JPH0259647B2 - - Google Patents
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- JPH0259647B2 JPH0259647B2 JP58003781A JP378183A JPH0259647B2 JP H0259647 B2 JPH0259647 B2 JP H0259647B2 JP 58003781 A JP58003781 A JP 58003781A JP 378183 A JP378183 A JP 378183A JP H0259647 B2 JPH0259647 B2 JP H0259647B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0595—Holders; Supports the holder support and resonator being formed in one body
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、厚みすべり振動をする圧電振動子に
関し、特に振動特性が良好で小型化に適する圧電
振動子に関する。
関し、特に振動特性が良好で小型化に適する圧電
振動子に関する。
電子機器など種々の分野で使用されている圧電
振動子は、時計やコンピユータなどの小型化にと
もない、その小型化が要求されてきている。
振動子は、時計やコンピユータなどの小型化にと
もない、その小型化が要求されてきている。
第1図ないし第3図は従来の圧電振動子を示す
図である。図において、1は圧電振動子で、圧電
振動子1はATカツト等の水晶片2の両面に電極
3a,3bを設けることにより形成されている。
4a,4bは電極3a,3bの一部より外方へ延
びる端子部で、端子部4a,4bは互いに反対方
向に延びている。なお、前記電極3a,3b及び
端子部4a,4bは金、銀、アルミニウムなどの
金属を水晶片2の両面に蒸着することにより形成
される。
図である。図において、1は圧電振動子で、圧電
振動子1はATカツト等の水晶片2の両面に電極
3a,3bを設けることにより形成されている。
4a,4bは電極3a,3bの一部より外方へ延
びる端子部で、端子部4a,4bは互いに反対方
向に延びている。なお、前記電極3a,3b及び
端子部4a,4bは金、銀、アルミニウムなどの
金属を水晶片2の両面に蒸着することにより形成
される。
そして、上記圧電振動子1は基台5に設けたワ
イヤークリツプ6,6に挾持され、電極3a,3
bは端子4a,4b、ワイヤークリツプ6,6を
介して、外部導出ピン7,7に電気的に接続され
るものである。
イヤークリツプ6,6に挾持され、電極3a,3
bは端子4a,4b、ワイヤークリツプ6,6を
介して、外部導出ピン7,7に電気的に接続され
るものである。
しかしながら、以上の従来例にあつては、〔1〕
圧電振動子の振動部以外の水晶片の部分も振動し
てしまうこととなるばかりか、その振動がワイヤ
ークリツプ6,6を通じて外部に洩れることとな
り、このため不要な振動エネルギーが必要となり
実効抵抗が増加することとなり、また〔2〕外部
の振動が圧電振動子の振動部にワイヤークリツプ
6,6を通じて伝わつてしまうため、圧電振動子
の振動に不要振動が発生することとなり、さらに
また、〔3〕圧電振動子の振動部以外の水晶片の
部分が振動することに伴い、振動部の振動を減衰
させないためワイヤークリツプ6,6を弾性を有
する材料にする必要があるが、圧電振動子が落下
した場合など、圧電振動子に大きな衝撃を与える
と、第1図に図示していない圧電振動子の周りを
保護するケースに圧電振動子が衝突し、該圧電振
動子を破損してしまうこととなるなど種々の欠点
を有していた。
圧電振動子の振動部以外の水晶片の部分も振動し
てしまうこととなるばかりか、その振動がワイヤ
ークリツプ6,6を通じて外部に洩れることとな
り、このため不要な振動エネルギーが必要となり
実効抵抗が増加することとなり、また〔2〕外部
の振動が圧電振動子の振動部にワイヤークリツプ
6,6を通じて伝わつてしまうため、圧電振動子
の振動に不要振動が発生することとなり、さらに
また、〔3〕圧電振動子の振動部以外の水晶片の
部分が振動することに伴い、振動部の振動を減衰
させないためワイヤークリツプ6,6を弾性を有
する材料にする必要があるが、圧電振動子が落下
した場合など、圧電振動子に大きな衝撃を与える
と、第1図に図示していない圧電振動子の周りを
保護するケースに圧電振動子が衝突し、該圧電振
動子を破損してしまうこととなるなど種々の欠点
を有していた。
以上の欠点は圧電振動子が小型化すればするほ
ど圧電振動子の振動部と圧電振動子を保持するワ
イヤークリツプが近接するため顕著になつてく
る。
ど圧電振動子の振動部と圧電振動子を保持するワ
イヤークリツプが近接するため顕著になつてく
る。
本発明の目的は以上のような欠点を解消する圧
電振動子を提供することにある。
電振動子を提供することにある。
次に本発明の一実施例を、図面を用いて詳細に
説明する。
説明する。
第4図は本発明に係る圧電振動子の斜視図、第
5図は第4図に示す圧電振動子をC−C面で切断
した断面図、第6図は第4図に示す圧電振動子の
保持方法を示した図である。第4図ないし第6図
において、11は、厚みすべり振動をする円形の
振動部材12を含む圧電振動子であり、この振動
部材12の両面に振動電極13a,13bを被着
している。ここで電極13a,13bは金、銀、
アルミニウム等の金属を真空蒸着の方法またはス
パツターなどの方法により該圧電振動子11の両
面の所定部分に被着されるのである。18は振動
部材12を囲むように形成された圧電振動子11
の囲み部材である。本実施例においては振動部材
12と囲み部材18の厚みは同一となつている
が、両者の厚みが異なつてもさしつかえない。囲
み部材18の表面には図に示すような電極13
a,13bの端子部14a,14bが被着されて
いる。該端子部14a,14bの被着の方法は電
極13a,13bの圧電振動子11への被着の方
法と同じである。19は圧電振動子11の厚みの
中央と圧電振動子の囲み部材18の厚みの中央を
連結するサポート部材である。振動部材12と圧
電振動子の囲み部材18とサポート部材19は同
一のATカツトなどの水晶で一体に形成されてい
る。このサポート部材19は、水晶の圧電振動子
11表面をエツチングにより選択的に除去して形
成されるものであつて、これが振動部材12をそ
の厚みの中央部分で囲み部材18と連結するよう
にしたのは、振動部材12の両面が厚みすべり振
動をする時、厚みの中央部分でその振幅が最も小
さくなるからである。また、また、電極13a,
13bと端子部14a,14bを導通するため
に、サポート部材19の表面に、電極13a,1
3bを振動部材12に被着したのと同様の方法で
金、銀、アルミニウムなどの薄膜が被着される
が、この薄膜による引き出し電極が、振動部材1
2の厚みすべり振動を囲み部材18に伝えないよ
うにするために、振動部材12の振動方向である
X軸(電気軸)方向と垂直なZ′軸方向に設けるの
が好ましい。ただし、この薄膜はサポート部材1
9の一箇所のみに設ける必要はなく、数箇所に設
けてもよいことはいうまでもない。
5図は第4図に示す圧電振動子をC−C面で切断
した断面図、第6図は第4図に示す圧電振動子の
保持方法を示した図である。第4図ないし第6図
において、11は、厚みすべり振動をする円形の
振動部材12を含む圧電振動子であり、この振動
部材12の両面に振動電極13a,13bを被着
している。ここで電極13a,13bは金、銀、
アルミニウム等の金属を真空蒸着の方法またはス
パツターなどの方法により該圧電振動子11の両
面の所定部分に被着されるのである。18は振動
部材12を囲むように形成された圧電振動子11
の囲み部材である。本実施例においては振動部材
12と囲み部材18の厚みは同一となつている
が、両者の厚みが異なつてもさしつかえない。囲
み部材18の表面には図に示すような電極13
a,13bの端子部14a,14bが被着されて
いる。該端子部14a,14bの被着の方法は電
極13a,13bの圧電振動子11への被着の方
法と同じである。19は圧電振動子11の厚みの
中央と圧電振動子の囲み部材18の厚みの中央を
連結するサポート部材である。振動部材12と圧
電振動子の囲み部材18とサポート部材19は同
一のATカツトなどの水晶で一体に形成されてい
る。このサポート部材19は、水晶の圧電振動子
11表面をエツチングにより選択的に除去して形
成されるものであつて、これが振動部材12をそ
の厚みの中央部分で囲み部材18と連結するよう
にしたのは、振動部材12の両面が厚みすべり振
動をする時、厚みの中央部分でその振幅が最も小
さくなるからである。また、また、電極13a,
13bと端子部14a,14bを導通するため
に、サポート部材19の表面に、電極13a,1
3bを振動部材12に被着したのと同様の方法で
金、銀、アルミニウムなどの薄膜が被着される
が、この薄膜による引き出し電極が、振動部材1
2の厚みすべり振動を囲み部材18に伝えないよ
うにするために、振動部材12の振動方向である
X軸(電気軸)方向と垂直なZ′軸方向に設けるの
が好ましい。ただし、この薄膜はサポート部材1
9の一箇所のみに設ける必要はなく、数箇所に設
けてもよいことはいうまでもない。
15は基台、16,16は外部導出ピンであ
り、外部導出ピン16,16は電極の端子部14
a,14bに導電性接着材や半田などを用いて固
着される。
り、外部導出ピン16,16は電極の端子部14
a,14bに導電性接着材や半田などを用いて固
着される。
以上のように圧電振動子を構成したので、〔1〕
圧電振動子の振動部以外の水晶片の部分にその振
動が伝わりにくく、また逆に〔2〕外部の振動が
圧電振動子の囲み部材に伝わつたとしても該囲み
部材の振動は圧電振動子にまで伝わりにくく、さ
らにまた、〔3〕圧電振動子とその囲み部材の間
の振動の伝導が少ないため、その保持をワイヤー
クリツプのような弾性のあるものとする必要はな
く、弾性の少ない外部導出ピンをそのまま、また
は、これと同様の部材を用いることができ、これ
によつて圧電振動子を確実に保持できることとな
る。
圧電振動子の振動部以外の水晶片の部分にその振
動が伝わりにくく、また逆に〔2〕外部の振動が
圧電振動子の囲み部材に伝わつたとしても該囲み
部材の振動は圧電振動子にまで伝わりにくく、さ
らにまた、〔3〕圧電振動子とその囲み部材の間
の振動の伝導が少ないため、その保持をワイヤー
クリツプのような弾性のあるものとする必要はな
く、弾性の少ない外部導出ピンをそのまま、また
は、これと同様の部材を用いることができ、これ
によつて圧電振動子を確実に保持できることとな
る。
第7図aは以上のように構成した圧電振動子と
第1図に示す従来の圧電振動子を同一の外形寸
法、電極寸法で作成した上で両者の実効抵抗を測
定し比較した実験値を示すもので、同図bは同図
aとは圧電振動子の電極寸法を変えた上でaと同
様に両者の実効抵抗を測定し比較した実験値を示
す図である。ここで縦軸は実効抵抗(オーム)、
横軸は度数を示し、Γは従来の圧電振動子の実効
抵抗を、×は本発明に係る圧電振動子の実効抵抗
を示す。
第1図に示す従来の圧電振動子を同一の外形寸
法、電極寸法で作成した上で両者の実効抵抗を測
定し比較した実験値を示すもので、同図bは同図
aとは圧電振動子の電極寸法を変えた上でaと同
様に両者の実効抵抗を測定し比較した実験値を示
す図である。ここで縦軸は実効抵抗(オーム)、
横軸は度数を示し、Γは従来の圧電振動子の実効
抵抗を、×は本発明に係る圧電振動子の実効抵抗
を示す。
この図からわかるように、本発明に係る圧電振
動子の実効抵抗は従来の圧電振動子に比較し、そ
の平均値で約1/2以下となり、しかも実効抵抗の
製品バラツキも著しく少なくなつている。
動子の実効抵抗は従来の圧電振動子に比較し、そ
の平均値で約1/2以下となり、しかも実効抵抗の
製品バラツキも著しく少なくなつている。
なお、本発明に係る圧電振動子に用いる水晶板
は通常用いられているエツチング技術により作成
すればよい。
は通常用いられているエツチング技術により作成
すればよい。
以上詳細に説明したように、本発明は両側板面
に励振電極を被着して厚みすべり振動を励振され
る振動部材と、この振動部材を囲んで形成され端
子電極が設けられる囲み部材と、前記振動部材よ
り薄く形成され振動部材の厚みの中央部分と前記
囲み部材とを連結するサポート部材とからなり、
これら振動部材、囲み部材及びサポート部材を同
一の材料からエツチング加工により形成したの
で、圧電振動子の耐衝撃性を高めると同時に、振
動子材料のエツチング時間を短縮して生産性を高
めることができる。〔1〕圧電振動子の振動がワ
イヤークリツプ6,6を通じて外部に洩れること
がほとんどなくなり、このため実効抵抗が著しく
減少するという効果を有し、また、〔2〕外部の
振動が圧電振動子の振動部にほとんど伝わらない
ため、圧電振動子の振動に不要振動がほとんど生
じないという効果も有する。さらにまた、〔3〕
圧電振動子の保持にワイヤークリツプのような弾
性のある材料を使用する必要はなく、圧電振動子
を確実に固定できる剛性率の高い材料を使用でき
るため、たとえ圧電振動子を小型化しても圧電振
動子の周りを保護するケースに圧電振動子が衝突
することはなく、該圧電振動子を破損する恐がな
いという効果をも有する。
に励振電極を被着して厚みすべり振動を励振され
る振動部材と、この振動部材を囲んで形成され端
子電極が設けられる囲み部材と、前記振動部材よ
り薄く形成され振動部材の厚みの中央部分と前記
囲み部材とを連結するサポート部材とからなり、
これら振動部材、囲み部材及びサポート部材を同
一の材料からエツチング加工により形成したの
で、圧電振動子の耐衝撃性を高めると同時に、振
動子材料のエツチング時間を短縮して生産性を高
めることができる。〔1〕圧電振動子の振動がワ
イヤークリツプ6,6を通じて外部に洩れること
がほとんどなくなり、このため実効抵抗が著しく
減少するという効果を有し、また、〔2〕外部の
振動が圧電振動子の振動部にほとんど伝わらない
ため、圧電振動子の振動に不要振動がほとんど生
じないという効果も有する。さらにまた、〔3〕
圧電振動子の保持にワイヤークリツプのような弾
性のある材料を使用する必要はなく、圧電振動子
を確実に固定できる剛性率の高い材料を使用でき
るため、たとえ圧電振動子を小型化しても圧電振
動子の周りを保護するケースに圧電振動子が衝突
することはなく、該圧電振動子を破損する恐がな
いという効果をも有する。
第1図は従来の圧電振動子の保持方法を示した
図、第2図は従来の圧電振動子の斜視図、第3図
は第2図に示す圧電振動子をA−A面で切断した
断面図である。第4図は本発明に係る圧電振動子
の斜視図、第5図は第4図に示す圧電振動子をC
−C面で切断した断面図、第6図は第4図に示す
圧電振動子の保持方法を示した図である。第7図
aは本発明に係る圧電振動子と従来の第1図に示
した圧電振動子を同一の外形寸法、電極寸法で作
成した上で両者の実効抵抗を測定し比較した実験
値を示す図で、第7図bは第7図aとは圧電振動
子の電極寸法を変えた上で第7図aと同様に両者
の実効抵抗を測定し比較した実験値を示す図であ
る。 1・圧電振動子、2・水晶片、3a・電極、3
b・電極、4a・端子部、4b・端子部、5・基
台、6・ワイヤークリツプ、7・外部導出ピン、
11・圧電振動子、13a・電極、13b・電
極、14a・端子部、14b・端子部、15・基
台、16・外部導出ピン、18・圧電振動子の囲
み部材、19・サポート部材。
図、第2図は従来の圧電振動子の斜視図、第3図
は第2図に示す圧電振動子をA−A面で切断した
断面図である。第4図は本発明に係る圧電振動子
の斜視図、第5図は第4図に示す圧電振動子をC
−C面で切断した断面図、第6図は第4図に示す
圧電振動子の保持方法を示した図である。第7図
aは本発明に係る圧電振動子と従来の第1図に示
した圧電振動子を同一の外形寸法、電極寸法で作
成した上で両者の実効抵抗を測定し比較した実験
値を示す図で、第7図bは第7図aとは圧電振動
子の電極寸法を変えた上で第7図aと同様に両者
の実効抵抗を測定し比較した実験値を示す図であ
る。 1・圧電振動子、2・水晶片、3a・電極、3
b・電極、4a・端子部、4b・端子部、5・基
台、6・ワイヤークリツプ、7・外部導出ピン、
11・圧電振動子、13a・電極、13b・電
極、14a・端子部、14b・端子部、15・基
台、16・外部導出ピン、18・圧電振動子の囲
み部材、19・サポート部材。
Claims (1)
- 1 両側板面に励振電極を被着して厚みすべり振
動を励振される振動部材と、この振動部材を囲ん
で形成され端子電極が設けられる囲み部材と、前
記振動部材より薄く形成され振動部材の厚みの中
央部分と前記囲み部材とを連結するサポート部材
とからなり、これら振動部材、囲み部材及びサポ
ート部材を同一の材料からエツチング加工により
形成したことを特徴とする圧電振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP378183A JPS59128813A (ja) | 1983-01-13 | 1983-01-13 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP378183A JPS59128813A (ja) | 1983-01-13 | 1983-01-13 | 圧電振動子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59128813A JPS59128813A (ja) | 1984-07-25 |
JPH0259647B2 true JPH0259647B2 (ja) | 1990-12-13 |
Family
ID=11566727
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP378183A Granted JPS59128813A (ja) | 1983-01-13 | 1983-01-13 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59128813A (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69129957T2 (de) * | 1990-04-27 | 1998-12-24 | Seiko Epson Corp., Tokio/Tokyo | In AT-Richtung geschnittenes Kristalloszillatorelement und sein Herstellungsverfahren |
JP3094717B2 (ja) * | 1993-02-09 | 2000-10-03 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振部品 |
EP0818882A3 (en) * | 1996-07-10 | 1999-12-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Energy trapping piezoelectric device and producing method thereof |
US6016025A (en) * | 1997-05-15 | 2000-01-18 | M-Tron Industries, Inc. | Selected overtone resonator with channels |
JP2007056521A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Shimizu Corp | ひび割れ誘発目地構造 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4827689A (ja) * | 1971-08-12 | 1973-04-12 | ||
JPS5729085A (en) * | 1980-07-29 | 1982-02-16 | Ricoh Kk | Indication controlling method for crt display unit |
-
1983
- 1983-01-13 JP JP378183A patent/JPS59128813A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4827689A (ja) * | 1971-08-12 | 1973-04-12 | ||
JPS5729085A (en) * | 1980-07-29 | 1982-02-16 | Ricoh Kk | Indication controlling method for crt display unit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS59128813A (ja) | 1984-07-25 |
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