JPS61169186A - レ−ザ加工用ヘツド - Google Patents
レ−ザ加工用ヘツドInfo
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- JPS61169186A JPS61169186A JP60009105A JP910585A JPS61169186A JP S61169186 A JPS61169186 A JP S61169186A JP 60009105 A JP60009105 A JP 60009105A JP 910585 A JP910585 A JP 910585A JP S61169186 A JPS61169186 A JP S61169186A
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- JP
- Japan
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- nozzle
- head
- subchamber
- path
- movable nozzle
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/1462—Nozzles; Features related to nozzles
- B23K26/1464—Supply to, or discharge from, nozzles of media, e.g. gas, powder, wire
- B23K26/1476—Features inside the nozzle for feeding the fluid stream through the nozzle
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
開示技術は、レーザ光線を使用して樹脂板等を加工する
装置の技術分野に属する。
装置の技術分野に属する。
この発明は、集光用レンズを有する筒状のヘッド本体の
側壁にガス供給路が穿設され、ヘッド本体の先端に可動
ノズルが摺動自在に突出イ・１勢されているレーザ加工
用ヘッドに関する発明であり、特に、上記可動ノズルが
ヘッド本体の内部に挿入され内部に照射路が形成され該
可動ノズルの外側に、排出路が穿設され副室を形成する
ノズルカバが設けられ、該副室とヘッド本体内の照射路
とが該照射路に沿って形成されたサブノズルにより連通
され可動ノズルを被加工材に密着させて加工を行なうレ
ーザ加工用ヘッドに係る発明である。
側壁にガス供給路が穿設され、ヘッド本体の先端に可動
ノズルが摺動自在に突出イ・１勢されているレーザ加工
用ヘッドに関する発明であり、特に、上記可動ノズルが
ヘッド本体の内部に挿入され内部に照射路が形成され該
可動ノズルの外側に、排出路が穿設され副室を形成する
ノズルカバが設けられ、該副室とヘッド本体内の照射路
とが該照射路に沿って形成されたサブノズルにより連通
され可動ノズルを被加工材に密着させて加工を行なうレ
ーザ加工用ヘッドに係る発明である。
〈従来技術〉
周知の如く、従来から、樹脂製品のレーザ切断に際し、
第６図に示す様に、レーザ加工用ヘッド１により被加工
物としての樹脂板２を切断する場合には、集光レンズ３
によりスポット状に集光させたレーザ光４を照射させ、
ヘッド本体５に設（）られたガス供給路６から補助ガス
７をレーザ光４と同軸に噴出させ、レーザ加熱にＪ：り
生成した溶融、蒸発物を吹ぎ飛ばしながら切断を行なう
ようになっていた。
第６図に示す様に、レーザ加工用ヘッド１により被加工
物としての樹脂板２を切断する場合には、集光レンズ３
によりスポット状に集光させたレーザ光４を照射させ、
ヘッド本体５に設（）られたガス供給路６から補助ガス
７をレーザ光４と同軸に噴出させ、レーザ加熱にＪ：り
生成した溶融、蒸発物を吹ぎ飛ばしながら切断を行なう
ようになっていた。
そして、上述切断作業中に発生する溶融蒸発物（Ｃｏ、
シアン化水素、アンモニア等）を除去Ｊ−る手段として
は、文献機械技術第３１巻第１１号第５９頁〜第６０頁
に示されている様に被加工物の裏面に吸引装置を配設刃
る態様が採用されている。
シアン化水素、アンモニア等）を除去Ｊ−る手段として
は、文献機械技術第３１巻第１１号第５９頁〜第６０頁
に示されている様に被加工物の裏面に吸引装置を配設刃
る態様が採用されている。
〈発明が解決しようとする問題点〉
ざりながら、上述従来技術のレーザ加工用ヘッド１にあ
っては、第６．９図に示づ様に樹脂板２に一旦貫通孔８
が形成されれば溶融蒸発物は補助ガス７の作用により樹
脂板２の裏面側へ飛散されるためこの部分に吸引装置等
を設ければ溶融蒸発物を容易に除去できるものの、第７
．８図に示す様に貫通孔８が形成される過程においては
以下に示寸問題があった。
っては、第６．９図に示づ様に樹脂板２に一旦貫通孔８
が形成されれば溶融蒸発物は補助ガス７の作用により樹
脂板２の裏面側へ飛散されるためこの部分に吸引装置等
を設ければ溶融蒸発物を容易に除去できるものの、第７
．８図に示す様に貫通孔８が形成される過程においては
以下に示寸問題があった。
即ち、レーザ照射部に生成する溶融蒸発物が全て樹脂板
２の表面側に飛散され、特に、ＹＡＧレーザ光を使用し
た場合には波長１．０６μで樹脂等への吸収率が悪＜、
貫通孔８が形成されるまでの間にある程度の時間を要す
ることもあって、上記飛散された溶融蒸発物や粉塵等が
第７．８．１０図にハツチングで示づ様に樹脂板２０表
面に付着してしまうという欠点があった。 ′これに
対処するに、補助ガス７を止めて溶融蒸発物や粉塵をで
きるだｔプ飛散ざ１！ないようにづる手段も採用された
が、第１１図に点で示づ様にレーザ照射部から発生する
粉塵の付着はＭｌプられず意匠性を損ねるばかりか粉塵
がヘッド本体５内に流入した場合には集光用レンズ３に
損傷を与えることがある不具合があった。
２の表面側に飛散され、特に、ＹＡＧレーザ光を使用し
た場合には波長１．０６μで樹脂等への吸収率が悪＜、
貫通孔８が形成されるまでの間にある程度の時間を要す
ることもあって、上記飛散された溶融蒸発物や粉塵等が
第７．８．１０図にハツチングで示づ様に樹脂板２０表
面に付着してしまうという欠点があった。 ′これに
対処するに、補助ガス７を止めて溶融蒸発物や粉塵をで
きるだｔプ飛散ざ１！ないようにづる手段も採用された
が、第１１図に点で示づ様にレーザ照射部から発生する
粉塵の付着はＭｌプられず意匠性を損ねるばかりか粉塵
がヘッド本体５内に流入した場合には集光用レンズ３に
損傷を与えることがある不具合があった。
又、第１２図に示す様に溶融蒸発物等の（１着した部分
を囲む破線部を切断する手段も考えられるが、溶融蒸発
物の付着範囲より小さな小孔、スリット等の切断加工を
行なう場合には孔の周囲にイ」着物が残存する不具合さ
があった。
を囲む破線部を切断する手段も考えられるが、溶融蒸発
物の付着範囲より小さな小孔、スリット等の切断加工を
行なう場合には孔の周囲にイ」着物が残存する不具合さ
があった。
これに対し、実開昭５０−１０５０９４号公報に図示さ
れている様に、ヘッド本体の先端を被加工材に密着させ
て切断加工を行なう手段も案出されているが、切断加工
中に供給されるガスが単なるエアーカーテンとしてしか
奢幾能しないため、溶融蒸発物をスムーズに１ＪＩ出づ
ることかできず作業環境を悪化させてしまうものであっ
た。
れている様に、ヘッド本体の先端を被加工材に密着させ
て切断加工を行なう手段も案出されているが、切断加工
中に供給されるガスが単なるエアーカーテンとしてしか
奢幾能しないため、溶融蒸発物をスムーズに１ＪＩ出づ
ることかできず作業環境を悪化させてしまうものであっ
た。
この発明の目的は上述従来技術に基づくレーザ加工用ヘ
ッドの問題点を解決すべき技術的課題どし、被加工Ｈの
切断表面に溶融蒸発物等がイ」着せず意匠性を損ねない
ことは勿論のこと、周囲の作業環境を悪化させることも
なく精度の高い加工が行なわれるようにし各種産業にお
ける切断加工利用分野に益づる優れたし〜ザ加二［用ヘ
ッドを提供せんとするものである。
ッドの問題点を解決すべき技術的課題どし、被加工Ｈの
切断表面に溶融蒸発物等がイ」着せず意匠性を損ねない
ことは勿論のこと、周囲の作業環境を悪化させることも
なく精度の高い加工が行なわれるようにし各種産業にお
ける切断加工利用分野に益づる優れたし〜ザ加二［用ヘ
ッドを提供せんとするものである。
〈問題点を解決するための手段・作用〉上述目的に沿い
先述特許請求の範囲を要旨とするこの発明の構成は、前
述問題点を解決するために、筒状のヘッド本体の側壁の
ガス供給路から補助ガスを供給した状態でヘッド本体の
先端の可動ノズルを被加工材に密着しレーザ光を照射す
れば、ヘッド本体と可動ノズルの内部に形成された照射
路にレーザ光と共に補助ガスが供給されるとヘッド本体
内部に縮退挿入された可動ノズルの外側を覆うノズルカ
バ内の副室へ照射路の周囲に沿って形成されたザブノズ
ルへ補助ガスが溶融蒸発物と共に排出されて副室に穿設
された排出路へ流過するように、して貫通孔が形成され
、次いで、ヘッド本体を被加工材から離せばヘッド本体
内の照射路から噴出する補助ガスがザブノズルから漏れ
ることなく貫通孔に噴出し、通常の切断作業がなされ得
るようにした技術的手段を講じたものである。
先述特許請求の範囲を要旨とするこの発明の構成は、前
述問題点を解決するために、筒状のヘッド本体の側壁の
ガス供給路から補助ガスを供給した状態でヘッド本体の
先端の可動ノズルを被加工材に密着しレーザ光を照射す
れば、ヘッド本体と可動ノズルの内部に形成された照射
路にレーザ光と共に補助ガスが供給されるとヘッド本体
内部に縮退挿入された可動ノズルの外側を覆うノズルカ
バ内の副室へ照射路の周囲に沿って形成されたザブノズ
ルへ補助ガスが溶融蒸発物と共に排出されて副室に穿設
された排出路へ流過するように、して貫通孔が形成され
、次いで、ヘッド本体を被加工材から離せばヘッド本体
内の照射路から噴出する補助ガスがザブノズルから漏れ
ることなく貫通孔に噴出し、通常の切断作業がなされ得
るようにした技術的手段を講じたものである。
〈実施例−構成〉
次に、この発明の１実施例を第６〜１２図を援用し第１
〜５図に基づいて説明すれば以下の通りである。
〜５図に基づいて説明すれば以下の通りである。
第１図に示すのは、この発明の要旨を成すレーザ加工用
ヘッド１′であり、平凸タイプの集光用レンズ３′がナ
ツト９により内装固定された筒状のヘッド本体５′が、
先端側を閉塞する防護ガラス１０を挾持するホルダ１１
を有している。
ヘッド１′であり、平凸タイプの集光用レンズ３′がナ
ツト９により内装固定された筒状のヘッド本体５′が、
先端側を閉塞する防護ガラス１０を挾持するホルダ１１
を有している。
上記ホルダ１１の側壁には、図示しないガス圧送装置に
連通ずるガス供給路１２が穿設され、該ホルダ１１の内
部にはドライブッシコ１３を介して可動ノズル１４が摺
動自在に挿入され、上記ヘッド本体５′と可動ノズル１
４の内部に逆円すい状の照射路１５が形成されている。
連通ずるガス供給路１２が穿設され、該ホルダ１１の内
部にはドライブッシコ１３を介して可動ノズル１４が摺
動自在に挿入され、上記ヘッド本体５′と可動ノズル１
４の内部に逆円すい状の照射路１５が形成されている。
そして、手記可動ノズル１４の外側には、該１り動ノズ
ル１４の外周にスミ−ツバナツト１６を介してノズルカ
バ１７が固定され、該ノズルカバ１７は図示しないフィ
ルタ等を有するサクション装置に連通りるυ１川路１８
を有すると共に」−記小ルダ１１どの間に介装されたバ
ネ１９に抑圧されている３、このＪ：うにして、可動ノ
ス゛ル１４の外側を覆うノズルカバ１７にＪ：り副室２
０が形成されている。
ル１４の外周にスミ−ツバナツト１６を介してノズルカ
バ１７が固定され、該ノズルカバ１７は図示しないフィ
ルタ等を有するサクション装置に連通りるυ１川路１８
を有すると共に」−記小ルダ１１どの間に介装されたバ
ネ１９に抑圧されている３、このＪ：うにして、可動ノ
ス゛ル１４の外側を覆うノズルカバ１７にＪ：り副室２
０が形成されている。
尚、ノズルカバ１７の上縁にはホルダ１１の外周に沿う
ガイド２１が形成され、ガス供給路１２には供給管２２
が取りイ」けられている。
ガイド２１が形成され、ガス供給路１２には供給管２２
が取りイ」けられている。
そして、上記副室２０から照射路１５に沿って先端に照
射口２３を有するサブノズル２４が形成され、副ｖ２０
と魚身４路１５とを連通路２５として連通させている。
射口２３を有するサブノズル２４が形成され、副ｖ２０
と魚身４路１５とを連通路２５として連通させている。
尚、可動ノズル１４は上記バネ１９により先端側に突出
付勢されているがその突出縮退ストロークは可動ノズル
１４の基端が係止するホルダ１１の段差部２６で規制さ
れている。
付勢されているがその突出縮退ストロークは可動ノズル
１４の基端が係止するホルダ１１の段差部２６で規制さ
れている。
又、上記ヘッド本体５′、ホルダ１１、ノズルカバ１７
、可動ノズル１４は各々芯ずれしないＪ、うに組み付【
プられている。
、可動ノズル１４は各々芯ずれしないＪ、うに組み付【
プられている。
〈実施例−作用〉
−に連構成において、ポリプロピレン等のバンバ等の樹
脂板２の切断加工を行なう場合には、第２図に示づ一様
に可動ノズル１４が突出した状態にあるレーザ加工用ヘ
ッド１′を第３図に示づ様に樹脂板２に押し当てるど共
にレーリ゛光４、′及び、ガス供給装置を介してガス供
給路１２から補助ガスとしてのエアー ７を噴出さゼる
ど−に記し−リ１光４はリブノズル２４の先端の照射口
２３に対応する部分にスポット状に集光して穴の形成を
開始Ｊる。
脂板２の切断加工を行なう場合には、第２図に示づ一様
に可動ノズル１４が突出した状態にあるレーザ加工用ヘ
ッド１′を第３図に示づ様に樹脂板２に押し当てるど共
にレーリ゛光４、′及び、ガス供給装置を介してガス供
給路１２から補助ガスとしてのエアー ７を噴出さゼる
ど−に記し−リ１光４はリブノズル２４の先端の照射口
２３に対応する部分にスポット状に集光して穴の形成を
開始Ｊる。
ここで、上記レーザ光４ににり樹脂板２から溶融蒸発物
２６が生成されるが、該溶融蒸発物２Ｇは噴出されるエ
アー ７により連通路２５′ｈ冒ろ副室２０を経て排出
路１８へ排出されて集塵処理されるため、樹脂板２には
何等飛散することもないばかりか周囲の作業環境を悪化
させることもない。
２６が生成されるが、該溶融蒸発物２Ｇは噴出されるエ
アー ７により連通路２５′ｈ冒ろ副室２０を経て排出
路１８へ排出されて集塵処理されるため、樹脂板２には
何等飛散することもないばかりか周囲の作業環境を悪化
させることもない。
勿論、溶融蒸発物２６は照射路１５を逆流することもな
いので集光レンズ３′はもとより防護ガラス１０に付着
して破損させるようなこともない。
いので集光レンズ３′はもとより防護ガラス１０に付着
して破損させるようなこともない。
そして、上）ホ作業により第４図に示す様に樹脂板２に
貫通孔８が穿設された後は、第２図に示す様に、レーザ
加工用ヘッド１′を上昇させれば、エアー７の噴出によ
って溶融蒸発物２６は樹脂板２の裏面に１ノ１出されレ
ーザ加工用ヘッド１′を移動させて通常の切断作業がな
される。
貫通孔８が穿設された後は、第２図に示す様に、レーザ
加工用ヘッド１′を上昇させれば、エアー７の噴出によ
って溶融蒸発物２６は樹脂板２の裏面に１ノ１出されレ
ーザ加工用ヘッド１′を移動させて通常の切断作業がな
される。
この場合、ザブノズル２４の連通路２５は照射路１５に
沿って形成されていることにより、エアー７が連通路２
５から漏れるようなこともなく効率良く噴出される。
沿って形成されていることにより、エアー７が連通路２
５から漏れるようなこともなく効率良く噴出される。
〈他の実施例〉
尚、この発明の実施態様は上述１実施例に限られるもの
で４ｆいことは勿論であり、例えば、レーザ加工用ヘッ
ドを上下動させる手段と下降位置制御はレーザ発振器本
体に組み込むことで可能であり、又、レーリ“加工用ヘ
ッドに光ファイバ等の手段でレーザ光を伝達させ、該レ
ーザ加工用ヘッドをロボッ］−に装着しロボッ１への動
作により上下動、及び、位置制御を行なうことも可能で
あり、又、排出路側にザクジョン装置を設（プず照射路
へ供給される補助ガスの圧力によりＩＪ＋出させるよう
にＪる専科々の態様が採用可能である。
で４ｆいことは勿論であり、例えば、レーザ加工用ヘッ
ドを上下動させる手段と下降位置制御はレーザ発振器本
体に組み込むことで可能であり、又、レーリ“加工用ヘ
ッドに光ファイバ等の手段でレーザ光を伝達させ、該レ
ーザ加工用ヘッドをロボッ］−に装着しロボッ１への動
作により上下動、及び、位置制御を行なうことも可能で
あり、又、排出路側にザクジョン装置を設（プず照射路
へ供給される補助ガスの圧力によりＩＪ＋出させるよう
にＪる専科々の態様が採用可能である。
〈発明の効果〉
以上、この発明によれば基本的に、切断（；１１始時に
レーザ照射によって生ずる溶融蒸発物、粉塵等が被加工
材の表面に付着せず、残留物により製品の品質が低下す
ることがないという優れた効果が秦される。
レーザ照射によって生ずる溶融蒸発物、粉塵等が被加工
材の表面に付着せず、残留物により製品の品質が低下す
ることがないという優れた効果が秦される。
又、上記可動ノズルがヘッド本体の内部に挿入され内部
に照射路が形成され該可動ノズルの外側に、排出路が穿
設され副室を形成するノズルカバが設けられ、該副室と
ヘッド本体内の照射路とが該照射路に沿って形成された
１ノブノズルにより連通されていることにより切断開始
時の貫通孔を形成するまでに発生する溶融蒸発物等が確
実にｆＪｌｌｌされるため、周囲に散乱せず、良好な作
業環境が維持されるという優れた効果が奏される。
に照射路が形成され該可動ノズルの外側に、排出路が穿
設され副室を形成するノズルカバが設けられ、該副室と
ヘッド本体内の照射路とが該照射路に沿って形成された
１ノブノズルにより連通されていることにより切断開始
時の貫通孔を形成するまでに発生する溶融蒸発物等が確
実にｆＪｌｌｌされるため、周囲に散乱せず、良好な作
業環境が維持されるという優れた効果が奏される。
加えて、ガス供給路から圧送される補助カスにより溶融
蒸発物が排出できるため客用の大ぎい吸引装買等が必要
なく、一方溶融蒸発物が集光用１ノンズ側に流入して集
光用レンズを損傷させることがなく各種のコストを低減
させることができるという利点もある。
蒸発物が排出できるため客用の大ぎい吸引装買等が必要
なく、一方溶融蒸発物が集光用１ノンズ側に流入して集
光用レンズを損傷させることがなく各種のコストを低減
させることができるという利点もある。
第１〜５図はこの発明の１実施例を示し、第１図は部分
断面図、第２〜４図は各々作業状態の断面図、第５図は
樹脂板の平面図、第６図は従来態様断面図、第７〜９図
は従来の作業状況断面図、第１０〜１２図は従来態様の
第５図対応平面図である。 ３′・・・集光用レンズ、 ５′・・・ヘッド本体、
１２・・・ガス供給路、 １４・・・可動ノズル、１′
・・・レーザ加工用ヘッド、 １８・・・１ノ１出路、 ２０・・・副室、１７・・・
ノズルカバ、 ２４・・・１ナブノズル出願人 トヨタ
自動車株式会ネ１ 弔１図 ３″・・集几用しンズ ５ ６、、、Ｈ粉本 １８ 才井出ｙ存１
２９．７７・・スイへ煤すδ ２０ 副室
１４° ｑ＊ｔｕ ス＝ｔｖ ’
”””スパルυノ＼′１ 、 し−ず・乃。１用。ラド
２４− すフ゛ノス゛ル区 第４図 ↓ 第５図
断面図、第２〜４図は各々作業状態の断面図、第５図は
樹脂板の平面図、第６図は従来態様断面図、第７〜９図
は従来の作業状況断面図、第１０〜１２図は従来態様の
第５図対応平面図である。 ３′・・・集光用レンズ、 ５′・・・ヘッド本体、
１２・・・ガス供給路、 １４・・・可動ノズル、１′
・・・レーザ加工用ヘッド、 １８・・・１ノ１出路、 ２０・・・副室、１７・・・
ノズルカバ、 ２４・・・１ナブノズル出願人 トヨタ
自動車株式会ネ１ 弔１図 ３″・・集几用しンズ ５ ６、、、Ｈ粉本 １８ 才井出ｙ存１
２９．７７・・スイへ煤すδ ２０ 副室
１４° ｑ＊ｔｕ ス＝ｔｖ ’
”””スパルυノ＼′１ 、 し−ず・乃。１用。ラド
２４− すフ゛ノス゛ル区 第４図 ↓ 第５図
Claims (1)
- 集光用レンズを有する筒状のヘッド本体の側壁にガス
供給路が穿設され、ヘッド本体の先端に可動ノズルが摺
動自在に突出付勢されているレーザ加工用ヘッドにおい
て、上記可動ノズルがヘッド本体の内部に挿入され内部
に照射路が形成され該可動ノズルの外側に、排出路が穿
設され副室を形成するノズルカバが設けられ、該副室と
ヘッド本体内の照射路とが該照射路に沿つて形成された
サブノズルにより連通されていることを特徴とするレー
ザ加工用ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60009105A JPS61169186A (ja) | 1985-01-23 | 1985-01-23 | レ−ザ加工用ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60009105A JPS61169186A (ja) | 1985-01-23 | 1985-01-23 | レ−ザ加工用ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61169186A true JPS61169186A (ja) | 1986-07-30 |
Family
ID=11711346
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60009105A Pending JPS61169186A (ja) | 1985-01-23 | 1985-01-23 | レ−ザ加工用ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61169186A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07314169A (ja) * | 1994-05-30 | 1995-12-05 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | レーザ加工方法およびレーザ加工用ヘッド |
| JPH09267255A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-14 | Showa Alum Corp | 磁気ディスク基板用研磨布の溝形成加工方法 |
| US5961862A (en) * | 1995-11-30 | 1999-10-05 | The Regents Of The University Of California | Deposition head for laser |
| KR101005200B1 (ko) | 2008-11-28 | 2010-12-31 | 주식회사 성우하이텍 | 레이저 옵틱헤드용 보호 글라스 유닛 |
| JP2015534904A (ja) * | 2012-11-09 | 2015-12-07 | レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | 外装モバイル要素を有するレーザーノズル |
| CN109249128A (zh) * | 2018-10-22 | 2019-01-22 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 吹气抽尘装置及陶瓷基板激光打孔方法 |
-
1985
- 1985-01-23 JP JP60009105A patent/JPS61169186A/ja active Pending
Cited By (7)
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