JP5537386B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
400 吸音体
Claims (19)
- 試料の画像を取得する走査電子顕微鏡を少なくとも有する装置本体と、
前記装置本体の周囲に配置されるカバーとを備え、
前記装置本体の固有周波数、または前記カバーの内部に発生する音響定在波の周波数を吸音周波数帯にもつ吸音体が、前記カバーに囲まれた空間の内部であって、かつ、前記カバー内外を連通する隙間に対して、前記装置本体より近くに配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記装置本体は、前記走査電子顕微鏡を支持する荷重板と、当該荷重板を支える複数の支柱を備えた架台とを備え、
前記吸音体は、前記カバーと前記支柱との間に配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項2に記載の荷電粒子線装置において、
前記吸音体は、前記カバーの内側または前記支柱に設置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項2に記載の荷電粒子線装置において、
前記吸音体は、前記架台を形成する複数の支柱の間に配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記吸音体は、複数の吸音面を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記吸音体は、金属性材料からなることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6に記載の荷電粒子線装置において、
前記吸音体は複数の開口部を有する多孔板を有し、
前記開口部の長さが可変であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6に記載の荷電粒子線装置において、
前記吸音体は複数の開口部を有する多孔板と、前記多孔板に対向して設けられる背面板と、前記多孔板と前記背面板の間に構成される空洞部を仕切る複数の仕切り板からなり、
前記仕切り板の間隔は前記吸音体の吸音周波数帯における音波の波長よりも短いことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、さらに、
前記装置本体の試料搬入出部に対向する位置に設置された試料搬送装置を備え、
前記カバーは、前記装置本体の試料搬入出部に対向する面に開口を有し、
前記吸音体は、前記試料搬送装置の前記装置本体側の壁面から前記開口を通って前記装置本体側に突出するよう配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項9に記載の荷電粒子線装置において、
前記吸音体は、前記試料搬送装置の前記装置本体側の壁面に対して略垂直方向であって、前記カバーの天井面に対して略平行方向になるように設置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項9に記載の荷電粒子線装置において、
前記吸音体の吸音面は前記カバーの内面と対向するように設けられることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記カバーの内部に吸音周波数帯の異なる第一の吸音体と第二の吸音体を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項12に記載の荷電粒子線装置において、
前記第一の吸音体は前記装置本体の固有周波数である第一の周波数領域を吸音周波数帯に持ち、前記第二の吸音体は前記カバーの内部に発生する音響定在波の周波数である第二の周波数領域を吸音周波数帯に持つことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項12に記載の荷電粒子線装置において、
前記装置本体は、前記走査電子顕微鏡を支持する荷重板と、当該荷重板を支える複数の支柱を備えた架台とを備え、
前記第一の吸音体は前記荷重板の下部に配置され、前記第二の吸音体は前記荷重板の上部に配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記吸音体の吸音面が、前記カバーを構成する面のうち前記隙間を構成する面に対して、平行に配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記吸音体は、前記カバーを構成する面のうち前記隙間を構成する面に配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記吸音体の一部が前記隙間の少なくとも一部に接するように配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記吸音体の吸音面は、前記カバー内面に対向するように配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記装置本体は、前記走査電子顕微鏡を支持する荷重板と、当該荷重板を支える複数の支柱を備えた架台とを備え、
前記吸音体の吸音面は、前記カバーを構成する面のうち前記隙間を構成する面に対向する前記支柱に配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。
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