JPS595179B2 - 真空機器の防振構造 - Google Patents

真空機器の防振構造

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JPS595179B2
JPS595179B2 JP54061224A JP6122479A JPS595179B2 JP S595179 B2 JPS595179 B2 JP S595179B2 JP 54061224 A JP54061224 A JP 54061224A JP 6122479 A JP6122479 A JP 6122479A JP S595179 B2 JPS595179 B2 JP S595179B2
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JP
Japan
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vacuum
cryopump
bellows
pendulum
vibration isolation
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JPS55152942A (en
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宣夫 飯島
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/66—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing
    • F04D29/661—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/601—Mounting; Assembling; Disassembling specially adapted for elastic fluid pumps
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    • F04D29/668—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps damping or preventing mechanical vibrations
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/04—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は真空機器の防振構造に関し、特に排気用ポンプ
としてクライオポンプを装着してなる真空機器の防振構
造に関する。
近年に至り真空ポンプの一つとして、小型軽量且つ排気
速度、到達真空度ともに優れたクライオポンプが出現し
真空機器の排気用ポンプとして多用されている。
かかるクライオポンプは、その構造上３［Ｈｚ〕程度の
低周波振動の発生が避けられない。
一方、該クライオポンプが使用される真空機器の中には
電子ビーム露光装置及び電子顕微鏡など振動を極端にき
らうものがある。
そこでこれらの真空機器において、空気、ゴムあるいは
スプリング等を用いた防振あるいは除振方法を適用しよ
うとすると、これら従来の方法では数１０〔Ｈｚ）以上
の周波数の振動は除去できても、上述の３〔Ｈｚ〕とい
うような低周波振動を除去することができない。
そこでこのような低周波振動を除去するため第１図に示
すように、真空槽１底面に長尺状のベローズ２を取り付
け、該ベローズ２の先端を台座に固定されたクライオポ
ンプ３に接続して、クライオポンプの振動をベローズで
吸収させる方法が試みられている。
この方法によれば、クライオポンプの振動はかなり吸収
されるが、ベローズの長さを長くするのでベローズの価
格がクライオポンプの価格と同等或いはそれ以上と非常
に高価なものとなる。
本発明の目的は上記問題を解消して、クライオポンプの
振動が真空機器本体に伝達されることを防止し得る安価
な構造を提供することにある。
本発明の特徴は、真空機器と真空ポンプとの間に、ベロ
ーズと、該ベローズに接続された真空排気管とを配設し
、該真空排気管に前記真空ポンプを取付けて、該真空排
気管と該真空ポンプとで前記ベローズを支点とする振子
を構成してなることにある。
以下本発明の一実施例を第２図により説明する。
第２図ａは本発明の一実施例の要部正面図、同図すはｘ
−ｘ’矢視部の断面図である。
同図ａ及びｂに示すように真空槽１底面にフランジを介
してベローズ２を取りつけ、該ベローズ２の先端に底部
を密閉した金属製パイプからなる真空排気管４を、そし
て該真空排気管４の先端部側面にクライオポンプ３に取
りつけて、前記ベローズ２のほぼ中心に当る点を支点Ａ
とする振子を構成する。
更に同図ａの正面図において、長さ方向を紙面に直交す
る方向に一致させ、且つ上下に対向させて配置したコロ
５の対をパイプ４０両側に各１組ずつ取り付ける。
これとは別に床面に設置した架台（図示せず）に固定し
た、前記支点Ａを中心とする円孤状のし−ル６を、クラ
イオポンプ３のピストンの運動方向に平行に設置し、前
記４個のコロ５で挾む。
このようにすることにより、前記クライオポンプ３のピ
ストンの運動により振動が生じた場合、振子はＡ点を支
点としてレール６にガイドされて図の矢印Ｃの方向に振
動する。
上記振子において、クライオポンプ３０１ｉｔに比して
真空排気管４は軽いので振子の重心はほぼクライオポン
１３０重心の位置Ｂとみてよく、前記Ａ点とＢ点間の距
離が振子の長さＬ Ｃｃｍ ：］となる。
従って該振子の固有振動数ｆｎは、となる。
上式において振子の長さＬを例えば５０［ｚ］とすると
、固有振動数ｆｎは凡そ０．７ＣＨｚ］となり、前記ク
ライオポンプ３の振動数３［：Ｈｚ）に比較してはるか
に小さい。
このような場合には、クライオポンプ３が振動を発生し
ても振子はその振動に追随することができず、振子は殆
んど動くことができない。
即ちクライオポンプ３の振動は振子によって吸収されて
しまい、振子に接続する真空槽等真空機器本体には振動
が伝達されない。
一方、該クライオポンプの上下方向の振動は比較的周波
数が高いことからベローズの伸縮によって十分吸収され
、真空機器への伝達はない。
以上説明したごとく、本発明によればクライオポンプの
振動を振子系を用いて吸収し、電子ビーム露光装置や電
子顕微鏡等の真空機器本体の防振を行なうことができる
。
しかも本発明の防振方法はベローズは短かくてよいので
防振に要する費用を大幅に節減できる。
本発明は上記実施例に限定されることなく更に種々変形
して実施できる。
例えば、前記レール６は円弧状とせず、コロ５の可動範
囲を太き（して直線状としてもよい。
また、前記実施例ではレール６の上下両面をコロ５で挾
む構造としたが、下側のコロは該レール６に接すること
により、機器内部を真空にした時真空配管４が強い力で
引き上げられてベローズを押しつぶすことを防ぐための
ものである。
従ってこれに代る手段として、上記真空配管を引き上げ
るカリ上の重さを有する錘を真空配管の底部に充填し、
真空配管底面下部にコロを取り付は該コロを前記支点Ａ
からコロの先端までの長さを半径とする球面あるいは平
面で移動可能に支持する構造を用いてもよい。
また本発明の適用される真空機器は、前記電子ビーム露
光装置あるいは電子顕微鏡の他、真空蒸着装置、スパッ
タリング装置等が掲げられる。
【図面の簡単な説明】
第１図はクライオポンプを用いた真空機器の従来の防振
方法を示す要部正面図、第２図は本発明の防振方法を示
す要部正面図及び要部断面図である。 １・・・・・・真空槽、２・・・・・・ベローズ、３・
・・・・・クライオポンプ、４・・・・・・真空排気管
、５・・・・・・コロ、６・・・・・・レール、Ａ・・
・・・・振子の支点、Ｂ・・・・・・振子の重心、Ｌ・
・・・・・振子の長さ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 真空機器と真空ポンプとの間に、ベローズと、該ベ
    ローズに接続された真空排気管とを配設し、該真空排気
    管に前記真空ポンプを取付けて、該真空排気管と該真空
    ポンプとで前記ベローズを支点とする振子を構成してな
    ることを特徴とする真空機器の防振構造。
JP54061224A 1979-05-18 1979-05-18 真空機器の防振構造 Expired JPS595179B2 (ja)

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DE8080301515T DE3066806D1 (en) 1979-05-18 1980-05-08 A structure for vibration isolation in an apparatus with a vacuum system
EP80301515A EP0019426B2 (en) 1979-05-18 1980-05-08 A structure for vibration isolation in an apparatus with a vacuum system
US06/148,723 US4352643A (en) 1979-05-18 1980-05-12 Structure for vibration isolation in an apparatus with a vacuum system

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