JPS5999977A - リニアモ−タ - Google Patents
リニアモ−タInfo
- Publication number
- JPS5999977A JPS5999977A JP57207809A JP20780982A JPS5999977A JP S5999977 A JPS5999977 A JP S5999977A JP 57207809 A JP57207809 A JP 57207809A JP 20780982 A JP20780982 A JP 20780982A JP S5999977 A JPS5999977 A JP S5999977A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- electrostrictive
- cylindrical
- clamp
- linear motor
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 241000257465 Echinoidea Species 0.000 description 1
- 241000238631 Hexapoda Species 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 210000003127 knee Anatomy 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
Landscapes
- Linear Motors (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、超精密位桁決め機構等に用いられ、直進運動
を行なうリニアモータに関する。
を行なうリニアモータに関する。
従来例の構成とその問題点
従来、直進、運動を得るためには、ステッピングモータ
やＤＣモータの回転運動をネジやカムにより直線運動に
変換する方法がよく用いられている。
やＤＣモータの回転運動をネジやカムにより直線運動に
変換する方法がよく用いられている。
これらの方法は回転運動を直線運動に機構的に変換して
いるため結合部におけるガタやモータの振動を完全に除
去することはできす、丑だ構造的に大型の装置になると
いう問題点がある。
いるため結合部におけるガタやモータの振動を完全に除
去することはできす、丑だ構造的に大型の装置になると
いう問題点がある。
一方直接直進運動を得るものに油圧シリンダーや空圧シ
リンダがあるがこれらは装置として非常に大きくなり、
制御が難かしく、そのため超精密位置決めを行なうこと
は非常に困難である。
リンダがあるがこれらは装置として非常に大きくなり、
制御が難かしく、そのため超精密位置決めを行なうこと
は非常に困難である。
一方高精密な位置決めを行なうだめの微動機構としては
、電歪素子や磁歪素子を用いたシャクトリ虫型微動機構
が知られている。
、電歪素子や磁歪素子を用いたシャクトリ虫型微動機構
が知られている。
第１図は電歪素子を用いたシャクトリ虫型微動機構の説
明図である。以下図にしたがって微動機構を説明する。
明図である。以下図にしたがって微動機構を説明する。
微動機構は′電歪索子１の両端にクランプ素子２，３を
取り付けた構成である。イではクランプ素子２，３は固
定ステージ４にクラップし同定している。口でクランプ
素子２をフリーにする０ハで電歪索子１に電圧をかけ伸
ばすとクランプ素子２は図の左方に進行１”る。ごてク
ランプ素子２を固定し、ホでクランプ素子３をフリーに
する。へで電歪素子１への印加電圧を切ると７１Ｌ歪素
子１は縮斗りクランプ素子３は左方へ進行し、１・でク
ランプ素子３を固定すると、イの状態か左方に進行した
状態となる。このイから１・寸でのル− プが微動機構
の微動メカＪニズノ・である。クランプ素子のクランプ
方法としては、電磁力や静電力を利用すればよい。
取り付けた構成である。イではクランプ素子２，３は固
定ステージ４にクラップし同定している。口でクランプ
素子２をフリーにする０ハで電歪索子１に電圧をかけ伸
ばすとクランプ素子２は図の左方に進行１”る。ごてク
ランプ素子２を固定し、ホでクランプ素子３をフリーに
する。へで電歪素子１への印加電圧を切ると７１Ｌ歪素
子１は縮斗りクランプ素子３は左方へ進行し、１・でク
ランプ素子３を固定すると、イの状態か左方に進行した
状態となる。このイから１・寸でのル− プが微動機構
の微動メカＪニズノ・である。クランプ素子のクランプ
方法としては、電磁力や静電力を利用すればよい。
以上／Ｊ＜シたように、電歪素子の電歪による歪か極め
て微小であるので、微小な移動の高精度な位置決めが可
能である。しかし、次のような問題点がある。第１にシ
ャクトリ虫ハＩｊの間欠の運動であるため、位置決めに
は有効であるが一定速度で移動するステージ等には利用
できない０．第２に電歪索子の電歪による歪が極めて微
小であるため移動速度が小さい。第３に移動する時はク
ランプ素子がフリーとな−、／こ状ｆ１３であるので機
械的なイく安定性を生じる。
て微小であるので、微小な移動の高精度な位置決めが可
能である。しかし、次のような問題点がある。第１にシ
ャクトリ虫ハＩｊの間欠の運動であるため、位置決めに
は有効であるが一定速度で移動するステージ等には利用
できない０．第２に電歪索子の電歪による歪が極めて微
小であるため移動速度が小さい。第３に移動する時はク
ランプ素子がフリーとな−、／こ状ｆ１３であるので機
械的なイく安定性を生じる。
発明の目的
本発明は以上に小（また電歪素ｒの利点を牛かし、かつ
凍続１−２だ面線運動を高精度に実現するりニアモータ
を得ることを目的とする。。
凍続１−２だ面線運動を高精度に実現するりニアモータ
を得ることを目的とする。。
発明の構成
本発明は２枚の電歪素子全力いに逆り向にＩＩ、！、ｉ
り合わせたリング状素Ｐと、リング状素子の内周部に配
さ一、ｉＥ、ｆ（筒状の電歪素子を有シフ、これらに印
加する電圧を制御１−て筒状電歪素子に貫通させ／こシ
ャフト又はリング状素子列周に固定したプロ、りのいず
れか一方を１ｂ線運動させるようにし２だリニアモータ
である。
り合わせたリング状素Ｐと、リング状素子の内周部に配
さ一、ｉＥ、ｆ（筒状の電歪素子を有シフ、これらに印
加する電圧を制御１−て筒状電歪素子に貫通させ／こシ
ャフト又はリング状素子列周に固定したプロ、りのいず
れか一方を１ｂ線運動させるようにし２だリニアモータ
である。
実施例の説明
以斗に本発明の一実施例を図面を用いて説明する０
第２図および第３図は、本発明の第一の実施例を示して
いる。２板の電歪素子５１．５２を互いに逆方向に貼り
合わぜたバイモルフ型電歪素ｆ−をリング状に形成した
２′つのリング状素子５，６の外周を固定ブロック７に
！内当な間隔を４．・いて取りつけ固定する。リング状
素子６，６の内周側にｔ」、それぞ才り径力向に伸縮す
る電歪素子で形成し、た円筒状のクランプ素子８，９が
取りつけられている〜クランプ素子８，９とスライドシ
ャフト１０と＆：ｔニー４“き−ｉ （ｄ、めあいで構
成される。
いる。２板の電歪素子５１．５２を互いに逆方向に貼り
合わぜたバイモルフ型電歪素ｆ−をリング状に形成した
２′つのリング状素子５，６の外周を固定ブロック７に
！内当な間隔を４．・いて取りつけ固定する。リング状
素子６，６の内周側にｔ」、それぞ才り径力向に伸縮す
る電歪素子で形成し、た円筒状のクランプ素子８，９が
取りつけられている〜クランプ素子８，９とスライドシ
ャフト１０と＆：ｔニー４“き−ｉ （ｄ、めあいで構
成される。
リング状素子５は両面と貼りイ」け面に電極１１が設け
ら］１ており図に示すように貼り付は而と刻面間に電圧
Ａが印加される。捷だクランプ素子８゜９は内、外周」
−に電極１２が形成され両者間に電圧Ｃが印加される。
ら］１ており図に示すように貼り付は而と刻面間に電圧
Ａが印加される。捷だクランプ素子８゜９は内、外周」
−に電極１２が形成され両者間に電圧Ｃが印加される。
リング状素子５，６とクランプ素子８，９は絶縁され、
運動上ガタかない」：うにずきまなく取り伺けられてい
る。
運動上ガタかない」：うにずきまなく取り伺けられてい
る。
次に、第３図および第４図により動作を説明する。第３
図のイル二は第４図の時刻イル二における各素子の状態
を示している。丑だ、第４図ａ。
図のイル二は第４図の時刻イル二における各素子の状態
を示している。丑だ、第４図ａ。
ｂは各々リング状素子５，６に印加さ７する電圧波形で
、振幅■、立−Ｆり時間Ｔｏの三角波が印加される。同
図ｃ、ｄは各々クランプ素子８，９に加えられる電圧波
形である０い丑、イにおいては、クランプ素子８には電
圧がかかっておらずフリーであり、リング状素子６に印
加する電圧も０でその変位置はＯである。一方クランプ
素子９には第４図ｄの′電圧が印７７１１されスライド
シャフト１０をクランプ１−２２、リング状素）６には
第４図すの電圧か印加されて速度Ｖ／ Ｔ ｏで変位し
ている。ｒｌにおいては、２つのクランプ素子−８，９
ともに電ｒ［ｈ ｃ 。
、振幅■、立−Ｆり時間Ｔｏの三角波が印加される。同
図ｃ、ｄは各々クランプ素子８，９に加えられる電圧波
形である０い丑、イにおいては、クランプ素子８には電
圧がかかっておらずフリーであり、リング状素子６に印
加する電圧も０でその変位置はＯである。一方クランプ
素子９には第４図ｄの′電圧が印７７１１されスライド
シャフト１０をクランプ１−２２、リング状素）６には
第４図すの電圧か印加されて速度Ｖ／ Ｔ ｏで変位し
ている。ｒｌにおいては、２つのクランプ素子−８，９
ともに電ｒ［ｈ ｃ 。
ｄが印加されるのでスライドシャット１０をクランプし
、リング状素子６，６にも電圧ａ、ｂか印加さｔｌて同
じ速度Ｖ ／ ’ｒｏで変位している０・・に↓・・い
ては、クランプ素子９には７ｔｉ圧ｄが印加さＪＬずク
ランプをはずし、リング状素子−６は変１’ｊ；ｌ Ｏ
の位置に戻る。一方のリング状素コ、ｉ″−５に」、そ
の丑−ま速度Ｖ／Ｔｏで変ｆ化シている。二においては
、クランプ素子９に円び電圧ｄが加えられリング状素チ
ロにも電圧すが印加され速度Ｖ ／ Ｔ ｏで変位を始
める１〕この」二うにして、クランプ素−ｆ−８，９に
クランプさノＩ／こスライドシャット１ｏは速度Ｖ ／
Ｔ ｏ で図の左方へ移動する。
、リング状素子６，６にも電圧ａ、ｂか印加さｔｌて同
じ速度Ｖ ／ ’ｒｏで変位している０・・に↓・・い
ては、クランプ素子９には７ｔｉ圧ｄが印加さＪＬずク
ランプをはずし、リング状素子−６は変１’ｊ；ｌ Ｏ
の位置に戻る。一方のリング状素コ、ｉ″−５に」、そ
の丑−ま速度Ｖ／Ｔｏで変ｆ化シている。二においては
、クランプ素子９に円び電圧ｄが加えられリング状素チ
ロにも電圧すが印加され速度Ｖ ／ Ｔ ｏで変位を始
める１〕この」二うにして、クランプ素−ｆ−８，９に
クランプさノＩ／こスライドシャット１ｏは速度Ｖ ／
Ｔ ｏ で図の左方へ移動する。
第４図ｅ、ｆはそれぞれスライドシャフト１０の速度と
それに加わる力のタイミングチャー １・である。ｅに
示すように速度はＶ ／ Ｔ ｏ と常に一定である
Ｃ）力の力は周期的に変動しているが０になることはな
い。
それに加わる力のタイミングチャー １・である。ｅに
示すように速度はＶ ／ Ｔ ｏ と常に一定である
Ｃ）力の力は周期的に変動しているが０になることはな
い。
本実Ｍ、５例は、リング状素１：とクランプ素トのべ７
・・４ ソ アを２つ用いた例であるが、数を増やすことにより、ス
ライドシャフト１０に加わる力の変動は小さくなり、同
時にスライドシャフト１ｏの移動パワーが大きくなる。
・・４ ソ アを２つ用いた例であるが、数を増やすことにより、ス
ライドシャフト１０に加わる力の変動は小さくなり、同
時にスライドシャフト１ｏの移動パワーが大きくなる。
また、本実施例はスライドシャフト１．０が移動する実
施例であるが、スライドシャフト１０を固□ 定とし、ブロック７の方を移動させることも可能である
。これに」：り長い移動距離をとることができる０また
バイモルフ型の電歪素子を用いているので低電圧でも大
きな変位を得ることができるため速度を大きくすること
も可能である。
施例であるが、スライドシャフト１０を固□ 定とし、ブロック７の方を移動させることも可能である
。これに」：り長い移動距離をとることができる０また
バイモルフ型の電歪素子を用いているので低電圧でも大
きな変位を得ることができるため速度を大きくすること
も可能である。
なお、リング秋素子、クランプ素子に加える電圧□
の位相、電圧値２周波数を制御することにより運動のさ
せ方を自由に調整することができる。
せ方を自由に調整することができる。
第５図は、本発明のリニアモータを超精密旋盤に用いた
例で、リニアモータを２軸設は切削により曲面を形成す
るものである。２軸をコントロールして面を形成するた
め、移動機構は間欠した送）機構ではなく連続した運動
が必要とされる。また、サブミクロンの位置精度が必要
となる。本発明のリニアモータはこの要求を実現可能と
する。
例で、リニアモータを２軸設は切削により曲面を形成す
るものである。２軸をコントロールして面を形成するた
め、移動機構は間欠した送）機構ではなく連続した運動
が必要とされる。また、サブミクロンの位置精度が必要
となる。本発明のリニアモータはこの要求を実現可能と
する。
第６図の構成を以下説明する。高い回転精度を得るため
、空気軸受を用いたスピンドル１３に被切削材１４が真
空吸着し取りつけられている。バイト１５けダイヤモン
ド刃バイトである。バイト１５の送り方向（Ｘ軸）、バ
イトの切り込み方向（Ｚ軸）はそれぞれ２軸のスライド
ガイドシャフト１６１，１６２および１７ｊ、ｉγ２に
よる自走型のリニアモータ１６，１７で制御される。
、空気軸受を用いたスピンドル１３に被切削材１４が真
空吸着し取りつけられている。バイト１５けダイヤモン
ド刃バイトである。バイト１５の送り方向（Ｘ軸）、バ
イトの切り込み方向（Ｚ軸）はそれぞれ２軸のスライド
ガイドシャフト１６１，１６２および１７ｊ、ｉγ２に
よる自走型のリニアモータ１６，１７で制御される。
第６図は、第６図で示したリニアモータ１６゜１７の構
成図である。バイモルフ型電歪素子１８とクランプ素子
１９を複数個用いている。スライドガイドシャフト２０
は固定され、それに沿ってキャリッジ２１がスムーズな
運動をするために空気軸受２２を用いている。この構成
をＸ軸方向。
成図である。バイモルフ型電歪素子１８とクランプ素子
１９を複数個用いている。スライドガイドシャフト２０
は固定され、それに沿ってキャリッジ２１がスムーズな
運動をするために空気軸受２２を用いている。この構成
をＸ軸方向。
ｚ軸方向各々に２Ｍｉ設け、各々のスライドガイドシャ
フト２０をそれぞれ２軸スライドガイドシヤフト１６１
．１６２，１７１．１７２となるように構成する。バイ
ト１５の送り方向はスライドガイドシャフト１６１，１
６２に沿ってキャリッジ９ べ−：′ １６３が移動して行なわれ、一方バイト１５の切削深度
はスライドガイドしヤ７．”ト１７１． 、１７２に沿
ってキャリッジ１７３が移□動して戸な、、、われる。
フト２０をそれぞれ２軸スライドガイドシヤフト１６１
．１６２，１７１．１７２となるように構成する。バイ
ト１５の送り方向はスライドガイドシャフト１６１，１
６２に沿ってキャリッジ９ べ−：′ １６３が移動して行なわれ、一方バイト１５の切削深度
はスライドガイドしヤ７．”ト１７１． 、１７２に沿
ってキャリッジ１７３が移□動して戸な、、、われる。
このように、超精密旋繋に本発明のリニアモータを用い
ることによシ、高い形状精度の曲面ミラーなどを容易Ｉ
ることができ、テ。 □以上のよ、うに、本発明は２
枚の電歪、素子を貼見合わせタリング状素子と、このリ
ング族素子の内を有し、これらに印加：大る電圧、を制
御曽て筒状電歪素子に貫通させたシ：＝フト又はリン）
体素子外、。
ることによシ、高い形状精度の曲面ミラーなどを容易Ｉ
ることができ、テ。 □以上のよ、うに、本発明は２
枚の電歪、素子を貼見合わせタリング状素子と、このリ
ング族素子の内を有し、これらに印加：大る電圧、を制
御曽て筒状電歪素子に貫通させたシ：＝フト又はリン）
体素子外、。
周に固定したブロックの一方を直線運動させるようにし
たりニアモータで、高精度で、しかも一定速度の安定し
た連続運動をするリニアモータを得
たりニアモータで、高精度で、しかも一定速度の安定し
た連続運動をするリニアモータを得
第１図イ〜トは従来のリニア雪−タ？−例に纂□ける動
作を説明するた：、めの側面図、巣゛２図は本発明によ
るリニアモータの実施例におけ木分解斜視１０、−二・ 図、第３図イル二は本発明によるリニアモータの実施例
における動作を説明するだめの側面図、第４図ａ〜ｆは
第３図におけるリニアモータの動作を説明するための波
形図、第５図は本発明によるリニアモータの応用例を示
す斜視図、第６図は第５図の構成の要部断面図である。 １・・・・・電歪素子、２，３・・・・・クランプ素子
、４・・・・・・固定ステージ、６，６・・・・・バイ
モルフ型電歪素子、７・・・・・・固定グロック、８，
９・・・・・・クランプ素子、ｉ ｏ・−＝スライドシ
ャフト、１１．１２・・・・・・電極、１３・・・・・
・スピンドル、１４・・・・・・被切削材、１５・・・
・・・バイト、１６．１７・・・・・・リニアモータ、
１８・・・・・・バイモルフ型電歪素子、１９・・・・
・・クランプ素子、２０・・・・・・スライドガイドシ
ャフト、２１・・・・・キャリッジ、２２・・・・・空
気軸受、５１．５２・・・・・・電歪素子〇 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第３
図 第２図 −４１３− 第６図 手続補正書 昭和夕とイ１−７ 月／９日 昭和５７年特許願第 ２０７８０９号 ２発明の名称 リニアモータ ３補正をする者 １１＋ ｆ’ｉとの関１）； 牛〒
許 出 願 人［１所 大阪府門頁市
大字門真１００６番地名 ｆｉ・ （５８２）松下電器
産業株式会社代表者 山 下 俊 彦 ４代理人 〒５７１ 住 ＋Ｊｉ 大阪府門真市大字門真１００６番地松
下電器産業株式会社内 第２図
作を説明するた：、めの側面図、巣゛２図は本発明によ
るリニアモータの実施例におけ木分解斜視１０、−二・ 図、第３図イル二は本発明によるリニアモータの実施例
における動作を説明するだめの側面図、第４図ａ〜ｆは
第３図におけるリニアモータの動作を説明するための波
形図、第５図は本発明によるリニアモータの応用例を示
す斜視図、第６図は第５図の構成の要部断面図である。 １・・・・・電歪素子、２，３・・・・・クランプ素子
、４・・・・・・固定ステージ、６，６・・・・・バイ
モルフ型電歪素子、７・・・・・・固定グロック、８，
９・・・・・・クランプ素子、ｉ ｏ・−＝スライドシ
ャフト、１１．１２・・・・・・電極、１３・・・・・
・スピンドル、１４・・・・・・被切削材、１５・・・
・・・バイト、１６．１７・・・・・・リニアモータ、
１８・・・・・・バイモルフ型電歪素子、１９・・・・
・・クランプ素子、２０・・・・・・スライドガイドシ
ャフト、２１・・・・・キャリッジ、２２・・・・・空
気軸受、５１．５２・・・・・・電歪素子〇 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第３
図 第２図 −４１３− 第６図 手続補正書 昭和夕とイ１−７ 月／９日 昭和５７年特許願第 ２０７８０９号 ２発明の名称 リニアモータ ３補正をする者 １１＋ ｆ’ｉとの関１）； 牛〒
許 出 願 人［１所 大阪府門頁市
大字門真１００６番地名 ｆｉ・ （５８２）松下電器
産業株式会社代表者 山 下 俊 彦 ４代理人 〒５７１ 住 ＋Ｊｉ 大阪府門真市大字門真１００６番地松
下電器産業株式会社内 第２図
Claims (1)
- （１）２枚の電歪素子を互いに逆方向に貼り合わせたリ
ング状素子の内周部に径方向に伸縮する筒状電歪素子を
配し、前記リング状素子および筒状電歪素子に印加する
電圧を制御して前記筒状電歪素子に貫通させたシャフト
またはリング状素子の外部に配されたブロックのいずれ
か一方を移動させることを特徴とするりニアモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57207809A JPS5999977A (ja) | 1982-11-26 | 1982-11-26 | リニアモ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57207809A JPS5999977A (ja) | 1982-11-26 | 1982-11-26 | リニアモ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5999977A true JPS5999977A (ja) | 1984-06-08 |
Family
ID=16545854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57207809A Pending JPS5999977A (ja) | 1982-11-26 | 1982-11-26 | リニアモ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5999977A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6382078U (ja) * | 1986-11-17 | 1988-05-30 | ||
| JPS63121785U (ja) * | 1987-01-30 | 1988-08-08 | ||
| JPH05328753A (ja) * | 1991-01-19 | 1993-12-10 | Smc Corp | アクチュエータ |
| US7355325B2 (en) * | 2006-06-15 | 2008-04-08 | Piezomotor Uppsala Ab | Wide frequency range electromechanical actuator |
| US7408289B2 (en) * | 2005-09-27 | 2008-08-05 | Samsung Techwin Co., Ltd. | Piezoelectric actuator, and apparatus and method for actuating the same |
| US20110107962A1 (en) * | 2009-11-10 | 2011-05-12 | Chen ya-mei | Piezoelectric actuators |
-
1982
- 1982-11-26 JP JP57207809A patent/JPS5999977A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6382078U (ja) * | 1986-11-17 | 1988-05-30 | ||
| JPS63121785U (ja) * | 1987-01-30 | 1988-08-08 | ||
| JPH05328753A (ja) * | 1991-01-19 | 1993-12-10 | Smc Corp | アクチュエータ |
| US7408289B2 (en) * | 2005-09-27 | 2008-08-05 | Samsung Techwin Co., Ltd. | Piezoelectric actuator, and apparatus and method for actuating the same |
| US7355325B2 (en) * | 2006-06-15 | 2008-04-08 | Piezomotor Uppsala Ab | Wide frequency range electromechanical actuator |
| US20110107962A1 (en) * | 2009-11-10 | 2011-05-12 | Chen ya-mei | Piezoelectric actuators |
| US8324785B2 (en) * | 2009-11-10 | 2012-12-04 | The Regents Of The University Of California | Piezoelectric actuators |
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