電極の引き出し電極部を形成するとともに圧
電振動部を囲む部分に溝部を形成した外周部とを有する
圧電振動子に係るものであり、また、第二の発明は１両
面に励振用の電極部を形成した圧電振動部と、圧電振動
部より厚い厚みで該圧電振動部の外周全体に圧電振動部
と同一の材料で一体に形成し表面に励振用電極の引き出
し電極部を形成するとともに圧電振動部を囲む部分に溝
部を形成した外周部と、該外周部の両表面上に固着され
圧電振動部を密封するカバーとを有する圧電振動子に係
るものである。
した圧電振動部と、圧電振動部より厚い厚みで該圧電振
動部の外周に圧電振動部と同一の材料で一体に形成し表
面に励振用電極の引き出し電極部を形成するとともに圧
電振動部を囲む部分に溝部を形成した外周部とを有する
圧電振動子に係るものであり、また、第二の発明は１両
面に励振用の電極部を形成した圧電振動部と、圧電振動
部より厚い厚みで該圧電振動部の外周全体に圧電振動部
と同一の材料で一体に形成し表面に励振用電極の引き出
し電極部を形成するとともに圧電振動部を囲む部分に溝
部を形成した外周部と、該外周部の両表面上に固着され
圧電振動部を密封するカバーとを有する圧電振動子に係
るものである。
（実施例）
次に本発明の一実施例を、図面を用いて詳細に説明する
。
。
第１図は本発明に係る圧電振動子の斜視図、第２図は第
１図に示す圧電振動子をＣ−０面で切断した断面図であ
る。第１図、第２図において、１９は圧電振動部で、該
圧電振動部１９の表面の一部の両面には該圧電振動部１
９を振動させるための電極１３ａ、１３ｂが被着されて
いる（この圧電振動部１９の電極形成部を１電極部」と
いう）。１８は圧電振動部１９を囲むように形成された
圧電振動子の外周部であり、該外周部１８の表面には図
に示すような電極１３ａ、１３ｂの引き出し電極１４ａ
、１４ｂ （この外周部１８の引き出し電極形成部を「
引き出し電極部Ａという）が被着されている。１７は外
周部１８上であって圧電振動部１９を囲む部分の一部に
形成された溝部で、該溝部１７の深さは外周部１８の厚
みの１／１００以上の深さを有することが好ましい。
１図に示す圧電振動子をＣ−０面で切断した断面図であ
る。第１図、第２図において、１９は圧電振動部で、該
圧電振動部１９の表面の一部の両面には該圧電振動部１
９を振動させるための電極１３ａ、１３ｂが被着されて
いる（この圧電振動部１９の電極形成部を１電極部」と
いう）。１８は圧電振動部１９を囲むように形成された
圧電振動子の外周部であり、該外周部１８の表面には図
に示すような電極１３ａ、１３ｂの引き出し電極１４ａ
、１４ｂ （この外周部１８の引き出し電極形成部を「
引き出し電極部Ａという）が被着されている。１７は外
周部１８上であって圧電振動部１９を囲む部分の一部に
形成された溝部で、該溝部１７の深さは外周部１８の厚
みの１／１００以上の深さを有することが好ましい。
以上の本実施例に係る圧電振動子は以下の方法により作
成される。
成される。
即ち、ＡＴカットなどの水晶からなる水晶素板をエツチ
ングすることにより圧電振動部１９を所望の振動周波数
を得る厚みまで減少させるとともに溝部１７もエツチン
グし、その後、電極１３ａ、１３ｂと引き出し電極１４
ａ、１４ｂを、金、銀、アルミニウム等の金属を真空蒸
着の方法またはスパッターなとの方法により該圧電振動
部１９及び外周部１８の両面に被着すれば、本発明に係
る圧電振動子が得られるのである。ここで、外周部１８
の厚みは、外部からの種々の力から圧電振動部１９を保
護するため、十分な厚みとすることが好ましく、特に圧
電振動部１９の厚みの２倍以上の厚みを有することが好
ましい。
ングすることにより圧電振動部１９を所望の振動周波数
を得る厚みまで減少させるとともに溝部１７もエツチン
グし、その後、電極１３ａ、１３ｂと引き出し電極１４
ａ、１４ｂを、金、銀、アルミニウム等の金属を真空蒸
着の方法またはスパッターなとの方法により該圧電振動
部１９及び外周部１８の両面に被着すれば、本発明に係
る圧電振動子が得られるのである。ここで、外周部１８
の厚みは、外部からの種々の力から圧電振動部１９を保
護するため、十分な厚みとすることが好ましく、特に圧
電振動部１９の厚みの２倍以上の厚みを有することが好
ましい。
第３図は第１図に示す圧電振動子の保持構造の一例を示
した図である。第３図において、１５は基台、１６．１
６は外部導出ピンであり、外部導出ピア１６，１６は引
き出し電極１４ａ、１４ｂに導電性接着材や半田などを
用いて固着される。
した図である。第３図において、１５は基台、１６．１
６は外部導出ピンであり、外部導出ピア１６，１６は引
き出し電極１４ａ、１４ｂに導電性接着材や半田などを
用いて固着される。
そして、この保持された圧電振動子はケース（図示せず
）により密封され、その内部は不活性ガス（窒素、アル
ゴン等）が封入されているかまたは真空となっている。
）により密封され、その内部は不活性ガス（窒素、アル
ゴン等）が封入されているかまたは真空となっている。
このように圧電振動子を弾性の少ない外部導出ピンで直
接保持すれば、第７図に示す従来例に比較し弾性を有す
るワイヤークリップが不要となるため、圧電振動子を確
実に保持できることとなる。
接保持すれば、第７図に示す従来例に比較し弾性を有す
るワイヤークリップが不要となるため、圧電振動子を確
実に保持できることとなる。
第４図乃至第６図は本発明に係る他の圧電振動子を示し
た図であり、第４図は第１図、第２図に示す圧電振動子
にカバーを取付けた圧電振動子を示す斜視図、第５図は
第４図に示す圧電振動子をＥ−Ｅ面で切断した断面図、
第６図は第４図に示す圧電振動子の電子機器等のプリン
ト基板への固着構造を示した図である。ここで２０はそ
の内部を密封、保護するためのカバーであり、外周部１
８の両表面に圧電振動部１９を密封、保護するように固
着される。カバー２０は水晶、コバール。
た図であり、第４図は第１図、第２図に示す圧電振動子
にカバーを取付けた圧電振動子を示す斜視図、第５図は
第４図に示す圧電振動子をＥ−Ｅ面で切断した断面図、
第６図は第４図に示す圧電振動子の電子機器等のプリン
ト基板への固着構造を示した図である。ここで２０はそ
の内部を密封、保護するためのカバーであり、外周部１
８の両表面に圧電振動部１９を密封、保護するように固
着される。カバー２０は水晶、コバール。
ガラスなどの材料によって形成されている。その固着は
エポキシ樹脂などの接着剤を用いて行なわれる。なお、
外周部１８のカバー２０と固着される両表面上には引き
出し電極１４ａ、１４ｂの一部が形成されているが、そ
の厚みは数１００オングストロームから数１０００オン
グストロームと非常に薄いので、カバー２０及び接着剤
で圧電振動部１９を密封する。障害とはならない。そし
て、密封された圧電振動部１９の周りの空隙部分２１に
は圧電振動部１９を物理的に安定な状態に維持するため
、不活性ガス（窒素、アルゴン等）を封入するかまたは
真空とする。第６図に示す２５はプリント基板、２４ａ
、２４ｂはプリント基板２５上に形成された導体層であ
る。２３は半田等の導電性固着剤であり、これによって
第４図、第５図に示す圧電振動子はプリント基板上に固
着され、かつ圧電振動子の引き出し電極１４ａ、１４ｂ
と導電性固着材２３を介して圧電振動部１９上の電極１
３ａ、１３ｂと導体層２４ａ、２４ｂが各々導通される
。圧電振動子をこのように保持すれば、第７図乃至第９
図に示す基台、ワイヤークリップ、外部導出ピンは不要
となり、第３図に示す保持構造に比較してもその構造が
簡単になり、圧電振動子の保持構造が小型化される。な
お、この構造で圧電振動子を保持する場合、圧電振動部
１９の電極を形成していない部分の一部に貫通穴を設け
れば、圧電振動部１９の上下の空隙部分２１．２１が導
通され、ガスの密度が一定となる。
エポキシ樹脂などの接着剤を用いて行なわれる。なお、
外周部１８のカバー２０と固着される両表面上には引き
出し電極１４ａ、１４ｂの一部が形成されているが、そ
の厚みは数１００オングストロームから数１０００オン
グストロームと非常に薄いので、カバー２０及び接着剤
で圧電振動部１９を密封する。障害とはならない。そし
て、密封された圧電振動部１９の周りの空隙部分２１に
は圧電振動部１９を物理的に安定な状態に維持するため
、不活性ガス（窒素、アルゴン等）を封入するかまたは
真空とする。第６図に示す２５はプリント基板、２４ａ
、２４ｂはプリント基板２５上に形成された導体層であ
る。２３は半田等の導電性固着剤であり、これによって
第４図、第５図に示す圧電振動子はプリント基板上に固
着され、かつ圧電振動子の引き出し電極１４ａ、１４ｂ
と導電性固着材２３を介して圧電振動部１９上の電極１
３ａ、１３ｂと導体層２４ａ、２４ｂが各々導通される
。圧電振動子をこのように保持すれば、第７図乃至第９
図に示す基台、ワイヤークリップ、外部導出ピンは不要
となり、第３図に示す保持構造に比較してもその構造が
簡単になり、圧電振動子の保持構造が小型化される。な
お、この構造で圧電振動子を保持する場合、圧電振動部
１９の電極を形成していない部分の一部に貫通穴を設け
れば、圧電振動部１９の上下の空隙部分２１．２１が導
通され、ガスの密度が一定となる。
第７図は、第４図、第５図に示す圧電振動子の他の実施
例を示す断面図で、第４図、第５図に示す圧電振動子の
カバー２０には、外周部１８の溝部の内側の部分の表面
に接触しないように、凹部が設けられて−いるのに対し
、第７図に示す圧電振動子は、そのカバー２０に該凹部
を設けず、外周部１８４）９部の内側の部分の厚みを外
側の部分の厚みより薄く構成している。
例を示す断面図で、第４図、第５図に示す圧電振動子の
カバー２０には、外周部１８の溝部の内側の部分の表面
に接触しないように、凹部が設けられて−いるのに対し
、第７図に示す圧電振動子は、そのカバー２０に該凹部
を設けず、外周部１８４）９部の内側の部分の厚みを外
側の部分の厚みより薄く構成している。
以上、本発明を実施例に従って詳細に説明したが、本発
明に係る圧電振動子は上記実施例に限定されるものでは
なく、圧電振動部、外周部の形状を円形、六角形等の他
の形状としてもよく、又、外周部上の溝部は外周部の全
周又は他の一部に形成してもよく、又、振動子は水晶で
なく他の圧電材料であってもよい、又、圧電振動子を第
３図に示すように保持させる場合は、外周部を圧電振動
部の全周に亘って形成する必要はなく、外部導出ピンと
接続する部分のみに外周部を設けてもよい。
明に係る圧電振動子は上記実施例に限定されるものでは
なく、圧電振動部、外周部の形状を円形、六角形等の他
の形状としてもよく、又、外周部上の溝部は外周部の全
周又は他の一部に形成してもよく、又、振動子は水晶で
なく他の圧電材料であってもよい、又、圧電振動子を第
３図に示すように保持させる場合は、外周部を圧電振動
部の全周に亘って形成する必要はなく、外部導出ピンと
接続する部分のみに外周部を設けてもよい。
（発明の効果）
以上のように圧電振動子を構成したので、〔１〕圧電振
動子の圧電振動部の振動が外周部上の溝部によって遮断
されこれによって該振動が外部に伝わりに〈〈、また逆
に〔２部外部の振動が圧電振動子に伝わったとしても圧
電振動子の外周部上の溝部によってその、振動は圧電振
動部にまでは伝わりにくく、さらにまた〔３部本発明に
係る圧電振動子の保持はその構造上、ワイヤークリップ
のような弾性のある材料を使用する必要はなく、圧電振
動子を確実に固定できる剛性率の高い材料を使用できる
ため、たとえ圧電振動子を小型化しても圧電振動子の周
りを保護するケースに圧電振動子が衝突することはなく
、該圧電振動子を破損する恐れがなくなる。
動子の圧電振動部の振動が外周部上の溝部によって遮断
されこれによって該振動が外部に伝わりに〈〈、また逆
に〔２部外部の振動が圧電振動子に伝わったとしても圧
電振動子の外周部上の溝部によってその、振動は圧電振
動部にまでは伝わりにくく、さらにまた〔３部本発明に
係る圧電振動子の保持はその構造上、ワイヤークリップ
のような弾性のある材料を使用する必要はなく、圧電振
動子を確実に固定できる剛性率の高い材料を使用できる
ため、たとえ圧電振動子を小型化しても圧電振動子の周
りを保護するケースに圧電振動子が衝突することはなく
、該圧電振動子を破損する恐れがなくなる。
また１本発明によれば、圧電振動部の厚みが薄くなって
も（例えば５０ｋｍ程度以下）、外周部により保護され
ることにより１組立時に破損しにくく、また、組立後に
あっても外部からの応力による圧電振動部のそり等がな
く破損を生じにくく、これによって従来の圧電振動子よ
りも高い周波数を得られる圧電振動子を容易に作成でき
る。
も（例えば５０ｋｍ程度以下）、外周部により保護され
ることにより１組立時に破損しにくく、また、組立後に
あっても外部からの応力による圧電振動部のそり等がな
く破損を生じにくく、これによって従来の圧電振動子よ
りも高い周波数を得られる圧電振動子を容易に作成でき
る。
さらに、゛本発明に係る圧電振動子を第４図、第５図に
示すようにカバーで覆う構成とすれば、従来の圧電振動
子に比べ、非常に小型化が図れるため、現今の非常に小
型化された電子機器等に要求される圧電振動子の大きさ
に対応できるという効果をも有する。 ′
示すようにカバーで覆う構成とすれば、従来の圧電振動
子に比べ、非常に小型化が図れるため、現今の非常に小
型化された電子機器等に要求される圧電振動子の大きさ
に対応できるという効果をも有する。 ′
第１図は本発明に係る圧電振動子の斜視図、第２図は８
８１図に示す圧電振動子をＣ−０面で切断した断面図で
ある。第３図は第１図に示す圧電振動子の保持構造の一
例を示した図である。第４図乃至第６図は本発明に係る
他の圧電振動子を示した図であり、第４図は第１図、第
２図に示す圧電振動子にカバーを取付けた圧電振動子を
示す斜視図、第５図は第４図に示す圧電振動子をＥ−Ｅ
面で切断した断面図、第６図は第４図に示す圧電振動子
の電子機器等のプリント基板、への固着構造を示した図
である。第７図は第４図、第５図に示す圧電振動子の他
の実施例を示す断面図である。第８図は従来の圧電振動
子の保持方法を示した一部切欠斜視図、第９図は従来の
圧電振動子の斜視図、第１Ｏ図は第９図に示す圧電振動
子をＡ−Ａ面で切断した断面図である。 １３ａ、ｔ３ｂｓ電極 １４ａ、１４ｂΦ引き出し電極 １７−溝部 １８−外周部 １９・圧電振動部 ２０・カバー 特許出願人 日木電波工業株式会社代 理
人 弁理士 辻 實（外１名） 第１図 第２図 第３図 １θ 第４図 γ′ 第６図 第７図 第８図 第１０図 ４ｂ ３ｂ
８１図に示す圧電振動子をＣ−０面で切断した断面図で
ある。第３図は第１図に示す圧電振動子の保持構造の一
例を示した図である。第４図乃至第６図は本発明に係る
他の圧電振動子を示した図であり、第４図は第１図、第
２図に示す圧電振動子にカバーを取付けた圧電振動子を
示す斜視図、第５図は第４図に示す圧電振動子をＥ−Ｅ
面で切断した断面図、第６図は第４図に示す圧電振動子
の電子機器等のプリント基板、への固着構造を示した図
である。第７図は第４図、第５図に示す圧電振動子の他
の実施例を示す断面図である。第８図は従来の圧電振動
子の保持方法を示した一部切欠斜視図、第９図は従来の
圧電振動子の斜視図、第１Ｏ図は第９図に示す圧電振動
子をＡ−Ａ面で切断した断面図である。 １３ａ、ｔ３ｂｓ電極 １４ａ、１４ｂΦ引き出し電極 １７−溝部 １８−外周部 １９・圧電振動部 ２０・カバー 特許出願人 日木電波工業株式会社代 理
人 弁理士 辻 實（外１名） 第１図 第２図 第３図 １θ 第４図 γ′ 第６図 第７図 第８図 第１０図 ４ｂ ３ｂ
Claims (3)
- （１）両面に励振用の電極部を形成した圧電振動部と、
圧電振動部より厚い厚みで該圧電振動部の外周に圧電振
動部と同一の材料で一体に形成し表面に励振用電極の引
き出し電極部を形成するとともに圧電振動部を囲む部分
に溝部を形成した外周部とを有する圧電振動子。 - （２）溝部の深さは外周部の厚みの少なくとも１／１０
０以上であることを特徴とする特許請求の範囲第（１）
項記載の圧電振動子。 - （３）両面に励振用の電極部を形成した圧電振動部と、
圧電振動部より厚い厚みで該圧電振動部の外周全体に圧
電振動部と同一の材料で一体に形成し表面に励振用電極
の引き出し電極部を形成するとともに圧電振動部を囲む
部分に溝部を形成した外周部と、該外周部の両表面上に
固着され圧電振動部を密封するカバーとを有する圧電振
動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59124742A JPH0642617B2 (ja) | 1984-06-18 | 1984-06-18 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59124742A JPH0642617B2 (ja) | 1984-06-18 | 1984-06-18 | 圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS613515A true JPS613515A (ja) | 1986-01-09 |
| JPH0642617B2 JPH0642617B2 (ja) | 1994-06-01 |
Family
ID=14892985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59124742A Expired - Fee Related JPH0642617B2 (ja) | 1984-06-18 | 1984-06-18 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0642617B2 (ja) |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3396287A (en) * | 1965-09-29 | 1968-08-06 | Piezo Technology Inc | Crystal structures and method of fabricating them |
| US3694677A (en) * | 1971-03-03 | 1972-09-26 | Us Army | Vhf-uhf piezoelectric resonators |
| JPS4834497A (ja) * | 1971-09-06 | 1973-05-18 | ||
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| JPS58172008A (ja) * | 1982-04-02 | 1983-10-08 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電振動子の構造及びその製造方法 |
-
1984
- 1984-06-18 JP JP59124742A patent/JPH0642617B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0642617B2 (ja) | 1994-06-01 |
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|---|---|---|---|
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