JPS6331133A - ウェハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、ウェハ搬送装置に関し、より詳細には複数の
搬送手段を経由して少なくとも２つ以上の処理ステージ
ヘウエハを搬送するウェハ搬送装置に関する。

（従来の技術） 従来、ウェハを処理、すなわち検査するため、ウェハを
単一の搬送手段から単一の処理ステージへと搬送するウ
ェハのｌＩＯ送装置が知られている。

この場合、搬送手段は複数のウニハキ１／リアと、つＬ
ハを１枚ずつ搬送する搬送ベルトとから成り、ウェハを
単一の処理ステージへと送るように構成されている。

（発明が解決しようとする問題点） 以上のような従来のウェハ搬送装置では、単一の搬送手
段から単一の処理ステージへとウェハを送っているので
、１つの処理ステージに対して１つの搬送手段が必要と
なるが、この様に構成するとウェハの処理、すなわち検
査におけるスルーブツトが低下する。またウェハキャリ
アの交換にも手間が掛かることになる。

更に、複数の処理ステージに対して同一個数の複数の搬
送手段が必要となり、スルーブツトを向上させようとす
ると装置全体として大きな設置床面積が必要とされる。

従って、本発明の目的は、上述の問題点を解決出来、大
きな設置床面積を必要とせず、スルーブツトおよびキャ
リア交換作業の能率が向上したコンバク１〜ηＣウエハ
搬′Ｊｆ５装置を提供することである。

（問題ｉｎｊを解決するための手段） 上記の目的を達成するため、本発明のウェハ搬送装置は
、 ウェハを処理ステージに搬送するウェハ搬送装置におい
て、 慈処理ステージ（１５，１６＞は少なくとも２つ以上あ
り、 該ウェハを複数個所定間隔をあけて積層状に収容保持し
、該ウェハの収容されている方向に、夫々独立して上下
動自在に配置された少なくとも４個以上のウェハ保持手
段（１，２，３，４，５゜６．７．８）と、 該ウェハ保持手段のうち少なくとも２つが共用し、該ウ
ェハ保持手段から該ウェハの出入れをする第１の搬送手
段（１０）と、 該ウェハ保持手段のうち少なくとも他の２つが共用し、
該ウェハ保持手段から該ウェハの出入れをする第２の搬
送手段（１１）と、 該ウェハ保持手段全てが共用し、該第１及び第２の搬送
手段と連絡して、該ウェハを搬送する第３の搬送手段（
１３）と、 該ウェハ保持手段全てが共用し、該第３の搬送手段から
該ウェハを受取り該少なくとも２つ以上の処理ステージ
に搬送する第４の搬送手段（１４）と、 から成り、該ウェハは該少なくとも２つ以上の処理ステ
ージに搬送されることを特徴としているのである。

（実施例） 以下、添附図面を参照して本発明の一実施例を詳細に説
明する。尚、図面において同一部分は同一符号で表しで
ある。

第１図は、本発明に係るウェハ搬送装置の一実施例の構
成を示す斜視図である。ウェハ搬送装置は、夫々複数の
ウェハ２０を所定の間隔で積層状に保持する４つのウェ
ハキャリア１．２．３および４と、各ウェハキャリアを
夫々支持するパレット５．６，７および８とから成るウ
ェハ保持手段と、各ウェハキャリアに保持されたウェハ
を１枚ずつ搬送するベルトコンベア９（第２図）、１０
．１１．１２（第２図）および１３と、ベルトコンベア
からウェハ２０を受取り、処理ステージ、すなわちプロ
ーブステーション１５および１６ヘウエハ２０を分配す
るアーム１４とから成っている。

第２図から見を分るようにベルトコンベア９．１０．１
１および１２は、互いに略同−直線上に配置されており
、ベルトコンベア１３とは直交している。　尚、本実施
例においてはベルトコンベア１０が第１の搬送手段、ベ
ルトコンベア１１が第２の搬送手段、ベルトコンベア１
３が第３の搬送手段、更にアーム１４が第４の搬送手段
を構成している。また、第１乃至第４の搬送手段が全体
として１つの搬送系を構成している。

尚、本実施例においてはプローブステーション１５およ
び１６は２つのみ示しであるが、勿論２つ以上設けるこ
とも出来る。また、ウェハキャリアは４つのみ示しであ
るが、これも４つ以上設けることが出来る。

内部に複数個のウェハ２０を保持するウエハキャリア１
，２．３よ夕よび４は、１側面の聞ＩＩｉされた剛直刀
体の五ヨ状をしており、Ｉｌｌ　／＋りされた側面から
ウェハ２０の出入れが行われる。また、各ウェハキャリ
アの上面Ｊ３よび下面に【よ、開放された側面から延在
する略矩形の切り欠き１ａ、２ａ、３ａおよび４ａが設
けられている。各切り欠きは、ウェハ２０をウェハキャ
リアから出し入れする際に、ベルトコンベアの端部が切
り欠き内に入れるように設けである。本実施例において
はウェハキャリア１および２とウェハキャリア３および
４が夫々対向している。

ウェハキャリア１．２．３および４は、夫々パレット５
．６．７および８上に支持されているが、ウェハキャリ
アを確実に支持するため各パレットにはウェハキャリア
の下面もしくは脚が丁度嵌合出来る形状の溝（同格）が
設けられている。各パレットは夫々不図示の装置により
、上下方向、すなわち第１図のＡ−８方向に独立に移動
自在となっている。従って、各ウェハキャリアも独立に
上下動可能である。

第１図において作業者は矢印Ｏ側にある。従って、搬送
装置は測定装置の後方に配置されている。

つＴハ搬送用のベルトコンベア９．１０．１１６よび１
２は、第１図のＣ−Ｄ方向に駆動自在であり、ベルトコ
ンベア１３は、同じく第１図のＥ−Ｆ方向に駆動自在と
なっている。また、ウェハ載置部分１４ａを有するアー
ム１４は、軸１４ｂで不図示のブロービング部に設けら
れているが、必要であればそれから独立して設けること
も出来る。アーム１４は、ベルトコンベア１３からウェ
ハを受取る、ベルトコンベア１３と平行となる位置から
軸１４ｂを中心として左右に略９０度旋回出来る。従っ
て、アーム１４が第１図で上方から見て左に旋回すると
、ウェハ２０はプローブステーション１５へ搬送され、
右へ旋回するとプローブステーション１６へと搬送され
る。しかしながら、必要であればアーム１４は、旋回角
度を限定せずに自由に旋回するように構成しても構わな
い。

また軸１４ｂはブロービング部の所定位置に固定せずに
、ベルトコンベア１３に関して平行に移動出来るように
することも出来る。ここで第２図を参照すると、ベルト
コンベア９および１２は後述の搬送装置の作用において
ウェハキャリア２および３の動きを妨げないように、搬
送経路の側部へ脱するか、ウェハキャリア１および４側
の端部を軸として下方へ９０度折れるようにしである。

次に、第１図および第２図を用いて上述の実施例の具体
的な作用について説明する。先ず、ウェハキャリア１．
２および４に所定枚数のウェハ２０を収容保持させてお
き、ウェハキャリア３のみ空にしておく。この時、ウェ
ハキャリア１．２および４は最下層のウェハ２０がベル
トコンベアから自由である上方位置を取り、ウェハキャ
リア３は最上層のウェハ２０がベルトコンベアのベルト
面に載る下方位置を取っている。

ここで第２図に示すようにウェハキャリア１を、ウェハ
１枚分、すなわち１段分下降させると、ウェハ２０はベ
ルトコンベア９に載る。ウェハ２０は、ベルトコンベア
９からベルトコンベア１０へと搬送され、ベルトコンベ
ア１０とベルトコンベア１３との間に設けｌζ不図示の
ターン７−プル等を介して、更にベルトコンベア１３へ
と搬送される。アーム１４は、ベルト］ンベ７１３から
ウェハ械首部分１４ａにウェハ２０を受取ると左へ略９
０度旋回してプローブステーション１５の所定位置にウ
ェハ２０を載置する。

プローブステーション１５に真空吸着等の方法で固定さ
れたウェハ２０は、プローブステーション１５を公知の
方法で上下左右に移動して、位置合わせをした後に導通
等の測定、すなわち検査をされる。

１枚目のウェハ２０がアーム１４によりプローブステー
ション１５へ運ばれると、アーム１４は再びベルトコン
ベア１３からウェハ２ｏを受取る位置に戻る。この間す
でに、ウェハキャリア１は更に１段下降しており２枚目
のウェハ２０がベルトコンベア９．１０および１３によ
って搬送されてきている。従って、アーム１４は２枚月
のウェハ２０を直ちに受取ることが出来、今度はアーム
１４は右へ旋回してプローブステーション１６へウェハ
２０を載置する。プローブステーション１６においても
上述と同様の検査が行われる。つまり、プローブステー
ション１５および１６において同時に２つのウェハが検
査出来ることになる。

ウェハ２０上に形成された全てのチップの検査が終了す
ると、１枚目および２枚目のウェハ２０は、アーム１４
、ベルトコンベア１３および１１を介して逆送されて、
ウェハキャリア３の最上段およびその１段下に収容され
る。尚、この時ベルトコンベア１２は既に説明したよう
に下方に折れているのでウェハキャリア３の動きを邪魔
することはない。またウェハキャリ３はウェハキャリア
１の下降に連動して１段ずつ上昇する。

このようにして、ウェハキャリア１を１段ずつ下げてい
き、ウェハ２０をプローブステーション１５および１６
に搬送して検査をした後、検査後のウェハ２０はベルト
コンベアを逆送してウェハキャリア３に収容される。従
って、ウェハキャリア１は下段から空となり、ウェハキ
ャリア３は上段から埋まって行く。

ウェハキャリア１内のウェハ２０が全て検査されてウェ
ハキャリア３内に収容された後、第２図において、ウェ
ハキャリア３を上方位置まで上昇させる。その後、ウェ
ハキャリア４を１段ずつ下降させてウェハ２０を１枚ず
つベルトコンベア１２．１１．１３およびアーム１４を
経由してプローブステーション１５および１６へ送って
検査する。この時、ベルトコンベア１２は既に元の位置
に復帰している。検査後のウェハ２０は、ベルトコンベ
ア１３．１０および９により逆送されて下方位置にある
ウェハキャリア１の最上段から収容される。同じ動作を
繰返してウェハキャリア１が一杯になると、ウェハキャ
リア１は上昇して上方位置にもどる。反対にウェハキャ
リア４は空となり、下方位置に来ている。

最後に、ベルトコンベア９が下方に脱してウェハキャリ
ア２が１段ずつ下降される。ウェハキャリア２内のウェ
ハ２０はプローブステーション１５および１６に搬送さ
れ検査された後、ベルトコンベア１３．１１および１２
を経由してウェハキャリア４に逆送され、最上段から順
に収容されて行く。同様の動作が繰返されてウェハキャ
リア２内のウェハ２０が全てウェハキャリア４内に収容
されるとウェハキャリア４は上昇して上方位置に戻る。

以上の一連の動作を繰返すことで、初めウェハキャリア
１．２および４内に収容されていた未検査のウェハ２０
は全てのチップを検査されてウェハキャリア１．３およ
び４内に収容される。

従って、最後には空のウェハキャリア２のみが下方位置
にあり、その他のウェハキャリアは全て上方位置にある
ことになる。

ウェハ２０を全て検査した後に、検査済みのウェハ２０
を収容したウェハキャリア１．３および４を未検査ウェ
ハを収容した３個の新しいウェハキャリアと交換する。

その後、前述の一連の動作を繰返してウェハを搬送する
。

以上述べた本実施例によれば、検査済みウェハの入った
ウェハキャリアを３個同時に交換出来るため作業能率が
向上する。また、搬送装置が作業者の後方にあるため、
作業がし易くなる。

更に、１２の９［例て゛は５３個のウェハ４ｔ・リアを
同１１年に交換するが、２周のウェハキャリアを同日午
に交換するようにすることも出来る３、この場合、初め
にウェハキャリア１および２を未検査ウェハで満たして
おき、ウェハキャリア３および４を空としておけばよい
。勿論、ウェハキヤリア１および２を空にしておき、つ
ｒハキＶリア３および４に未検査ウェハを満たしておく
ことも出来る。

次に、本発明の他の実施例を説明する。

第１図において、ウェハキャリア１とウェハキャリア２
とに夫々異なる処理をされるウェハ２０を入れておき、
ウェハキャリア３．４は空にしておく。その後、ウェハ
２０を搬送して、夫々異なる処理ステージに送ることも
出来る。つまり、ブローパスチージョン１５．１６に異
なる処理、すなわち検査をさせる。異なる処理をされた
ウェハ２０は、夫々分けられて、ウェハキャリア３．４
に収容される。つまり、−度に２種類の処理が出来る。

勿論、２種類以上の処理を同時に行うことも出来る。

また、ウェハキャリア１．２に同じ検査をされるウェハ
２０を入れておき、ブローバスチージョン１５．１６で
の検査により良品および不良品をチェックした後、良品
をウェハキャリア３に不良品をウェハキャリア４に搬送
して収容することも出来る。

更に、上述の実施例では単一の搬送手段で２つの処理ス
テージ、すなわちブローブステーションヘウエハを搬送
するようにしたが、２個以上の処理ステージにウェハを
搬送するようにすることも出来る。

（発明の効果） 以上述べた本発明のウェハ搬送装置によれば、次のよう
な効果が得られる。　ウェハの処理作業中において、ウ
ェハキャリアを２個または３個とまとめて交換出来るの
でウェハ交換作業の能率が向上する。

また、単一の搬送手段で２つ以上の処理ステージヘウエ
ハを供給出来るので、ウェハ処理作業のスルーブツトが
向上し、搬送装置全体の設置床面積を小さく出来る。

史に、実施例による効果としては、ウェハ搬送装置がウ
ェハの処理ステージ、すなわらブローシスミーシコンの
後方にあるので、作ｖＪ化の操作性の向上が期待出来る
。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例を示すつＪハ搬送装置の斜
視図であり、 第２図は、測定系の方向から見た第１図のウェハ搬送装
置の概略正面図である。 ［主要部分の符号の説明］ １．２．３，４．、、、、ウェハキャリア５．６．７，
８．、、、、パレット ９．１０．１１゜ １２．１３．、、、、、、ベルトコンベア１４、、、、
、、、、、、アーム １５．１６．、、、、、、プローブステーション ２０、、、、、、、、、、ウェハ 第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ウェハを処理ステージに搬送するウェハ搬送装置に
   おいて、該処理ステージは少なくとも２つ以上あり、該
   ウェハを複数個所定間隔をあけて積層状に収容保持し、
   該ウェハの収容されている方向に、夫々独立して上下動
   自在に配置された少なくとも４個以上のウェハ保持手段
   と、該ウェハ保持手段のうち少なくとも２つが共用し、
   該ウェハ保持手段から該ウェハの出入れをする第１の搬
   送手段と、該ウェハ保持手段のうち少なくとも他の２つ
   が共用し、該ウェハ保持手段から該ウェハの出入れをす
   る第２の搬送手段と、該ウェハ保持手段全てが共用し、
   該第１及び第２の搬送手段と連絡して、該ウェハを搬送
   する第３の搬送手段と、該ウェハ保持手段全てが共用し
   、該第３の搬送手段から該ウェハを受取り該少なくとも
   ２つ以上の処理ステージに搬送する第４の搬送手段と、
   から成り、該ウェハは該少なくとも２つ以上の処理ステ
   ージに搬送されることを特徴とするウェハ搬送装置。 ２、該少なくとも２つ以上の処理ステージは異なる処理
   をすることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
   ウェハ搬送装置。