JPS60195982U - 真空ポンプ装置 - Google Patents

真空ポンプ装置

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JPS60195982U
JPS60195982U JP8515384U JP8515384U JPS60195982U JP S60195982 U JPS60195982 U JP S60195982U JP 8515384 U JP8515384 U JP 8515384U JP 8515384 U JP8515384 U JP 8515384U JP S60195982 U JPS60195982 U JP S60195982U
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JP
Japan
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vacuum pump
pump equipment
solenoid valve
vacuum
timer
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JP8515384U
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白戸　鴻三
加藤　和紀
早坂　公朗
和保 川島
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株式会社エルマ、シーアール
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  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案実施の一例を示す模式図である。 図中、１は真空チャンバ、２は真空ポンプ、３はパイプ
、４は電磁弁、５はタイマである。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空チャンバと真空ポンプとを接続するパイプに電磁弁
    を組込むと共に、前記電磁弁が閉じた後に所定時間真空
    ポンプを動作させるタイマを備えてなる真空ポンプ装置
    。
JP8515384U 1984-06-08 1984-06-08 真空ポンプ装置 Granted JPS60195982U (ja)

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JP8515384U JPS60195982U (ja) 1984-06-08 1984-06-08 真空ポンプ装置

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JPS60195982U true JPS60195982U (ja) 1985-12-27
JPH0343431Y2 JPH0343431Y2 (ja) 1991-09-11

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014066383A (ja) * 2012-09-25 2014-04-17 Samson Co Ltd 真空冷却装置
WO2015098220A1 (ja) * 2013-12-26 2015-07-02 コニカミノルタ株式会社 インクジェット記録装置及びその制御方法
JP2019088557A (ja) * 2017-11-15 2019-06-13 ニッタン株式会社 負圧湿式予作動スプリンクラー設備

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014066383A (ja) * 2012-09-25 2014-04-17 Samson Co Ltd 真空冷却装置
WO2015098220A1 (ja) * 2013-12-26 2015-07-02 コニカミノルタ株式会社 インクジェット記録装置及びその制御方法
JPWO2015098220A1 (ja) * 2013-12-26 2017-03-23 コニカミノルタ株式会社 インクジェット記録装置及びその制御方法
JP2019088557A (ja) * 2017-11-15 2019-06-13 ニッタン株式会社 負圧湿式予作動スプリンクラー設備

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