JPS61249075A - 薄膜elパネルの製造方法 - Google Patents
薄膜elパネルの製造方法Info
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- JPS61249075A JPS61249075A JP60090140A JP9014085A JPS61249075A JP S61249075 A JPS61249075 A JP S61249075A JP 60090140 A JP60090140 A JP 60090140A JP 9014085 A JP9014085 A JP 9014085A JP S61249075 A JPS61249075 A JP S61249075A
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Landscapes
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、平面薄型ディスプレイ・デバイスとして、文
字、記号及び図形等を含むコンピュータの出力表示端末
機器その他種々の表示装置に文字、記号及び図形等の静
止画像、動画像の表示手段として利用される薄膜ELパ
ネルに関し、より詳しくは外気との遮断を確実にした薄
膜ELパネルに関する。
字、記号及び図形等を含むコンピュータの出力表示端末
機器その他種々の表示装置に文字、記号及び図形等の静
止画像、動画像の表示手段として利用される薄膜ELパ
ネルに関し、より詳しくは外気との遮断を確実にした薄
膜ELパネルに関する。
この種の薄膜ELパネル1は、第4図に示すものがあっ
た。
た。
先ず、薄膜EL素子2は、ガラス板等の透明基板3上に
、In2 03 、 Sn 02等からなる透明電極4
を複数帯状に平行配列し、次にY2O3゜Ta2 o
5等からなる第1誘電体層5と、発光中心として0.1
〜2.0wt%のHn(又はTb、 Sll、 Cu。
、In2 03 、 Sn 02等からなる透明電極4
を複数帯状に平行配列し、次にY2O3゜Ta2 o
5等からなる第1誘電体層5と、発光中心として0.1
〜2.0wt%のHn(又はTb、 Sll、 Cu。
A4.Br等)をドープしたZn5(又はZn5e等)
のEL発光層6と、Y2 03 、 Ta2 05等カ
ラなる第2誘電体層7とを順次積層し、そしてAi、T
a。
のEL発光層6と、Y2 03 、 Ta2 05等カ
ラなる第2誘電体層7とを順次積層し、そしてAi、T
a。
HO等からなる背面電極8を前述した透明電極4と直交
する方向に複数帯状に平行配列して形成される。この透
明電極4と背面電極8とが平面図的に見て交差する領域
がパネルの1絵素に相当し、両電極に交流電圧を印加す
ることにより、EL発光層6内に発生した電界によって
伝導帯に励起され、かつ加速されて充分なエネルギーを
得た電子が直接Hn発光中心を励起し、この励起された
Hn発光中心が基底状態に戻る際に黄色の発光を呈する
。
する方向に複数帯状に平行配列して形成される。この透
明電極4と背面電極8とが平面図的に見て交差する領域
がパネルの1絵素に相当し、両電極に交流電圧を印加す
ることにより、EL発光層6内に発生した電界によって
伝導帯に励起され、かつ加速されて充分なエネルギーを
得た電子が直接Hn発光中心を励起し、この励起された
Hn発光中心が基底状態に戻る際に黄色の発光を呈する
。
このような薄膜EL素子2は、外気、特に湿気に対して
極めて弱く、空気中の僅かな湿気が薄膜EL素子に吸着
しても、それが誘電体層等の薄膜のピンホール等に侵入
して、その抵抗を下げるため、結果的に過大な電流が流
れて局部的に発熱することにより、薄膜が基板から剥離
し又は、絶縁破壊を起こして、素子の寿命が低下する。
極めて弱く、空気中の僅かな湿気が薄膜EL素子に吸着
しても、それが誘電体層等の薄膜のピンホール等に侵入
して、その抵抗を下げるため、結果的に過大な電流が流
れて局部的に発熱することにより、薄膜が基板から剥離
し又は、絶縁破壊を起こして、素子の寿命が低下する。
そこで、このような空気中の湿気から薄膜EL素子2を
保護するために、上部に貫通孔9を設けた外囲器10が
薄膜EL素子2を包囲して設けられている。そして、こ
の外囲器10と透明基板3とで形成した空間内の大気を
貫通孔9から排出し、次に、この貫通孔9から防湿流体
11を注入し、その俵、前記貫通孔9を接着剤12等に
より封止して、この薄膜ELパネル1を製作した。
保護するために、上部に貫通孔9を設けた外囲器10が
薄膜EL素子2を包囲して設けられている。そして、こ
の外囲器10と透明基板3とで形成した空間内の大気を
貫通孔9から排出し、次に、この貫通孔9から防湿流体
11を注入し、その俵、前記貫通孔9を接着剤12等に
より封止して、この薄膜ELパネル1を製作した。
(発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、従来の薄膜ELパネルは、薄膜EL素子
の封止工程において、外囲器と透明基板とによって形成
された空間内にオイル等の防湿流体を注入するために、
外囲器に貫通孔を設けなくてはならず、また、この注入
前に前記空間内の大気を排出しなくてはならず、さらに
、この排出のために真空装置を必要とすることから、薄
膜ELパネルの製作が困難であり、かつ製作するための
装置が大型化になる欠点があった。
の封止工程において、外囲器と透明基板とによって形成
された空間内にオイル等の防湿流体を注入するために、
外囲器に貫通孔を設けなくてはならず、また、この注入
前に前記空間内の大気を排出しなくてはならず、さらに
、この排出のために真空装置を必要とすることから、薄
膜ELパネルの製作が困難であり、かつ製作するための
装置が大型化になる欠点があった。
本発明は、前記事情に鑑みてなされたものであり、その
目的は、製作が容易で、かつ薄膜EL素子を外気から確
実に遮断する構造を有する薄膜ELパネルを提供するこ
とである。
目的は、製作が容易で、かつ薄膜EL素子を外気から確
実に遮断する構造を有する薄膜ELパネルを提供するこ
とである。
前記目的を達成するために、本発明は、透明電極と背面
電極とを設け、前記透明電極と前記背面電極との間にE
1発光層及び誘電体層を介在せしめた薄膜EL素子を透
明基板上に有する薄膜ELパネルにおいて、前記薄膜E
L素子を被覆する保護用流体と、前記背面電極の後方に
位置する前記保護用流体上に配設した第1板状カバーと
、前記第1板状カバー上に配設した第2板状カバーと、
前記第2板状カバーの少なくとも周縁近傍及び前記透明
基板を接着する封止用接着剤とを具備したことを特徴と
する。
電極とを設け、前記透明電極と前記背面電極との間にE
1発光層及び誘電体層を介在せしめた薄膜EL素子を透
明基板上に有する薄膜ELパネルにおいて、前記薄膜E
L素子を被覆する保護用流体と、前記背面電極の後方に
位置する前記保護用流体上に配設した第1板状カバーと
、前記第1板状カバー上に配設した第2板状カバーと、
前記第2板状カバーの少なくとも周縁近傍及び前記透明
基板を接着する封止用接着剤とを具備したことを特徴と
する。
ここで、保護用流体としては、ピンホールへの浸透性が
あり、絶縁耐圧が高く、耐熱性、耐湿性に優れ、薄膜E
L素子構成膜と反応せず、蒸気圧。
あり、絶縁耐圧が高く、耐熱性、耐湿性に優れ、薄膜E
L素子構成膜と反応せず、蒸気圧。
熱膨張係数の小さいシリコンオイル、真空グリース等の
流動性物質であることが望ましい。
流動性物質であることが望ましい。
以下、本発明の実施例を図に基づいて詳述する。
本実施例を第1図及び第2図に基づいて説明する。
本実施例の薄膜ELパネル20は、第1図のような構造
となっている。すなわち、21はアルミノボロシリケー
トガラス(例えば、HA−40(HOYA株式会社製)
)からなる透明基板、22はスズ酸化物を混入した酸化
インジウムからなる透明電極(膜厚: 2G00人)、
23は酸化イツトリウムからなる第1誘電体層(膜厚:
3000人)、24はマンガンを添加したZnSから
なるEL発光層(膜厚: 5000人)、25は酸化イ
ツトリウムからなる第2誘電体層(膜厚: 3G00人
)、26はAlか、らなる背面型、極(膜厚: 3G0
0人)、27は前述した透明電極22.第1誘電体層2
3.EL発光[924,第2誘電体層25及び背面電極
26からなる薄111EL素子、28はソーダライムガ
ラスからなる第1板状カバー(35mm角で、厚さは0
.4+em) 、29はシリコンオイルからなる保護用
流体、30はアルミノボロシリケートガラスからなる第
2板状カバー(391角で、厚さは11m)及び31は
熱硬化性樹脂接着剤(例えば、エポキシ樹脂接着剤)で
ある封止用接着剤である。
となっている。すなわち、21はアルミノボロシリケー
トガラス(例えば、HA−40(HOYA株式会社製)
)からなる透明基板、22はスズ酸化物を混入した酸化
インジウムからなる透明電極(膜厚: 2G00人)、
23は酸化イツトリウムからなる第1誘電体層(膜厚:
3000人)、24はマンガンを添加したZnSから
なるEL発光層(膜厚: 5000人)、25は酸化イ
ツトリウムからなる第2誘電体層(膜厚: 3G00人
)、26はAlか、らなる背面型、極(膜厚: 3G0
0人)、27は前述した透明電極22.第1誘電体層2
3.EL発光[924,第2誘電体層25及び背面電極
26からなる薄111EL素子、28はソーダライムガ
ラスからなる第1板状カバー(35mm角で、厚さは0
.4+em) 、29はシリコンオイルからなる保護用
流体、30はアルミノボロシリケートガラスからなる第
2板状カバー(391角で、厚さは11m)及び31は
熱硬化性樹脂接着剤(例えば、エポキシ樹脂接着剤)で
ある封止用接着剤である。
次に、本゛例の製造工程を第2図(a)〜(C)に基づ
いて説明する。
いて説明する。
先ず、透明基板21上に、スズ酸化物を混入した酸化イ
ンジウムを素材にして真空蒸着法により、横方向に多数
帯状の透明電極22を成膜する。この透明電極22の引
出部は交互に周縁に向かって延在させている。次に、同
様な製法により、酸化イツトリウム(Y2 03 )を
素材にして第1誘電体層23と、活性物質としてo、
swt%のマンガン(Hn)を添加したZnS:Hn焼
結ペレットを素材にしてEL発光層24と、第1i1!
!電体層23と同様な物質を素材にして第2誘電体層2
5を順次成膜し、次に、この第2誘電体層25上に、同
様な製法により、アルミニウム(Ai)を素材にして前
述した透明電極22と互いに交差するように縦方向に多
数帯状の背面電極26を成膜する。なお1.この背面電
極26も周縁に向かって互に引出部を延在させている。
ンジウムを素材にして真空蒸着法により、横方向に多数
帯状の透明電極22を成膜する。この透明電極22の引
出部は交互に周縁に向かって延在させている。次に、同
様な製法により、酸化イツトリウム(Y2 03 )を
素材にして第1誘電体層23と、活性物質としてo、
swt%のマンガン(Hn)を添加したZnS:Hn焼
結ペレットを素材にしてEL発光層24と、第1i1!
!電体層23と同様な物質を素材にして第2誘電体層2
5を順次成膜し、次に、この第2誘電体層25上に、同
様な製法により、アルミニウム(Ai)を素材にして前
述した透明電極22と互いに交差するように縦方向に多
数帯状の背面電極26を成膜する。なお1.この背面電
極26も周縁に向かって互に引出部を延在させている。
そして、両電極の引出部を除いた、透明電極22と背面
電極26との間にEL発光層24と第1及び第2誘電体
層23.25を介在して、薄膜EL素子27を構成する
。次に、前記薄膜EL素子27を設けた透明電極21を
ホットプレート等の加熱器に載置し、100〜300℃
(例えば、130℃)で加熱し、薄膜EL素子27の表
面及び内部に存する水分と、透明基板21に付着した水
分とを除去する。次に、この加熱状態で、前記背面電極
26上に保護用流体29(水分を十分に除去したシリコ
ンオイル。)を注射器等の滴下冶具(図示せず。)によ
り0.2cc滴下する(同図(a))。なお、この滴下
量は、保護すべき薄膜EL素子の大きさによって適宜決
定すればよい。
電極26との間にEL発光層24と第1及び第2誘電体
層23.25を介在して、薄膜EL素子27を構成する
。次に、前記薄膜EL素子27を設けた透明電極21を
ホットプレート等の加熱器に載置し、100〜300℃
(例えば、130℃)で加熱し、薄膜EL素子27の表
面及び内部に存する水分と、透明基板21に付着した水
分とを除去する。次に、この加熱状態で、前記背面電極
26上に保護用流体29(水分を十分に除去したシリコ
ンオイル。)を注射器等の滴下冶具(図示せず。)によ
り0.2cc滴下する(同図(a))。なお、この滴下
量は、保護すべき薄膜EL素子の大きさによって適宜決
定すればよい。
次に、前記加熱状態で、前記滴下された保護用流体2.
9上に、第1板状カバー28を置く。この際、第1板状
カバー28は、全絵素を覆うような位置に置く。そうす
ると、滴下された保護用流体29は、薄膜EL素子27
を被覆するように広がる。すなわち、滴下された保護用
流体29は、第1板状カバー28の重量と保護用流体2
9自体の表面張力により、大気を混入させることなく広
がる(同図(b))。
9上に、第1板状カバー28を置く。この際、第1板状
カバー28は、全絵素を覆うような位置に置く。そうす
ると、滴下された保護用流体29は、薄膜EL素子27
を被覆するように広がる。すなわち、滴下された保護用
流体29は、第1板状カバー28の重量と保護用流体2
9自体の表面張力により、大気を混入させることなく広
がる(同図(b))。
次に、前記加熱状態で、前記第1板状カバー28用接着
剤31を、第2板状カバー30と透明基板21との間に
注入するために、第2板状カバー30の周縁が、第1板
状カバー28から突出するように設置する(同図(C)
)。なお、第2板状カバー30の移動を防止するために
、接着剤によって、第1板状カバー28に固着してもよ
い。
剤31を、第2板状カバー30と透明基板21との間に
注入するために、第2板状カバー30の周縁が、第1板
状カバー28から突出するように設置する(同図(C)
)。なお、第2板状カバー30の移動を防止するために
、接着剤によって、第1板状カバー28に固着してもよ
い。
次に、前述したと同様の加熱状態で、透明基板21、保
護用流体29及び第2板状カバー30とによって形成さ
れた空間に、封止用接着剤31を注射器等の注入治具(
図示せず。)により注入し、薄膜EL素子27.保護用
流体29及び第1板状カバー28を封止し、本例の薄膜
ELパネル20を製作する(第1図参照)。この封止用
接着剤31を注入するとき、第1板状カバー28及び保
護用流体29がスペーサの作用をし、容易に封止用接着
剤31を注入することができる。なお、封止用接着剤と
して使用した熱硬化性樹脂接着剤それ自体は既に知られ
ているように、硬化剤又は触媒の添加により硬化する接
着剤であり、その性質として接着力が高く、耐湿性、耐
熱性がある。
護用流体29及び第2板状カバー30とによって形成さ
れた空間に、封止用接着剤31を注射器等の注入治具(
図示せず。)により注入し、薄膜EL素子27.保護用
流体29及び第1板状カバー28を封止し、本例の薄膜
ELパネル20を製作する(第1図参照)。この封止用
接着剤31を注入するとき、第1板状カバー28及び保
護用流体29がスペーサの作用をし、容易に封止用接着
剤31を注入することができる。なお、封止用接着剤と
して使用した熱硬化性樹脂接着剤それ自体は既に知られ
ているように、硬化剤又は触媒の添加により硬化する接
着剤であり、その性質として接着力が高く、耐湿性、耐
熱性がある。
以上のように、本例によれば、製作を容易にすることが
できる構造であり、また第1板状カバー28を用い、滴
下した保護用流体29を広げて薄膜EL素子27を被覆
しているので、この被覆された保護用流体29によって
囲まれた内部には、大気の侵入を防止することができる
。さらに、本例を加熱状ff11(100〜300℃)
で製作することから、透明基板21.第2板状カバー3
0及び封止用接着剤31で囲まれた内部は、湿気が除去
された状態となり、かつ第1板状カバー28及び保護用
流体29によって、薄膜EL素子27は一層湿気から保
護される。したがって、初期発光輝度(約150cd/
+a2 )は、400時間経過してもほぼ一定に保持さ
れ、薄膜EL素子27の寿命を長くすることができる(
第3図の線A参照。)。また、本例の透明基板と第2板
状カバーとが同一のガラスからなっているので、その熱
膨張係数の相違による接着効果の低減を防止することも
できる。
できる構造であり、また第1板状カバー28を用い、滴
下した保護用流体29を広げて薄膜EL素子27を被覆
しているので、この被覆された保護用流体29によって
囲まれた内部には、大気の侵入を防止することができる
。さらに、本例を加熱状ff11(100〜300℃)
で製作することから、透明基板21.第2板状カバー3
0及び封止用接着剤31で囲まれた内部は、湿気が除去
された状態となり、かつ第1板状カバー28及び保護用
流体29によって、薄膜EL素子27は一層湿気から保
護される。したがって、初期発光輝度(約150cd/
+a2 )は、400時間経過してもほぼ一定に保持さ
れ、薄膜EL素子27の寿命を長くすることができる(
第3図の線A参照。)。また、本例の透明基板と第2板
状カバーとが同一のガラスからなっているので、その熱
膨張係数の相違による接着効果の低減を防止することも
できる。
以上、前記実施例において、透明基板21と第2板状カ
バー30の材質として共に、アルミノボロシリケードガ
ラスを用いたが、同一の材質でなくても熱膨張係数が実
質的に等しければよく、例えば、ソーダライムガラス等
の多成分系のガラス、石英ガラスでもよい。また、第1
板状カバー28はソーダライムガラスを用いたが他のガ
ラスでもよく、さらにガラスに限らず、絶縁性、耐熱性
及び保護用流体と反応しない材質、例えばセラミックス
、テフロン等の材質からなる板状物であってもよい。
バー30の材質として共に、アルミノボロシリケードガ
ラスを用いたが、同一の材質でなくても熱膨張係数が実
質的に等しければよく、例えば、ソーダライムガラス等
の多成分系のガラス、石英ガラスでもよい。また、第1
板状カバー28はソーダライムガラスを用いたが他のガ
ラスでもよく、さらにガラスに限らず、絶縁性、耐熱性
及び保護用流体と反応しない材質、例えばセラミックス
、テフロン等の材質からなる板状物であってもよい。
また、第1板状カバー28の厚さは、前記実施例の0、
411に限定されないが、極端に厚くすると封止用接着
剤31も厚くなるので、外気の湿気がこの接着剤31に
侵入しやすくなる。したがって、望ましくは約51以下
がよい。また、封止用接着剤31として熱硬化性樹脂接
着剤を用いたが、他の接着剤、例えば光硬化接着剤を用
いてもよい。しかし、薄膜ELパネルから湿気を除去す
るために、加熱状態で製作するときは、その接着作業の
容易性から熱硬化性樹脂接着剤がよい。また、熱硬化性
樹脂接着剤としてエポキシ樹脂接着剤の他に、シリコン
樹脂などの耐熱性、耐湿性のものでもよい。また、第2
板状カバー30は、封止用接着剤31と共に第1板状カ
バー28及び保護用流体29を固定するためのものであ
るから、その大きさ、形状は所望するl膜ELパネルの
形状によって適宜決定すればよい。薄膜EL素子の構造
及び材質については、勿論限定されない。
411に限定されないが、極端に厚くすると封止用接着
剤31も厚くなるので、外気の湿気がこの接着剤31に
侵入しやすくなる。したがって、望ましくは約51以下
がよい。また、封止用接着剤31として熱硬化性樹脂接
着剤を用いたが、他の接着剤、例えば光硬化接着剤を用
いてもよい。しかし、薄膜ELパネルから湿気を除去す
るために、加熱状態で製作するときは、その接着作業の
容易性から熱硬化性樹脂接着剤がよい。また、熱硬化性
樹脂接着剤としてエポキシ樹脂接着剤の他に、シリコン
樹脂などの耐熱性、耐湿性のものでもよい。また、第2
板状カバー30は、封止用接着剤31と共に第1板状カ
バー28及び保護用流体29を固定するためのものであ
るから、その大きさ、形状は所望するl膜ELパネルの
形状によって適宜決定すればよい。薄膜EL素子の構造
及び材質については、勿論限定されない。
以上のとおり、本発明によれば、薄膜EL素子を保護用
流体と第1板状カバー、さらに封止用接着剤と第2板状
カバーで二重に封止していることから、従来と比較して
一層外気から遮断され、また、従来のような真空装置を
用いず、さらに板状カバーに穴をあけ加工も必要としな
いので、容易に製作することができる。
流体と第1板状カバー、さらに封止用接着剤と第2板状
カバーで二重に封止していることから、従来と比較して
一層外気から遮断され、また、従来のような真空装置を
用いず、さらに板状カバーに穴をあけ加工も必要としな
いので、容易に製作することができる。
第1図は本発明の一実施例を示す断面図、第2図(a)
〜(C)は前記実施例の製作工程を示す断面図、第3図
は前記実施例の発光輝度−駆動時間特性を示す図であり
、第4図は従来の薄膜ELパネルを示す断面図である。
〜(C)は前記実施例の製作工程を示す断面図、第3図
は前記実施例の発光輝度−駆動時間特性を示す図であり
、第4図は従来の薄膜ELパネルを示す断面図である。
Claims (3)
- (1) 透明電極と背面電極とを設け、前記透明電極と
前記背面電極との間にEL発光層及び誘電体層を介在せ
しめた薄膜EL素子を透明基板上に有する薄膜ELパネ
ルにおいて、前記薄膜EL素子を被覆する保護用流体と
、前記背面電極の後方に位置する前記保護用流体上に配
設した第1板状カバーと、前記第1板状カバー上に配設
した第2板状カバーと、前記第2板状カバーの少なくと
も周縁近傍及び前記透明基板を接着する封止用接着剤と
を具備したことを特徴とする薄膜ELパネル。 - (2) 前記封止用接着剤が熱硬化性樹脂接着剤からな
ることを特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載の薄
膜ELパネル。 - (3) 前記透明基板と前記第2板状カバーの各熱膨張
係数が実質的に等しい材料からなることを特徴とする特
許請求の範囲第(1)項又は第(2)項記載の薄膜EL
パネル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60090140A JPS61249075A (ja) | 1985-04-26 | 1985-04-26 | 薄膜elパネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60090140A JPS61249075A (ja) | 1985-04-26 | 1985-04-26 | 薄膜elパネルの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61249075A true JPS61249075A (ja) | 1986-11-06 |
JPH0356640B2 JPH0356640B2 (ja) | 1991-08-28 |
Family
ID=13990203
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60090140A Granted JPS61249075A (ja) | 1985-04-26 | 1985-04-26 | 薄膜elパネルの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61249075A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5648092A (en) * | 1979-09-26 | 1981-05-01 | Sharp Kk | Thin film el panel |
JPS5675621A (en) * | 1979-11-26 | 1981-06-22 | Hitachi Ltd | Production of liquid crystal display element |
JPS5692581A (en) * | 1979-12-27 | 1981-07-27 | Sharp Kk | Thin film el panel |
JPS6068587A (ja) * | 1983-09-24 | 1985-04-19 | シャープ株式会社 | 薄膜elパネルの封止構造 |
-
1985
- 1985-04-26 JP JP60090140A patent/JPS61249075A/ja active Granted
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5648092A (en) * | 1979-09-26 | 1981-05-01 | Sharp Kk | Thin film el panel |
JPS5675621A (en) * | 1979-11-26 | 1981-06-22 | Hitachi Ltd | Production of liquid crystal display element |
JPS5692581A (en) * | 1979-12-27 | 1981-07-27 | Sharp Kk | Thin film el panel |
JPS6068587A (ja) * | 1983-09-24 | 1985-04-19 | シャープ株式会社 | 薄膜elパネルの封止構造 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0356640B2 (ja) | 1991-08-28 |
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