JPS60152950U - 金属ダイアフラム圧力センサ - Google Patents
金属ダイアフラム圧力センサInfo
- Publication number
- JPS60152950U JPS60152950U JP4092484U JP4092484U JPS60152950U JP S60152950 U JPS60152950 U JP S60152950U JP 4092484 U JP4092484 U JP 4092484U JP 4092484 U JP4092484 U JP 4092484U JP S60152950 U JPS60152950 U JP S60152950U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- insulating film
- metal diaphragm
- diaphragm pressure
- diaphragm body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図乃至第３図は本考案の一実施例を示すものであり
、第１図は上面図、第２図は縦断面図、第３図は要部の
拡大断面図、第４図は本考案の他の実施例を示す第３図
相当図である。 図面中、１はダイアフラム本体、２は絶縁膜、３〜６は
応力センサ、７は印刷導体、８は絶縁材皮膜である。
、第１図は上面図、第２図は縦断面図、第３図は要部の
拡大断面図、第４図は本考案の他の実施例を示す第３図
相当図である。 図面中、１はダイアフラム本体、２は絶縁膜、３〜６は
応力センサ、７は印刷導体、８は絶縁材皮膜である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ｌ Ａｌを含有するＦｅ基合金材又はＮｉ基合金材を
プレス加工により所定形状に形成してなるダイアフラム
本体と、このダイアフラム本体に含有されたんを選択的
に酸化することにより前記ダイアフラム本体の表面部に
形成されるアルミナ被膜からなる絶縁膜と、この絶縁膜
に一体的に付設される応力センサとを具備してなる金属
ダイアフラム圧力センサ。 ２ アルミナ皮膜からなる絶縁膜と応力センサとの間に
絶縁材皮膜を一体的に介在することを特徴とする実用新
案登録請求の範囲第１項に記載の金属ダイアフラム圧力
センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4092484U JPS60152950U (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | 金属ダイアフラム圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4092484U JPS60152950U (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | 金属ダイアフラム圧力センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60152950U true JPS60152950U (ja) | 1985-10-11 |
| JPH0342344Y2 JPH0342344Y2 (ja) | 1991-09-05 |
Family
ID=30550272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4092484U Granted JPS60152950U (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | 金属ダイアフラム圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60152950U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11578997B1 (en) | 2021-08-24 | 2023-02-14 | Allegro Microsystems, Llc | Angle sensor using eddy currents |
-
1984
- 1984-03-21 JP JP4092484U patent/JPS60152950U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11578997B1 (en) | 2021-08-24 | 2023-02-14 | Allegro Microsystems, Llc | Angle sensor using eddy currents |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0342344Y2 (ja) | 1991-09-05 |
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