JPS6091011A - 鉛直軸の磁気軸受装置 - Google Patents

鉛直軸の磁気軸受装置

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JPS6091011A
JPS6091011A JP19826683A JP19826683A JPS6091011A JP S6091011 A JPS6091011 A JP S6091011A JP 19826683 A JP19826683 A JP 19826683A JP 19826683 A JP19826683 A JP 19826683A JP S6091011 A JPS6091011 A JP S6091011A
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JP
Japan
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shaft
magnet
magnets
main
force
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Pending
Application number
JP19826683A
Other languages
English (en)
Inventor
Makoto Kobayashi
誠 小林
Yuji Kobayashi
勇二 小林
Hajime Narita
成田 元
Shiro Umegaki
志郎 梅垣
Yukihiro Shimura
志村 幸宏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
RIGAKU KEISOKU KK
Original Assignee
RIGAKU KEISOKU KK
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Publication date
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C39/00Relieving load on bearings
    • F16C39/06Relieving load on bearings using magnetic means
    • F16C39/063Permanent magnets
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/0408Passive magnetic bearings

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 遠心分Il1機、ターボ真空分子ポンプある≠は水力発
iI機のように毎分敵方回転に及ぶ高速回転機器におい
ては摩擦によるエネルギ損失および発熱受を配置した場
曾に潤滑油の供給が困難であるため(:椋械的な摩擦部
分を有しない磁気軸受の利用が極めて有効であるo第1
図はこのターボ真空分子ポンプの一例を示した縦断面図
で、有底円筒状の気体1の底部に荒引用の例えば油回転
ポンプの連結口2を設けて上部を高真空排気口3となし
である。この筐体の底部に′高速電動ね4を設けて、そ
の鉛直軸6に気体分子を下方へ向lて叩き出すための複
数段の動翼6を取付けると共に仁の動翼と交互に配置し
′I?、静止案静止案内数体1に固定しである。上記鉛
直回転軸5の下端を玉軸受8で支承し、かつその上部並
びシー軸の上端に予備的に設けられた補助の案内用ボー
ル軸受Q、mol取付けて、軸受lOの下に軸すに加わ
る垂直荷重を支持して玉軸受8に加わる荷重を極めて小
さくするための磁気軸受XIを取付けである。なお軸受
10.11の支持板1iFi憤体lのつば13上ζ二お
−て自由(=移動し得るようI2であるから、軸受10
はポンプの動作時において事実上軸受の作用を有しない
ものである。
第窮図はこのようなターボ真空分子ポンプにおける従来
の磁気軸受11の断面図で・中+lI5のつげ14お磁
石1FI、18で(1q成されている。すなわちこの磁
石ユδ、18の吸引力でll1II5が浮上して・下端
の玉軸受8N=加わる荷重が殆んど消銭するから摩擦抵
抗が極めて小ざくなるものであるOLかし軸aがその回
転中C二例えば鎖線5′のように傾いたものとすると、
その上側における磁石lIs、H3の対向面積けそれら
の麓合部の長ざaに対応し、また下側の対向面積は長さ
bに対応するが、これらの長さa、δはほぼ等しい値を
保持するため(二軸の傾きを補正する作用が殆んど得ら
れない。このため従来は安定な浣速回転が困難であり、
あるいは傾き音検出して自動的に復元させるための極め
て懐碓な電気的自動判例回路を必要としたものである口
従って本発明はこのような欠点を除去しtcもので、極
めて簡単な構成をもって、・軸の傾斜に対する自動復元
作用を得ることができる。
第S図はvA1図の磁気軸受装↑近11として用いるこ
とのできる本発明の一実施例で、鉛直回転軸5のつは工
4に、611方向に磁化してその磁極をN、Bで示した
ような円環状の永久磁石17を軸5と同軸的C;取付社
ると共に、第1図の支持波12に上記磁石17と同一の
大きさ形状′t−有し、かつ軸方向じ磁化された永久磁
石1Bを取付けて、磁石ユク、1BOJ異名つ極を対向
させである。また磁石lグの内側には、この磁石と同一
方向に磁化された比較的小さい補助の環状永久磁石19
に嵌合すると共に磁石18の内側には上記磁石1gと同
一の大きさ形状を有し、かつ磁石18と逆向き、従って
磁石19に対して同名の極を対向させた補助の環状永久
磁石30を歌合しである。なお上記磁石1〕と19とは
、これを一体に形成することも勿論可能である口 このような磁気軸受装置において、主磁石lフ。
18の間には引力が働き、補助磁石19.20の間には
斥力が働く。しかし主磁石の引力は補助磁石の間の斥力
よ11遥かに大き−から、軸5の重置の大部分がこの磁
気軸受装置で保持されて、下端の玉軸受8(1殆んど荷
重が加えられないことは第2図のような従来の装置と同
様である。また半径方向各位置の吸引力は、その位置に
おける主磁石の対向距離Cに対応し、また斥力は補助磁
石の対向距離dに対応するが、この距#c、4は軸Bが
垂直位置を保持する限り方向(二関係なく一定である◎
しかし第4図に示したように軸5が右側へ傾斜したもの
とすると、eft 5の左側においては斥力を生じてい
た補助磁石19が磁石の対向面の外方へ脱出し、右側に
おいては補助磁石−〇が脱出する。かつ補助磁石ユ9は
隣接する主磁石ユフと同一の極性を有するに対して磁石
2oは瞬接主磁石18と逆極性である。このため軸6の
右41Ji(二おいては傾斜角が比較的小さい範囲にお
い°〔、磁石IQ、ijO間の斤刀が減少し、かつ異名
の極すなわち吸引力を生ずる距Mは小3図の状態と同一
のnf:保持する。これに対して軸5の左側でtよ主磁
石17,18の対向距離が図のよう(ニーに減少して、
しかも主磁石λ8と逆の極性を有する補助値4:I2o
が主磁石17に対向するからその間に斥力が発生し1こ
の斥力の大きさは距離Iに対応する。すなわち傾斜した
軸5の右側においては磁石間の距*Fi増大するが1軸
5が充分長いものとすればこの変化を蕪視し得るから、
磁石間の対向面積の変化によって吸引力がむしろ増大す
る。逆に軸5の左側においては磁石間の距離は減少する
か、吸引力を生ずる面積の減少により寓全体として吸引
力が著しく減少する。従って軸5が傾斜すると、その傾
斜方向における磁気吸引力に、傾斜を補正するような不
平衡が生じて軸の傾斜が自動的に修正される〇 また第5図は本発明の他の実施例で、第3図における主
磁石l?の外側l二これと逆の極性を有する現状の補助
磁石21を嵌合すると共に主磁石18の外側にはこれと
同一の極性の環状補助磁石2Rt−嵌合したものである
。従って軸5が垂直に配置されている状態では@5図(
;示したように、距離σに対応して各方向均等な吸引力
を生ずると共に距IJJdに対応して均等な斥力が発生
し1更に距離1に対応して各方向均等な斥力を生ずる。
しかし主磁石17゜18の同の殴り1カが補助磁石1G
、JaOおよび!a1゜■の間のγ力より遥かシニ大き
いため1=41JI 5 r二は上方に向う支持力が加
わるものである。
しかし第6図に示したように、軸5が仮りC二右方へ傾
斜したものとすると、―i1の右側C二おいては磁石間
における距雛の変化を缶視するとき吸引力は距1lII
hに対応して、この力は距離C(二対応する正常状態よ
り増大する。これに対して補助磁石19゜goおよびl
al、21aiυの斥力はり]らか(=減少するDまた
軸5の左側においては、距mdi3よびII(二対応す
る斥力に殆んで変化を生じないC二対して、吸引力は距
離i(二対応して著しく減少する。すなわち牝15の右
側と左側との吸引力にその傾斜を修正する方向の不平衡
を生ずるから・軸5の傾斜は直ちに補正されて、垂直な
状態に戻る。
以上実施例について説明したようl二本発明Fi股引ま
たは斥力によって鉛直回転軸を保持する主副状磁石の内
側または外側(二、上記主磁石と逆(二斥力または吸引
力を発生する補助の現状磁石を配置したものである。従
って極めて簡単な構成を有し、かりniI述のよう(二
軸の輛きを自動的に補正する作用を得ることができる。
このため軸の回転(二振動等を生ずることなく安定に高
速回転を行ψ得ると共に複雑な自動制8機構等を省略す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の装置を用いることのできるターボ真空
分子ポンプの一例を示した縦断面図1第2図V第1図の
装置(二用いられる従来の磁気軸受製置、第3図は本発
明実施例の縦断面図1男番因rよ第3図の装置における
軸が傾斜した状態の縦断面図、第5図は本発明の他の実
施例の縦断面図、第6図rj 9S5図の装「′tにお
ける軸が傾斜した状態の縦断面図である。なお図におい
て、5は鉛直回転軸、17.18は主環状磁石、19,
20.lal+[ti補助環状磁石である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 軸方向に磁化してその磁極が相対向するように鉛直回転
    軸の軸線上に同軸的に配置して一方を基台に固定し他方
    に上記回転軸を取付けることにより磁石の吸す1また社
    反撥力で該回転軸を支持した1対の主環状磁石を有し、
    かつ軸方向に磁化して上記主環状磁石の各々′(;同軸
    的シー嵌合すると共に主永久磁石と逆に反撥または吸引
    力を生ずることにより前記回転軸の傾きを修正する作用
    のある比較的弱い力の補助環状磁石を具備したことを特
    徴とする鉛直軸の磁気軸受装置
JP19826683A 1983-10-25 1983-10-25 鉛直軸の磁気軸受装置 Pending JPS6091011A (ja)

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