JPS60253186A - 直交ハニカム型電界装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はセラミック平板上に線状のコロナ放電極を配設
した電界装置の改良に関する。

〔従来の技術〕

０２の酸化による０３の製造装置は脱臭や燃焼効率改善
に用いられ、またＮＯｘ　、　ＳＯｘの酸化は脱硝や硝
酸製造、硫酸製造に用いられ、これらを総合して気体酸
化装置と云うが、これにはセラミック平板上に線状の蛇
行または櫛歯状のコロナ放電極を配設し、その一端に印
加電圧の入力端子を取シ付けたものも特願昭５７−１５
５６１７号公報「電界装置および電界装置の製造方法」
として出願した。しかし、これは１枚の平板または円筒
に関するもので、多量の気体を通過する容量の大きい装
置を小さい空間に構成することは難しかった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

そこで、これをハニカム型に積層することによシ小型に
することも特願昭５８−１６７９１５号公報「ハニカム
型気体酸化用電界装置」として出願したが、これは使用
中熱を発生し、これを放熱冷却するための工夫が必要と
なった。

〔問題を解決するための手段〕

本発明はこの平板を多数枚、波板または格子状物（以下
まとめて「波板」と略称する）を介して、且つ波板を交
互にその軸方向が直角であるように配して、これら波板
が線状コロナ放電極と非接触の状態とすることによシ線
状コロナ放電極に高電圧を印加しても何ら不具合は起ら
ない。

その直交する波板のコロナ放電極を有する通路には０２
．ＮＯ２，ＳＯ！等のコロナ放電によって反応を起させ
ようとする気体を、−他方のコロナ放電極を有しない通
路には、冷却用の気体または液体を通すもので、波板が
直交していることにより、反応を起させる気体と冷却用
流体とは接触したシ混合したりすることはない。

〔実施例と効果〕

本発明は上記出願（特願昭５７−１５５６１７号）に例
示せる如何なる電極系にも適用できるのであるが、以下
の実施例ではその特徴を２，３０例を用いて説明する。

先ず、従来の１枚の基板による気体酸化用電界装置の一
例を第１図に示す。この例では、アルミナ、窒化珪素、
ジルコニア等のセラミック誘電体平板１の上に長形の二
本の細線状コロナ放電極としての伝送線路（以下伝送線
路とよぶ）２．３が平行かつ蛇行して、モリブデンまた
はタングステンのメタライズとその上にニッケルメッキ
を施す方法で配設されている。その入力端子４，５を介
して印加電圧としてパルス中がｌｎｓ〜１０００　ｎｓ
程度の極短パルス高電圧を用いると、パルス電圧は入力
端から進行波として進行しつ＼、強力なパルスコロナ放
電が発生してプラズマを形成する。か＼る急峻な立上が
シのパルス高電圧によシ生じた放電は特に放電化学作用
が活発で、オゾナイザ−やＮＯｘ　、　ＳＯｘの酸化等
に用いるの゛に適している。この極短パルス高電圧は進
行波電圧として伝送線路２，３上をその終端７，８まで
伝播進行し、その過程で伝送線路２，３の間に活性プラ
ズマを生じる。

図の様に終端７，８を開放にすれば進行波電圧は反射さ
れ、そのエネルギーを有効に利用できるが、場合により
終端電圧の上昇により火花を生ずることもある。これを
防ぐに抹終端７．８に伝送線路にサージインピーダンス
に等しい抵抗をつけ反射を停止させるとよい。

第２図に第１図の■−肛に沿う断面図を示す。

次に本発明を説明する。

第３図は本発明に用いる絶縁性波板９の斜視図、第４図
は格子状物１０の斜視図で、ポリエチレン、塩化ビニー
ル、フェノール樹脂等の合成樹脂やソーダガラス、シリ
カガラス、結晶化ガラス等のガラス材料、またはアルミ
ナ、窒化珪素、ジルコニア等のセラミック材料、アスベ
スト、セメント等でも製作でき、電極を有する層には絶
縁性を有することが必要である。その組立図を第５図ａ
”−ｅに示す。

本発明では第１図と同じセラミック基板１を製作する。

この材質は前記のアルミナ、窒化珪素、ジルコニアに拘
わることなく、高絶縁性で耐電圧の大きいセラミックな
ら使用できる０次にこの表面に中１■厚さ１００μｍの
タングステンによるメタライズを５Ｗ間隔で周知の方法
でプリント印刷し、水素雰囲気炉で焼き付はコロナ放電
極を形成し、次いでニッケルメッキを施す。これを第１
の基板としこれを第５図ａに示す。次に合成樹脂または
セラミック等の厚さ１簡の絶縁物で第５図すに示す波板
９を作成しコロナ放電極と非接触の状態に積み重ねる。

次に第１図に示した第１の基板を裏返し、コロナ放電極
を有する面を下側にして上記波板９と該電極が非接触の
関係に積重ね、第２の基板１ａとし第５図Ｃに示す。次
に第２の基板の上面即ちコロナ放電極を有しない面上に
第２の波板９ａを第１の波板とは異なったおよそ直角に
設置し、これを第５図ｄに示す。またその上に第５図ｅ
に示す第３の波板１のコロナ放電極を有しない面を設置
し、その上面のコロナ放電極を有する面には、これらの
電極と非接触の位置関係に第３の図示しない波板を、第
１の波板と平行、即ち第２の波板と直角に設置し、以後
これを繰り返す。この斜視図を第６図に示す。ここで第
６図Ａ方向からは０２を通せばコロナ放電極の対向し皮
面の間でＪＩｉ０３を発生するが、該０２は波板９ａの
間を通過できないのは勿論である。

そのためへは各層分割することなく一括してＯ！供給の
ダクト内に設置すればよい。またこの時熱が発生するが
、矢印Ｂ方向から冷却空気または液体を通せばこれらは
波板９ａの間を通り、基板１ａと１ｂの間を０２と混同
することなく通過し発生熱を有効に除去冷却する。こ＼
で波板９ａは波板９と同じ合成樹脂、ガラス、セラミッ
クでもよいが、絶縁体である必要は特にないため熱伝導
の良好な金属であった方が好ましい。

熱伝導の面からは銅、アルミニウム等が最も好ましい。

波のピッチも細かい方が放熱フィンの役目もより有効に
果す点で好ましいものである。

また、これを作成する上で基板１と波板９の接触部分に
は適宜凹部を設ければ、波板と基板１との位置ずれによ
る不都合を避けることができるし、適宜接着剤で固定し
たシ、外周より緊張固定することもできる。この波板は
第４図に示す格子状物でも有効なことは勿論である。

第７図は別の実施例の最下段の基本になる基板を示すも
ので、電極１２．１３の配置を、図示の如く互いに嵌合
せる゛櫛歯状としたものである。この場合進行波は矢印
２３→２４→２５→・・・・・の如く進行し、終端２６
に至る。この場合も第５図と同様に絶縁性の波板または
格子状物をコロナ放電極と非接触の状態に設置すれば前
例と同様の効果をもつ。

本発明の直交ハニカム型電界装置は多重構造となってい
るため、大きな場所をとらず、小型で能力の大きい電界
装置を提供し、更に発生する熱を一段おきに直交する別
の波板に冷却流体を通すことにより良好に内部迄冷却す
ることができるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の電界装置であり、また本実施例の一部を
構成する基板の斜視図、第２図は第１図の■−■線に沿
う断面図、第３図は本発明の絶縁性波板の斜視図、第４
図は波板と同じ働きをもつ格子状物の斜視図、第５図ａ
”−ｅは実施例の本発明品の組立てを示す斜視図、第６
図は実施例に述べる本発明品の使用法を示す斜視図、第
７図は本発明の別の形態を示す基板の斜視図。 １・・・基板、２，３・・・コロナ放電極、４．５・・
・入力端子、６・・・電源、７，８・・・終端、９・・
・絶縁性波板、１０・・・格子状物、２３゜２４．２５
．２６・・・進行波進行方向＠３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）　長方形のセラミック誘電体平板上に、線状コロ
   ナ放電極とその一端に印加電圧の入力端子を取り付けた
   第１の基板と、該基板の上に該線状コロナ放電極と非接
   触の位置関係に絶縁性の第１の波板または格子状物を設
   置し、該波板または格子状物と線状コロナ放電極が非接
   触の位置関係に、線状コロナ放電極を下表面に有する第
   ２の基板を設置し、第２の基板上に上記第１の波板また
   は格子状物と直角方向に第２の波板または格子状物を積
   載し、次いで第１の基板と同じ第３の基板を積載しこの
   積層構造を順次繰シ返したことを特徴とする直交ハニカ
   ム型電界装置。