JPS60155357A - 平面加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は平面加工装置に関するものである。

ラッピングマシンやホーニングマシン等の平面加工装置
として、駆動源により駆動回転される太陽歯車と内歯歯
車及び上下の定盤を備え、上記両歯車と噛合して自転及
び公転するキャリヤに保持させたワークを」１下の定盤
により加工するようにしたものが従来より知られている
。

この種平面加工装置においては、定盤の偏摩耗を防いで
加工精度を向上させるため、ワークを定盤の加工面に万
遍なく摺接させることが重要であるが、従来の平面加工
装置は、定盤が単にその中心の周りを回転する構造であ
るため、ワークとの摺接範囲が限定され、定盤が偏摩耗
を生じて加工精度の低下を来し易いばかりでなく、偏摩
耗した定盤の修正を頻繁に行わなければならないという
欠点かあった。

本発明は、ワークを定盤の加工面に万遍なく摺接させる
ことができるように構成し、定盤の偏摩耗を防いで加工
精度を高めることを目的とするものである。

また、ワークの加工時間を短縮して生産能力を向トする
には、定盤とワークとの相対速度差を大きくする必要が
あるが、キャリヤ即ちワークの駆動速度を増大すると、
それに伴って加工精度が著しく低下するばかりでなく、
キャリヤの損耗やワークの破損を生じ易い。特に、シリ
コンウェハーなとのように極薄で高い前二［精度を要求
されるワークの加工では、上記の傾向が著しい。

本発明の他の目的は、ワークの駆動速度を高めることな
く定盤とワークとの相対速度差を増大することにある。

更に、」−記定盤Φ修正は、本発明者らが先に提案した
修正用中足ｍ（実公昭５８−４！１１７２０号公報参照
）を使用することによって簡単且つ精度良く行うことが
できるが、修正時間を短縮して更に効率的な修正を行う
ためには、定盤と修正用中定盤とを大きな相対速度差で
万遍なく摺り合わせることが必要になる。

本発明は、定盤を修正用中定盤に対して大きな速度で万
遍なく摺り合わせることができるようにし、面してその
修止効率を高めることもその目的とするものである。

］１記目的を達成するため、本発明の平面加工装置は、
少なくとも下定盤を半径方向へ揺動可能に構成したこと
を特徴とするものである。

以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

第１図において、１は機体、２〜５は該機体ｌにそれぞ
れベアリング６を介して同心状且つ独立して回転可能に
支承させた第１〜第４の駆動軸であって、第１の駆動軸
２には、その上端に設けた支持部２ａ上に内歯歯車７を
取付け、第３の駆動軸４には、上記内歯歯車７の中央に
位置する太陽歯車８を取付け、第２及び第４の駆動軸３
及び５には、それぞれ下定盤ユニット９及び土足７＋ｏ
を数句けている。

下定盤ユニット８は、第２図及び第３図からも明らかな
ように、」二面を研削面＋３ａとした下定盤１３を有し
、該下定盤１３の直径方向の両端部に中空状四部１４．
１４を設け、該凹部１４，１４内に揺動用歯車１５．１
５を配設すると共に、これらの歯車１５と下定盤１３と
を偏心軸１６によりベアリング１７を介して回転可能に
連結したもので、該揺動用歯車１５を、」１記内歯歯車
７と第３の駆動軸４に自由回転可能に装着した遊動歯車
１８とに噛合させ、その状態で、該下定盤ユニット８を
、第２の駆動軸３上に固定した円板形の支持台１８」二
に載置している。そして、下定盤１３の下面には、上記
偏心軸１６と同心位置に突軸２０を設け、該突軸２０を
、支持台１８の上面に切設した凹穴２１内に嵌入させ、
これらの凹穴２１と突軸２０との係止により、下定盤ユ
ニット９を第２の駆動軸３で円周方向へ強制的に駆動せ
しめるように構成している。上記凹穴２１は、突軸２０
の揺動が可能な大きさに形成しておく必要がある。

また、」１記り定盤１０は、第４の駆動軸５によって回
転自在且つ」二Ｆ動自在としたもので、それらの連結は
次のようにして行っている。即ち、第４の駆動軸５に偏
心カム２４を介して該カム２４の回転によって軸心方向
へ揺動する取付部材２５を装着し、該取付部材２５と第
４の駆動軸５の頂部に固定した連結部材２６とをピン２
７の着脱によって係止及び分離可能とすると共に、取付
部材２５と上定盤１０とをキー２８によって互いに係止
させたもので、上記ピン２７を図示の状態に取付けた場
合には、第４の駆動軸５と取イづ部材２５即ち上定盤ｌ
Ｏとが一体となり、該上定盤ｌＯか偏心状態で回転する
。ピン２７を抜取ると、上定盤ｌＯは第４の駆動軸５に
対してフリーとなり、非回転のままカム２４によって半
径方向への揺動運動のみを行う。

而して、−上記第１〜第４の駆動軸２〜５は、それぞれ
歯車機構やクラッチ機構、減速機構等を介してモータ等
の図示しない駆動源に連結している。

上記構成を有する平面加工装置によってワーク３１の加
工を行う場合には、第１図に示すように、該ワーク３１
をキャリヤ３２に保持させ、該キャリヤ３２を内歯歯車
７と太陽歯車８とに噛合させる。この状態で各駆動軸２
〜５を回転させると、キャリヤ３２が自転しながら太陽
歯車８の周りを公転し、ワーク３１の上下面が下足盤ユ
ニット８と上定盤１０とによって加工される。

このとき、下定盤ユニット８においては、内歯歯車７と
遊動歯車。１８とに噛合する揺動用歯車１５が十記内歯
山車７によって自転方向に駆動され、同時に、下定盤１
３が突軸２０を介して支持台１８によりその回転方向へ
強制駆動されるため、該下定盤１３は、偏心＃Ｘ１を半
径とした偏心軸１６の円周運動によって半径方向への揺
動運動を行いながら回転することになる。従って、キャ
リヤ３２の自転及び公転に伴うワーク３１の揺動と相俟
って該ワーク３１か上定盤１３の加工面１３ａに万遍な
く摺接することになり、しかも、下定盤が揺動を伴わず
に回転するだけの従来のものに比べ、下足盤１３とワー
ク３１との相対速度差が大きくなる。

一方、上定盤１０は、上記ピン２７の着脱によって上述
した偏心回転運動と非回転状態での揺動運動とを行うが
、下定盤１３と同様の回転揺動運動を行うように構成し
ても、あるいは従来のものと同様に通常の回転のみを行
うように構成してもよい。

」二足上定盤１０及び下定盤１３の修正は、第４図〜第
６図に示すような修正用中定盤４ｏを使用して行うこと
ができる。この中定盤４ｏは、上下両面を修正面４１ａ
、４１ａとした修正定盤４１を備え、この修正定ｌ！Ａ
４１の上下両面における直径方向の両端部にそれぞれ四
部４２を形設し、各凹部４２内に揺動用歯車４３を配設
すると共に、該歯車４３と修正定盤４１とを偏心軸４４
によりベアリング４５を介して回転可能に連結したもの
で、少なくとも一方の揺動用歯車４３を内歯歯車７と太
陽歯車８とに噛合させ、且つ二つの修正面４１ａ、４１
ａを上下の定盤１０．１３に当接さぜた状態で設置する
。

この状態で平面加工装置を駆動すると、揺動用歯車４３
が自転及び公転するため、下定盤ユニット９の場合と同
様に中定盤４０における修正定盤４１が回転しながらそ
の半径方向へ揺動し、その修正面４１ａ、４１ａと上下
の定＠　１０．１３との摺り合わせが行われる。一定時
間摺り合わせを行った後、中定盤４０を」１下反転し、
同様の摺り合わせを行う。これによって３面交互摺り合
わせによる定盤の修正を機械、的に行うことができる。

この場合、下定盤１３、」一定盤１０及び修正定盤４１
ノ偏心量Ｌ　、　Ｘ２　、　Ｌは、Ｘ７　＜　Ｌ　＜　
Ｘｌの関係に設定しておくのが望ましい。

このように、本発明によれば、下定盤を半径方向へ揺動
可能に構成したので、該下定盤をワーク及び修正用中定
盤に対して万遍なく摺接させることができ、しかもそれ
らの摺接速度差を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の平面加工装置の一実施例を示す加」ニ
状ｊハ；での縦断面図、第２図及び第３図は下定盤ユニ
ットの構成を説明するための要部縦断面図及び平面図、
第４図は本発明の平面加工装置の定盤修正状態での縦断
面図、第５図はその部分図、第６図は修正用中定盤の部
分破断平面図である。 ７・・内歯歯車、　８・・太陽歯車、 ８・・下定盤ユニット、　１０・・上定盤、１３・・下
定盤、　３１・・ワーク。 ３２・８キヤリヤ。 特許出願人　長岡精機株式会社 郊　１　図 Ｓ；、；　２　！ｊ’＜１ 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、駆動源により回転自在の太陽歯車と内歯歯車及び上
   ドの定盤を備え、上記両歯車と噛合するキャリヤに保持
   させたワークを上下の定盤により研削するようにしたも
   のにおいて、少なくとも下定盤を半径方向へ揺動Ｏｆ能
   に構成したことを特徴とする平面加工装置。