JPH0319528B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0319528B2 JPH0319528B2 JP59276011A JP27601184A JPH0319528B2 JP H0319528 B2 JPH0319528 B2 JP H0319528B2 JP 59276011 A JP59276011 A JP 59276011A JP 27601184 A JP27601184 A JP 27601184A JP H0319528 B2 JPH0319528 B2 JP H0319528B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- slit
- lens
- cylindrical lens
- diffraction grating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光切断法を用いた3次元計測、距離
画像生成等における構造照明装置として使用する
スリツト光源に関するものである。
画像生成等における構造照明装置として使用する
スリツト光源に関するものである。
第2図は第一の従来のスリツト光源を説明する
ための図である。
ための図である。
第2図において、1は高輝度ランプ、2は中心
部にスリツト2aを有するスリツト板、3はスリ
ツト板2により得られたスリツト光を所定の長さ
lのスリツト光3とするためのレンズである。
部にスリツト2aを有するスリツト板、3はスリ
ツト板2により得られたスリツト光を所定の長さ
lのスリツト光3とするためのレンズである。
尚、高輝度ランプ1、スリツト板2、及びレン
ズ3は夫々の中心がZ軸方向と一致するように配
置されている。
ズ3は夫々の中心がZ軸方向と一致するように配
置されている。
第3図は第二の従来のスリツト光源を説明する
ための図である。
ための図である。
第3図において、4はレーザダイオード、5は
レーザダイオード4より出射された発散光を円形
状の平行な光にするためのコリメートレンズ、6
はコリメートレンズ5により平行にされた平行光
を細長い楕円形のスポツト光6aに変換するため
のシリンドリカルレンズである。
レーザダイオード4より出射された発散光を円形
状の平行な光にするためのコリメートレンズ、6
はコリメートレンズ5により平行にされた平行光
を細長い楕円形のスポツト光6aに変換するため
のシリンドリカルレンズである。
尚、第2図と同様に、各部材は夫々の中心がZ
軸方向と一致するように配置されている。
軸方向と一致するように配置されている。
一般に光切断法を用いた3次元計測や距離画像
生成において、画面を横切るのに充分な長さのス
リツト光が必要である。
生成において、画面を横切るのに充分な長さのス
リツト光が必要である。
しかしながら、第2図、第3図を用いて説明し
た、従来のスリツト光源においては、レンズ3、
シリンドリカルレンズ6の焦点距離によつてスリ
ツト光の長さが決定されてしまうため、充分に長
いスリツト光を得るためには、短い焦点距離のレ
ンズ系を構成しなければならず、装置の価格が著
しく高くなるといつた問題があつた。
た、従来のスリツト光源においては、レンズ3、
シリンドリカルレンズ6の焦点距離によつてスリ
ツト光の長さが決定されてしまうため、充分に長
いスリツト光を得るためには、短い焦点距離のレ
ンズ系を構成しなければならず、装置の価格が著
しく高くなるといつた問題があつた。
また、焦点距離の短いレンズ系より出射される
スリツト光は、光源の輝度分布がそのままスリツ
ト光に反映するため、光軸付近の輝度が著しく高
く、周辺に行くに従つて急激に輝度が低下すると
いう問題があつた。
スリツト光は、光源の輝度分布がそのままスリツ
ト光に反映するため、光軸付近の輝度が著しく高
く、周辺に行くに従つて急激に輝度が低下すると
いう問題があつた。
本発明は前述した従来の欠点に鑑み、周辺部に
おける輝度低下のない充分に長いスリツト光を簡
単で且つ安価な構成で得ることのできるスリツト
光源を提供するもので、その手段は、単一な波長
の光を発する発光源と、該発光源からの光を平行
光に変換するコリメートレンズと、前記平行光を
楕円形スポツト光に変換するシリンドリカルレン
ズと、複数個の格子の配列方向が前記シリンドリ
カルレンズの軸方向と垂直な方向となるようにさ
れた回折格子とを備えると共に、前記回折格子は
前記シリンドリカルレンズに入射される平行光、
あるいは該レンズより出射される楕円スポツト光
を回折するように設けられて成ることを特徴とす
るスリツト光源である。
おける輝度低下のない充分に長いスリツト光を簡
単で且つ安価な構成で得ることのできるスリツト
光源を提供するもので、その手段は、単一な波長
の光を発する発光源と、該発光源からの光を平行
光に変換するコリメートレンズと、前記平行光を
楕円形スポツト光に変換するシリンドリカルレン
ズと、複数個の格子の配列方向が前記シリンドリ
カルレンズの軸方向と垂直な方向となるようにさ
れた回折格子とを備えると共に、前記回折格子は
前記シリンドリカルレンズに入射される平行光、
あるいは該レンズより出射される楕円スポツト光
を回折するように設けられて成ることを特徴とす
るスリツト光源である。
すなわち、上記スリツト光源は、発光源より出
射される単一波長の光(単一波長でないと回折格
子による干渉縞が生じない尚、かならずしも均一
である必要はない)を複数個の格子を有する回折
格子に照射した場合、各格子により回折された光
が干渉して像面上の一直線上に複数個のスポツト
光として得られることを利用し、前記回折格子に
照射する光をシリンドリカルレンズにより楕円形
のスポツト光とし、これを回折格子に通過せし
め、さらに得られた複数個の楕円形のスポツト光
の先端部を重ね合せる(シリンドリカルレンズの
焦点距離を適宜設定することにより重なり度合を
設定する)ことにより、全体で一本の長いスリツ
ト光を得るようにしたものである。
射される単一波長の光(単一波長でないと回折格
子による干渉縞が生じない尚、かならずしも均一
である必要はない)を複数個の格子を有する回折
格子に照射した場合、各格子により回折された光
が干渉して像面上の一直線上に複数個のスポツト
光として得られることを利用し、前記回折格子に
照射する光をシリンドリカルレンズにより楕円形
のスポツト光とし、これを回折格子に通過せし
め、さらに得られた複数個の楕円形のスポツト光
の先端部を重ね合せる(シリンドリカルレンズの
焦点距離を適宜設定することにより重なり度合を
設定する)ことにより、全体で一本の長いスリツ
ト光を得るようにしたものである。
尚、平行光を複数個のスポツト光とした後に、
各スポツト光をシリンドリカルレンズにより楕円
形とした後に、一本のスリツト光としてもよい。
各スポツト光をシリンドリカルレンズにより楕円
形とした後に、一本のスリツト光としてもよい。
第1図は本発明に係るスリツト光源の実施例を
説明するための図である。
説明するための図である。
図において、7は単一波長の光を発するレーザ
ダイオード(発光ダイオードでもよい)、8はレ
ーザダイオード7から単一波長の発散光を平行光
に変換するコリメートレンズ、9は平行光を細長
い楕円形のスポツト光9aに変換するシリンドリ
カルレンズ、10は複数個の光フアイバ10〜1
0-oがy方向に一次元配列されたフアイバアレイ
であつて、回折格子を構成する。各部材は夫々の
中心がZ軸方向と一致するように配置されてい
る。フアイバアレイ10における各光フアイバの
配列方向はシリンドリカルレンズ9の軸方向(図
中x方向)と垂直な方向である。
ダイオード(発光ダイオードでもよい)、8はレ
ーザダイオード7から単一波長の発散光を平行光
に変換するコリメートレンズ、9は平行光を細長
い楕円形のスポツト光9aに変換するシリンドリ
カルレンズ、10は複数個の光フアイバ10〜1
0-oがy方向に一次元配列されたフアイバアレイ
であつて、回折格子を構成する。各部材は夫々の
中心がZ軸方向と一致するように配置されてい
る。フアイバアレイ10における各光フアイバの
配列方向はシリンドリカルレンズ9の軸方向(図
中x方向)と垂直な方向である。
フアイバアレイ10としてはフアイバグレーテ
イング(商品名;町田製作所)がある。
イング(商品名;町田製作所)がある。
また、フアイバアレイ10は楕円形のスポツト
光9aが各フアイバ10-1〜10-oに照射される
ようなシリンドリカルレンズ9の焦点距離fを除
く任意の位置に配置されている。
光9aが各フアイバ10-1〜10-oに照射される
ようなシリンドリカルレンズ9の焦点距離fを除
く任意の位置に配置されている。
以上説明した構成において、レーザダイオード
7よりの単一波長の光は、コリメートレンズ8に
より平行光に変換された後に、シリンドリカルレ
ンズ9に入射される。平行光が入射されたシリン
ドリカルレンズ9はx軸方向は平行の状態(同一
幅)で、y軸方向のみ延びた細長い楕円形のスポ
ツト光9aとし、これをフアイバアレイ10に入
射せしめる。前述したようにフアイバアレイ10
は各フアイバ10-1〜10-oの配列方向がシリン
ドリカルレンズ9の軸方向(x方向)と垂直にな
るよう設けられているので、スポツト光9aの長
さ方向(y方向)が各フアイバ10-1〜10-oに
より回折されてy軸方向に一直線の複数個のスポ
ツト光91〜9aとなり、細長いスリツト光10a
を得ることができる。
7よりの単一波長の光は、コリメートレンズ8に
より平行光に変換された後に、シリンドリカルレ
ンズ9に入射される。平行光が入射されたシリン
ドリカルレンズ9はx軸方向は平行の状態(同一
幅)で、y軸方向のみ延びた細長い楕円形のスポ
ツト光9aとし、これをフアイバアレイ10に入
射せしめる。前述したようにフアイバアレイ10
は各フアイバ10-1〜10-oの配列方向がシリン
ドリカルレンズ9の軸方向(x方向)と垂直にな
るよう設けられているので、スポツト光9aの長
さ方向(y方向)が各フアイバ10-1〜10-oに
より回折されてy軸方向に一直線の複数個のスポ
ツト光91〜9aとなり、細長いスリツト光10a
を得ることができる。
また、このスリツト光10aのy軸方向の重な
り度合(面積)を調整することによつて、長さ方
向に一様な輝度のスリツト光10aとすることが
できる。尚、実施例においてはフアイバアレイ1
0を用いて説明したが一枚の板に複数個のスリツ
ト(格子)を形成した回折格子でもよい。
り度合(面積)を調整することによつて、長さ方
向に一様な輝度のスリツト光10aとすることが
できる。尚、実施例においてはフアイバアレイ1
0を用いて説明したが一枚の板に複数個のスリツ
ト(格子)を形成した回折格子でもよい。
尚、前述した実施例においては、フアイバアレ
イ10をシリンドリカルレンズ9の後段に配置し
たが、逆の配置であつても同様のスリツト光を得
ることができる。ただし、両者の距離を大きくす
ると、スリツトの上下がシリンドリカルレンズ9
の大きさに依存して切れてしまうので、充分接近
させて配置することが必要である。
イ10をシリンドリカルレンズ9の後段に配置し
たが、逆の配置であつても同様のスリツト光を得
ることができる。ただし、両者の距離を大きくす
ると、スリツトの上下がシリンドリカルレンズ9
の大きさに依存して切れてしまうので、充分接近
させて配置することが必要である。
以上説明したように、本発明によれば非常に簡
単で且つ安価な構成でしかも、奥行き方向にピン
ボケのない充分な長さを有するスリツト光を生成
することができる。
単で且つ安価な構成でしかも、奥行き方向にピン
ボケのない充分な長さを有するスリツト光を生成
することができる。
第1図は本発明に係るスリツト光源の実施例を
説明する図、第2図、第3図は従来のスリツト光
源を説明する図である。 図において、7はレーザダイオード、8はコリ
メートレンズ、9はシリンドリカルレンズ、9a,
91〜9oはスポツト光、10はフアイバアレイ、
10aはスリツト光である。
説明する図、第2図、第3図は従来のスリツト光
源を説明する図である。 図において、7はレーザダイオード、8はコリ
メートレンズ、9はシリンドリカルレンズ、9a,
91〜9oはスポツト光、10はフアイバアレイ、
10aはスリツト光である。
Claims (1)
- 1 単一な波長の光を発する発光源と、該発光源
からの光を平行光に変換するコリメートレンズ
と、前記平行光を楕円形スポツト光に変換するシ
リンドリカルレンズと、複数個の格子の配列方向
が前記シリンドリカルレンズの軸方向と垂直な方
向となるようにされた回折格子とを備えると共
に、前記回折格子は前記シリンドリカルレンズに
入射される平行光、あるいは該レンズより出射さ
れる楕円スポツト光を回折するように設けられて
成ることを特徴とするスリツト光源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27601184A JPS61149919A (ja) | 1984-12-25 | 1984-12-25 | スリツト光源 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27601184A JPS61149919A (ja) | 1984-12-25 | 1984-12-25 | スリツト光源 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61149919A JPS61149919A (ja) | 1986-07-08 |
JPH0319528B2 true JPH0319528B2 (ja) | 1991-03-15 |
Family
ID=17563537
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27601184A Granted JPS61149919A (ja) | 1984-12-25 | 1984-12-25 | スリツト光源 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61149919A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008108174A1 (ja) * | 2007-03-08 | 2008-09-12 | Hitachi, Ltd. | 照明装置並びにそれを用いた欠陥検査装置及びその方法並びに高さ計測装置及びその方法 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0769160B2 (ja) * | 1989-05-15 | 1995-07-26 | 日産自動車株式会社 | 測定装置 |
US5623509A (en) * | 1994-03-01 | 1997-04-22 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor laser and light-sensing device using the same |
JP3640097B2 (ja) * | 1994-12-14 | 2005-04-20 | セイコーエプソン株式会社 | 光センシング装置 |
JP6417262B2 (ja) * | 2015-04-15 | 2018-11-07 | オリンパス株式会社 | シート照明顕微鏡 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS519552A (ja) * | 1974-07-13 | 1976-01-26 | Nippon Telegraph & Telephone | Hokoseiketsugoki |
-
1984
- 1984-12-25 JP JP27601184A patent/JPS61149919A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS519552A (ja) * | 1974-07-13 | 1976-01-26 | Nippon Telegraph & Telephone | Hokoseiketsugoki |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008108174A1 (ja) * | 2007-03-08 | 2008-09-12 | Hitachi, Ltd. | 照明装置並びにそれを用いた欠陥検査装置及びその方法並びに高さ計測装置及びその方法 |
JP2008216219A (ja) * | 2007-03-08 | 2008-09-18 | Hitachi Ltd | 照明装置並びにそれを用いた欠陥検査装置及びその方法並びに高さ計測装置及びその方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS61149919A (ja) | 1986-07-08 |
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