JPS5938947A - 情報記憶媒体用原盤 - Google Patents
情報記憶媒体用原盤Info
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- JPS5938947A JPS5938947A JP14977282A JP14977282A JPS5938947A JP S5938947 A JPS5938947 A JP S5938947A JP 14977282 A JP14977282 A JP 14977282A JP 14977282 A JP14977282 A JP 14977282A JP S5938947 A JPS5938947 A JP S5938947A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 43
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 abstract description 30
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 6
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000010432 diamond Substances 0.000 abstract description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- VCJMYUPGQJHHFU-UHFFFAOYSA-N iron(3+);trinitrate Chemical compound [Fe+3].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O VCJMYUPGQJHHFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B23/00—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
- G11B23/0057—Intermediate mediums, i.e. mediums provided with an information structure not specific to the method of reproducing or duplication such as matrixes for mechanical pressing of an information structure ; record carriers having a relief information structure provided with or included in layers not specific for a single reproducing method; apparatus or processes specially adapted for their manufacture
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は集光したレーザー光によって少なくとも情報を
読取ることが可能情報記憶媒体を量産するときに用いる
情報記憶媒体用原盤に関するものである。
読取ることが可能情報記憶媒体を量産するときに用いる
情報記憶媒体用原盤に関するものである。
情報記憶媒体としては、ディジタルオーディオディスク
(DAD)に用いられるコン7くクトディスク(CD)
や光学式ビデイオディスクに代表さnるようにディスク
形状やテープ形状をし、集光したレーザー光によシ情報
を読取ることが可能な読取シ専用の情報記憶媒体、画像
ファイルやコンピュータアウトプットメモリ(COM)
などに用いら扛ているもののよう罠ディスク形状やテー
プ形状をし、集光したレーザー光により記録層に対して
情報の書込みやそこからの情報の読取シが可能な記録再
生用情報記憶媒体及び消去可能な情報記憶媒体などを挙
げることができる。
(DAD)に用いられるコン7くクトディスク(CD)
や光学式ビデイオディスクに代表さnるようにディスク
形状やテープ形状をし、集光したレーザー光によシ情報
を読取ることが可能な読取シ専用の情報記憶媒体、画像
ファイルやコンピュータアウトプットメモリ(COM)
などに用いら扛ているもののよう罠ディスク形状やテー
プ形状をし、集光したレーザー光により記録層に対して
情報の書込みやそこからの情報の読取シが可能な記録再
生用情報記憶媒体及び消去可能な情報記憶媒体などを挙
げることができる。
このような情報記憶媒体は、情報の高密度化を図るため
トラックピッチが狭くなっている。このため、読取シ又
は書込み時に光学ヘッドを所定のトラックに追従させる
ために、予め情報記憶媒体にはトラッキングガイドが設
けられている。さらに情報を記録した位置を示す、トラ
ック番号やセク夕位置を事前に記録しておけば、記録再
生装置によるン7トウエアが容易になるため、前記トラ
ッキングガイドは信号情報用ピットを併せ備えたもの(
プリフォーマツティング付きトラッキングガイド)とな
っている。
トラックピッチが狭くなっている。このため、読取シ又
は書込み時に光学ヘッドを所定のトラックに追従させる
ために、予め情報記憶媒体にはトラッキングガイドが設
けられている。さらに情報を記録した位置を示す、トラ
ック番号やセク夕位置を事前に記録しておけば、記録再
生装置によるン7トウエアが容易になるため、前記トラ
ッキングガイドは信号情報用ピットを併せ備えたもの(
プリフォーマツティング付きトラッキングガイド)とな
っている。
上記トラッキングガイドと信号情報用ピットは凹凸によ
って形成されておシ、そこからの反射光量の相違などを
情報として読取るようになっている。よってトラッキン
グガイドは、これから反射した光の回折パターンによる
トラックずn検知信号を大きくして安定したトラッキン
グができるように1例えば深さがλ/8(λは読取用レ
ーザー光の波長である。以下同じ)で、幅が0.6〜0
.8 txn程度の方形状の凹溝となっている。また信
号情報用ピットは、最大の変調度(信号情報用ピットの
真上に読取ル用し−ザー光を照射したとき、そこからの
反射光強度が最も小さいということ)をとれるように、
深さがλ/4で幅が読取用レーザー光のスポットサイズ
の1/6程度に設定されている。
って形成されておシ、そこからの反射光量の相違などを
情報として読取るようになっている。よってトラッキン
グガイドは、これから反射した光の回折パターンによる
トラックずn検知信号を大きくして安定したトラッキン
グができるように1例えば深さがλ/8(λは読取用レ
ーザー光の波長である。以下同じ)で、幅が0.6〜0
.8 txn程度の方形状の凹溝となっている。また信
号情報用ピットは、最大の変調度(信号情報用ピットの
真上に読取ル用し−ザー光を照射したとき、そこからの
反射光強度が最も小さいということ)をとれるように、
深さがλ/4で幅が読取用レーザー光のスポットサイズ
の1/6程度に設定されている。
ところで、上記のような情報記憶媒体を量産するために
は、従来基板表面の凹凸によって形成されているトラッ
キングガイドと信号情報用ピットとを備えた情報記憶媒
体用原盤を作成し、この原盤に設けらnているトラッキ
ングガイド及び信号情報用ピットを種々の工程を経るこ
とによって転写して行なっていた。
は、従来基板表面の凹凸によって形成されているトラッ
キングガイドと信号情報用ピットとを備えた情報記憶媒
体用原盤を作成し、この原盤に設けらnているトラッキ
ングガイド及び信号情報用ピットを種々の工程を経るこ
とによって転写して行なっていた。
しかしながら、信号情報用ピットによって予め記録して
おくべき内容が変更さ扛たり、ディジタルオーディオデ
ィスク(DAD)などのように次々に新しい情報を記録
しなければならない場合に、トラッキングガイド及び信
号情報用ピットの双方を備えた情報記憶媒体用原盤をそ
の都度作っていたのでは、信号情報用ピットによって記
録すべき情報の変更などに対して迅速に対処することが
できないという問題点があった。また従来の原盤にあっ
ては、トラッキングガイド及び信号情報用ピットの双方
を一連のγロセスによってまとめて形成してしまうので
、トラッキングガイドが形成不良である場合に、信号情
報用ピットの形成の歩留まルを低下させてしまうという
問題点があった。
おくべき内容が変更さ扛たり、ディジタルオーディオデ
ィスク(DAD)などのように次々に新しい情報を記録
しなければならない場合に、トラッキングガイド及び信
号情報用ピットの双方を備えた情報記憶媒体用原盤をそ
の都度作っていたのでは、信号情報用ピットによって記
録すべき情報の変更などに対して迅速に対処することが
できないという問題点があった。また従来の原盤にあっ
ては、トラッキングガイド及び信号情報用ピットの双方
を一連のγロセスによってまとめて形成してしまうので
、トラッキングガイドが形成不良である場合に、信号情
報用ピットの形成の歩留まルを低下させてしまうという
問題点があった。
本発明は上記事情に基づいてなさnたものであシ、信号
情報用ピットを歩留まり良く形成すゐごとができ、しか
も信号情報用ピットによって記録すべき情報の変更に対
して容易かつ迅速に対処することができる汎用性の高い
情報記憶媒体用原盤を提供することを目的とするもので
ある。
情報用ピットを歩留まり良く形成すゐごとができ、しか
も信号情報用ピットによって記録すべき情報の変更に対
して容易かつ迅速に対処することができる汎用性の高い
情報記憶媒体用原盤を提供することを目的とするもので
ある。
本発明り集光したレーザー光によって情報を読取ること
が可能な情報記憶媒体を製造するための原盤において、
基板の表面に凹凸で形成されているトラッキングガイド
を具備するとともに、その表面は少なくとも放射エネル
ギの部分的照射を受けることによって新たな凹凸部の形
成が可能であることを特徴とするものである。
が可能な情報記憶媒体を製造するための原盤において、
基板の表面に凹凸で形成されているトラッキングガイド
を具備するとともに、その表面は少なくとも放射エネル
ギの部分的照射を受けることによって新たな凹凸部の形
成が可能であることを特徴とするものである。
以下本発明の情報記憶媒体用原盤を図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第1図は本発明の情報記憶媒体用原盤の第1の実施例を
示す断面図である。第1図において1は表面を研磨した
ガラス製の基板1であシ、この基板1には例えばダイア
モンド針によってスパイラル状又は同心円状に形成され
た第1の凹凸m2が設けられている。この第1の凹凸部
2の深さは例えば700Aであシ読取用し−ザー元の波
長をλとした場合にλ刈に相当するものである。そして
その上表面には感光性物質から成る感光層6として例え
ば厚さ700JでCu、がスパッタ蒸着又は真空蒸着さ
れている。このとき前記感光層6の表面は前記第1の凹
凸部2の表面形状にほぼ沿った形状を呈しておシ、こt
l、によってその表面に深さ700Aのトラッキングガ
イド4が形成さnている。なお前記トラッキングガイド
4が形成されている感光層乙の表面は、放射エネルギの
部分的照射を受けることによって新たな凹凸部の形成が
可能なよう罠なっている。
示す断面図である。第1図において1は表面を研磨した
ガラス製の基板1であシ、この基板1には例えばダイア
モンド針によってスパイラル状又は同心円状に形成され
た第1の凹凸m2が設けられている。この第1の凹凸部
2の深さは例えば700Aであシ読取用し−ザー元の波
長をλとした場合にλ刈に相当するものである。そして
その上表面には感光性物質から成る感光層6として例え
ば厚さ700JでCu、がスパッタ蒸着又は真空蒸着さ
れている。このとき前記感光層6の表面は前記第1の凹
凸部2の表面形状にほぼ沿った形状を呈しておシ、こt
l、によってその表面に深さ700Aのトラッキングガ
イド4が形成さnている。なお前記トラッキングガイド
4が形成されている感光層乙の表面は、放射エネルギの
部分的照射を受けることによって新たな凹凸部の形成が
可能なよう罠なっている。
次に、第1図に示した情報記憶媒体用原盤の表面に新た
な凹凸部を形成して信号情報用ピットを設ける工程につ
いて第2図(α)〜(d)を参照しながら説明する。
な凹凸部を形成して信号情報用ピットを設ける工程につ
いて第2図(α)〜(d)を参照しながら説明する。
先ず第2図(α)K示すように情報記憶媒体用原盤の表
面にフォトレジストをスピナコーティングしてフォトレ
ジスト層5を形成する。そして前記基板1をタンテーブ
ルに載置して回転させながら対物レンズ6で集光したレ
ーザー光を前記トラッキングガイド4上のフォトレジス
ト層5に照射してこ扛をトレースさせる。このトレース
は前記トラッキングガイド4から反射したレーザー光の
回折パターンによるトラックずn検知信号を得ることに
よって行なう。そして、このトレース中に信号情報用ピ
ットを設けるべき位置でレーザー光の光量を増大して前
記フォトレジスト層5にフォトレジスト露光部7を形成
する。そして第2図(h) K示すように前記フォトレ
ジスト層5を現像定着して前記フォトレジスト露光部7
を除去し、前記感光層3を部分的に露出させる。その後
、残存しているフォトレジスト層5をマスクとして感光
層3の露出部分をエツチングし、第2図(C)に示すよ
うにエツチング部分を除去してそこに信号情報用ピット
8を形成する。なおこのときのエツチング液は55チ濃
度の硝酸第2鉄溶液を用いることが望ましい。その後、
前記フォトレジスト層5を有機溶剤にて除去することに
よシ、第2図(d) K示すように深さ700Aのトラ
ッキングガイド4を備えた情報記憶媒体用原盤に深さ1
400.(の信号情報用ピット8が形成されることにな
る。
面にフォトレジストをスピナコーティングしてフォトレ
ジスト層5を形成する。そして前記基板1をタンテーブ
ルに載置して回転させながら対物レンズ6で集光したレ
ーザー光を前記トラッキングガイド4上のフォトレジス
ト層5に照射してこ扛をトレースさせる。このトレース
は前記トラッキングガイド4から反射したレーザー光の
回折パターンによるトラックずn検知信号を得ることに
よって行なう。そして、このトレース中に信号情報用ピ
ットを設けるべき位置でレーザー光の光量を増大して前
記フォトレジスト層5にフォトレジスト露光部7を形成
する。そして第2図(h) K示すように前記フォトレ
ジスト層5を現像定着して前記フォトレジスト露光部7
を除去し、前記感光層3を部分的に露出させる。その後
、残存しているフォトレジスト層5をマスクとして感光
層3の露出部分をエツチングし、第2図(C)に示すよ
うにエツチング部分を除去してそこに信号情報用ピット
8を形成する。なおこのときのエツチング液は55チ濃
度の硝酸第2鉄溶液を用いることが望ましい。その後、
前記フォトレジスト層5を有機溶剤にて除去することに
よシ、第2図(d) K示すように深さ700Aのトラ
ッキングガイド4を備えた情報記憶媒体用原盤に深さ1
400.(の信号情報用ピット8が形成されることにな
る。
このような情報記憶媒体用原盤にあっては、信号情報用
ピットの形成プロセスをトラッキングガイドの形成プロ
セスと完全に分離させることができるので、トラッキン
グガイドの形成が不良であっても、これを廃棄すること
によシ、信号情報用ビットを歩留シ良く形成することが
できる。また同様の理由から、第1図に示すようなトラ
ッキングガイドを備えた情報記憶媒体用原盤を予め多数
ストックしておけば、必要に応じて種々の信号情報用ピ
ットをこの原盤に迅速に形成することが可能圧なる。さ
らに、信号情報用ピットの形成は、前記トラッキングガ
イドを光学的にトレースすることによって行なうので、
レーザー光を集光させる対物レンズの送ル機構に対して
は機械的高精度が%に要求さ扛るこ−とはなく、ひいて
は信号情報用ピットを設けるための製造装置の小型化及
び簡素化に資することができる。
ピットの形成プロセスをトラッキングガイドの形成プロ
セスと完全に分離させることができるので、トラッキン
グガイドの形成が不良であっても、これを廃棄すること
によシ、信号情報用ビットを歩留シ良く形成することが
できる。また同様の理由から、第1図に示すようなトラ
ッキングガイドを備えた情報記憶媒体用原盤を予め多数
ストックしておけば、必要に応じて種々の信号情報用ピ
ットをこの原盤に迅速に形成することが可能圧なる。さ
らに、信号情報用ピットの形成は、前記トラッキングガ
イドを光学的にトレースすることによって行なうので、
レーザー光を集光させる対物レンズの送ル機構に対して
は機械的高精度が%に要求さ扛るこ−とはなく、ひいて
は信号情報用ピットを設けるための製造装置の小型化及
び簡素化に資することができる。
次圧本発明の情報記憶媒体用原盤の第2の実施例につい
て説明する。第6図は本発明の情報記憶媒体用原盤の第
2の実施例を示す断面図である。
て説明する。第6図は本発明の情報記憶媒体用原盤の第
2の実施例を示す断面図である。
第3図において1は表面を研磨したガラス製の基板であ
り、この基板には感光性物質から成る感光M 3として
例えば厚さ700AでCu又はCrなどがスパッタ蒸着
又は真空蒸着されている。そしてこの感光層3には、同
心円状又はスノ(イラル状の凹溝から成る深さ700A
のトラッキングガイド4が形成されている。
り、この基板には感光性物質から成る感光M 3として
例えば厚さ700AでCu又はCrなどがスパッタ蒸着
又は真空蒸着されている。そしてこの感光層3には、同
心円状又はスノ(イラル状の凹溝から成る深さ700A
のトラッキングガイド4が形成されている。
ここで、上記のような情報記憶媒体用原盤を得るための
製造方法について説明する。例えば第4図(a)に示す
ように、表面を研磨したガラス製の基板1にネガタイプ
のフォトレジストをスピナコーティングしてフォトレジ
スト、層10を形成する。
製造方法について説明する。例えば第4図(a)に示す
ように、表面を研磨したガラス製の基板1にネガタイプ
のフォトレジストをスピナコーティングしてフォトレジ
スト、層10を形成する。
そして対物レンズ11で集光したレーザー光で前記フォ
トレジスト層10を同心円状又はスノくイラル状に露光
してフォトレジスト露光部12を形成する。その後、こ
のフォトレジスト層10を現像定着して前記フォトレジ
スト露光部12以外の部分を除去する。そして第4図<
h>に示すように、前記基板1及びフォトレジスト露光
部12上VcCrを厚さ700Aで真空蒸着又はスパッ
タ蒸着することによって感光層6を設ける。このとき感
光層6は前記フォトレジスト露光部12の厚さよ勺も薄
いので、フォトレジスト露光部12の側部においては前
記感光層6は分断さnている。したがって、第3図に示
すよう罠このフォトレジスト露MS部12を有機溶剤に
て溶解すると、フォトレジスト露光部12上の感光層3
も除去さ扛、前記基板1に接した部分の感光層3が残存
し、フォトレジスト露光部12が除去さ2tた部分にト
ラッキングガイド4が形成さnる。また、このような方
法以外の方法によっても製造することができる。例えば
図示はしないが、ガラス製の基板上に感光性物質から成
る感光層として例えばCTL又はCrなどを厚さ700
Aでスパッタ蒸着又は真空蒸着し、さらにその上表面に
フォトレジストをスピナコーティングしてフォトレジス
ト層を形成する。その後、対物レンズで集光したレーザ
ー元で前記フォトレジスト層をスパイラル状又は同心円
状に露光し、現像定着を経て露光部を除去する。そして
露光部が除去さnたフォトレジスト層をマスクとし、そ
こから露出さnている感光層をエツチングして深さ70
0Aで除去することによってトラッキングガイドを形成
することができる。
トレジスト層10を同心円状又はスノくイラル状に露光
してフォトレジスト露光部12を形成する。その後、こ
のフォトレジスト層10を現像定着して前記フォトレジ
スト露光部12以外の部分を除去する。そして第4図<
h>に示すように、前記基板1及びフォトレジスト露光
部12上VcCrを厚さ700Aで真空蒸着又はスパッ
タ蒸着することによって感光層6を設ける。このとき感
光層6は前記フォトレジスト露光部12の厚さよ勺も薄
いので、フォトレジスト露光部12の側部においては前
記感光層6は分断さnている。したがって、第3図に示
すよう罠このフォトレジスト露MS部12を有機溶剤に
て溶解すると、フォトレジスト露光部12上の感光層3
も除去さ扛、前記基板1に接した部分の感光層3が残存
し、フォトレジスト露光部12が除去さ2tた部分にト
ラッキングガイド4が形成さnる。また、このような方
法以外の方法によっても製造することができる。例えば
図示はしないが、ガラス製の基板上に感光性物質から成
る感光層として例えばCTL又はCrなどを厚さ700
Aでスパッタ蒸着又は真空蒸着し、さらにその上表面に
フォトレジストをスピナコーティングしてフォトレジス
ト層を形成する。その後、対物レンズで集光したレーザ
ー元で前記フォトレジスト層をスパイラル状又は同心円
状に露光し、現像定着を経て露光部を除去する。そして
露光部が除去さnたフォトレジスト層をマスクとし、そ
こから露出さnている感光層をエツチングして深さ70
0Aで除去することによってトラッキングガイドを形成
することができる。
次に、第6図に示した情報記憶媒体用原盤の表面に新た
な凹凸部を形成して信号情報用ビットを設りる工程につ
いて第5図(α)〜(d)を参照しながら説明する。先
ず、第5図(α) 、 (13)に示すように、第1の
実施例で説明1.たと同様にしてフォトレジスト鞘光部
7を除去してその部分から基板1を露出させる(詳細な
説明を省略する)。そして残存しているフォトレジスト
層5をマスクとし、そこから霧出している基板1を深さ
700ノでエツチングして深さ1400iの信号情報用
ビット8を形成する(第5図(c)参照)。なお、この
ときのエッチ液はフッ酸6チとフッ化アンモニウム40
%の混合液を使用することが望ましい。その後、前記フ
ォトレジスト層5を有機溶剤にて除去することにより、
第5図(d)に示すように深さ70OAのトラッキング
ガイド4を備えた情報記憶媒体用原盤に深さ1400.
4’の信号情報用ビット8が形成さ扛ることになる。
な凹凸部を形成して信号情報用ビットを設りる工程につ
いて第5図(α)〜(d)を参照しながら説明する。先
ず、第5図(α) 、 (13)に示すように、第1の
実施例で説明1.たと同様にしてフォトレジスト鞘光部
7を除去してその部分から基板1を露出させる(詳細な
説明を省略する)。そして残存しているフォトレジスト
層5をマスクとし、そこから霧出している基板1を深さ
700ノでエツチングして深さ1400iの信号情報用
ビット8を形成する(第5図(c)参照)。なお、この
ときのエッチ液はフッ酸6チとフッ化アンモニウム40
%の混合液を使用することが望ましい。その後、前記フ
ォトレジスト層5を有機溶剤にて除去することにより、
第5図(d)に示すように深さ70OAのトラッキング
ガイド4を備えた情報記憶媒体用原盤に深さ1400.
4’の信号情報用ビット8が形成さ扛ることになる。
第2の実施例にあっても前記第1の実施例と同様の効果
を得ることができる。
を得ることができる。
次に本発明の第5の実施例について説明−3−る。
第6図は本発明の情報記憶媒体用原盤の第6の実施例を
示す断面図である。第6図において、1は表面を研磨し
たガラス製の基板であり、この基板には感光性物質から
成る感光層6としてAlj 、In 。
示す断面図である。第6図において、1は表面を研磨し
たガラス製の基板であり、この基板には感光性物質から
成る感光層6としてAlj 、In 。
ph、Te又FiZnなどのように基鈑1よりも軟質な
ものが厚さ14ooA0でスパッタ蒸着又は真空蒸着さ
nている。そして、この感)L層ろには例えばダイアモ
ンド針によってスパイラル状又は同心円状に形成された
トラッキングガイド4が設けられている。なお、このト
ラッキングガイド4は、トラックに直角な方向の断面形
状がV字状で深さが1400.4VC形成さnている。
ものが厚さ14ooA0でスパッタ蒸着又は真空蒸着さ
nている。そして、この感)L層ろには例えばダイアモ
ンド針によってスパイラル状又は同心円状に形成された
トラッキングガイド4が設けられている。なお、このト
ラッキングガイド4は、トラックに直角な方向の断面形
状がV字状で深さが1400.4VC形成さnている。
この深さは一例であシ、読取用レーザー光の波長をλと
した場合にλ/4に相当するものである。
した場合にλ/4に相当するものである。
このような情報記憶媒体用原盤は、第1の実1施例で説
明したと同様の工程を経ることによってその表面に新た
な凹凸部が形成されて深さ1400.(の信号情報用ビ
ット8が設けらnること罠なる(第7図(α) 、 (
h)参照)。なお本実施例で説明した情報記憶媒体用原
盤に設けらnているトラッキングガイド4は、深さがλ
/4であっても、トラックに直角な方向の断面形状がV
字状であるので、情報の読取力に際しては反射光の回折
パターンによるトラックずn検知信号を大きく得ること
ができ、安定したトラッキングができることは言うまで
もない。
明したと同様の工程を経ることによってその表面に新た
な凹凸部が形成されて深さ1400.(の信号情報用ビ
ット8が設けらnること罠なる(第7図(α) 、 (
h)参照)。なお本実施例で説明した情報記憶媒体用原
盤に設けらnているトラッキングガイド4は、深さがλ
/4であっても、トラックに直角な方向の断面形状がV
字状であるので、情報の読取力に際しては反射光の回折
パターンによるトラックずn検知信号を大きく得ること
ができ、安定したトラッキングができることは言うまで
もない。
このような第6の実施例にあっても前記第1の実施例と
同様の効果を得ることができる。
同様の効果を得ることができる。
なお上記実施例は一例であシ、本発明の要旨のべ・1間
内において種々の変形実施ができることは言うまでもな
い。例えば各実施例で説明したトラッキングガイドは凹
溝であるが、これを凸部によって形成することも可能で
ある。またトラッキングガイドは、感光層を介すること
なく、直接基板上に設けることも可能である。またこの
ような情報記憶媒体用原盤に信号情報用ビットを設ける
方法としては、実施例で説明した以外の適宜の方法を採
用することが可能である。ところで、各実施例で説明し
た情報記憶媒体用原盤に設けらnているトラッキングガ
イドと信号情報用ビットとを転写することによってトラ
ッキングガイドと信号情報用ビットとを備えた情報記憶
媒体が製造さnること忙なるが、その際のトラッキング
ガイド及び信号情報用ビットのトラックKf3つた方向
に直角な断面の幅に関しては、信号情報用ビットのほう
を狭くするように形成することも可能である。特に、こ
のような原盤によって製造された情報記憶媒体にあって
は、トラッキングガイドの幅のほうが信号情報用ビット
の幅に比べて広くなっているので、情報の読取、9に際
してはトラッキングガイドの外で反射する光量よシもト
ラッキングガイドの中から反射する光量の方が非常に多
くなシ、そのため両度射光の干渉によって従来束じてい
た光反射強度の低下を抑制することができる。この結果
、トラッキングガイド上での光反射レベルが高くなり、
信号情報用ピットやその他の情報を記憶した記録層の部
分からの光反射レベルとの間に大きな光反射レベル差を
得ることができるよう罠なり、情報読取シのSlN比を
良好にして正確な情報の読取りが可能になる。また、本
発明の情報記憶媒体用原盤に信号情報用ビットを設ける
場合、トラッキングガイド上に信号情報用ピットを形成
すれば、信号情報用ビットからの情報の読取シの際にも
安定したトラッキングを行なうことが可能になる。
内において種々の変形実施ができることは言うまでもな
い。例えば各実施例で説明したトラッキングガイドは凹
溝であるが、これを凸部によって形成することも可能で
ある。またトラッキングガイドは、感光層を介すること
なく、直接基板上に設けることも可能である。またこの
ような情報記憶媒体用原盤に信号情報用ビットを設ける
方法としては、実施例で説明した以外の適宜の方法を採
用することが可能である。ところで、各実施例で説明し
た情報記憶媒体用原盤に設けらnているトラッキングガ
イドと信号情報用ビットとを転写することによってトラ
ッキングガイドと信号情報用ビットとを備えた情報記憶
媒体が製造さnること忙なるが、その際のトラッキング
ガイド及び信号情報用ビットのトラックKf3つた方向
に直角な断面の幅に関しては、信号情報用ビットのほう
を狭くするように形成することも可能である。特に、こ
のような原盤によって製造された情報記憶媒体にあって
は、トラッキングガイドの幅のほうが信号情報用ビット
の幅に比べて広くなっているので、情報の読取、9に際
してはトラッキングガイドの外で反射する光量よシもト
ラッキングガイドの中から反射する光量の方が非常に多
くなシ、そのため両度射光の干渉によって従来束じてい
た光反射強度の低下を抑制することができる。この結果
、トラッキングガイド上での光反射レベルが高くなり、
信号情報用ピットやその他の情報を記憶した記録層の部
分からの光反射レベルとの間に大きな光反射レベル差を
得ることができるよう罠なり、情報読取シのSlN比を
良好にして正確な情報の読取りが可能になる。また、本
発明の情報記憶媒体用原盤に信号情報用ビットを設ける
場合、トラッキングガイド上に信号情報用ピットを形成
すれば、信号情報用ビットからの情報の読取シの際にも
安定したトラッキングを行なうことが可能になる。
以上の説明から明らかなように、本発明の情報記憶媒体
用原盤にあっては、信号情報用ビットを歩留りよく形成
することができ、しかも信号情報用ピットによって記録
すべき情報の変更に対シテ容易かつ迅速に対処すること
ができるなどの優nた効果を有するものである。
用原盤にあっては、信号情報用ビットを歩留りよく形成
することができ、しかも信号情報用ピットによって記録
すべき情報の変更に対シテ容易かつ迅速に対処すること
ができるなどの優nた効果を有するものである。
智
第1図は本発明の情報記憶媒体用原盤の第1の実施例を
示す断面図、第2図(a)〜(d)は同情報記憶媒体用
原盤に信号情報用ビットを形成する工程を示す断面図、
第6図は1本発明の情報記憶媒体用原盤の第2の実施例
を示す断面図、第4図(α) 9 (a>は同情報記憶
媒体用原盤の製造工程を示す断面図、第5図(α)〜(
d)は同情報記憶媒体用原盤に信号情報用ビットを形成
する工程を示す断面図、第6図は本発明の情報記憶媒体
用原盤の第6の実施例を示す断面図、第7図(α) 、
(h)は同情報記憶媒体用原盤に信号情報用ピットを
形成する工程を示す断面図である。 1・・・基板、 4・・・トラッキングガイド、
8・・・信号情報用ピット。 2−、、 −′ 第5図
示す断面図、第2図(a)〜(d)は同情報記憶媒体用
原盤に信号情報用ビットを形成する工程を示す断面図、
第6図は1本発明の情報記憶媒体用原盤の第2の実施例
を示す断面図、第4図(α) 9 (a>は同情報記憶
媒体用原盤の製造工程を示す断面図、第5図(α)〜(
d)は同情報記憶媒体用原盤に信号情報用ビットを形成
する工程を示す断面図、第6図は本発明の情報記憶媒体
用原盤の第6の実施例を示す断面図、第7図(α) 、
(h)は同情報記憶媒体用原盤に信号情報用ピットを
形成する工程を示す断面図である。 1・・・基板、 4・・・トラッキングガイド、
8・・・信号情報用ピット。 2−、、 −′ 第5図
Claims (2)
- (1)集光したレーザー光によって情報を読取ることが
可能な情報記憶媒体を製造するための原盤において、基
板の表面に凹凸で形成さnているトラッキングガイドを
具備するとともに、その表面は少なくとも放射エネルギ
の部分的照射を受けることによって新たな凹凸部の形成
が可能であることを特徴とする情報記憶媒体用原盤。 - (2)前記トラッキングガイドは、基板の表面に設けら
れた感光層を介して形成さnていることを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の情報記憶媒体用原盤。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14977282A JPS5938947A (ja) | 1982-08-28 | 1982-08-28 | 情報記憶媒体用原盤 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14977282A JPS5938947A (ja) | 1982-08-28 | 1982-08-28 | 情報記憶媒体用原盤 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5938947A true JPS5938947A (ja) | 1984-03-03 |
Family
ID=15482391
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14977282A Pending JPS5938947A (ja) | 1982-08-28 | 1982-08-28 | 情報記憶媒体用原盤 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5938947A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6276039A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-08 | Hoya Corp | 光情報記録媒体の製造方法 |
WO1989009990A1 (en) * | 1988-04-13 | 1989-10-19 | Kyodo Printing Co., Ltd. | Fabrication method of mask for rom type optical recording card and inspection method of mask |
-
1982
- 1982-08-28 JP JP14977282A patent/JPS5938947A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6276039A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-08 | Hoya Corp | 光情報記録媒体の製造方法 |
JPH0348581B2 (ja) * | 1985-09-30 | 1991-07-24 | Hoya Corp | |
WO1989009990A1 (en) * | 1988-04-13 | 1989-10-19 | Kyodo Printing Co., Ltd. | Fabrication method of mask for rom type optical recording card and inspection method of mask |
US5114531A (en) * | 1988-04-13 | 1992-05-19 | Kyodo Printing Co., Ltd. | Method of producing masks for rom type optical recording cards and method of inspecting masks |
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