JPS59194338A - 四重極分析管 - Google Patents
四重極分析管Info
- Publication number
- JPS59194338A JPS59194338A JP58068756A JP6875683A JPS59194338A JP S59194338 A JPS59194338 A JP S59194338A JP 58068756 A JP58068756 A JP 58068756A JP 6875683 A JP6875683 A JP 6875683A JP S59194338 A JPS59194338 A JP S59194338A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- section
- terminal
- joint
- electrodes
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/42—Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
- H01J49/4205—Device types
- H01J49/421—Mass filters, i.e. deviating unwanted ions without trapping
- H01J49/4215—Quadrupole mass filters
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/42—Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
- H01J49/4205—Device types
- H01J49/4255—Device types with particular constructional features
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は四重極分析装置に用いら【る四重極分析管に関
するものである。
するものである。
従来技術
近年材料技術の進歩に伴って、真空用材料としてアルミ
合金等からなるアルミ材が用いらしつつある。アルミ合
金を真空材として用いた場合、放射能化が低い点や、放
出ガスが少いなどの利点がおる。このため真空装置の全
アルミ化、真空測定装置の全アルミ化が進みつつある。
合金等からなるアルミ材が用いらしつつある。アルミ合
金を真空材として用いた場合、放射能化が低い点や、放
出ガスが少いなどの利点がおる。このため真空装置の全
アルミ化、真空測定装置の全アルミ化が進みつつある。
特に超高真空を必要とする装置ではこの要求が強い。ア
ルミ化さｎた真空槽、フランジ類、ガスケット等の真空
装置類はほぼ、アルミ化さしている。しかし真空計、四
重極分析管等の真空計測器はまだアルミ化さしていない
。
ルミ化さｎた真空槽、フランジ類、ガスケット等の真空
装置類はほぼ、アルミ化さしている。しかし真空計、四
重極分析管等の真空計測器はまだアルミ化さしていない
。
発明の目的
本発明の目的は、四重極分析管のアルミ化部品のうち、
ネジ類を接合のための接合端子を用いることにより、部
品の歩留！ｌｌを同上することができ、組立ても簡単で
、全アルミ化の四重極分析管を提供することにちる。
ネジ類を接合のための接合端子を用いることにより、部
品の歩留！ｌｌを同上することができ、組立ても簡単で
、全アルミ化の四重極分析管を提供することにちる。
発明の構成
以下図面に基いて発明の詳細について説明する。第１図
は本発明にょる全アル、ミ化四重極分析管の平面図であ
る。タングステンなどの熱電子放出ができる電極の設ぐ
らｎたヒータ部１とこのヒータ部からの熱電子を内部で
反射させるためのりベラ部２５、電極３を電気的に絶縁
することができかつ四つの各電極間の距離を固定するこ
とのできるヨーク材４、前記リベラ電極、前記ヨーク材
を固定するための周囲シールド部５を設けることができ
る。前記ヒータ部１、リペラ部２、電極３、ヨーク材４
、周囲シールド部５とフランジ部６を接合するための接
合治具部７を設けて、四重極分析管とすることができる
。電極、ヒータ、リペラ電極等必要な電極への必要な電
界の印加には、アルミ線等のアルミ材からなるリード線
８を用いることができる。上記各電極と、リード線８と
の接合には各種接合端子９ 、 ’１０ 、１１を用い
ることができる。本発明による四重極分析管のフランジ
部の断面図を示す。電極端子１２ 、１３は８不前後必
要であるが５木根度しか記入さｎていない。こしらの電
極端子はガラス融着技術等によって、金属とセラミンク
材が融着さｎている。この方式によりアルミ系金属のフ
ランジ材と電極端子の設けらｎｘセラミックス１４が融
着さｎている。前記フランジ部６゜と接合治具部７は、
フランジ部６のある足めらした位置に設けらｆした突起
部１５とこｎを上部より接合して固定する接合端子１６
によって固定することができる。ファラデイカツブ１７
と中央部の電極端子１３は接合端子１８によって接合固
定することができる。ファラデイカツブ１７はシ、−ル
ドケース１９によって周囲とシールドすることができる
。そｎぞ肚の電極端子１２と接合さ−ｒ′したそｎぞｎ
の接合端子１８は、そｎぞｎのリード線８と接合部加に
リード線の端を挿入して外部より圧力をかけることによ
って接合することができる。第３図に本発明に用いた各
種接合端子の断面図を示す。接合端子＠）は第１図で用
いた接合端子１０の断面図、接合端子（ｂ）は、第２図
で用いらｎ、＊主としてフランジ部と接合治具部を設置
、固定するための接合端子１６の断面図である。接合端
子１６は、固定するため力が比較的大きいために、接合
端子１６の内部に固定バネ２１を設けることができる。
は本発明にょる全アル、ミ化四重極分析管の平面図であ
る。タングステンなどの熱電子放出ができる電極の設ぐ
らｎたヒータ部１とこのヒータ部からの熱電子を内部で
反射させるためのりベラ部２５、電極３を電気的に絶縁
することができかつ四つの各電極間の距離を固定するこ
とのできるヨーク材４、前記リベラ電極、前記ヨーク材
を固定するための周囲シールド部５を設けることができ
る。前記ヒータ部１、リペラ部２、電極３、ヨーク材４
、周囲シールド部５とフランジ部６を接合するための接
合治具部７を設けて、四重極分析管とすることができる
。電極、ヒータ、リペラ電極等必要な電極への必要な電
界の印加には、アルミ線等のアルミ材からなるリード線
８を用いることができる。上記各電極と、リード線８と
の接合には各種接合端子９ 、 ’１０ 、１１を用い
ることができる。本発明による四重極分析管のフランジ
部の断面図を示す。電極端子１２ 、１３は８不前後必
要であるが５木根度しか記入さｎていない。こしらの電
極端子はガラス融着技術等によって、金属とセラミンク
材が融着さｎている。この方式によりアルミ系金属のフ
ランジ材と電極端子の設けらｎｘセラミックス１４が融
着さｎている。前記フランジ部６゜と接合治具部７は、
フランジ部６のある足めらした位置に設けらｆした突起
部１５とこｎを上部より接合して固定する接合端子１６
によって固定することができる。ファラデイカツブ１７
と中央部の電極端子１３は接合端子１８によって接合固
定することができる。ファラデイカツブ１７はシ、−ル
ドケース１９によって周囲とシールドすることができる
。そｎぞ肚の電極端子１２と接合さ−ｒ′したそｎぞｎ
の接合端子１８は、そｎぞｎのリード線８と接合部加に
リード線の端を挿入して外部より圧力をかけることによ
って接合することができる。第３図に本発明に用いた各
種接合端子の断面図を示す。接合端子＠）は第１図で用
いた接合端子１０の断面図、接合端子（ｂ）は、第２図
で用いらｎ、＊主としてフランジ部と接合治具部を設置
、固定するための接合端子１６の断面図である。接合端
子１６は、固定するため力が比較的大きいために、接合
端子１６の内部に固定バネ２１を設けることができる。
接合端子（Ｃ）はリード電極８と電極端子１２ 、１３
と接合するための端子で、リード電極は圧着部加と、電
極端子１２ 、１３とは電極接合部２２で接合すること
ができる。第４図に示すよ、うにヨーク材４に固定さ扛
る四つの電極３１、３２ 、３３ 、３４は、そ几ぞ几
の位置精度１特に電極３１と３３、および電極３２ 、
３４はその位置精度もその特性に重要な影響を与えるこ
とは明らかである。
と接合するための端子で、リード電極は圧着部加と、電
極端子１２ 、１３とは電極接合部２２で接合すること
ができる。第４図に示すよ、うにヨーク材４に固定さ扛
る四つの電極３１、３２ 、３３ 、３４は、そ几ぞ几
の位置精度１特に電極３１と３３、および電極３２ 、
３４はその位置精度もその特性に重要な影響を与えるこ
とは明らかである。
そのため四つの電極にネジ穴２３をあけ、男ＩＪ−の材
料からなる固定端子２６にネジ２４を設けて位置精度を
保ち々がらヨーク材４に固定することができる。
料からなる固定端子２６にネジ２４を設けて位置精度を
保ち々がらヨーク材４に固定することができる。
この固定端子２６の上部より固定端子１１を設けること
ができる。第５図に示すように電極３にアルミ材からな
る固定端子２７で固定し、さらに上部より固定端子１１
を設けることもできる。電極端子１１は、第６図に示す
ように第４図、第５図に示すような固定端子力、２７の
上部より取付けることのできる電極端子である。第６図
の電極端子は本発明に用いらｎるものであって、リード
電極８を電極ガイド部舘にまきつけて両側より円板状に
圧着して接合することができる。円板状′に圧着するた
め圧着部２９は、一様に圧着さｎるために切ｎ目４ｏを
設けることができる。アルミ材による四つの電極は例え
ば２０００系のアルミ材を用いることができる。
ができる。第５図に示すように電極３にアルミ材からな
る固定端子２７で固定し、さらに上部より固定端子１１
を設けることもできる。電極端子１１は、第６図に示す
ように第４図、第５図に示すような固定端子力、２７の
上部より取付けることのできる電極端子である。第６図
の電極端子は本発明に用いらｎるものであって、リード
電極８を電極ガイド部舘にまきつけて両側より円板状に
圧着して接合することができる。円板状′に圧着するた
め圧着部２９は、一様に圧着さｎるために切ｎ目４ｏを
設けることができる。アルミ材による四つの電極は例え
ば２０００系のアルミ材を用いることができる。
アルミ材で本発明による四重極分析管に用いるネジ類な
どのような小さな部品は、比較的、工作も困難である。
どのような小さな部品は、比較的、工作も困難である。
また各部品をアルミによるネジ類テ、締めつけた場合、
ネジ部が切ｎ−ニアＣＤ 、ネジの頭部がと几たりする
ことが多い。本発明に示すように従来のネジ部に相当す
る部分を、固定端子接合端子を用いることによって、固
足さ肚る固定の状態は従来と変りなく、精度が必要な部
分の精度が十分保つことができる。すなわち、取付は時
にネジ類をドライバー等で回転することがないために回
転のための力が他の部分に影響することなく取付は精度
を高め、ることかできる。
ネジ部が切ｎ−ニアＣＤ 、ネジの頭部がと几たりする
ことが多い。本発明に示すように従来のネジ部に相当す
る部分を、固定端子接合端子を用いることによって、固
足さ肚る固定の状態は従来と変りなく、精度が必要な部
分の精度が十分保つことができる。すなわち、取付は時
にネジ類をドライバー等で回転することがないために回
転のための力が他の部分に影響することなく取付は精度
を高め、ることかできる。
以上述べたように本発明によｎは歩留りの高い部品を用
い、高精度を保てる部品を用いることにより高真空に対
してすぐｎた材料であるアルミ材を用いることができ、
超高真空用の四重極分析管を提供することができる。
い、高精度を保てる部品を用いることにより高真空に対
してすぐｎた材料であるアルミ材を用いることができ、
超高真空用の四重極分析管を提供することができる。
第１図は本発明による全アルミ化四重極分析管の断面図
、第２図はフランジ部分の断面図、第３図は本発明に用
いらｎた、各種接合端子の断面図、第４図、第５図は不
発明による電極、ヨーク材の接合部を示す断面図、第６
図は電極に取付けらｆる電極端子の正面図および断面図
である。 １゜。ヒータ部 ２０．リペラ部 ３ 、３１ 、３２ 、３３ 、３４゜。電極４、。ヨ
ーク材 ５゜。周囲シールド部６、。フランジ部
７．。接合治具部８、。リード線 ９ 、１０
、１１ 、。接合端子１２ 、１３゜。電極端子 １４
゜。セラミックス１５゜。突起部 １６．。接合
端子］７゜。ファラデイカツブ １８゜。ｇ 合唱子１９．。シールドケース加、。接合
部 ２１゜。固定ノ々ネ２２、。電極接合部
ｎ。。ネジ穴ス・・ネジ ２６，２７．、
固定端子路。。電極ガイド ２９゜。圧着部４０゜
。切ｎ目 以上 出願人 株式会社第二精工舎 代理人 弁理士最上 務 第２図 第３図（（２） 第３図（Ｉ）） 第３図（ｃ） 第４図 第５図 第６図
、第２図はフランジ部分の断面図、第３図は本発明に用
いらｎた、各種接合端子の断面図、第４図、第５図は不
発明による電極、ヨーク材の接合部を示す断面図、第６
図は電極に取付けらｆる電極端子の正面図および断面図
である。 １゜。ヒータ部 ２０．リペラ部 ３ 、３１ 、３２ 、３３ 、３４゜。電極４、。ヨ
ーク材 ５゜。周囲シールド部６、。フランジ部
７．。接合治具部８、。リード線 ９ 、１０
、１１ 、。接合端子１２ 、１３゜。電極端子 １４
゜。セラミックス１５゜。突起部 １６．。接合
端子］７゜。ファラデイカツブ １８゜。ｇ 合唱子１９．。シールドケース加、。接合
部 ２１゜。固定ノ々ネ２２、。電極接合部
ｎ。。ネジ穴ス・・ネジ ２６，２７．、
固定端子路。。電極ガイド ２９゜。圧着部４０゜
。切ｎ目 以上 出願人 株式会社第二精工舎 代理人 弁理士最上 務 第２図 第３図（（２） 第３図（Ｉ）） 第３図（ｃ） 第４図 第５図 第６図
Claims (1)
- 四づの電極および前記四つの電極の位置を固定しかつ電
気的に絶縁することのできるヨーク材、前記四つの電極
と前記ヨーク材を固定するための固定用ネジ類、周囲シ
ールド部、ヒータ部、リペラ電極部の各部にフランジ部
の電極甥子からのリード電極と電気的に接続するための
ネジ類、四つの電極、ヨーク材、ヒータ部、リベラ部、
周囲シールド部から表る分析管部とフ・ランジ部を固定
するためのネジ類からなる四重極分析管において、各種
ネジ類の少くとも一部が接合端子からなること全特徴と
する四重極分析管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58068756A JPS59194338A (ja) | 1983-04-19 | 1983-04-19 | 四重極分析管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58068756A JPS59194338A (ja) | 1983-04-19 | 1983-04-19 | 四重極分析管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59194338A true JPS59194338A (ja) | 1984-11-05 |
Family
ID=13382913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58068756A Pending JPS59194338A (ja) | 1983-04-19 | 1983-04-19 | 四重極分析管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59194338A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001351563A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-21 | Shimadzu Corp | 質量分析装置 |
-
1983
- 1983-04-19 JP JP58068756A patent/JPS59194338A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001351563A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-21 | Shimadzu Corp | 質量分析装置 |
| JP4581184B2 (ja) * | 2000-06-07 | 2010-11-17 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置 |
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