JPH05347342A - Ｉｃのハンドリング装置 - Google Patents
Ｉｃのハンドリング装置Info
- Publication number
- JPH05347342A JPH05347342A JP4154870A JP15487092A JPH05347342A JP H05347342 A JPH05347342 A JP H05347342A JP 4154870 A JP4154870 A JP 4154870A JP 15487092 A JP15487092 A JP 15487092A JP H05347342 A JPH05347342 A JP H05347342A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- unit
- measurement
- electrical characteristics
- handling device
- measure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】１つの搬送系により電気的特性測定部へのＩＣ
の供給と測定部からのＩＣの収納とを並列に行うように
することによってインデックス時間の短縮と測定処理能
力の向上を図る。 【構成】供給部１内のＩＣ２を回転アームの先端に取り
付けた搬送部９のチャック部で保持し、特性測定部５ま
で回転搬送しＩＣ２の電気的特性の測定を行う。この
時、反対側の搬送部９では、次のＩＣ２を保持してい
る。測定の完了後、良品の場合は９０°右回転，不良品
の場合は９０°左回転し、ＩＣ２をそれぞれ良品収納部
３，不良品収納部４に収納する。収納後さらに９０°回
転することで次のＩＣ２を特性測定部５に移動する。
の供給と測定部からのＩＣの収納とを並列に行うように
することによってインデックス時間の短縮と測定処理能
力の向上を図る。 【構成】供給部１内のＩＣ２を回転アームの先端に取り
付けた搬送部９のチャック部で保持し、特性測定部５ま
で回転搬送しＩＣ２の電気的特性の測定を行う。この
時、反対側の搬送部９では、次のＩＣ２を保持してい
る。測定の完了後、良品の場合は９０°右回転，不良品
の場合は９０°左回転し、ＩＣ２をそれぞれ良品収納部
３，不良品収納部４に収納する。収納後さらに９０°回
転することで次のＩＣ２を特性測定部５に移動する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＩＣのハンドリング装置
に関し、特に電気的特性の測定に用いられるハンドリン
グ装置に関する。
に関し、特に電気的特性の測定に用いられるハンドリン
グ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のＩＣのハンドリング装置は、図４
の側面図に示す様に、ＩＣ２を保持するチャック部１０
と電気的特性の測定時にソケット７にＩＣ２を押え付け
るプッシャ部１１とからなる搬送部９が搬送用レール１
２に取り付けられる。また、装置基板８には、電気的特
性の測定を行う前のＩＣ２を供給する供給部１と、電気
的特性の測定の結果ＩＣ２が良品の時に収納する良品収
納部３及び不良の時に収納する不良品収納部４とが取り
付けられる。
の側面図に示す様に、ＩＣ２を保持するチャック部１０
と電気的特性の測定時にソケット７にＩＣ２を押え付け
るプッシャ部１１とからなる搬送部９が搬送用レール１
２に取り付けられる。また、装置基板８には、電気的特
性の測定を行う前のＩＣ２を供給する供給部１と、電気
的特性の測定の結果ＩＣ２が良品の時に収納する良品収
納部３及び不良の時に収納する不良品収納部４とが取り
付けられる。
【０００３】その動作は、搬送部９が搬送用レール１２
上を移動することにより、まず供給部１でＩＣ２を保持
し、次に、テスター等と接続された特性測定部５上に取
り付けられたＩＣ２の品種に対応した配線および部品の
取り付けを施こされたテストボード６上のソケット７
に、ＩＣ２をプッシャ部１１で挿入または押さえ付ける
ことによりＩＣ２の電気的特性の測定を行い、次に、Ｉ
Ｃ２の電気的特性の結果により、ＩＣ２を良品収納部３
及び不良品収納部４に収納する。
上を移動することにより、まず供給部１でＩＣ２を保持
し、次に、テスター等と接続された特性測定部５上に取
り付けられたＩＣ２の品種に対応した配線および部品の
取り付けを施こされたテストボード６上のソケット７
に、ＩＣ２をプッシャ部１１で挿入または押さえ付ける
ことによりＩＣ２の電気的特性の測定を行い、次に、Ｉ
Ｃ２の電気的特性の結果により、ＩＣ２を良品収納部３
及び不良品収納部４に収納する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来のＩＣのハン
ドリング装置では、ＩＣの供給，電気的特性の測定，Ｉ
Ｃの収納を１つの搬送系で行うため、ＩＣの電気的特性
の測定に要する時間に対しＩＣの搬送に要する時間の比
率が高くなり、テスターの測定処理能力が低下するとい
う問題点があった。
ドリング装置では、ＩＣの供給，電気的特性の測定，Ｉ
Ｃの収納を１つの搬送系で行うため、ＩＣの電気的特性
の測定に要する時間に対しＩＣの搬送に要する時間の比
率が高くなり、テスターの測定処理能力が低下するとい
う問題点があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のＩＣのハンドリ
ング装置は、回転アームの先端に取り付けられたそれぞ
れ同等の機能を持つ複数のＩＣ搬送部と、前記搬送部が
回転運動を行う円周上にＩＣの供給部，特性測定部，良
品収納部，不良品収納部とを備え、一搬送部でのＩＣの
電気的特性の測定と並列して他の搬送部ではＩＣの供
給，収納および分類を行う構造を有する。
ング装置は、回転アームの先端に取り付けられたそれぞ
れ同等の機能を持つ複数のＩＣ搬送部と、前記搬送部が
回転運動を行う円周上にＩＣの供給部，特性測定部，良
品収納部，不良品収納部とを備え、一搬送部でのＩＣの
電気的特性の測定と並列して他の搬送部ではＩＣの供
給，収納および分類を行う構造を有する。
【０００６】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の第１の実施例の平面図，図２はその
側面図を示す。
る。図１は本発明の第１の実施例の平面図，図２はその
側面図を示す。
【０００７】回転アームの両端に搬送部９が取り付けら
れ、ＩＣ２の電気的特性の測定に際し、一方の搬送部９
が供給部１の上部に回転移動し、搬送部９のチャック部
１０でＩＣ２を保持する。次に１８０°回転した搬送部
９が特性測定部５上に取り付けられたＩＣ２の品種に対
応した配線および部品の取り付けを施されたテストボー
ド６上のソケット７に、ＩＣ２をプッシャ部１１で挿入
または押さえ付けることによりＩＣ２の電気的特性を測
定する。
れ、ＩＣ２の電気的特性の測定に際し、一方の搬送部９
が供給部１の上部に回転移動し、搬送部９のチャック部
１０でＩＣ２を保持する。次に１８０°回転した搬送部
９が特性測定部５上に取り付けられたＩＣ２の品種に対
応した配線および部品の取り付けを施されたテストボー
ド６上のソケット７に、ＩＣ２をプッシャ部１１で挿入
または押さえ付けることによりＩＣ２の電気的特性を測
定する。
【０００８】この時、反対側の搬送部９では、次のＩＣ
２を供給部１で保持している。一方の側のＩＣ２の電気
的特性の測定が完了後、良品の場合は右回転に９０°，
不良品の場合は左回転に９０°搬送部９が回転動作を行
い、それぞれ良品収納部３あるいは不良品収納部４にＩ
Ｃ２を収納する。さらに９０°回転し、反対側の搬送部
に保持した次のＩＣ２を特性測定部５に搬送する。後
は、９０°回転の繰り返しで、２つの搬送部９により供
給，測定，収納が行なわれる。この例では、ＩＣ２の供
給と同時に反対側の搬送部９で測定が行なわれるため効
率が良い。
２を供給部１で保持している。一方の側のＩＣ２の電気
的特性の測定が完了後、良品の場合は右回転に９０°，
不良品の場合は左回転に９０°搬送部９が回転動作を行
い、それぞれ良品収納部３あるいは不良品収納部４にＩ
Ｃ２を収納する。さらに９０°回転し、反対側の搬送部
に保持した次のＩＣ２を特性測定部５に搬送する。後
は、９０°回転の繰り返しで、２つの搬送部９により供
給，測定，収納が行なわれる。この例では、ＩＣ２の供
給と同時に反対側の搬送部９で測定が行なわれるため効
率が良い。
【０００９】図３は本発明の第２の実施例の平面図であ
る。第２の実施例では、電気的特性の測定において、良
品のランク分けに応じた良品収納部３ａ〜３ｃが搬送部
９の回転運動の円周上に設けられており、電気的特性の
測定結果によりＩＣ２を分類することが出来る。
る。第２の実施例では、電気的特性の測定において、良
品のランク分けに応じた良品収納部３ａ〜３ｃが搬送部
９の回転運動の円周上に設けられており、電気的特性の
測定結果によりＩＣ２を分類することが出来る。
【００１０】
【発明の効果】以上説明した様に本発明は、ＩＣの電気
的特性の測定とＩＣの供給，収納とを並列に行うことに
より、ＩＣの電気的特性の測定時間に対するＩＣの搬送
に要する時間の比率を下げることが出来るので、テスタ
ーの測定処理能力が向上するという効果を有する。
的特性の測定とＩＣの供給，収納とを並列に行うことに
より、ＩＣの電気的特性の測定時間に対するＩＣの搬送
に要する時間の比率を下げることが出来るので、テスタ
ーの測定処理能力が向上するという効果を有する。
【図１】本発明の第１の実施例の平面図である。
【図２】図１の側面図である。
【図３】本発明の第２の実施例の平面図である。
【図４】従来のＩＣのハンドリング装置の側面図であ
る。
る。
１ 供給部 ２ ＩＣ ３ 良品収納部 ３ａ〜３ｃ 良品収納部 ４ 不良品収納部 ５ 特性測定部 ６ テストボード ７ ソケット ８ 装置基板 ９ 搬送部 １０ チャック部 １１ プッシャー部 １２ 搬送用レール
Claims (1)
- 【請求項１】 組立てられたＩＣの電気的特性を測定す
るＩＣのハンドリング装置において、同等の機能を有す
る少なくとも２つ以上のＩＣ搬送部をそれぞれ回転アー
ムの先端に取り付け、前記搬送部が回転運動を行うこと
により一搬送部でのＩＣの電気的特性の測定と並列して
他の搬送部ではＩＣの供給，収納及び分類を行うことを
特徴とするＩＣのハンドリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4154870A JPH05347342A (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | Ｉｃのハンドリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4154870A JPH05347342A (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | Ｉｃのハンドリング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05347342A true JPH05347342A (ja) | 1993-12-27 |
Family
ID=15593729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4154870A Withdrawn JPH05347342A (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | Ｉｃのハンドリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05347342A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1017272C2 (nl) * | 2001-01-16 | 2002-07-17 | Fico Bv | Inrichting en werkwijze voor het testen van elektronische componenten. |
| KR100857580B1 (ko) * | 2004-11-30 | 2008-09-09 | 엔이씨 일렉트로닉스 가부시키가이샤 | 외관검사장치 및 외관검사장치용 반송부 |
| CN102288119A (zh) * | 2011-06-27 | 2011-12-21 | 上海卓晶半导体科技有限公司 | 自动检测基片平整度和厚度并对基片进行分选的装置 |
-
1992
- 1992-06-15 JP JP4154870A patent/JPH05347342A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1017272C2 (nl) * | 2001-01-16 | 2002-07-17 | Fico Bv | Inrichting en werkwijze voor het testen van elektronische componenten. |
| WO2002056037A1 (en) * | 2001-01-16 | 2002-07-18 | Fico B.V. | Device and method for testing electronic components |
| JP2004526131A (ja) * | 2001-01-16 | 2004-08-26 | フィーコ ビー．ブイ． | 電子部品を試験する装置および方法 |
| KR100857580B1 (ko) * | 2004-11-30 | 2008-09-09 | 엔이씨 일렉트로닉스 가부시키가이샤 | 외관검사장치 및 외관검사장치용 반송부 |
| CN102288119A (zh) * | 2011-06-27 | 2011-12-21 | 上海卓晶半导体科技有限公司 | 自动检测基片平整度和厚度并对基片进行分选的装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990831 |