JPH0743356A - 熱伝導度検出器 - Google Patents
熱伝導度検出器Info
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- JPH0743356A JPH0743356A JP5208558A JP20855893A JPH0743356A JP H0743356 A JPH0743356 A JP H0743356A JP 5208558 A JP5208558 A JP 5208558A JP 20855893 A JP20855893 A JP 20855893A JP H0743356 A JPH0743356 A JP H0743356A
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Abstract
る空間を極力小さくすることが可能で検出精度を良くし
た熱伝導度検出器を提供すること。 【構成】 フィラメント素子1を、金属ベ−ス3と該金
属ベ−スに絶縁体5を介して通し表面を耐腐食金属でメ
ッキしたリ−ド線4と該リ−ド線に溶着接合したフィラ
メント8とで構成し、且つ該フィラメント素子1を金属
ブロック10に設けた空間10aに密封して配置したこ
とを特徴とする熱伝導度検出器。
Description
の検出器として用いられる熱伝導度検出器、特に超小型
とすることが可能な熱伝導度検出器に関する。
る熱伝導度検出器は、所定の容器内に独立して設けた一
定容量(大体、290μl)の二つの空間のそれぞれ
に、封着端子にフィラメントを取付けてなるフィラメン
ト素子を固定して配置し、一方の空間には基準ガスを他
方の空間にはキャリヤガスを流すようにしてある。そし
て前記二つのフィラメント素子はブリッジ回路とした検
出回路の一部を構成させ、キャリヤガスを流す空間に試
料ガスが流入すると熱伝導度に差が生じ、これを補正電
流による検出ピ−クとして取り出すことによって試料の
検出を行うようにしてある。
は、フィラメント自身が比較的大きく製作され該フィラ
メントを取付けたフィラメント素子を配置する空間は高
温状態となり且つ機密構造としなければならないため構
造が複雑で容量も大きくなっている。従って熱伝導度検
出器の全体的形状も大きく、それだけデッドボリュ−ム
も大きくなる。このように熱伝導度検出器のフィラメン
ト素子を配置する空間が大きくなると応答速度が遅くな
り、またフィラメントや検出器全体が大きいと熱容量も
大きくなり安定するまでに時間がかかり、測定に要する
時間も長くなる。更にデッドボリュ−ムが大きいと残余
ガスの影響で精度が低くなり検出ピ−クのテ−リングも
大きくなるという問題がある。このように熱伝導度検出
器ではフィラメントを始めフィラメント素子や容器空間
等全てが大きくなると検出精度に影響を及ぼすことにな
るが、フィラメントとリ−ド線の接合は極めて難しいた
めフィラメント素子等を小型化することは難しい。
ものであり、その目的とするところはフィラメント及び
該フィラメントを配置する空間を極力小さくすることが
可能で検出精度を良くした熱伝導度検出器を提供するこ
とにある。
る課題を解決するために、独立して設けた二つの空間内
のそれぞれにリ−ド線にフィラメントを取付けてなるフ
ィラメント素子を固定して配置し該二つのフィラメント
素子を検出回路の一部として組込んだ熱伝導度検出器に
おいて、前記フィラメント素子を、金属ベ−スと該金属
ベ−スに絶縁体を介して通し表面を耐腐食金属でメッキ
した二本のリ−ド線と該リ−ド線に溶着接合したフィラ
メントとで構成し、且つ該フィラメント素子を金属ブロ
ックに設けたガス流通空間に密封して配置したことを特
徴とする。
腐食金属として金メッキしたリ−ド線とフィラメントと
をスポット溶接すると、メッキ部分の金が溶けてリ−ド
線とフィラメントとの接合部を覆いしっかり接着する作
用を果たし該接合部は断線しにくく安定した状態とな
る。このようにリ−ド線と極細のフィラメントとの安定
したスポット溶接が可能となるとフィラメント素子を超
小型化することが可能となり、従って熱伝導度検出器も
超小型化することが出来る。
を参照して説明する。図1(A)はこの発明で用いられ
るフィラメント素子1の縦断面図、図1(B)は該フィ
ラメント素子1を図1(A)の下側から見た平面図であ
る。このフィラメント素子1は、封着端子2と、極細の
フィラメント8とより構成され、更に該封着端子2は金
属ベ−ス3と該金属ベ−ス3に穿設した孔3a及び3a
に通したリ−ド線4及び4と該孔3aに埋設したガラス
やセラミックス等の絶縁体5及び5とで構成される。そ
して該リ−ド線4には金(耐腐食性金属)7によるメッ
キ層が施されている。また前記金属ベ−ス3の周囲には
フランジ部3bを形成し、後述するように金属ブロック
10との密着性を良くするため該フランジ部3bに環状
突起部3cが設けられることもある。
4とフィラメント8との接合方法について述べる。図2
はリ−ド線4とフィラメント8との接合部分を拡大した
図であり、図3は更に該リ−ド線4とフィラメント8と
の接合状態を示す拡大図である。通常、フィラメント8
の線径は0.020mm、リ−ド線4の線径は0.35
mm、程度でありスポット溶接は難しい。即ち、このよ
うな細いリ−ド線4と極細のフィラメント8をスポット
溶接して両者を接合しても接合部Mの腐食、加熱と冷却
の繰り返しによる接合部の劣化や断線等により接合部M
の寿命が短く問題がある。
ってメッキしたリ−ド線4とフィラメント8とをスポッ
ト溶接すると、メッキ部分の金7が溶けてリ−ド線4と
フィラメント8との接合部Mを覆いしっかり接着する作
用を果たし該接合部は断線しにくく安定した状態とな
る。このようにリ−ド線4と極細のフィラメント8との
安定したスポット溶接が可能となるとフィラメント素子
1を超小型化することが可能となり、従って熱伝導度検
出器も超小型化することが出来る。尚、前記リ−ド線4
は金メッキの他白金や銀によるメッキであっても良い。
次に、この超小形化した熱伝導度検出器の実施例につい
て述べる。
超小形の熱伝導度検出器の実施例の平面図、図5は図4
のA−A矢視断面拡大図である。この熱伝導度検出器に
は、前記フィラメント素子1がステンレス或いはKOV
AR製(ニッケルコバルト合金、但し材質はこれらに限
られない)の金属ブロック10に二個組込まれるが、こ
の場合該金属ブロック10内には独立した二つの空間1
0aが設けられ、フィラメント素子1はこの空間10a
にそれぞれ別個に配置される。この空間10aの容積は
10μl以下とすることが可能となる。また前記金属ブ
ロック10の空間10aにはガス流路10bが設けられ
ここに金属製チュ−ブ11が嵌め込まれ該金属ブロック
10と溶接接合され一体としてある。この場合金属ブロ
ック10の空間10aに配置される前記フィラメント素
子1のフィラメント8はなるべくガスの流路中心部に置
くようにする。また、これらの金属製チュ−ブ11には
コネクタ12が取付けられキャリヤガスや基準ガスを導
入、排出する他の管路に接続されるようにしてある。
に配置されたフィラメント素子1は金属ベ−ス3のフラ
ンジ部3bを金属ブロック10に機密溶接する。こうし
てフィラメント素子1は金属ブロック10の二つの空間
に独立して配置され密封されることになる。13は前記
リ−ド線4に接合されたリ−ド線であり他端部には端子
14が取付けられ検出回路に接続するようにしてある。
以上のようにして構成された超小形熱伝導度検出器のフ
ィラメント素子を配置した金属ブロック10の一方の空
間10aには基準ガスを流し、他方の空間10aにはキ
ャリヤガスを流して分析する試料ガスを導入する。そし
て二つのフィラメント8の電気出力は定温度回路又は定
電流回路で構成される検出回路に入り、試料ガスの導入
によって生じた熱伝導度の差によって一定温度又は一定
電流になるように補正電流が流れる。この補正電流を検
出することにより試料の検出を行うのである。
組込んだ他の実施例の超小形の熱伝導度検出器の平面
図、図7は図6のB−B矢視断面拡大図である。この実
施例では上記例と同様に、金属ブロック10には二つの
空間10aを設けそれぞれ別個にフィラメント素子1を
配置する。該金属ブロック10には金属チュ−ブ11を
固着して基準ガスやキャリヤガスが流通するようにして
ある。そして更に該金属ブロック10は雌ねじ15a、
15aを設けた取付板15に載せ、該金属ブロック10
の空間10bにフィラメント素子1のフィラメント8を
配置して金属ベ−ス3のフランジ部3bと金属ブロック
10との間に金属ガスケット16を挟み上から押さえ板
17を載せてボルト18、18を前記雌ねじ15a、1
5aに螺合させて締め付け押さえた構成としてある。
に、フィラメント素子1を構成する金属ベ−ス3の環状
突起3cが金属ガスケット16にしっかり食い込み金属
ブロック10の空間10aを密封する役目をする。上記
実施例がフィラメント素子1の分解不能形であるのに対
してこの変形実施例は分解可能形である。即ち、前記フ
ィラメント素子1のリ−ド線4とフィラメント8との接
合部M(図3参照)が若し外れて断線してもボルト15
を外して押さえ板17を外せば封着端子2は外すことが
出来る。そこで外れたリ−ド線4とフィラメント8を溶
接し修理したり、交換すれば再度使用することが出来
る。
であり、前記フィラメント素子1の金属ベ−ス3は小判
形(楕円形)としたが、円形や多角形等他の形状であっ
ても良い。また、フィラメントは直線状の単線や複線又
はリボン線等種々の形状とすることが出来る。
たような構成としたので次のような多くの優れた効果が
生じる。即ち、 (1)熱伝導度検出器を超小形熱伝導度検出器として従
来よりは遙に小型の熱伝導度検出器として構成すること
が出来る。 (2)内部構造が簡単となり、且つ熱容量も小さくする
ことが出来るので安定化させるまでの時間を短縮するこ
とが出来る。 (3)フィラメントを配置する空間を小さくすることが
出来るので少量の基準ガスやキャリヤガスで試料ガスを
分析することが可能となり応答速度も早い。 (4)デッドボリュ−ムが殆どないので試料ガスの検出
ピ−クのテ−リングがなくなり分解能が極めて高くな
る。 (5)検出器を分解可能とした場合、フィラメントが断
線しても容易に交換や修理が可能となる。
ト素子の縦断面図であり、図1(B)は該フィラメント
素子を図1(A)の下側から見た平面図である。
た図である。
大図である。
検出器の平面図である。
形の熱伝導度検出器の平面図である。
り、図7(B)は金属ベ−スと金属ブロックと金属ガス
ケット部分の拡大図である。
ト 17 押さえ板 18 ボルト M 接合部
Claims (1)
- 【請求項1】 独立して設けた二つの空間内のそれぞれ
にリ−ド線にフィラメントを取付けてなるフィラメント
素子を固定して配置し該二つのフィラメント素子を検出
回路の一部として組込んだ熱伝導度検出器において、 前記フィラメント素子を、金属ベ−スと該金属ベ−スに
絶縁体を介して通し表面を耐腐食金属でメッキしたリ−
ド線と該リ−ド線に溶着接合したフィラメントとで構成
し、かつ該フィラメント素子を金属ブロックに設けたガ
ス流通空間に密封して配置したことを特徴とする熱伝導
度検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5208558A JP2827831B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 熱伝導度検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5208558A JP2827831B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 熱伝導度検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0743356A true JPH0743356A (ja) | 1995-02-14 |
JP2827831B2 JP2827831B2 (ja) | 1998-11-25 |
Family
ID=16558178
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5208558A Expired - Lifetime JP2827831B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 熱伝導度検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2827831B2 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002228647A (ja) * | 2001-01-31 | 2002-08-14 | Shimadzu Corp | ガスクロマトグラフ |
JP2002310971A (ja) * | 2001-04-17 | 2002-10-23 | Yokogawa Electric Corp | 熱伝導度検出器 |
JP2011169778A (ja) * | 2010-02-19 | 2011-09-01 | Yokogawa Electric Corp | 熱伝導度検出器 |
JP2018125249A (ja) * | 2017-02-03 | 2018-08-09 | 岩崎電気株式会社 | ランプ |
US10330651B2 (en) | 2014-10-10 | 2019-06-25 | Shimadzu Corporation | Thermal conductivity detector and gas chromatograph |
JP2020041990A (ja) * | 2018-09-13 | 2020-03-19 | 株式会社島津製作所 | 熱伝導度検出器およびそれを備えるガスクロマトグラフ |
US11268939B2 (en) | 2018-09-13 | 2022-03-08 | Shimadzu Corporation | Thermal conductivity detector and gas chromatograph equipped with the same |
US11454598B2 (en) | 2016-03-07 | 2022-09-27 | Shimadzu Corporation | Thermal conductivity detector |
US11815432B2 (en) | 2018-09-21 | 2023-11-14 | Shimadzu Corporation | Thermal conductivity detector and gas chromatograph including same |
CN117434193A (zh) * | 2023-12-20 | 2024-01-23 | 福建省巨颖高能新材料有限公司 | 一种用于腐蚀性气体的高灵敏度tcd检测器 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS48100690A (ja) * | 1972-04-05 | 1973-12-19 | ||
JPS5333697A (en) * | 1976-09-10 | 1978-03-29 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Detector of thermal conduction type for gas chromatograph |
JPS63170871A (ja) * | 1987-01-09 | 1988-07-14 | 住友電気工業株式会社 | スポツト溶接用ニツケルメツキ付金属端子 |
JPH01146235A (ja) * | 1987-12-02 | 1989-06-08 | Toshiba Corp | X線管の陰極構体及びその製造方法 |
JPH04138348A (ja) * | 1990-09-29 | 1992-05-12 | Shimadzu Corp | 流量測定機能付熱伝導度検出器 |
-
1993
- 1993-07-30 JP JP5208558A patent/JP2827831B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS48100690A (ja) * | 1972-04-05 | 1973-12-19 | ||
JPS5333697A (en) * | 1976-09-10 | 1978-03-29 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Detector of thermal conduction type for gas chromatograph |
JPS63170871A (ja) * | 1987-01-09 | 1988-07-14 | 住友電気工業株式会社 | スポツト溶接用ニツケルメツキ付金属端子 |
JPH01146235A (ja) * | 1987-12-02 | 1989-06-08 | Toshiba Corp | X線管の陰極構体及びその製造方法 |
JPH04138348A (ja) * | 1990-09-29 | 1992-05-12 | Shimadzu Corp | 流量測定機能付熱伝導度検出器 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002228647A (ja) * | 2001-01-31 | 2002-08-14 | Shimadzu Corp | ガスクロマトグラフ |
JP2002310971A (ja) * | 2001-04-17 | 2002-10-23 | Yokogawa Electric Corp | 熱伝導度検出器 |
JP2011169778A (ja) * | 2010-02-19 | 2011-09-01 | Yokogawa Electric Corp | 熱伝導度検出器 |
US10330651B2 (en) | 2014-10-10 | 2019-06-25 | Shimadzu Corporation | Thermal conductivity detector and gas chromatograph |
US11454598B2 (en) | 2016-03-07 | 2022-09-27 | Shimadzu Corporation | Thermal conductivity detector |
JP2018125249A (ja) * | 2017-02-03 | 2018-08-09 | 岩崎電気株式会社 | ランプ |
JP2020041990A (ja) * | 2018-09-13 | 2020-03-19 | 株式会社島津製作所 | 熱伝導度検出器およびそれを備えるガスクロマトグラフ |
US11268939B2 (en) | 2018-09-13 | 2022-03-08 | Shimadzu Corporation | Thermal conductivity detector and gas chromatograph equipped with the same |
US11428676B2 (en) | 2018-09-13 | 2022-08-30 | Shimadzu Corporation | Thermal conductivity detector and gas chromatograph including same |
US11815432B2 (en) | 2018-09-21 | 2023-11-14 | Shimadzu Corporation | Thermal conductivity detector and gas chromatograph including same |
CN117434193A (zh) * | 2023-12-20 | 2024-01-23 | 福建省巨颖高能新材料有限公司 | 一种用于腐蚀性气体的高灵敏度tcd检测器 |
CN117434193B (zh) * | 2023-12-20 | 2024-03-01 | 福建省巨颖高能新材料有限公司 | 一种用于腐蚀性气体的高灵敏度tcd检测器 |
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---|---|
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