JPS61149919A - スリツト光源 - Google Patents
スリツト光源Info
- Publication number
- JPS61149919A JPS61149919A JP27601184A JP27601184A JPS61149919A JP S61149919 A JPS61149919 A JP S61149919A JP 27601184 A JP27601184 A JP 27601184A JP 27601184 A JP27601184 A JP 27601184A JP S61149919 A JPS61149919 A JP S61149919A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- cylindrical lens
- axial direction
- slit light
- slit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光切断法を用いた3次元計測、距離画像生成
等における構造照明装置として使用するスリット光源に
関するものである。
等における構造照明装置として使用するスリット光源に
関するものである。
第2図は第一の従来のスリット光源を説明するための図
である。
である。
第2図において、■は高輝度ランプ、2は中心部にスリ
ット2aを有するスリット板、3はスリット板2により
得られたスリット光を所定の長さlのスリット光3とす
るためのレンズである。
ット2aを有するスリット板、3はスリット板2により
得られたスリット光を所定の長さlのスリット光3とす
るためのレンズである。
尚、高輝度ランプ1、スリット板2、及びレンズ3は夫
々の中心がZ軸方向と一致するように配置されている。
々の中心がZ軸方向と一致するように配置されている。
第3図は第二の従来のスリット光源を説明するための図
である。
である。
第3図において、4はレーザダイオード、5はレーザダ
イオード4より出射された発散光を円形状の平行な光に
するためのコリメートレンズ、6はコリメートレンズ5
により平行にされた平行光を細長い楕円形のスポット光
6aに変換するためのシリンドリカルレンズである。
イオード4より出射された発散光を円形状の平行な光に
するためのコリメートレンズ、6はコリメートレンズ5
により平行にされた平行光を細長い楕円形のスポット光
6aに変換するためのシリンドリカルレンズである。
尚、第2図と同様に、各部材は夫々の中心がZ軸方向と
一致するように配置されている。
一致するように配置されている。
一般に光切断法を用いた3次元計測や距離画像生成にお
いては、画面を横切るのに充分な長さのスリット光が必
要である。
いては、画面を横切るのに充分な長さのスリット光が必
要である。
しかしながら、第2図、第3図を用いて説明した、従来
のスリット光源においては、レンズ3、シリンドリカル
レンズ6の焦点距離によってスリット光の長さが決定さ
れてしまうため、充分に長いスリット光を得るためには
、短い焦点距離のレンズ系を構成しなければならず、装
置の価格が著しく高くなるといった問題があった。
のスリット光源においては、レンズ3、シリンドリカル
レンズ6の焦点距離によってスリット光の長さが決定さ
れてしまうため、充分に長いスリット光を得るためには
、短い焦点距離のレンズ系を構成しなければならず、装
置の価格が著しく高くなるといった問題があった。
また、焦点距離の短いレンズ系より出射されるスリット
光は、光源の輝度分布がそのままスリット光に反映する
ため、光軸付近の輝度が著しく高く、周辺に行くに従っ
て急激に輝度が低下するという問題があった。
光は、光源の輝度分布がそのままスリット光に反映する
ため、光軸付近の輝度が著しく高く、周辺に行くに従っ
て急激に輝度が低下するという問題があった。
本発明は前述した従来の欠点に鑑み、周辺部における輝
度低下のない充分に長いスリット光を簡単で且つ安価な
構成で得ることのできるスリット光源を提供するもので
、その手段は、単一な波長の光を発する発光源と、該発
光源からの光を平行光に変換するコリメートレンズと、
前記平行光を楕円形スポット光に変換するシリンドリカ
ルレンれた回折格子とを備えると共に、前記回折格子は
前記シリンドリカルレンズに入射される平行光、あるい
は該レンズより出射される楕円スポット光を回折するよ
うに設けられて成ることを特徴とするスリット光源であ
る。
度低下のない充分に長いスリット光を簡単で且つ安価な
構成で得ることのできるスリット光源を提供するもので
、その手段は、単一な波長の光を発する発光源と、該発
光源からの光を平行光に変換するコリメートレンズと、
前記平行光を楕円形スポット光に変換するシリンドリカ
ルレンれた回折格子とを備えると共に、前記回折格子は
前記シリンドリカルレンズに入射される平行光、あるい
は該レンズより出射される楕円スポット光を回折するよ
うに設けられて成ることを特徴とするスリット光源であ
る。
すなわち、上記スリット光源は、発光源より出する回折
格子に照射した場合、各格子により回折された光が干渉
して像面上の一直線上に複数個のスポット光として得ら
れることを利用し、前記回折格子に照射する光をシリン
ドリカルレンズにより楕円形のスポット光とし、これを
回折格子に通過せしめ、さらに得られた複数個の楕円形
のスポット光の先端部を重ね合せる(シリンドリカルレ
ンズの焦点距離を適宜設定することにより重なり度合を
設定する)ことにより、全体で一本の長い各スポット光
をシリンドリカルレンズにより楕円形とした後に、一本
のスリット光としてもよい。
格子に照射した場合、各格子により回折された光が干渉
して像面上の一直線上に複数個のスポット光として得ら
れることを利用し、前記回折格子に照射する光をシリン
ドリカルレンズにより楕円形のスポット光とし、これを
回折格子に通過せしめ、さらに得られた複数個の楕円形
のスポット光の先端部を重ね合せる(シリンドリカルレ
ンズの焦点距離を適宜設定することにより重なり度合を
設定する)ことにより、全体で一本の長い各スポット光
をシリンドリカルレンズにより楕円形とした後に、一本
のスリット光としてもよい。
第1図は本発明に係るスリット光源の実施例を説明する
ための図である。
ための図である。
−ザダイオード7から単一波長の発散光を平行光に変換
するコリメートレンズ、9は平行光を細長い楕円形のス
ポット光9aに変換するシリンドリカルレンズ、10は
複数個の光ファイバ10〜1〇−へがX方向に一次元配
列されたファイバアレイであって、回折格子を構成する
。各部材は夫々の中心がZ軸方向と一致するように配置
されている。ファイバアレイ10における各光ファイバ
の配列方向はシリンドリカルレンズ9の軸方向(図中X
方向)と垂直な方向である。
するコリメートレンズ、9は平行光を細長い楕円形のス
ポット光9aに変換するシリンドリカルレンズ、10は
複数個の光ファイバ10〜1〇−へがX方向に一次元配
列されたファイバアレイであって、回折格子を構成する
。各部材は夫々の中心がZ軸方向と一致するように配置
されている。ファイバアレイ10における各光ファイバ
の配列方向はシリンドリカルレンズ9の軸方向(図中X
方向)と垂直な方向である。
ファイバアレイ10としてはファイバグレーティング(
商品名;町田製作所)がある。
商品名;町田製作所)がある。
また、ファイバアレイ10は楕円形のスポット光9aが
各ファイバ10−1〜1〇−弔に照射されるようなシリ
ンドリカルレンズ9の焦点距離fを除く任意の位置に配
置されている。
各ファイバ10−1〜1〇−弔に照射されるようなシリ
ンドリカルレンズ9の焦点距離fを除く任意の位置に配
置されている。
以上説明した構成において、レーザダイオード7よりの
単一波長の光は、コリメートレンズ8により平行光に変
換された後に、シリンドリカルレンズ9に入射される。
単一波長の光は、コリメートレンズ8により平行光に変
換された後に、シリンドリカルレンズ9に入射される。
平行光が入射されたシリンドリカルレンズ9はX軸方向
は平行の状!3(同一幅)で、y軸方向のみ延びた細長
い楕円形のスポット光9aとし、これをファイバアレイ
10に入射せしめる。前述したようにファイバアレイ1
0は各ファイバ10−1〜1〇−爪の配列方向がシリン
ドリカルレンズ9の軸方向(x、方向)と垂直になるよ
う設けられているので、スポット光9aの長さ方向(X
方向)が各ファイバ10−1〜10−^により回折され
てy軸方向に一直線の複数個のスポット光91〜9aと
なり、細長いスリット光10aを得ることができる。
は平行の状!3(同一幅)で、y軸方向のみ延びた細長
い楕円形のスポット光9aとし、これをファイバアレイ
10に入射せしめる。前述したようにファイバアレイ1
0は各ファイバ10−1〜1〇−爪の配列方向がシリン
ドリカルレンズ9の軸方向(x、方向)と垂直になるよ
う設けられているので、スポット光9aの長さ方向(X
方向)が各ファイバ10−1〜10−^により回折され
てy軸方向に一直線の複数個のスポット光91〜9aと
なり、細長いスリット光10aを得ることができる。
また、このスリット光10aのy軸方向の重なり度合(
面積)を調整することによって、長さ方向に一様な輝度
のスリット光10aとすることができる。尚、実施例に
おいてはファイバアレイ10を用いて説明したが一枚の
板に複数個のスリット(格子)を形成した回折格子でも
よい。
面積)を調整することによって、長さ方向に一様な輝度
のスリット光10aとすることができる。尚、実施例に
おいてはファイバアレイ10を用いて説明したが一枚の
板に複数個のスリット(格子)を形成した回折格子でも
よい。
尚、前述した実施例においては、ファイバアレイ10を
シリンドリカルレンズ9の後段に配置したが、逆の配置
であっても同様のスリット光を得ることができる。ただ
し、両者の距離を大きくすると、スリットの上下がシリ
ンドリカルレンズ9の大きさに依存して切れてしまうの
で、充分接近させて配置することが必要である。
シリンドリカルレンズ9の後段に配置したが、逆の配置
であっても同様のスリット光を得ることができる。ただ
し、両者の距離を大きくすると、スリットの上下がシリ
ンドリカルレンズ9の大きさに依存して切れてしまうの
で、充分接近させて配置することが必要である。
以上説明したように、本発明によれば非常に簡単で且つ
安価な構成でしかも、奥行き方向にピンボケのない充分
な長さを有するスリット光を生成することができる。
安価な構成でしかも、奥行き方向にピンボケのない充分
な長さを有するスリット光を生成することができる。
第1図は本発明に係るスリット光源の実施例を説明する
図、第2図、第3図は従来のスリット光源を説明する図
である。 図において、7はレーザダイオード、8はコリメートレ
ンズ、9はシリンドリカルレンズ、9a。 91〜9爪はスポット光、10はファイバアレイ、10
aはスリット光である。
図、第2図、第3図は従来のスリット光源を説明する図
である。 図において、7はレーザダイオード、8はコリメートレ
ンズ、9はシリンドリカルレンズ、9a。 91〜9爪はスポット光、10はファイバアレイ、10
aはスリット光である。
Claims (1)
- 単一な波長の光を発する発光源と、該発光源からの光を
平行光に変換するコリメートレンズと、前記平行光を楕
円形スポット光に変換するシリンドリカルレンズと、複
数個の格子の配列方向が前記シリンドリカルレンズの軸
方向と垂直な方向となるようにされた回折格子とを備え
ると共に、前記回折格子は前記シリンドリカルレンズに
入射される平行光、あるいは該レンズより出射される楕
円スポット光を回折するように設けられて成ることを特
徴とするスリット光源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27601184A JPS61149919A (ja) | 1984-12-25 | 1984-12-25 | スリツト光源 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27601184A JPS61149919A (ja) | 1984-12-25 | 1984-12-25 | スリツト光源 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61149919A true JPS61149919A (ja) | 1986-07-08 |
JPH0319528B2 JPH0319528B2 (ja) | 1991-03-15 |
Family
ID=17563537
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27601184A Granted JPS61149919A (ja) | 1984-12-25 | 1984-12-25 | スリツト光源 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61149919A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02300613A (ja) * | 1989-05-15 | 1990-12-12 | Nissan Motor Co Ltd | 測定装置 |
EP0670618A1 (en) * | 1994-03-01 | 1995-09-06 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor laser and light-sensing device using the same |
EP0717288A1 (en) * | 1994-12-14 | 1996-06-19 | Seiko Epson Corporation | Light-sensing device |
JP2016206212A (ja) * | 2015-04-15 | 2016-12-08 | オリンパス株式会社 | シート照明顕微鏡 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5581563B2 (ja) * | 2007-03-08 | 2014-09-03 | 株式会社日立製作所 | 照明装置並びにそれを用いた欠陥検査装置及びその方法並びに高さ計測装置及びその方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS519552A (ja) * | 1974-07-13 | 1976-01-26 | Nippon Telegraph & Telephone | Hokoseiketsugoki |
-
1984
- 1984-12-25 JP JP27601184A patent/JPS61149919A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS519552A (ja) * | 1974-07-13 | 1976-01-26 | Nippon Telegraph & Telephone | Hokoseiketsugoki |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02300613A (ja) * | 1989-05-15 | 1990-12-12 | Nissan Motor Co Ltd | 測定装置 |
EP0670618A1 (en) * | 1994-03-01 | 1995-09-06 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor laser and light-sensing device using the same |
US5623509A (en) * | 1994-03-01 | 1997-04-22 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor laser and light-sensing device using the same |
US5760885A (en) * | 1994-12-04 | 1998-06-02 | Seiko Epson Corporation | Light-sensing device |
EP0717288A1 (en) * | 1994-12-14 | 1996-06-19 | Seiko Epson Corporation | Light-sensing device |
JP2016206212A (ja) * | 2015-04-15 | 2016-12-08 | オリンパス株式会社 | シート照明顕微鏡 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0319528B2 (ja) | 1991-03-15 |
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