JPS60168255U - 真空排気制御装置 - Google Patents
真空排気制御装置Info
- Publication number
- JPS60168255U JPS60168255U JP5640484U JP5640484U JPS60168255U JP S60168255 U JPS60168255 U JP S60168255U JP 5640484 U JP5640484 U JP 5640484U JP 5640484 U JP5640484 U JP 5640484U JP S60168255 U JPS60168255 U JP S60168255U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust
- control device
- mode
- vacuum exhaust
- exhaust control
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来装置の構成図、第2図は本考案の一実施例
の構成図、第3図は本考案を説明するためのタイムチャ
ートである。 1:イオン化室、2:エアロツク室、3:液体クロマト
グラフ、4,7,8,10.:バルブ、5.9:油回転
ポンプ、6:油拡散ポンプ、11:真空計、12:バル
ブ制御回路、13:スイッチ、14.15.16:タイ
マー、17:第2のバルブ制御回路、18.19:論理
和回路。
の構成図、第3図は本考案を説明するためのタイムチャ
ートである。 1:イオン化室、2:エアロツク室、3:液体クロマト
グラフ、4,7,8,10.:バルブ、5.9:油回転
ポンプ、6:油拡散ポンプ、11:真空計、12:バル
ブ制御回路、13:スイッチ、14.15.16:タイ
マー、17:第2のバルブ制御回路、18.19:論理
和回路。
Claims (1)
- 被排気室の圧力を真空計により検出し、その検出信号に
応じて被排気室を複数の排気モードに切換えて排気する
装置において、ある排気モードAによる排気開始から予
め設定された一定時間後に排気モードBによる排気を開
始させる時間制御手段と、前記真空計からの検出信号に
基づいて排気モードAによる排気を終了させる圧力制御
手段によって複数の排気モードの切換えを行なうように
構成したことを特徴とする真空排気制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5640484U JPS60168255U (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 真空排気制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5640484U JPS60168255U (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 真空排気制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60168255U true JPS60168255U (ja) | 1985-11-08 |
JPH0424599Y2 JPH0424599Y2 (ja) | 1992-06-10 |
Family
ID=30579964
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5640484U Granted JPS60168255U (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 真空排気制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60168255U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6453076A (en) * | 1987-08-19 | 1989-03-01 | Jeol Ltd | High vacuum pump protecting system in high vacuum exhaust system |
JPH01239751A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-25 | Jeol Ltd | 真空装置における排気系 |
-
1984
- 1984-04-17 JP JP5640484U patent/JPS60168255U/ja active Granted
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6453076A (en) * | 1987-08-19 | 1989-03-01 | Jeol Ltd | High vacuum pump protecting system in high vacuum exhaust system |
JPH01239751A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-25 | Jeol Ltd | 真空装置における排気系 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0424599Y2 (ja) | 1992-06-10 |
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