JPS62225181A - 振動波モ−タ - Google Patents
振動波モ−タInfo
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- JPS62225181A JPS62225181A JP61066583A JP6658386A JPS62225181A JP S62225181 A JPS62225181 A JP S62225181A JP 61066583 A JP61066583 A JP 61066583A JP 6658386 A JP6658386 A JP 6658386A JP S62225181 A JPS62225181 A JP S62225181A
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- JP
- Japan
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- vibration
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- diaphragm
- lambda
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Links
- 230000003534 oscillatory effect Effects 0.000 title 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 4
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 5
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 6
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/103—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/0015—Driving devices, e.g. vibrators using only bending modes
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は振動板に生ぜしめた横波としての定在波により
駆動される撮動波モータに関するものである。
駆動される撮動波モータに関するものである。
振動波モータは例えば特公昭58−32518号に開示
されているように、圧電振動子などの電気−機械エネル
ギー変換素子に交番電圧を印加することによシ生ずる振
動運動を駆動に利用するもので、従来の電磁モータに比
べて巻線を必要としない為、構造が簡単で小型になシ、
低速回転時にも高トルクが得られるという利点があシ、
近年注目されている。
されているように、圧電振動子などの電気−機械エネル
ギー変換素子に交番電圧を印加することによシ生ずる振
動運動を駆動に利用するもので、従来の電磁モータに比
べて巻線を必要としない為、構造が簡単で小型になシ、
低速回転時にも高トルクが得られるという利点があシ、
近年注目されている。
振動波モータは、太きく2a類に分かれ、1つは例えば
特公昭59−37672号に示されたような振動片型(
いわゆる「キラツキ型」)であり。
特公昭59−37672号に示されたような振動片型(
いわゆる「キラツキ型」)であり。
もう一つは振動体に生ぜしめた進行波を用いる進行波型
(例えば特開昭59−96881号)である。振動片型
は、効率は高いが、運動の方向が−方向に限られる事や
、形状が大きくなってしまう事などの欠点があった。他
方、進行波型は、小型で運動方向も2方向に選択できる
が、均一な進行波を発生させる事が難しいなどの理由で
効率が低いという欠点があった。
(例えば特開昭59−96881号)である。振動片型
は、効率は高いが、運動の方向が−方向に限られる事や
、形状が大きくなってしまう事などの欠点があった。他
方、進行波型は、小型で運動方向も2方向に選択できる
が、均一な進行波を発生させる事が難しいなどの理由で
効率が低いという欠点があった。
本発明は、上述従来例の欠点を除去し、駆動方向を選択
できる小型で高効率の振動波モータを提供する事を目的
とする。
できる小型で高効率の振動波モータを提供する事を目的
とする。
本発明の振動波モータは弾性材料製の振動板−、λ
各群が等ピンチ−で配列された複数の区画からなり且つ
電圧印加時における各群の区画の伸縮の極性が相隣る区
画で互に逆であるような二群をなす電気−機械エネルギ
ー変換素子を、該二群が互にλ −の奇数倍だけずれているように固着し、以て上記電気
−機械エネルギー変換素子の上記二群のいずれか一群に
交番電圧を印加することによって上記振動板に曲げ振動
の波長λの定在波が発生するように構成すると共に、該
定在波の節と腹との中間の位置にて上記振動板に振動伝
達体を立設固着し、該振動伝達体の先端部に移動体を加
圧接触せしめてなることを特徴とする。
電圧印加時における各群の区画の伸縮の極性が相隣る区
画で互に逆であるような二群をなす電気−機械エネルギ
ー変換素子を、該二群が互にλ −の奇数倍だけずれているように固着し、以て上記電気
−機械エネルギー変換素子の上記二群のいずれか一群に
交番電圧を印加することによって上記振動板に曲げ振動
の波長λの定在波が発生するように構成すると共に、該
定在波の節と腹との中間の位置にて上記振動板に振動伝
達体を立設固着し、該振動伝達体の先端部に移動体を加
圧接触せしめてなることを特徴とする。
第1図は直線型振動波モータとしての実施例を示す側面
図であって、図中、la、lbは圧電物質、電歪物質又
は磁歪物質などの電気−機械エネルギー変換材料製の板
であり、以下、圧電物質製の場合を代表例にとプ、これ
を圧電板と称する。
図であって、図中、la、lbは圧電物質、電歪物質又
は磁歪物質などの電気−機械エネルギー変換材料製の板
であり、以下、圧電物質製の場合を代表例にとプ、これ
を圧電板と称する。
圧電板1aおよび1bの上下の面には夫々電極膜(不図
示)が形成しである。圧電板1m、lbは重ねて相互に
固着され、且つ金属の如き弾性材料よシなる直線状に延
びた振動板2の下面に固着されている。3は振動板2の
上面に立設固着されたコーン状の複数個の振動伝達体、
4は振動伝達体3に加圧接触している移動板である。圧
電板1a。
示)が形成しである。圧電板1m、lbは重ねて相互に
固着され、且つ金属の如き弾性材料よシなる直線状に延
びた振動板2の下面に固着されている。3は振動板2の
上面に立設固着されたコーン状の複数個の振動伝達体、
4は振動伝達体3に加圧接触している移動板である。圧
電板1a。
lb、振動板2、移動板4は図の左右方向に長い板状で
あ)、K1図は板幅方向から見た側面図である。
あ)、K1図は板幅方向から見た側面図である。
λ
圧電板1a、lbは、夫々、長手方向に長さ一ごとに区
画されており、交互の各区画は予め直流電圧印加により
互に逆方向に分極処理しである(図中、各区画中に分極
処理の方向を矢印で示す)。
画されており、交互の各区画は予め直流電圧印加により
互に逆方向に分極処理しである(図中、各区画中に分極
処理の方向を矢印で示す)。
第2図はこの分極処理の仕方を示したもので、各区画に
直流高圧電源9から直流高電圧Vを印加して分極処理を
施すのである(分極処理の方向7と分極電荷8a、8b
の関係は図示のようKなる)。
直流高圧電源9から直流高電圧Vを印加して分極処理を
施すのである(分極処理の方向7と分極電荷8a、8b
の関係は図示のようKなる)。
λ
圧電板1aK対して圧電板1bは各区画が−ずれている
ように配置されている。また各振動伝達体3は、圧電板
l&および1bの区画境界間の中されている。圧電板1
a、lbの上面および下面の電極膜ならびく両者の間の
電極膜は図示の如くスインチロを介して交流電源5に接
続されている。撮動板2は圧電板1bの下面にフェルト
の如き吸振材(不図示)を装置して不図示の固定体に支
持されている。振動板2は有端(この場合は場合は全長
はλの整数倍とする)でもよい。
ように配置されている。また各振動伝達体3は、圧電板
l&および1bの区画境界間の中されている。圧電板1
a、lbの上面および下面の電極膜ならびく両者の間の
電極膜は図示の如くスインチロを介して交流電源5に接
続されている。撮動板2は圧電板1bの下面にフェルト
の如き吸振材(不図示)を装置して不図示の固定体に支
持されている。振動板2は有端(この場合は場合は全長
はλの整数倍とする)でもよい。
今、スイッチ6を接点6a側に投入すれば、圧電板1a
だけに交流電圧が印加される。圧電板1aの各区画は隣
同志が互に逆方向に分極処理しであるから、一区画が伸
びる時はその隣の区画が縮むという具合に、圧電板II
Lの各区画は印加交流電圧の周波数にて長手方向に伸縮
する。これに伴い振動板2は、圧電板1aの伸びた区画
の部分では下方に膨らむように、また縮んだ区画の部分
では上方に膨らむという具合に彎曲振動を起し、これに
よって振動板2には横波としての定在波(波長λ)が発
生する。この定在波の腹は圧電板1aの各区画の中心位
置に、また節は圧電板1aの各区画の境界位置に存在す
る。ここで、前述した構成・配置から、各振動伝達体3
は、上記定在波のINと節との間の中央位11itK立
設されていることになるから、該振動伝達体3は第3図
(a)の如く移動板4を斜め上方に突き上げる作用をす
る。よって、振動体2を長手方向に移動しないように保
持しておけば、上記突き上げ作用の)$振力によって移
動体4は振動体2に対して第3図(a)の矢印U方向に
駆動される。
だけに交流電圧が印加される。圧電板1aの各区画は隣
同志が互に逆方向に分極処理しであるから、一区画が伸
びる時はその隣の区画が縮むという具合に、圧電板II
Lの各区画は印加交流電圧の周波数にて長手方向に伸縮
する。これに伴い振動板2は、圧電板1aの伸びた区画
の部分では下方に膨らむように、また縮んだ区画の部分
では上方に膨らむという具合に彎曲振動を起し、これに
よって振動板2には横波としての定在波(波長λ)が発
生する。この定在波の腹は圧電板1aの各区画の中心位
置に、また節は圧電板1aの各区画の境界位置に存在す
る。ここで、前述した構成・配置から、各振動伝達体3
は、上記定在波のINと節との間の中央位11itK立
設されていることになるから、該振動伝達体3は第3図
(a)の如く移動板4を斜め上方に突き上げる作用をす
る。よって、振動体2を長手方向に移動しないように保
持しておけば、上記突き上げ作用の)$振力によって移
動体4は振動体2に対して第3図(a)の矢印U方向に
駆動される。
スイッチ6を接点6b側に投入すれば、圧電板1bだけ
に交流電圧が印加され、・この場合にも同様の理由で振
動板2に定在波が発生するが、そのとなる。この場合に
は、振動伝達体3は第3図(b)の如く前記とは逆の斜
め上方に移動板4を突き上げることになり、移動体は前
記とは逆向きに矢印U′方向に駆動される。
に交流電圧が印加され、・この場合にも同様の理由で振
動板2に定在波が発生するが、そのとなる。この場合に
は、振動伝達体3は第3図(b)の如く前記とは逆の斜
め上方に移動板4を突き上げることになり、移動体は前
記とは逆向きに矢印U′方向に駆動される。
第4図は他の実施例に示すもので、この実施例は第1図
において振動伝達体3を厚み振動の共振するホーン形状
となし、その厚み振動の部位IJtK取付けた支持体1
1によシ振動体2を外壁体12に支持したものである。
において振動伝達体3を厚み振動の共振するホーン形状
となし、その厚み振動の部位IJtK取付けた支持体1
1によシ振動体2を外壁体12に支持したものである。
第4図(&)は長手方向から見た断面図、同(b)は側
面部分図である。
面部分図である。
第5図、第6図は回転!!!!振動波モータとしての実
施例の断面図及び分解斜視図であシ、第1図。
施例の断面図及び分解斜視図であシ、第1図。
第4図と機能的に対応する部材は同じ符号で示す。
la、lbは圧電板、2は振動板で、これらはリング状
をなし相互に固着される。3は振動板2に立設固着され
た振動伝達体、11は第4図と同様の支持体、4はリン
グ状の移動板、25はその回転軸、24はスラスト軸受
、23は加圧バネ、29は固定筐体、22はカバー、2
1はビスである。
をなし相互に固着される。3は振動板2に立設固着され
た振動伝達体、11は第4図と同様の支持体、4はリン
グ状の移動板、25はその回転軸、24はスラスト軸受
、23は加圧バネ、29は固定筐体、22はカバー、2
1はビスである。
圧電板1a、lbは第1図と同様の区画、予めの分極処
理1区画間列関係を有する。但し、本実施例では区画は
周方向に配列されているものとし、λは周方向に測るも
のとし、且つ振動&2の周方向全長はλの整数倍である
とする。振動体3の立設位置も第1図に準する。振動伝
達体3は第4図に示したと同様の厚みS動共蚕ホーン形
であり、支持体11によって節位置で支持され、固定筐
体29とカバー22にビス21によって固定される。
理1区画間列関係を有する。但し、本実施例では区画は
周方向に配列されているものとし、λは周方向に測るも
のとし、且つ振動&2の周方向全長はλの整数倍である
とする。振動体3の立設位置も第1図に準する。振動伝
達体3は第4図に示したと同様の厚みS動共蚕ホーン形
であり、支持体11によって節位置で支持され、固定筐
体29とカバー22にビス21によって固定される。
加圧バネ23によってスラスト軸受24を介して回転軸
25及びそれに接合された移動板4は、振動伝達体3に
加圧[4せしめられる。振動波モータとしての駆動およ
び回転方向の!;0喚は、圧電板Ia、lbに切換スイ
ッチを介して交流′4圧を印加することによって行うこ
とは第1図と同様である。これKよって、移動板4、従
ってその軸25は左回転又は右回転方向に回転駆動され
る。
25及びそれに接合された移動板4は、振動伝達体3に
加圧[4せしめられる。振動波モータとしての駆動およ
び回転方向の!;0喚は、圧電板Ia、lbに切換スイ
ッチを介して交流′4圧を印加することによって行うこ
とは第1図と同様である。これKよって、移動板4、従
ってその軸25は左回転又は右回転方向に回転駆動され
る。
W、7図は、回転型振動波モータとしての他の実施例に
おける圧電板の平面図である。本実施例は第5図、第6
図において、二枚の圧電板1a、lbでなくて一枚の圧
電板を用い、一つの平面内に各区画を構成したものであ
る。すなわち、第5図および第6図において、振動板2
の下面に一枚だけの圧電板30を固着し、該圧電板30
に予めの分λ 他処理によって周方向に各区画が−の長さを持つような
区画群30aおよび同様の区画$30bt−形成し、夫
々の区画群中の隣同志の各区画は図中の(イ)(→の符
号で示すように分極処理の方向を互に逆にしておき(即
ち、伸縮極性を互に逆にしてお倍だけずれているように
し、振動伝達体3は区画λ 境界から−の距離の所で振動体2の上面に立設固着しで
ある。振動体2の全周長はλの整数倍とする。そして区
画群30a又は30bのいずれかく交流電圧を印加する
ことによって、いずれかの回転方向に移動体4を回転駆
動するものである。その動作原理は第1図の実施例で述
べたのと基本的に同じである。
おける圧電板の平面図である。本実施例は第5図、第6
図において、二枚の圧電板1a、lbでなくて一枚の圧
電板を用い、一つの平面内に各区画を構成したものであ
る。すなわち、第5図および第6図において、振動板2
の下面に一枚だけの圧電板30を固着し、該圧電板30
に予めの分λ 他処理によって周方向に各区画が−の長さを持つような
区画群30aおよび同様の区画$30bt−形成し、夫
々の区画群中の隣同志の各区画は図中の(イ)(→の符
号で示すように分極処理の方向を互に逆にしておき(即
ち、伸縮極性を互に逆にしてお倍だけずれているように
し、振動伝達体3は区画λ 境界から−の距離の所で振動体2の上面に立設固着しで
ある。振動体2の全周長はλの整数倍とする。そして区
画群30a又は30bのいずれかく交流電圧を印加する
ことによって、いずれかの回転方向に移動体4を回転駆
動するものである。その動作原理は第1図の実施例で述
べたのと基本的に同じである。
なお、上記各実施例では、前述の如き複数の区画を一体
の圧電板中に形成しているが、これら各区画が各別体の
圧電素子で構成されているような実施例も本発明は包含
するものである。
の圧電板中に形成しているが、これら各区画が各別体の
圧電素子で構成されているような実施例も本発明は包含
するものである。
本発明の振動波モータは、進行波でなく定在波を用い、
効率が高く、また、正逆転も容易にでき。
効率が高く、また、正逆転も容易にでき。
小型の振動波モータとなし得る。更K、小型の共振ホー
ンを振動伝達体として用いれば振動の節位置で振動体を
支持できるのでよシ効率を向上する事が可能である。
ンを振動伝達体として用いれば振動の節位置で振動体を
支持できるのでよシ効率を向上する事が可能である。
第1図は本発明の振動波モータの一実施例を示す側面図
、第2図は圧″成板の分極処理方法を示す図、第3図(
a) 、 (b)は同実施例の作動状態の説明図。 第4図(a) 、 (b)は夫々本発明の他の実施例の
部分を示す長手方向から見た断面図および側面図、第5
図および第6図は夫々本発明のDi動動子モータ更に他
の実施例を示す断面図および分解斜視図、第7図は更に
他の実施例における圧電板の平面図であるO 1m、lb:圧電板、 2:振動板、3:撮動伝達体
、 4:移動板、 11:支持体、 30:圧電板。 本多小平j 1−、”−、ニー−i 新部興治、″、=+ 1、j をL−二1.lil≧ユノ 第5図 ど■ 第7図 仝 第6図
、第2図は圧″成板の分極処理方法を示す図、第3図(
a) 、 (b)は同実施例の作動状態の説明図。 第4図(a) 、 (b)は夫々本発明の他の実施例の
部分を示す長手方向から見た断面図および側面図、第5
図および第6図は夫々本発明のDi動動子モータ更に他
の実施例を示す断面図および分解斜視図、第7図は更に
他の実施例における圧電板の平面図であるO 1m、lb:圧電板、 2:振動板、3:撮動伝達体
、 4:移動板、 11:支持体、 30:圧電板。 本多小平j 1−、”−、ニー−i 新部興治、″、=+ 1、j をL−二1.lil≧ユノ 第5図 ど■ 第7図 仝 第6図
Claims (2)
- 1.弾性材料製の振動板に、各群が等ピッチλ/2で配
列された複数の区画からなり且つ電圧印加時における各
群の区画の伸縮の極性が相隣る区画で互に逆であるよう
な二群をなす電気−機械エネルギー変換素子を、該二群
が互にλ/4の奇数倍だけずれているように固着し、以
て上記電気−機械エネルギー変換素子の上記二群のいず
れか一群に交番電圧を印加することによって上記振動板
に曲げ振動の波長λの定在波が発生するように構成する
と共に、該定在波の節と腹との中間の位置にて上記振動
板に振動伝達体を立設固着し、該振動伝達体の先端部に
移動体を加圧接触せしめてなることを特徴とする振動波
モータ。 - 2.前記振動伝達体が厚み振動の共振するホーン形であ
り、該振動体の厚み振動の節位置を固定支持した特許請
求の範囲第1項の振動波モータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61066583A JPS62225181A (ja) | 1986-03-25 | 1986-03-25 | 振動波モ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61066583A JPS62225181A (ja) | 1986-03-25 | 1986-03-25 | 振動波モ−タ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62225181A true JPS62225181A (ja) | 1987-10-03 |
Family
ID=13320118
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61066583A Pending JPS62225181A (ja) | 1986-03-25 | 1986-03-25 | 振動波モ−タ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62225181A (ja) |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPS63107473A (ja) * | 1986-06-04 | 1988-05-12 | Nippon Seimitsu Kogyo Kk | 正逆回転駆動装置 |
JPS63107472A (ja) * | 1986-06-04 | 1988-05-12 | Nippon Seimitsu Kogyo Kk | 一方向回転駆動装置 |
JPS63154077A (ja) * | 1986-06-04 | 1988-06-27 | Nippon Seimitsu Kogyo Kk | 一方向駆動装置 |
JPS63308971A (ja) * | 1987-06-10 | 1988-12-16 | Mitsubishi Electric Corp | 光検出装置 |
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