JPS6015941A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は検査技術、特に、フラットタイプの半導体装置
の特性検査に適用して有効な検査技術に関する。

［背景技術］ 半導体装置の製造過程において組の立てを終了した製品
をソケットにより特性検査する場合、ソケットへの製品
の挿入、取り出しおよび搬送等の作業はすべて手作業で
行われている。

そのため、作業工数が多く、未熟練の作業者等の場合、
特に検査時間の短い製品については手作業が間に合わず
、検査装置のスループットが低下したり、取り扱い中の
製品のり−ト曲がりが発生ずるという問題がある。また
一作業者の不注怠により、帯電アースの取り忘れに起因
して製品内の回路の静電気破壊を生じることがある。

［発明の目的］ 本発明の目的は、検査作業の自動化による能率の向上を
図ることのできる検査技術を提供することにある。

本発明の他の目的は、作業工数の少ない検査技術を堤４
Ｊ％するごとにある。

本発明のさらに他の目的は、作業人員の削減によるコス
トの低減を図ることのできる検査技術を提供するごとに
ある。

本発明のさらに他の目的は、自動検査による高温選別の
信頼性向上を可能にする検査技術を提供することにある
。

本発明のさらに伯の目的は、被検査物の変形、損傷を防
止゛３−ることのできる検査技術を提供することにある
。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

［発明のイ既要］ 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を節ｆｌｊに説明すれば、次の通りである。

スナわら、検査をすべて一貫自動化することにより、作
業能率の向上等の前記諸口的を達成することができるも
のである。

［実施例］ 第１図は本発明の一実施例である検査装置の主要構成を
示す概略斜視図、第２図はその供給側搬送部の拡大部分
斜視図、第３図は回収側搬送部の拡大部分斜視図である
。

この実施例は本発明をフラソトパ・７ケージ型の半導体
装置の特性検査、選別に適用した例である。

本実施例において、被検査物は未検査状態でトレー１の
中に収納され、トレー１はランク２内に多段式に収容さ
れている。図示しないが、ラック２内のトレー１のうち
、最下段のトレー１を図の右手前方向に押し出すプッシ
ャー機構がラック２の後方に設けられている。

このラック２の出口側の一例部には、該ラック２に対し
て直角方向に供給側ウオーキングビーム３　（第１の搬
送手段）が配設されている。このウメ−キングビーム３
は長手方向中央部に設けられた搬送ブロック４およびそ
の長手方向両側の（般送レール５よりなる。搬送ブロッ
ク４の中にはヒータ６が長手方向に設けられている。ま
た、搬送ブロック４の上面には、その長平方向に対して
対向方向に位置決め用領斜面８を持つ凹部７が複数個形
成され、各四部７内に被検査物をＩ　ｌｌ１ｉＩずつ載
置するようになっている。一方、両搬送レール５の内側
方向にも、互いに対向方向に位置決め用佃斜面９が形成
され、これらの傾斜面９は前記傾斜面８と協働してＸ方
向およびＹ方向の位置決めを被検査物の四方向から行う
。

前記ウメ−キングビーム３の上方には、第２図に示すよ
うに、トレー１内の被検査物１０を磁気吸着力で吸着し
て搬送ブロック４の凹部７の中に１個ずつ供給するだめ
のマグネット機構１１が設置されている。

前記ウメ−キングビーム３の前端部の側方には、該ウオ
ーキングビーム３で搬送されて来た被検査物１０を１カ
査川のソケット１３に移送するための回転アーＪ＼ｔ１
ＭｔＡ　Ｉ　２　（移送手段）が配設されている。この
回転アーム機構１２は互いに直角方向に延びた２本の保
持アームを有し、たとえば４５゜の角度毎に間欠回転し
かつ上下動してウオーキングビーム３上の被検査物１０
を１個ずつソケット１３の上に載置する。

前記ソケット１３はその中央部に、被検査物１０の底面
を保持するアライメントへ７（を有し、このアライメン
トヘッドは上：Ｆ揺動により被測定物を位置決めする。

ソケット１３はまた、？！！！検査物１０を上から押さ
えて測定端子との接触を確保するためのプッシャー（図
示せず）を備え”Ｃいる。

ソケット１３は本実施例では回転アーム機構１２の両側
に２つ設りられ、検査の空き時間をな（して能率的な検
査を行うようになっζいる。両ソケット１３は検査用の
テスター（図示せず）に接続されている。

前記回転アーム機構１２およびソケソ１−１３を挾んで
前記ウオーキングビーム３とは反対側には、回収用のウ
オーキングビーム１４（第２のｔＵ送手段）が設けられ
ている。このウオーキングビーム１４はソケット１３で
の特性検査を終了した被桧査物１０を回収位置に回収す
るものである。このウオーキングビーム１４はウオーキ
ングビーム３と実質的に同一の構造を有し、長手方向中
央部の搬送ブロック１５とその両側のｌｆｔ！！送レー
ル１６とよりなるが、搬送ブロック１５にはヒータが設
けられていない。

また、ウオーキングビーム１４の上方には、第３図に示
すように、前記マグネット機構１１と実質的に同一のマ
グネット機構１７が設置されている。このマグネットｔ
＋ＭｆＭ　！　７ばウオーキングビーム１４上の検査／
／ＦＣ７ｊの被測定物１０のうち良品のめを複数個（５
個）ピッチ送り式の回収用トレー１８の所定位置に収納
する。トレー１８は空状態でラック１９内に祖数段に収
納され、図示しないプッシャーにより最下段の１枚ずつ
が図の右手前側に押し出される。良品の？！！！検査物
１０を収納した１−レー１８は１３ａで示す如く複数枚
段積みされる。

次に、本実施例の作用について説明する。

被検査物１０の−・例としてのフラットパッケージ型の
半導体装置は、前の工程（切断工程、工−ジング工程）
からトレー１に収納された形で選別工程に運ばれて（る
。そのｌ・レー゛１と共にラック２に収納し、また回収
用の空トレー１８もラック１９に収納し、供給用、回収
用ラック２．１９を装置にセントする。ランク２．１９
の上下動により所定の高さまでラックを下げトレー１、
空トレー１８の後端を押して位置出しを行ってから、爪
（図示せず）によりトレー溝部分を引っかけてピンチ送
りする。

供給側においては、トレー１の所定位置からマグネット
機構１１で被検査物１ｏを吸い上げウオーキングビーム
３のブロック４の四部７の上でｎｌを脱する。マグネッ
ト機構１１は、原点−トレー１への下降−被検査物１０
の吸着−ウオーキングビーム３まで送り一被検査品１ｏ
のｌ’ｌｌｌ脱−原点戻り動作までを１ザイクルとして
動作する。

ウオーキングビーム３上に置かれた被検査物１０は、搬
送ブロック４の傾斜面８によりＩｌｔ送方向（Ｙ方向）
の位置決めがされ、搬送レール５の矩形動作で搬送と直
角方向くＸ方向）の位置決めがされる。

ウメ−キングビーム３の搬送ブロック４は固定され、搬
送レール８の矩形動作にて位置決めされ、かつ定ピンチ
で１．搬送される。

搬送途中において、搬送ブロック７に内蔵されているヒ
ータ６にて予備加熱を行う。

Ｑ終の四部７に来た被検査物は、回転アーム機構１２で
ソケソｉ・１３内に搬送される。

回転アームＵＩＡ構１２の保持アームはそれぞれ各ソケ
ット１３に対して回転し、原点−４５°回転−上下動−
９０°回転−上下動−１３５°回転戻り→原点、を１ザ
イクルとして、直角に設けた２つの保持アームの吸着部
により、上下動の際に被検査物１０の吸着とｌ’ｉｌｌ
脱を行う。ソケット１３内に搬送された被検査物ｌＯは
、ソケット１３内の中心に設りたアライメントヘッドに
てその底部をホールドされた状態で上下揺動され、アラ
イメン１〜を終了後上部からプッシャー（図示せず）に
て搬送検査物ＩＯのリード部分を加圧する。加圧後、テ
ストスタート信号をテスターに送り、良否選別を行う。

前記検査、選別作業は２′）のソケソ“ト１３の各々に
ついて行い、片方のソケット１３に搬送中、片方のソケ
ット１３内の被検査物１０をテストするため、テストは
、シリーズに行われてソケット１３相互間での空き時間
はない。

検査済みの被検査物１０の回収に当たっては、回転アー
ム機構１２の離脱ポケットで良品はウオーキングビーム
１４で搬送され、不良品は、ｌ’ｌｌｌ　Ｍ４ポケット
自体の取り出し動作にてランダム回収される。

ウオーキングビーム１４で搬送された良品は、マグネッ
ト機構１７で回収部のトレー１８に収納される。トレー
１８のピッチ送りにて良品の回収を行い、満杯になった
トレー１８は１８ａで示す如く段積みにされる。一方、
供給側で空になったトレー１も１ａで示ず如く同様に段
積みされる。

本実施例によれば、工数低減、テスタースルーブツト向
上、休み時間無人選別等の効果がある。

また、パッケージｆ４１ｒ保持ｍ送によるり一ト曲がり
低減および高温選別時の予備加熱温度の信頼性向上等の
効果も得られる。

し効果」 （１）、検査作業の一貫自動化により、作業能率を著し
く向上させることができる。

（２）、自動化により、作業工数の少ない検査が可能と
なる。

（３）、自動化により、作業人員の削減によるコストの
低減を図ることができる。

（４）、自動検査により、被検査物の変形やｔ？ｉ傷を
防ｌにでき、特に被検査物がフラットパッケージ型半導
体装置の場合には外部リードの曲がりを防止できろ。

（５）、自動検査により、高温選別の信頼度を向上さ・
已ることができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

たとえば、マグネット機構１１．１７や回転アーム機構
１２の代わりに他の移送手段を用いたり、またウオーキ
ングビーム３．１４の代わりに他の搬送手段を用いるこ
と等が可能である。

［利用分野］ 以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるフラントハンゲージ
型の半導体装置に適用した場合について説明したが、そ
れに限定されるものではなく、たとえば、それ以外の型
式の半導体装置、あるいは他の被検査物に広く通用する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である検査装置の概略斜視図
、 第２図はその供給側搬送部の拡大部分Ｐ［視図、第３図
はその回収側搬送部の拡大部分Ｐｉ視図である。 １・・・トレー（供給部）、２・・・ラック、３・・・
ウオーキングビーム（第１の搬送手段）、４・・・厖送
ブロック、５・・　搬送レール、６・・・ヒータ、７・
・・凹部、８・・・位置決め用の傾斜面、９・・・位置
決め用の１頃斜面、１０・・・被検査物、１１・・・マ
グネット（曵ｔｙｙ、、ｔ２・・・回転アーム機構（移
送手段）、１３・・・ソケット、１４・・・ウオーキン
グビーム（第２の１順送手段）、１５・・・搬送ブロッ
ク、１Ｇ・・・ｌＢｔ送レール、１７・・・マクネノＩ
・機構、１８・・・トレー（回収部）、１９・・　ラン
ク。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ■、被検査物を供給する供給部と、この供給部から送ら
   れて来た被検査物を搬送する第１の搬送手段と、この第
   １の搬送手段上の被検査物を検査位置に移送する移送手
   段と、この移送手段で移送されて来たｔノ！＋検査物を
   検査する検査手段と、検査済的の被検査物を回収位置に
   搬送する第２の搬送手段と、この第２のＩ！送手段で搬
   送されて来た被検査物を回収する回収部とからなる検査
   装置。 ２、移送手段は、第１の搬送手段で搬送されて来た被検
   ｊｊｔ物を個別的に検査位置に移送する回転アーム機構
   よりなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   検査装置。 ３、Σｆ日およＱ・第２の１■送手段は、被検査物を明
   々に位置決めＪ−る凹部を持つ１襄送ブロツクと、この
   搬送ゾロツクの四部に載置された被検査物を位置決めし
   ながら搬送１−る搬送レールとよ、りなることを＋１冒
   ！（とする特許請求の範囲第１項記載の検査装置。