JPS5938947A - 情報記憶媒体用原盤 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は集光したレーザー光によって少なくとも情報を
読取ることが可能情報記憶媒体を量産するときに用いる
情報記憶媒体用原盤に関するものである。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

情報記憶媒体としては、ディジタルオーディオディスク
（ＤＡＤ）に用いられるコン７くクトディスク（ＣＤ）
や光学式ビデイオディスクに代表さｎるようにディスク
形状やテープ形状をし、集光したレーザー光によシ情報
を読取ることが可能な読取シ専用の情報記憶媒体、画像
ファイルやコンピュータアウトプットメモリ（ＣＯＭ）
などに用いら扛ているもののよう罠ディスク形状やテー
プ形状をし、集光したレーザー光により記録層に対して
情報の書込みやそこからの情報の読取シが可能な記録再
生用情報記憶媒体及び消去可能な情報記憶媒体などを挙
げることができる。

このような情報記憶媒体は、情報の高密度化を図るため
トラックピッチが狭くなっている。このため、読取シ又
は書込み時に光学ヘッドを所定のトラックに追従させる
ために、予め情報記憶媒体にはトラッキングガイドが設
けられている。さらに情報を記録した位置を示す、トラ
ック番号やセク夕位置を事前に記録しておけば、記録再
生装置によるン７トウエアが容易になるため、前記トラ
ッキングガイドは信号情報用ピットを併せ備えたもの（
プリフォーマツティング付きトラッキングガイド）とな
っている。

上記トラッキングガイドと信号情報用ピットは凹凸によ
って形成されておシ、そこからの反射光量の相違などを
情報として読取るようになっている。よってトラッキン
グガイドは、これから反射した光の回折パターンによる
トラックずｎ検知信号を大きくして安定したトラッキン
グができるように１例えば深さがλ／８（λは読取用レ
ーザー光の波長である。以下同じ）で、幅が０．６〜０
．８　ｔｘｎ程度の方形状の凹溝となっている。また信
号情報用ピットは、最大の変調度（信号情報用ピットの
真上に読取ル用し−ザー光を照射したとき、そこからの
反射光強度が最も小さいということ）をとれるように、
深さがλ／４で幅が読取用レーザー光のスポットサイズ
の１／６程度に設定されている。

ところで、上記のような情報記憶媒体を量産するために
は、従来基板表面の凹凸によって形成されているトラッ
キングガイドと信号情報用ピットとを備えた情報記憶媒
体用原盤を作成し、この原盤に設けらｎているトラッキ
ングガイド及び信号情報用ピットを種々の工程を経るこ
とによって転写して行なっていた。

しかしながら、信号情報用ピットによって予め記録して
おくべき内容が変更さ扛たり、ディジタルオーディオデ
ィスク（ＤＡＤ）などのように次々に新しい情報を記録
しなければならない場合に、トラッキングガイド及び信
号情報用ピットの双方を備えた情報記憶媒体用原盤をそ
の都度作っていたのでは、信号情報用ピットによって記
録すべき情報の変更などに対して迅速に対処することが
できないという問題点があった。また従来の原盤にあっ
ては、トラッキングガイド及び信号情報用ピットの双方
を一連のγロセスによってまとめて形成してしまうので
、トラッキングガイドが形成不良である場合に、信号情
報用ピットの形成の歩留まルを低下させてしまうという
問題点があった。

〔発すの目的〕

本発明は上記事情に基づいてなさｎたものであシ、信号
情報用ピットを歩留まり良く形成すゐごとができ、しか
も信号情報用ピットによって記録すべき情報の変更に対
して容易かつ迅速に対処することができる汎用性の高い
情報記憶媒体用原盤を提供することを目的とするもので
ある。

〔発明の概要〕

本発明り集光したレーザー光によって情報を読取ること
が可能な情報記憶媒体を製造するための原盤において、
基板の表面に凹凸で形成されているトラッキングガイド
を具備するとともに、その表面は少なくとも放射エネル
ギの部分的照射を受けることによって新たな凹凸部の形
成が可能であることを特徴とするものである。

〔発明の実施例〕

以下本発明の情報記憶媒体用原盤を図面を参照しながら
説明する。

第１図は本発明の情報記憶媒体用原盤の第１の実施例を
示す断面図である。第１図において１は表面を研磨した
ガラス製の基板１であシ、この基板１には例えばダイア
モンド針によってスパイラル状又は同心円状に形成され
た第１の凹凸ｍ２が設けられている。この第１の凹凸部
２の深さは例えば７００Ａであシ読取用し−ザー元の波
長をλとした場合にλ刈に相当するものである。そして
その上表面には感光性物質から成る感光層６として例え
ば厚さ７００ＪでＣｕ、がスパッタ蒸着又は真空蒸着さ
れている。このとき前記感光層６の表面は前記第１の凹
凸部２の表面形状にほぼ沿った形状を呈しておシ、こｔ
ｌ、によってその表面に深さ７００Ａのトラッキングガ
イド４が形成さｎている。なお前記トラッキングガイド
４が形成されている感光層乙の表面は、放射エネルギの
部分的照射を受けることによって新たな凹凸部の形成が
可能なよう罠なっている。

次に、第１図に示した情報記憶媒体用原盤の表面に新た
な凹凸部を形成して信号情報用ピットを設ける工程につ
いて第２図（α）〜（ｄ）を参照しながら説明する。

先ず第２図（α）Ｋ示すように情報記憶媒体用原盤の表
面にフォトレジストをスピナコーティングしてフォトレ
ジスト層５を形成する。そして前記基板１をタンテーブ
ルに載置して回転させながら対物レンズ６で集光したレ
ーザー光を前記トラッキングガイド４上のフォトレジス
ト層５に照射してこ扛をトレースさせる。このトレース
は前記トラッキングガイド４から反射したレーザー光の
回折パターンによるトラックずｎ検知信号を得ることに
よって行なう。そして、このトレース中に信号情報用ピ
ットを設けるべき位置でレーザー光の光量を増大して前
記フォトレジスト層５にフォトレジスト露光部７を形成
する。そして第２図（ｈ）　Ｋ示すように前記フォトレ
ジスト層５を現像定着して前記フォトレジスト露光部７
を除去し、前記感光層３を部分的に露出させる。その後
、残存しているフォトレジスト層５をマスクとして感光
層３の露出部分をエツチングし、第２図（Ｃ）に示すよ
うにエツチング部分を除去してそこに信号情報用ピット
８を形成する。なおこのときのエツチング液は５５チ濃
度の硝酸第２鉄溶液を用いることが望ましい。その後、
前記フォトレジスト層５を有機溶剤にて除去することに
よシ、第２図（ｄ）　Ｋ示すように深さ７００Ａのトラ
ッキングガイド４を備えた情報記憶媒体用原盤に深さ１
４００．（の信号情報用ピット８が形成されることにな
る。

このような情報記憶媒体用原盤にあっては、信号情報用
ピットの形成プロセスをトラッキングガイドの形成プロ
セスと完全に分離させることができるので、トラッキン
グガイドの形成が不良であっても、これを廃棄すること
によシ、信号情報用ビットを歩留シ良く形成することが
できる。また同様の理由から、第１図に示すようなトラ
ッキングガイドを備えた情報記憶媒体用原盤を予め多数
ストックしておけば、必要に応じて種々の信号情報用ピ
ットをこの原盤に迅速に形成することが可能圧なる。さ
らに、信号情報用ピットの形成は、前記トラッキングガ
イドを光学的にトレースすることによって行なうので、
レーザー光を集光させる対物レンズの送ル機構に対して
は機械的高精度が％に要求さ扛るこ−とはなく、ひいて
は信号情報用ピットを設けるための製造装置の小型化及
び簡素化に資することができる。

次圧本発明の情報記憶媒体用原盤の第２の実施例につい
て説明する。第６図は本発明の情報記憶媒体用原盤の第
２の実施例を示す断面図である。

第３図において１は表面を研磨したガラス製の基板であ
り、この基板には感光性物質から成る感光Ｍ　３として
例えば厚さ７００ＡでＣｕ又はＣｒなどがスパッタ蒸着
又は真空蒸着されている。そしてこの感光層３には、同
心円状又はスノ（イラル状の凹溝から成る深さ７００Ａ
のトラッキングガイド４が形成されている。

ここで、上記のような情報記憶媒体用原盤を得るための
製造方法について説明する。例えば第４図（ａ）に示す
ように、表面を研磨したガラス製の基板１にネガタイプ
のフォトレジストをスピナコーティングしてフォトレジ
スト、層１０を形成する。

そして対物レンズ１１で集光したレーザー光で前記フォ
トレジスト層１０を同心円状又はスノくイラル状に露光
してフォトレジスト露光部１２を形成する。その後、こ
のフォトレジスト層１０を現像定着して前記フォトレジ
スト露光部１２以外の部分を除去する。そして第４図＜
ｈ＞に示すように、前記基板１及びフォトレジスト露光
部１２上ＶｃＣｒを厚さ７００Ａで真空蒸着又はスパッ
タ蒸着することによって感光層６を設ける。このとき感
光層６は前記フォトレジスト露光部１２の厚さよ勺も薄
いので、フォトレジスト露光部１２の側部においては前
記感光層６は分断さｎている。したがって、第３図に示
すよう罠このフォトレジスト露ＭＳ部１２を有機溶剤に
て溶解すると、フォトレジスト露光部１２上の感光層３
も除去さ扛、前記基板１に接した部分の感光層３が残存
し、フォトレジスト露光部１２が除去さ２ｔた部分にト
ラッキングガイド４が形成さｎる。また、このような方
法以外の方法によっても製造することができる。例えば
図示はしないが、ガラス製の基板上に感光性物質から成
る感光層として例えばＣＴＬ又はＣｒなどを厚さ７００
Ａでスパッタ蒸着又は真空蒸着し、さらにその上表面に
フォトレジストをスピナコーティングしてフォトレジス
ト層を形成する。その後、対物レンズで集光したレーザ
ー元で前記フォトレジスト層をスパイラル状又は同心円
状に露光し、現像定着を経て露光部を除去する。そして
露光部が除去さｎたフォトレジスト層をマスクとし、そ
こから露出さｎている感光層をエツチングして深さ７０
０Ａで除去することによってトラッキングガイドを形成
することができる。

次に、第６図に示した情報記憶媒体用原盤の表面に新た
な凹凸部を形成して信号情報用ビットを設りる工程につ
いて第５図（α）〜（ｄ）を参照しながら説明する。先
ず、第５図（α）　、　（１３）に示すように、第１の
実施例で説明１．たと同様にしてフォトレジスト鞘光部
７を除去してその部分から基板１を露出させる（詳細な
説明を省略する）。そして残存しているフォトレジスト
層５をマスクとし、そこから霧出している基板１を深さ
７００ノでエツチングして深さ１４００ｉの信号情報用
ビット８を形成する（第５図（ｃ）参照）。なお、この
ときのエッチ液はフッ酸６チとフッ化アンモニウム４０
％の混合液を使用することが望ましい。その後、前記フ
ォトレジスト層５を有機溶剤にて除去することにより、
第５図（ｄ）に示すように深さ７０ＯＡのトラッキング
ガイド４を備えた情報記憶媒体用原盤に深さ１４００．
４’の信号情報用ビット８が形成さ扛ることになる。

第２の実施例にあっても前記第１の実施例と同様の効果
を得ることができる。

次に本発明の第５の実施例について説明−３−る。

第６図は本発明の情報記憶媒体用原盤の第６の実施例を
示す断面図である。第６図において、１は表面を研磨し
たガラス製の基板であり、この基板には感光性物質から
成る感光層６としてＡｌｊ　、Ｉｎ　。

ｐｈ、Ｔｅ又ＦｉＺｎなどのように基鈑１よりも軟質な
ものが厚さ１４ｏｏＡ０でスパッタ蒸着又は真空蒸着さ
ｎている。そして、この感）Ｌ層ろには例えばダイアモ
ンド針によってスパイラル状又は同心円状に形成された
トラッキングガイド４が設けられている。なお、このト
ラッキングガイド４は、トラックに直角な方向の断面形
状がＶ字状で深さが１４００．４ＶＣ形成さｎている。

この深さは一例であシ、読取用レーザー光の波長をλと
した場合にλ／４に相当するものである。

このような情報記憶媒体用原盤は、第１の実１施例で説
明したと同様の工程を経ることによってその表面に新た
な凹凸部が形成されて深さ１４００．（の信号情報用ビ
ット８が設けらｎること罠なる（第７図（α）　、　（
ｈ）参照）。なお本実施例で説明した情報記憶媒体用原
盤に設けらｎているトラッキングガイド４は、深さがλ
／４であっても、トラックに直角な方向の断面形状がＶ
字状であるので、情報の読取力に際しては反射光の回折
パターンによるトラックずｎ検知信号を大きく得ること
ができ、安定したトラッキングができることは言うまで
もない。

このような第６の実施例にあっても前記第１の実施例と
同様の効果を得ることができる。

なお上記実施例は一例であシ、本発明の要旨のべ・１間
内において種々の変形実施ができることは言うまでもな
い。例えば各実施例で説明したトラッキングガイドは凹
溝であるが、これを凸部によって形成することも可能で
ある。またトラッキングガイドは、感光層を介すること
なく、直接基板上に設けることも可能である。またこの
ような情報記憶媒体用原盤に信号情報用ビットを設ける
方法としては、実施例で説明した以外の適宜の方法を採
用することが可能である。ところで、各実施例で説明し
た情報記憶媒体用原盤に設けらｎているトラッキングガ
イドと信号情報用ビットとを転写することによってトラ
ッキングガイドと信号情報用ビットとを備えた情報記憶
媒体が製造さｎること忙なるが、その際のトラッキング
ガイド及び信号情報用ビットのトラックＫｆ３つた方向
に直角な断面の幅に関しては、信号情報用ビットのほう
を狭くするように形成することも可能である。特に、こ
のような原盤によって製造された情報記憶媒体にあって
は、トラッキングガイドの幅のほうが信号情報用ビット
の幅に比べて広くなっているので、情報の読取、９に際
してはトラッキングガイドの外で反射する光量よシもト
ラッキングガイドの中から反射する光量の方が非常に多
くなシ、そのため両度射光の干渉によって従来束じてい
た光反射強度の低下を抑制することができる。この結果
、トラッキングガイド上での光反射レベルが高くなり、
信号情報用ピットやその他の情報を記憶した記録層の部
分からの光反射レベルとの間に大きな光反射レベル差を
得ることができるよう罠なり、情報読取シのＳｌＮ比を
良好にして正確な情報の読取りが可能になる。また、本
発明の情報記憶媒体用原盤に信号情報用ビットを設ける
場合、トラッキングガイド上に信号情報用ピットを形成
すれば、信号情報用ビットからの情報の読取シの際にも
安定したトラッキングを行なうことが可能になる。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本発明の情報記憶媒体
用原盤にあっては、信号情報用ビットを歩留りよく形成
することができ、しかも信号情報用ピットによって記録
すべき情報の変更に対シテ容易かつ迅速に対処すること
ができるなどの優ｎた効果を有するものである。

智

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の情報記憶媒体用原盤の第１の実施例を
示す断面図、第２図（ａ）〜（ｄ）は同情報記憶媒体用
原盤に信号情報用ビットを形成する工程を示す断面図、
第６図は１本発明の情報記憶媒体用原盤の第２の実施例
を示す断面図、第４図（α）　９　（ａ＞は同情報記憶
媒体用原盤の製造工程を示す断面図、第５図（α）〜（
ｄ）は同情報記憶媒体用原盤に信号情報用ビットを形成
する工程を示す断面図、第６図は本発明の情報記憶媒体
用原盤の第６の実施例を示す断面図、第７図（α）　、
　（ｈ）は同情報記憶媒体用原盤に信号情報用ピットを
形成する工程を示す断面図である。 １・・・基板、　　４・・・トラッキングガイド、　　
８・・・信号情報用ピット。 ２−、、　　−′ 第５図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）集光したレーザー光によって情報を読取ることが
   可能な情報記憶媒体を製造するための原盤において、基
   板の表面に凹凸で形成さｎているトラッキングガイドを
   具備するとともに、その表面は少なくとも放射エネルギ
   の部分的照射を受けることによって新たな凹凸部の形成
   が可能であることを特徴とする情報記憶媒体用原盤。
2. （２）前記トラッキングガイドは、基板の表面に設けら
   れた感光層を介して形成さｎていることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の情報記憶媒体用原盤。