JPS6049438U - 半導体圧力センサ - Google Patents
半導体圧力センサInfo
- Publication number
- JPS6049438U JPS6049438U JP14143783U JP14143783U JPS6049438U JP S6049438 U JPS6049438 U JP S6049438U JP 14143783 U JP14143783 U JP 14143783U JP 14143783 U JP14143783 U JP 14143783U JP S6049438 U JPS6049438 U JP S6049438U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- semiconductor pressure
- silicon single
- single crystal
- crystal plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
−第1図は従来例の半導体圧力センサを示す縦断面図、
第2図は本考案の半導体圧力センサに係る一実施例を示
す縦断面図、第3図は第2図のセン ゛すのシリコン
単結晶板チップを示す拡大縦断面図、第4図は同上シリ
コン単結晶板チップを示す拡大底面図、第5図は複数ダ
イヤフラムの場合の圧力−出力特性を示すグラフである
。 13゛・・・・・・シリコン単結板チップ、14a、1
4b・・・・・・ダイヤフラム。
第2図は本考案の半導体圧力センサに係る一実施例を示
す縦断面図、第3図は第2図のセン ゛すのシリコン
単結晶板チップを示す拡大縦断面図、第4図は同上シリ
コン単結晶板チップを示す拡大底面図、第5図は複数ダ
イヤフラムの場合の圧力−出力特性を示すグラフである
。 13゛・・・・・・シリコン単結板チップ、14a、1
4b・・・・・・ダイヤフラム。
Claims (1)
- シリコン単結晶板チップに設けたダイヤフラムに形成し
た抵抗体の抵抗値の変化に基づいて被測定媒体の圧力を
検出する半導体圧力センサにおいて、前記シリコン単結
晶板チップに厚さと面積、あるいは厚さのみが異なるダ
イヤフラムを少なくとも2個以上設けてなることを特徴
とする半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14143783U JPS6049438U (ja) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | 半導体圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14143783U JPS6049438U (ja) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | 半導体圧力センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6049438U true JPS6049438U (ja) | 1985-04-06 |
Family
ID=30316336
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14143783U Pending JPS6049438U (ja) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | 半導体圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6049438U (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11295176A (ja) * | 1998-04-14 | 1999-10-29 | Nagano Keiki Co Ltd | 差圧センサ |
JP2009168616A (ja) * | 2008-01-16 | 2009-07-30 | Toyota Motor Corp | 圧力検出装置 |
JP2013015391A (ja) * | 2011-07-04 | 2013-01-24 | Denso Corp | 圧力センサ |
WO2013051198A1 (ja) * | 2011-10-05 | 2013-04-11 | キヤノンアネルバ株式会社 | 隔膜型圧力計 |
-
1983
- 1983-09-14 JP JP14143783U patent/JPS6049438U/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11295176A (ja) * | 1998-04-14 | 1999-10-29 | Nagano Keiki Co Ltd | 差圧センサ |
JP2009168616A (ja) * | 2008-01-16 | 2009-07-30 | Toyota Motor Corp | 圧力検出装置 |
JP2013015391A (ja) * | 2011-07-04 | 2013-01-24 | Denso Corp | 圧力センサ |
WO2013051198A1 (ja) * | 2011-10-05 | 2013-04-11 | キヤノンアネルバ株式会社 | 隔膜型圧力計 |
JPWO2013051198A1 (ja) * | 2011-10-05 | 2015-03-30 | キヤノンアネルバ株式会社 | 隔膜型圧力計 |
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