JPS5933191B2 - 皮膜形成装置 - Google Patents

皮膜形成装置

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JPS5933191B2
JPS5933191B2 JP54096741A JP9674179A JPS5933191B2 JP S5933191 B2 JPS5933191 B2 JP S5933191B2 JP 54096741 A JP54096741 A JP 54096741A JP 9674179 A JP9674179 A JP 9674179A JP S5933191 B2 JPS5933191 B2 JP S5933191B2
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film forming
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利男 杉田
宜延 森主
重春 花島
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    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61C—DENTISTRY; APPARATUS OR METHODS FOR ORAL OR DENTAL HYGIENE
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    • A61C5/70—Tooth crowns; Making thereof
    • A61C5/77—Methods or devices for making crowns
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Description

【発明の詳細な説明】 この発明は陰極スパッタリングにより被着物に皮皮膜を
形成する装置に関するものである。
従来、被着物に皮膜を形成する装置としては、被着物に
直接高電圧を印加して、帯電粒子を被着物に付着させる
装置や、放電または電流による熱で金属粒子を溶融し、
それを被着物に付着させる装置がある。
しかしながら、これらの装置においては、被着物に皮膜
を強固に形成することができない。第１図は従来の他の
皮膜形成装置の概要を示す断面図である。
図において１は真空容器、２は真空容器１内に設けられ
た陽極、３は真空容器１内に設けられた陰極、４は真空
容器１に設けられた排気管で、排気管４は真空排気装置
（図示せず）に接続されている。５は真空容器１に設け
られた導入管で、導入管５は不活性ガス供給装−冒（図
示せず）に接続されている。
この皮膜形成装置においては、陽極２上に被着物６を載
置し、真空排気装置により真空容器１内を真空に排気し
たうえで、真空容器１内に不活性ガス供給装置から不活
性ガスを導入することにより、真空容器１内を低圧の不
活性ガス雰囲気としたのち、陽極２と陰極３との間に高
電圧を印加して、グロー放電させると、放電空間内に生
成した不活性ガスの正イオンが陰極３の面を衝撃し、陰
極３の金属原子が飛散し、その金属原子が被着物１６に
付着して、皮膜が形成される。
このような皮膜形成装置においては、被着物６に皮膜を
強固に形成することができるが、被着物６を真空容器１
内に置く必要があり、真空容器１外にある被着物に皮膜
を形成することができない。
この発明は上述の問題点を解決するためになされたもの
で、被着物に皮膜を強固に形成することができ、かつ真
空容器外にある被着物に皮膜を形成することができる皮
膜形成装置を提供することを目的とする。この目的を達
成するため、この発明においては、真空容器内に筒状の
陽極を設け、その陽極の両側に、上記陽極の中心線と直
角に一対の対向陰極を設け、磁力線がその対向陰極に直
角に作用するように磁場を形成する磁石を設け、上記対
向陰極の一方に透過孔を設け、一端が上記真空容器内に
連通し、かつその一端の中心線が上記透過孔の中心線と
一致する導管を設ける。
第２図はこの発明に係る皮膜形成装置の概要を示す断面
図である。
図において７は真空容器、８は真空容器７に取付けられ
た磁石で、真空容器７は磁石８による約１０００ガウス
の磁場内に設けられている。９は真空容器７内に設けら
れた筒状の陽極、１０ａ，１０ｂは陽極９の両側に設け
られた一対の対向陰極で、対向陰極１０ａ，１０ｂは陽
極９の中心線と直角に設けられており、磁石８の磁力線
が対向陰極１０ａ，１０ｂに直角に作用する。
１１は陰極１０ａに設けられた透過孔、１２は一端が真
空容器７内に連通した導管で、導管１２の中心線は透過
孔１１の中心線と一致している。
１３は導管１２の端部に取付けられた真空用シール材、
１４は真空容器７に設けられた排気管で、排気管１４は
真空排気装置（図示せず）に接続されている。
１５は真空容器７に設けられた導入管で、導入管１５は
不活性ガス供給装置（図示せず）に接続されている。
この皮膜形成装置においては、シール材１３に被着物６
を当接したのち、真空排気装置により真空容器７内を真
空に排気したうえで、真空容器７内に不活性ガス供給装
置から不活性ガスたとえばアルゴンガスを導入すること
により、真空容器７内を１×１０−２Ｐａ程度の不活性
ガス雰囲気としたのち、陽極９と陰極１０ａ，１０ｂと
の間にたとえば２ｋの高電圧を印加すると、陽極９と陰
極１０ａ，１０ｂとの間に冷陰極放電が生じ、これによ
つて放電空間内のアルゴン原子がイオン化される。
このようにして生成されたアルゴン正インは陰極１０ａ
，１０ｂの表面を衝撃して、陰極１０ａ，１０ｂを構成
する物質たとえば金をスパツタリングする。そして、陰
極１０ａ，１０ｂの面からスパツタされた中性または帯
電金属粒子は透過孔１１を通過して導管１２内に導かれ
、導管１２の端部に置かれた被着物６の表面に衝突し、
付着して堆積するので、被着物６に皮膜が形成されるっ
なお、この発明に係る皮膜形成装置を用いて歯面のウ蝕
部位に皮膜を形成すれば、従来のとかく脱落しがちなア
マルガム充填と比較して、はるかに強固な皮膜を形成す
ることができる。
また、第３図に示す小児の歯の深くて狭い裂溝１６の底
面１６ａや、第４図に示す成人の歯の裂溝１７の入口部
１７ａなどのように、最もウ蝕が生じやすいとされる部
位に限定して皮膜を形成すれば、少量でウ蝕を有効に防
止することができる。以上説明したように、この発明に
係る皮膜形成装置においては、陰極面からスパツタされ
た金属粒子を被着物に付着、堆積させて、皮膜を形成す
るから、被着物に皮膜を強固に形成することができ、か
つ導管を介して上記金属粒子を蕉着物に導くので、真空
容器外にある被着物に皮膜を形成することが可能である
。
このように、この発明の効果は顕著である。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の皮膜形成装置の概要を示す断面図、第２
図はこの発明に係る皮膜形成装置の概要を示す断面図、
第３図、第４図はそれぞれ小児、成人の歯を示す断面図
である。 ７・・・・・・真空容器、８・・・・・・磁石、９・・
・・・・陽極、１０ａ，１０ｂ・・・・・・対向陰極、
１１・・・・・・透過孔、１２・・・・・・導管。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 陰極スパッタリングにより被着物に皮膜を形成する
    装置において、真空容器と、その真空容器内に設けられ
    た筒状の陽極と、その陽極の両側に、上記陽極の中心線
    と直角に設けられた一対の対向陰極と、磁力線がその対
    向陰極に直角に作用するように磁場を形成する磁石と、
    上記対向陰極の一方に設けられた透過孔と、一端が上記
    真空容器内に連通し、かつその一端の中心線が上記透過
    孔の中心線と一致する導管とを具備することを特徴とす
    る皮膜形成装置。
JP54096741A 1979-07-31 1979-07-31 皮膜形成装置 Expired JPS5933191B2 (ja)

Priority Applications (4)

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JP54096741A JPS5933191B2 (ja) 1979-07-31 1979-07-31 皮膜形成装置
GB8024847A GB2060394B (en) 1979-07-31 1980-07-30 Method and apparatus for forming a coating on a tooth for protection against dental caries
DE3029118A DE3029118C2 (de) 1979-07-31 1980-07-31 Verfahren und Vorrichtung zur Bildung einer Zahn-Kariesschutzschicht
US06/174,222 US4324630A (en) 1979-07-31 1980-07-31 Method for forming a dental caries preventive coating

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JPS5620449A JPS5620449A (en) 1981-02-26
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DE (1) DE3029118C2 (ja)
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JPS5620449A (en) 1981-02-26
DE3029118A1 (de) 1981-02-19
US4324630A (en) 1982-04-13
GB2060394A (en) 1981-05-07
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