JPS6099553U - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
- Publication number
- JPS6099553U JPS6099553U JP16126884U JP16126884U JPS6099553U JP S6099553 U JPS6099553 U JP S6099553U JP 16126884 U JP16126884 U JP 16126884U JP 16126884 U JP16126884 U JP 16126884U JP S6099553 U JPS6099553 U JP S6099553U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- source
- gate electrode
- drain contact
- semiconductor substrate
- contact regions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図および第2図はショートチャンネル特性を説明す
る断面図およびグラフ、第3図は本考案 ・の実施例
を示す断面図、第4図は別途提案し−た素子の構造を示
す断面図である。 図面で4はゲート電極、2はソース領域、3はドレイン
領域、9はソースコンタクト領域、10はドレインコン
タクト領域、5は絶縁膜、1は半導体基板、11.12
は高不純物濃度層である。
る断面図およびグラフ、第3図は本考案 ・の実施例
を示す断面図、第4図は別途提案し−た素子の構造を示
す断面図である。 図面で4はゲート電極、2はソース領域、3はドレイン
領域、9はソースコンタクト領域、10はドレインコン
タクト領域、5は絶縁膜、1は半導体基板、11.12
は高不純物濃度層である。
Claims (1)
- 半導体基板の表面に絶縁層を介して被着されたゲート電
極、該ゲート電極の両側に該ゲート電極より離して半導
体基板に形成されたソース、ドレイン各コンタクト領域
、該ゲート電極とソース、ドレイン各コンタクト領域と
の間の半導体基板表面の絶縁層に開口した窓を通して不
純物注入で半導体基板に形成され、ソース、ドレイン各
コンタクト領域より浅いソース、ドレイン各領及び該領
域の直下に形成された空乏層抑止用の高不純物濃度層を
備えることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16126884U JPS6099553U (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16126884U JPS6099553U (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6099553U true JPS6099553U (ja) | 1985-07-06 |
Family
ID=30354467
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16126884U Pending JPS6099553U (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6099553U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007049182A (ja) * | 1999-12-16 | 2007-02-22 | Spinnaker Semiconductor Inc | Mosfetデバイスのシステムおよび方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49105495A (ja) * | 1973-02-07 | 1974-10-05 | ||
JPS508484A (ja) * | 1973-05-21 | 1975-01-28 | ||
JPS5023989A (ja) * | 1973-07-02 | 1975-03-14 | ||
JPS5121481A (en) * | 1974-08-14 | 1976-02-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Mos gatadenkaikokatoranjisuta |
-
1984
- 1984-10-25 JP JP16126884U patent/JPS6099553U/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49105495A (ja) * | 1973-02-07 | 1974-10-05 | ||
JPS508484A (ja) * | 1973-05-21 | 1975-01-28 | ||
JPS5023989A (ja) * | 1973-07-02 | 1975-03-14 | ||
JPS5121481A (en) * | 1974-08-14 | 1976-02-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Mos gatadenkaikokatoranjisuta |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007049182A (ja) * | 1999-12-16 | 2007-02-22 | Spinnaker Semiconductor Inc | Mosfetデバイスのシステムおよび方法 |
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