JPS60213621A - Ｉｃハンドラ用ロ−タリ搬送機構 - Google Patents
Ｉｃハンドラ用ロ−タリ搬送機構Info
- Publication number
- JPS60213621A JPS60213621A JP6741884A JP6741884A JPS60213621A JP S60213621 A JPS60213621 A JP S60213621A JP 6741884 A JP6741884 A JP 6741884A JP 6741884 A JP6741884 A JP 6741884A JP S60213621 A JPS60213621 A JP S60213621A
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- JP
- Japan
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- revolving
- check
- axis
- ics
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67271—Sorting devices
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Sorting Of Articles (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はＩＣハンドラ用の搬送機構に係シ、特に検査ス
テーションで選別されたＩＣを分類して搬送するに好適
な搬送機構に関するものであるっ〔発明の背景〕 ＩＣハンドラはｒｃの自動検査装置−に組み込んで用い
られ、多数のＩＣを順次に搬送しつつ検査条件の温度に
予熱□若しくは予冷し、検査ステーションに供給し、検
査結果に基づいて不良品を排除すると共に、検査結果に
基づいてグｌ／−ド分けして搬送する機能を有する機械
装置Ｗである０、前記の検査ステーションね処理能率を
土ける為に複数個設けられ、これに対応して予熱又は予
冷用のレーンも複数列設けられる。また選別分類後の搬
送レーンもグレード別に複数列設けられる。
テーションで選別されたＩＣを分類して搬送するに好適
な搬送機構に関するものであるっ〔発明の背景〕 ＩＣハンドラはｒｃの自動検査装置−に組み込んで用い
られ、多数のＩＣを順次に搬送しつつ検査条件の温度に
予熱□若しくは予冷し、検査ステーションに供給し、検
査結果に基づいて不良品を排除すると共に、検査結果に
基づいてグｌ／−ド分けして搬送する機能を有する機械
装置Ｗである０、前記の検査ステーションね処理能率を
土ける為に複数個設けられ、これに対応して予熱又は予
冷用のレーンも複数列設けられる。また選別分類後の搬
送レーンもグレード別に複数列設けられる。
従って、ＩＣハンドラの搬送機構は複数列のレーンから
ＩＣを受け取り、複数基の検査ステーションに配分し、
かつ検査済ＩＣを複数列のレーン拠振ル分けなければな
らない。
ＩＣを受け取り、複数基の検査ステーションに配分し、
かつ検査済ＩＣを複数列のレーン拠振ル分けなければな
らない。
更に、前記の搬送レーンは、設置所要面積を縮小するた
め一般に屈曲せしめて設けられる。このため、検査ステ
ーションの前後において搬送方向を変横する機能を備え
た搬送装置が望ましい。
め一般に屈曲せしめて設けられる。このため、検査ステ
ーションの前後において搬送方向を変横する機能を備え
た搬送装置が望ましい。
本発明は上述の事情に鑑みて為されたもので、４列の予
熱又は予冷レーンからＩＣを受け取ってこれを４基の検
査ステーションに供給し、検査法ＩＣを検査結果に基づ
いて２列乃至４列のレーンに振シ分け、かつ、予熱若し
くは予熱レーンの搬送方向と異なる方向に（例えば直角
方向９反対方向などに）搬出する機能を備えたＩＣハン
ドラ用の搬送機構を提供しようとするものである。
熱又は予冷レーンからＩＣを受け取ってこれを４基の検
査ステーションに供給し、検査法ＩＣを検査結果に基づ
いて２列乃至４列のレーンに振シ分け、かつ、予熱若し
くは予熱レーンの搬送方向と異なる方向に（例えば直角
方向９反対方向などに）搬出する機能を備えたＩＣハン
ドラ用の搬送機構を提供しようとするものである。
上記の目的を達成する為、本発明の搬送機構は、垂直（
地球に対して鉛直の意）な軸の回シに間欠的に回動する
公転アームを設け、該公転アームの先端に垂直軸の回シ
に自転する自転アームの中央部を軸支し、上記自転アー
ムの両端にそれぞれ更に自転する小アームの中央部を軸
支し、かつ、上記小アームの両端付近にそれぞれＩＣ吸
着手段を設け、前記公転アームの回動軌跡円の切線方向
に搬入されたＩＣを吸着保持して回動軌跡円上に設けた
検査ステーションに供給し、かつ、検査法ＩＣを回動軌
跡円の切線方向に搬出するように構成したことを特徴と
する。
地球に対して鉛直の意）な軸の回シに間欠的に回動する
公転アームを設け、該公転アームの先端に垂直軸の回シ
に自転する自転アームの中央部を軸支し、上記自転アー
ムの両端にそれぞれ更に自転する小アームの中央部を軸
支し、かつ、上記小アームの両端付近にそれぞれＩＣ吸
着手段を設け、前記公転アームの回動軌跡円の切線方向
に搬入されたＩＣを吸着保持して回動軌跡円上に設けた
検査ステーションに供給し、かつ、検査法ＩＣを回動軌
跡円の切線方向に搬出するように構成したことを特徴と
する。
第１図は本発明の詳細な説明図である。
４列のベルトコンベアｌａ 、 ｌｂ 、 ｌｃ 、
ｌｄが間隔りで平行に設けられている。中心軸２０回シ
に間欠的に回動する公転アーム３の先端に、長さ２Ｌの
自転アーム４の中央が回転駆動し得るように支承されて
いる。
ｌｄが間隔りで平行に設けられている。中心軸２０回シ
に間欠的に回動する公転アーム３の先端に、長さ２Ｌの
自転アーム４の中央が回転駆動し得るように支承されて
いる。
上記自転アーム４の両端に、更に長さＬの小アーム５の
中央が回転駆動し得るように支承されている。そして、
上記１対の小アーム５ｍ 、 ５ｂそれぞれの両端に、
４個の真空吸着パッド６ｍ、６ｂ 、 ６ａ 。
中央が回転駆動し得るように支承されている。そして、
上記１対の小アーム５ｍ 、 ５ｂそれぞれの両端に、
４個の真空吸着パッド６ｍ、６ｂ 、 ６ａ 。
６ｄが１個ずつ取シ付けられている。
図示の状態においてはベルトコンベアｌｃ上のＩＣ７は
吸着パッド６ｃに対向しているが、小アーム５ｂをＡ回
転だけ回動させるど吸着パッド６ｄがＩＣ７に対向する
。このように、小アーム５ｂを回動させることによって
吸着パッド６ａ 、 ６ｄの内の何れか任意の吸着パッ
ドによってＩＣ７を吸着保持することができる。更に自
転アーム４を１／２回転だけ回動させると吸着パッド６
ｍ 、 ６ｂの内の何れか任意の吸着パッドによってベ
ルトコンベアｌｅ上ｃＤＩＣ７を吸着保持することがで
きる。
吸着パッド６ｃに対向しているが、小アーム５ｂをＡ回
転だけ回動させるど吸着パッド６ｄがＩＣ７に対向する
。このように、小アーム５ｂを回動させることによって
吸着パッド６ａ 、 ６ｄの内の何れか任意の吸着パッ
ドによってＩＣ７を吸着保持することができる。更に自
転アーム４を１／２回転だけ回動させると吸着パッド６
ｍ 、 ６ｂの内の何れか任意の吸着パッドによってベ
ルトコンベアｌｅ上ｃＤＩＣ７を吸着保持することがで
きる。
以上の作用から明らかなように、自転アーム４の中央部
を回転駆動可能に支承すると共に、上記自転アームの両
端にそれぞれ更に自転する小アーム５ａ 、 ５ｂの中
央部を軸支し、かつ上記小アームの両端部にそれぞれ吸
着ノくラド６＆〜６ｄを設けると、上記４個の吸着パッ
ド６ａ〜６ｄの内の任意の１個でコンベアｌｃ上のＩＣ
７を吸！堡持することができる。同様の理由で、４列の
コンベア１ａ〜１ｄの内の任意のコンベア上のＩＣ（図
示省略）を吸着することもできる。
を回転駆動可能に支承すると共に、上記自転アームの両
端にそれぞれ更に自転する小アーム５ａ 、 ５ｂの中
央部を軸支し、かつ上記小アームの両端部にそれぞれ吸
着ノくラド６＆〜６ｄを設けると、上記４個の吸着パッ
ド６ａ〜６ｄの内の任意の１個でコンベアｌｃ上のＩＣ
７を吸！堡持することができる。同様の理由で、４列の
コンベア１ａ〜１ｄの内の任意のコンベア上のＩＣ（図
示省略）を吸着することもできる。
また、吸着パッド６ｂがＩＣ７’を吸着保持している場
合、このＩ Ｃ７’を４列のコンベア１ａ〜１ｄ（７）
内の任意のコンベア上に搭載することもできる。
合、このＩ Ｃ７’を４列のコンベア１ａ〜１ｄ（７）
内の任意のコンベア上に搭載することもできる。
同様の理由によシ、４個の吸着パッド６ａ〜６ｄのそれ
ぞれが吸着保持しているＩＣ（図示せず）を任意のコン
ベア（１ａ〜１ｄの内の一つ）に搭載することもできる
。
ぞれが吸着保持しているＩＣ（図示せず）を任意のコン
ベア（１ａ〜１ｄの内の一つ）に搭載することもできる
。
更に、第１図に示した公転アームを回動させると、それ
ぞれの吸着パッド６１〜６ｄに吸着保持されたＩＣ（図
示せず）は中心軸２０回りに同心円状の軌跡を描いて搬
送される。
ぞれの吸着パッド６１〜６ｄに吸着保持されたＩＣ（図
示せず）は中心軸２０回りに同心円状の軌跡を描いて搬
送される。
前述の如くＩＣの吸着、搭載と搬送とを行なうため、前
記の公転アーム３．自転アーム４．小アーム５は、それ
ぞれ制御されて間欠的に回動し得る構造になっている。
記の公転アーム３．自転アーム４．小アーム５は、それ
ぞれ制御されて間欠的に回動し得る構造になっている。
第２図は、前述の原理（第１図）に基づいて４列のプリ
ヒータ８ｍ、 ８ｂ 、 ８ｃ 、 ８ｄによって搬送
されるＩＣ７を４基の検査ステーション９ａ 、 ９ｂ
、 ９ｃ 、 ９ｄに供給し、該ＩＣ７を検査結果に
従って４列の搬送レー：／ １０ｍ 、 １０ｂ 、
１０ｏ 、 １０ｄに振シ分けるように構成した本発明
の搬送機構の１実施例の平面図である。
ヒータ８ｍ、 ８ｂ 、 ８ｃ 、 ８ｄによって搬送
されるＩＣ７を４基の検査ステーション９ａ 、 ９ｂ
、 ９ｃ 、 ９ｄに供給し、該ＩＣ７を検査結果に
従って４列の搬送レー：／ １０ｍ 、 １０ｂ 、
１０ｏ 、 １０ｄに振シ分けるように構成した本発明
の搬送機構の１実施例の平面図である。
前記のプリヒータ８ａ〜８ｄはＩＣを搬送しつつ検査条
件の温度まで予熱する装置であって、第１図の原理図に
示したベルトコンベアｌａ〜１ｄに対応する構成部分で
ある。
件の温度まで予熱する装置であって、第１図の原理図に
示したベルトコンベアｌａ〜１ｄに対応する構成部分で
ある。
第１図の原理図と同一の図面参照番号を付した中心軸２
．公転アーム３．自転アーム４．小アーム５ｍ 、 ６
ｍ 、及び真空吸着パッド６ａ〜６ｄはそれぞれ原理図
について説明した構成部材に対応する部材である。
．公転アーム３．自転アーム４．小アーム５ｍ 、 ６
ｍ 、及び真空吸着パッド６ａ〜６ｄはそれぞれ原理図
について説明した構成部材に対応する部材である。
図示の同心状の円弧１１ａ 、 ｌｌｂ 、 ｌｉｅ
、 ｌｉｄは、１対の小アーム５ａ、５ｂを自転アーム
４と平行姿勢とし該自転アーム４を公転アーム３と平行
姿勢にしたとき、４個の真空吸着パッド６ａ〜６ｄが公
転軸３０回動に伴って描く軌跡を示している。
、 ｌｉｄは、１対の小アーム５ａ、５ｂを自転アーム
４と平行姿勢とし該自転アーム４を公転アーム３と平行
姿勢にしたとき、４個の真空吸着パッド６ａ〜６ｄが公
転軸３０回動に伴って描く軌跡を示している。
前記のブリヒータ８１〜８ｄ、及び搬送レーン１０ａ〜
１０ｄはそれぞれ上記の軌跡円弧１１ａ〜ｌｉｄの切線
方向に設置する。
１０ｄはそれぞれ上記の軌跡円弧１１ａ〜ｌｉｄの切線
方向に設置する。
本実施例においては、ＩＣを搬入する側のブリヒータ８
ａ〜８ｄの搬送方向矢印ａに対して、ＩＣを搬出する側
の搬送レーン１０ａの搬送方向を矢印すの如く１８０°
反転させて設けであるが、本発明を実施する際搬出側の
搬送レーンの搬送方向を矢印Ｃの如く９０°変換させ、
若しくは矢印ｄの如く任意の方向に変換させることもで
きる。
ａ〜８ｄの搬送方向矢印ａに対して、ＩＣを搬出する側
の搬送レーン１０ａの搬送方向を矢印すの如く１８０°
反転させて設けであるが、本発明を実施する際搬出側の
搬送レーンの搬送方向を矢印Ｃの如く９０°変換させ、
若しくは矢印ｄの如く任意の方向に変換させることもで
きる。
前記の同心円弧１１ａ〜ｌｉｄ上に、その法線Ｆ方向に
並べて検査ステーション９ａ〜９ｄを設けると共に、法
線Ｆ方向に並べて検査不良品アンローディングステーシ
ョン１２１〜１２ｄを設ける。本発明を実施する際、上
記の各ステーション（９ａ〜９ｄ及び１２ａ 〜１２ｄ
）は、それぞれ同心円弧１１ａ〜１１ｄ上に設置する
が、必ずしも法１１１Ｅ、Ｆ方向に揃えなくても良い。
並べて検査ステーション９ａ〜９ｄを設けると共に、法
線Ｆ方向に並べて検査不良品アンローディングステーシ
ョン１２１〜１２ｄを設ける。本発明を実施する際、上
記の各ステーション（９ａ〜９ｄ及び１２ａ 〜１２ｄ
）は、それぞれ同心円弧１１ａ〜１１ｄ上に設置する
が、必ずしも法１１１Ｅ、Ｆ方向に揃えなくても良い。
以上のように構成した搬送機構の使用方法の１例につい
て次に説明する。この使用例においては検査ステーショ
ン９ａ〜９ｄにおける検査の結果、明確な不良品と判定
されたＩＣは不良品アンローディングステーション１２
１〜１２ｄの内の倒れかに落とし、検査の結果再検査す
べきものと判定されたＩＣは搬送レーン１０ｍに、いわ
ゆる特採品と判定されたＩＣは搬送レーンｉｏｂに、検
査合格２級品は搬送レーン１０ｃに、検査合格１級品は
搬送レーン１０ｄに、それぞれ振如分けるものとする。
て次に説明する。この使用例においては検査ステーショ
ン９ａ〜９ｄにおける検査の結果、明確な不良品と判定
されたＩＣは不良品アンローディングステーション１２
１〜１２ｄの内の倒れかに落とし、検査の結果再検査す
べきものと判定されたＩＣは搬送レーン１０ｍに、いわ
ゆる特採品と判定されたＩＣは搬送レーンｉｏｂに、検
査合格２級品は搬送レーン１０ｃに、検査合格１級品は
搬送レーン１０ｄに、それぞれ振如分けるものとする。
第１図に示したように小アーム５ａ 、 ５ｂ 、及び
自転アーム４を公転アーム３と平行な姿勢にすると４個
の真空吸着パッド６ａ〜６ｄ相互の間隔がＬとなる。こ
の状態で公転アーム３を第２図の法線Ｇの如くブリヒー
タ８ａ〜８ｄと垂直な方向に回動させると、各真空吸着
パッド６ａ〜６ｄはそれぞれプリヒータ８ａ〜８ｂ終点
部のＩＣ７に対向する０この状態で公転アーム３０回動
を瞬時的に停止させ、４個のＩＣ７を吸着保持し、公転
アーム３を法線Ｅ位置まで回動させて一時的に停止させ
、保持していた４個のＩＣ７をそれぞれ検査ステーショ
ン９＆〜９ｄに供給する。
自転アーム４を公転アーム３と平行な姿勢にすると４個
の真空吸着パッド６ａ〜６ｄ相互の間隔がＬとなる。こ
の状態で公転アーム３を第２図の法線Ｇの如くブリヒー
タ８ａ〜８ｄと垂直な方向に回動させると、各真空吸着
パッド６ａ〜６ｄはそれぞれプリヒータ８ａ〜８ｂ終点
部のＩＣ７に対向する０この状態で公転アーム３０回動
を瞬時的に停止させ、４個のＩＣ７を吸着保持し、公転
アーム３を法線Ｅ位置まで回動させて一時的に停止させ
、保持していた４個のＩＣ７をそれぞれ検査ステーショ
ン９＆〜９ｄに供給する。
検査を終えたＩＣを再び吸着保持して図の右回り方向に
回動し、法線Ｆ上を通過する際、検査不良品と判定され
たＩＣを不良品アンローディングステーション１２ａ〜
１２ｄの何れか一つに落下させて搬出する。
回動し、法線Ｆ上を通過する際、検査不良品と判定され
たＩＣを不良品アンローディングステーション１２ａ〜
１２ｄの何れか一つに落下させて搬出する。
検査不良品以外のＩＣを吸着保持したまま法線Ｆを通過
した後、自転アーム４および小アーム５ｍ。
した後、自転アーム４および小アーム５ｍ。
５ｂを回転させ、４個の真空吸着パッド６ａ〜６ｄが吸
着保持しているＩＣのグレードに応じてそれぞれの吸着
パッド６ａ〜６ｄを搬送レーン１０ａ〜１０ｄの何れか
に対向させてＩＣを受渡しする。
着保持しているＩＣのグレードに応じてそれぞれの吸着
パッド６ａ〜６ｄを搬送レーン１０ａ〜１０ｄの何れか
に対向させてＩＣを受渡しする。
１例の搬送レーン（１０ａ〜１０ｄの内の何れか一つ）
に受渡すべきＩＣが２個以上有るときなど、同時に複数
個のＩＣの受渡しができないときは自転アーム４および
小アーム５ａ、５ｂを順次に１８０°ずつ回動させつつ
順次に受渡しを行なう。
に受渡すべきＩＣが２個以上有るときなど、同時に複数
個のＩＣの受渡しができないときは自転アーム４および
小アーム５ａ、５ｂを順次に１８０°ずつ回動させつつ
順次に受渡しを行なう。
上記の実施例から明らかなように、本発明の搬送機構は
４列の予熱又は予冷レーンから受け取ったＩＣを４基の
検査ステーションに供給し、検査法ＩＣを４列の搬送レ
ーンに振プ分ける機能を有しているが、上記４列の１７
−ン又ね、４基のステーションの１部を休止させ、若し
くは１部の設置を省略することも勿論可能である。
４列の予熱又は予冷レーンから受け取ったＩＣを４基の
検査ステーションに供給し、検査法ＩＣを４列の搬送レ
ーンに振プ分ける機能を有しているが、上記４列の１７
−ン又ね、４基のステーションの１部を休止させ、若し
くは１部の設置を省略することも勿論可能である。
また、本発明の機構を２組以上設けることによ）、４の
倍数列のレーンと４の倍数基のステーション間の搬送、
振分けを行い得ることも明らかであり、更にその１部を
休止、省略することもできる。
倍数列のレーンと４の倍数基のステーション間の搬送、
振分けを行い得ることも明らかであり、更にその１部を
休止、省略することもできる。
以上詳述したように、本発明のロータリ搬送機構は、４
列の予熱又は予冷レーンからＩＣを受け取ってこれを４
基の検査ステーションに供給し、検査済ＩＣを検査結果
に基づいて２列乃至４列のレーンに振り分け、かつ、予
熱若しくは予熱レーンの搬送方向と異なる方向に搬出す
ることができるという優れた実用的効果を奏する。
列の予熱又は予冷レーンからＩＣを受け取ってこれを４
基の検査ステーションに供給し、検査済ＩＣを検査結果
に基づいて２列乃至４列のレーンに振り分け、かつ、予
熱若しくは予熱レーンの搬送方向と異なる方向に搬出す
ることができるという優れた実用的効果を奏する。
第１図は本発明のロータリ式搬送機構の原理的説明図、
第２図は本発明のロータリ式搬送機構の１実施例の平面
図である。 １ａ〜１ｄ・・・ベルトコンベア、２・・・中心軸、３
・・・公転アーム、４・・・自転アーム、５ｍ、５ｂ・
・・小７− ム、６ａ〜６ｄ−真空吸着パッド、７、７
’−Ｉ Ｃ、８ａ 〜８ｄ・・・７”ｌＪ上ヒータ９ａ
〜９ｄ・・・検査ステーション、１０＆〜１０ｄ・・・
搬送レーン、１１＆〜１１゛ｄ・・・同心円弧、１２ａ
〜１２ｄ・・・検査不良品アンローディングステーショ
ン。 実用新案登録出願人 日立電子ヰ４ヒアリング株式会社
代理人 弁理士 秋 本 正 実
第２図は本発明のロータリ式搬送機構の１実施例の平面
図である。 １ａ〜１ｄ・・・ベルトコンベア、２・・・中心軸、３
・・・公転アーム、４・・・自転アーム、５ｍ、５ｂ・
・・小７− ム、６ａ〜６ｄ−真空吸着パッド、７、７
’−Ｉ Ｃ、８ａ 〜８ｄ・・・７”ｌＪ上ヒータ９ａ
〜９ｄ・・・検査ステーション、１０＆〜１０ｄ・・・
搬送レーン、１１＆〜１１゛ｄ・・・同心円弧、１２ａ
〜１２ｄ・・・検査不良品アンローディングステーショ
ン。 実用新案登録出願人 日立電子ヰ４ヒアリング株式会社
代理人 弁理士 秋 本 正 実
Claims (1)
- ＩＣハンドラにおいて、垂直な軸の回シに間欠的に回動
する公転アームを設け、該公転アームの先端に垂直軸の
回シに自転する自転アームの中央部を軸支し、上記自転
アームの両端にそれぞれ更に自転する小アームの中央部
を軸支し、がっ、上記小アームの両端付近にそれぞれＩ
Ｃ吸着手段を設け、前記公転アームの回動軌跡円の切線
方向に搬入されたＩＣを吸着保持して回動軌跡円上に設
けた検量ステーションに供給し、がっ、検食済ＩＣを回
動軌跡円の切線方向に搬出するように構成したことを特
徴とするＩＣハンドラ用ロータリ搬函機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6741884A JPS60213621A (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | Ｉｃハンドラ用ロ−タリ搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6741884A JPS60213621A (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | Ｉｃハンドラ用ロ−タリ搬送機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60213621A true JPS60213621A (ja) | 1985-10-25 |
| JPH0211487B2 JPH0211487B2 (ja) | 1990-03-14 |
Family
ID=13344338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6741884A Granted JPS60213621A (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | Ｉｃハンドラ用ロ−タリ搬送機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60213621A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009514760A (ja) * | 2005-11-10 | 2009-04-09 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 単個品を向き変えするための引渡し装置 |
| WO2018015801A1 (de) * | 2016-07-20 | 2018-01-25 | Barry-Wehmiller Papersystems, Inc. | Vorrichtung zum aufbringen von datenträgern auf eine trägerbahn |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5097075A (ja) * | 1973-12-28 | 1975-08-01 |
-
1984
- 1984-04-06 JP JP6741884A patent/JPS60213621A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5097075A (ja) * | 1973-12-28 | 1975-08-01 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009514760A (ja) * | 2005-11-10 | 2009-04-09 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 単個品を向き変えするための引渡し装置 |
| WO2018015801A1 (de) * | 2016-07-20 | 2018-01-25 | Barry-Wehmiller Papersystems, Inc. | Vorrichtung zum aufbringen von datenträgern auf eine trägerbahn |
| US10843887B2 (en) | 2016-07-20 | 2020-11-24 | Bw Papersystems Stuttgart Gmbh | Apparatus for mounting data carriers onto a carrier web |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0211487B2 (ja) | 1990-03-14 |
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