JPS60152949U - セラミツク圧力センサ - Google Patents

セラミツク圧力センサ

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JPS60152949U
JPS60152949U JP4092384U JP4092384U JPS60152949U JP S60152949 U JPS60152949 U JP S60152949U JP 4092384 U JP4092384 U JP 4092384U JP 4092384 U JP4092384 U JP 4092384U JP S60152949 U JPS60152949 U JP S60152949U
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JP
Japan
Prior art keywords
ceramic
pressure
pressure sensor
diaphragm body
detection sensor
Prior art date
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Pending
Application number
JP4092384U
Other languages
English (en)
Inventor
仁 岩田
木下　賢一
岡田　秀韶
Original Assignee
株式会社東海理化電機製作所
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図乃至第７図は本考案の第１の実施例を示すもので
あり、第１図は縦断面図、第２図は上面図、第３図は製
作過程を示す図、第４図は応力検知センサの電気的接続
図、第５図は圧力応動部の応力特性図、第６図は応力検
知センサの応力及び電気抵抗特性を示す図、第７図は応
力検知センサの出力信号特性図、第８図及び第９図は、
本考案の第２の実施例を示す平面図及び縦断面図、第１
０図及び第１１図は本考案の第３の実施例を示す平面図
及び縦断面図、第１２図及び第１３図は本考案の第４の
実施例を示す平面図及び縦断面図である。 図面中、１，１１，１４及び１５はセラミックダイアフ
ラム本体、２，１０，１２及び１３は台座部、３及び９
は圧力応動部、４〜７は応力検知センサである。 第８図 第１０図

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　厚肉な台座部及び薄肉な圧力応動部をセラミックの
    加圧焼成により一体成形してなるセラミックダイアフラ
    ム本体と、このセラミックダイヤフラム本体の圧力応動
    部に付設された応力検知センサとを具備してなるセラミ
    ック圧力センサ。 ２　セラミックダイアフラム本体は、圧力応動部に付設
    された応力検知センサに直結されてその出力信号処理を
    行う厚膜回路又は薄膜回路からなる電気回路を台座部に
    有することを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
    に記載のセラミック圧力センサ。
JP4092384U 1984-03-21 1984-03-21 セラミツク圧力センサ Pending JPS60152949U (ja)

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