JPH10241622A - 電子管 - Google Patents
電子管Info
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- JPH10241622A JPH10241622A JP9038112A JP3811297A JPH10241622A JP H10241622 A JPH10241622 A JP H10241622A JP 9038112 A JP9038112 A JP 9038112A JP 3811297 A JP3811297 A JP 3811297A JP H10241622 A JPH10241622 A JP H10241622A
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- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
- H01J9/26—Sealing together parts of vessels
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
Abstract
電子管を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明による電子管において、低融点金
属23は、第1の封止板73により入力面板21の外面21Bに
延在すると同時に、第2の封止板74により側管10の外側
面10cにも延在するように変形するので、入力面板21と
側管10とからなるコーナ部分を、低融点金属23で外側か
ら包み込むことが可能になり、入力面板21が側管10から
外れにくくなるばかりか、電子管1内の気密性保持に極
めて有効である。また、金属支持体24の第1の封止板73
を、入力面板21に向けて加圧することができ、第1の封
止板73と入力面板21との間で挟まれた低融点金属23に適
切な圧力を加えることができ、入力面板21及び金属支持
体24に対する低融点金属23のなじみ性が良くなる。そし
て、この電子管1は大量生産に適した構成といえる。
Description
態(例えば常温)に維持された封止用金属(例えばイン
ジウムを主成分とする金属)によって、側管と入力面板
とを接着固定した電子管に関するものである。
4−58444号公報がある。この公報に開示された電
子管は、コールドインジウム法によって製造されたもの
である。このコールドインジウム法とは、トランスファ
ー装置と呼ばれる真空装置内で側管と入力面板とをイン
ジウムを介して接続する際に、インジウムを融点以下の
温度状態(例えば常温)に維持し、インジウムを固体の
ままで利用する技術である。そこで、側管と入力面板と
を接合させる際、側管に入力面板を押し付けるようにし
てインジウムを変形させ、インジウムを側管及び入力面
板に圧着させることで、電子管の真空気密封止を達成し
ている。また、電子管にコールドインジウム法を適用し
た例として、特開昭57−136748号公報、特開昭
54−16167号公報や特開昭61−211941号
公報等がある。
した例として、特開平6−318439号公報や特開平
3−133037号公報等がある。ホットインジウム法
とは、トランスファー装置内において、加熱器で溶融さ
せたインジウムにより、側管と入力面板とを接合させる
技術であり、側管側には、溶けたインジウムが流れ出さ
ないためのインジウム溜まり凹部が設けられている。
コールドインジウム法を適用する電子管は、上述したよ
うに構成されているため、次のような課題が存在してい
た。すなわち、このような電子管では、インジウムで封
止した部分を側面から包囲するための封止用金属支持体
が利用され、この金属支持体は、側管の側面に対峙する
単純なリング体を構成すると共に、その内側でインジウ
ムを単に保持するだけの形状になっている。また、側管
の端面と入力面板の内面との間でインジウムを挟むよう
にして、入力面板及び側管をインジウムに力強く押し付
けているので、インジウムとの接触面でなじみ性が悪く
なる虞れがあり、その結果、十分な真空気密が要求され
る電子管に気密不良が発生する場合があった。そして、
この気密不良に起因して、大気中の酸素や水分が電子管
内に入り込み、光電面感度の劣化を招来していた。特
に、側管の接合端部が金属材料で形成されている場合に
は、インジウムとのなじみ性が悪くなる。
されたもので、特に、気密性が良く、大量生産に適した
電子管を提供することを目的とする。
電子管は、第1の開口と第1の開口と反対側に位置する
第2の開口とを有する側管と、側管の第1の開口側に設
けられて、入射した光に応じて電子を放出する光電面を
もった入力面板と、側管の第2の開口側に設けられて、
入力面板と共に真空領域を規定するステムとを備え、加
圧変形自在な封止用金属で入力面板と側管との間を封止
し、封止用金属で封止した部分を環状の封止用金属支持
体で外側から包囲した電子管において、側管の端面に
は、入力面板を収容し且つ支持する環状の面板収容部が
切欠き形成され、封止用金属支持体は、入力面板の外面
に対峙して延在する環状の第1の封止板と、側管の外側
面に対峙すると共に第1の封止板から略直交して延在す
る環状の第2の封止板とからなることを特徴とする。
端部とを加圧変形自在な封止用金属(例えばインジウム
又はインジウムの合金)で接合させるにあたって、側管
の面板収容部内に入力面板を載置させた状態で、入力面
板の外面と側管の外側面とで形成されたコーナ部分を、
封止用金属支持体で包囲するように組み立てる。このと
き、第1の封止板と第2の封止板とからなる封止用金属
支持体の内壁面に封止用金属が配置されていることに起
因して、封止用金属は、第1の封止板により入力面板の
外面に延在すると同時に、第2の封止板により側管の外
側面にも延在するように変形する。その結果、入力面板
と側管とからなるコーナ部分を、封止用金属で外側から
包み込むことが可能になり、入力面板が側管から外れに
くくなるばかりか、電子管内の気密性保持に極めて有効
である。また、第1の封止板と入力面板の外面とを対峙
させているので、封止用金属支持体の第1の封止板を入
力面板に向けて加圧することができ、第1の封止板と入
力面板との間で挟まれた封止用金属に適切な圧力を加え
ることができる。従って、入力面板及び封止用金属支持
体に対する封止用金属のなじみ性が良くなり、電子管の
気密性が高まることになる。更に、第1の封止板を利用
して、低融点金属を加圧変形させることができるので、
ガラス製の入力面板を直接加圧する場合に比べて、電子
管の大量生産に適した構成といえる。
は、第1の封止板と入力面板との間で挟まれた封止用金
属を収容する環状の金属収容部が切欠き形成されている
と好ましい。このような構成を採用した場合、入力面板
に切欠き形成された金属収容部内に封止用金属が納まる
ことで、封止用金属が入力面板の外面に必要以上はみ出
すのを適切に阻止することができる。
の外面に向けて延び、入力面板の外面に当接する環状の
入力面板当接片が形成されていると好ましい。このよう
な構成を採用した場合、第1の封止板に設けられた入力
面板当接片が入力面板の外面に当接することで、第1の
封止板と入力面板との間に封止用金属が封入される。そ
の結果、封止用金属が入力面板の外面に必要以上はみ出
すのを適切に阻止することができる。
向すると共に入力面板を当接させる面板支持面と、入力
面板の周側面に対向すると共に面板支持面から立設する
切立ち面とから形成され、面板収容部の切立ち面と入力
面板の周側面とを当接させると好ましい。このような構
成を採用した場合、面板収容部の切立ち面で、入力面板
の周側面を位置決めすることができる。従って、電子管
の組み立て時において、側管に対する入力面板の確実な
芯出しが可能になる。
向すると共に入力面板を当接させる面板支持面と、入力
面板の周側面に対向すると共に面板支持面から立設する
切立ち面とから形成され、面板収容部の面板支持面と切
立ち面とが交わる環状のコーナラインと、入力面板の内
面と周側面とが交わる環状のコーナラインとを合致させ
ると好ましい。このような構成を採用した場合、側管に
対する入力面板の位置決めが可能になると同時に、面板
収容部の切立ち面の形状や入力面板の周側面の形状を任
意にすることができ、面板収容部の切立ち面と入力面板
の周側面との間に所望量の封止用金属を入り込ませるこ
とができる。
子管の好適な実施形態について詳細に説明する。
態を示す断面図である。同図に示すように、電子管1は
円筒状の側管10を有し、この側管10は、導電性の良
いコバール金属を利用して、プレス成形又は射出成形又
は切削加工等の様々な一体成形方法により作り出された
リング状のカソード電極11と、電気絶縁性材料(例え
ばセラミック)からなるリング状のバルブ12と、コバ
ール金属からなるリング状の溶接電極13と、バルブ1
2を2分割することで形成された第1バルブ12Aと第
2バルブ12Bとの間で、挟むようにして固定させたコ
バール金属製のリング状中間電極50とから構成され、
これら部材11,12,13及び50は互いに同心状に
積層配置されている。
は、カソード電極11と溶接電極13との間に設けら
れ、バルブ12の一端は、カソード電極11のフラット
な内端面11aに突き合わせた後、ろう付け等で固定さ
れ、バルブ12の他端は、溶接電極13のフラットな内
端面13aに突き合わせた後、ろう付け等で固定されて
いる。また、バルブ12は、第1バルブ12Aと第2バ
ルブ12Bとで中間電極50の外周端部を挟み、接合部
分にろう付け作業を施すことで形成される。従って、ろ
う付け作業により、側管10は簡単に一体化が図られる
ことになる。
接電極13の筒状本体13Aとは略同じ外形(この場合
「例えば直径14mmの円形」)に形成されている。従
って、側管10の外面から凹凸を無くすことができ、引
っ掛かりの無いシンプルな形状にすることができる。そ
の結果、狭い空間においても多数本の電子管を密に配列
させることができ、取り扱い易い電子管が可能になり、
しかも高圧に耐え得る構造を可能にしている。なお、リ
ング体をなすカソード電極11、バルブ12、中間電極
50及び溶接電極13の外形は多角形であってもよい。
ブ12の内周壁面12aより内側に位置し、バルブ12
の内径に対してカソード電極11の内径を小さくしてい
る。従って、後述する光電面22側の意図しない場所で
生じた迷走電子が、バルブ12に衝突するのを防止で
き、迷走電子の衝突により発生するバルブ12の帯電
や、これに起因する電子軌道への影響を無くすことがで
きる。この場合、カソード電極11は、電子管1のフォ
ーカス電極を兼ねているので、所定の電圧を電子管1に
印加したとき、有効径8mmの光電面22から放出した
電子は2mm程度の径に収束しながら、半導体素子40
に入射する必要がある。そこで、カソード電極11は、
内径10mm、長さ3mmが好適であり、セラミック製
の第1及び第2バルブ12A,12Bは、内径11m
m、長さ3mmが好適である。
周壁面12aから内方に突出し、中間電極50の開口部
50aの内径は、電子軌道に干渉しない範囲内で極力小
さくなっている(好適には7mmである)。従って、迷
走電子によるバルブ12の帯電が防止されると共に、仮
に何らかの理由でバルブ12が帯電しても、電子軌道に
近い空間の電位を中間電極50により固定させているの
で、バルブ12の帯電が電子軌道に悪影響を与えるのを
防止することができる。なお、中間電極50の厚さは、
0.5mmが好適である。
(例えばコバール金属)よりなる円盤状のステム31が
固設され、このステム31は、側管10の第2の開口1
5側に配置されている。ここで、溶接電極13の筒状本
体13Aの外端には、ステム31との接合に利用するた
めに外方に突出した円形の第1フランジ部13Bが形成
され、筒状本体13Aの内端には、バルブ12との接合
に利用するために内方に突出した円形の第2フランジ部
13Cが形成されている。また、ステム31の外周に
は、第1フランジ部13Bに嵌合させるための円形の切
欠き縁部31aが形成されている。従って、溶接電極1
3の第1フランジ部13Bをステム31の切欠き縁部3
1aに嵌合させ、抵抗溶接を施すだけの簡単な組立て作
業で、溶接電極13とステム31とを簡単に接合させる
ことができる。また、抵抗溶接中において、ステム31
に対する側管10の着座性は極めて良い。なお、ステム
31にはガラス34で絶縁した貫通ピン32が固定され
ている。
は、APD(アバランシェ・フォトダイオード)として
動作する半導体素子40が導電性の接着剤を介して固着
されている。半導体素子40の電子入射面44aの直径
は3mm程度であり、半導体素子40の所定の部位は、
ステム31と絶縁させた貫通ピン32に対してワイヤー
33により接続されている。更に、半導体素子40と中
間電極50との間には板状のアノード電極60が配置さ
れ、アノード電極60の外周端部は溶接電極13の第2
フランジ部13Cに固定されている。このアノード電極
60は、半導体素子40に近い側に位置すると共に、厚
さ0.3mmのステンレス製の薄板をプレス加工するこ
とで形成されている。なお、アノード電極60と半導体
素子40との間隔は1mmが好適である。
素子40の電子入射面44aに対峙させた開口部61が
形成されている。このアノード電極60には、開口部6
1を包囲するように突出した円筒状のコリメーター部
(コリメーター電極)62が一体に形成され、このコリ
メーター部62は、光電面22に向けて突出すると共
に、開口部61に対して同心的に配置されている。ま
た、コリメーター部62の内径は3.0mmが好適であ
り、この高さは1.3mmが好適である。なお、アノー
ド電極60は、溶接電極13の第2フランジ部13Cの
延長上に予め形成させておいて、溶接電極13がアノー
ド電極60を兼ねるように構成することも可能である。
0におけるカソード電極11には、光を透過させるガラ
ス製の入力面板21が固設され、この入力面板21は、
内側に光電面22を有すると共に、側管10の第1の開
口14側に配置されている。そして、この入力面板21
は、光電面22を作製した後、封止用金属として利用す
る加圧変形自在な低融点金属(例えば、取り扱い容易で
加工し易いインジウムそれ自体、インジウムを主成分と
する合金、鉛又は鉛合金)23を介してカソード電極1
1に一体化され、その結果、入力面板21と側管10の
端部との間は低融点金属23で封止される。また、低融
点金属23で封止した部分は、コバール金属からなる環
状の封止用金属支持体24で外側から包囲されている。
ム、ニッケル、銅の薄膜よりなる光電面電極25が配置
されているので、カソード電極11及び低融点金属23
を介して光電面22と封止用金属支持体24とが電気的
に接続される。この光電面電極25は、入力面板21の
周側面21aを作り出すように入力面板本体に蒸着さ
れ、光電面電極25が、低融点金属23に接する位置ま
で延びることで、低融点金属23と機械的に接触し、そ
の導通が積極的に確保される。また、光電面電極25の
内径8mmは光電面22の有効径を規定している。な
お、光電面電極25が、後述する面板収容部70の面板
支持部71にのみ接触し、そこで導通を確保するように
してもよい。また、封止用金属として、加圧変形可能な
金(Au)が利用されることもある。
電極11の開放側端面には、その内側に環状の面板収容
部70が切欠き形成されている。この面板収容部70
は、入力面板21を収容し且つ支持するために、入力面
板21の内面21Aを当接させる面板支持面71と、面
板支持面71から直角方向に立設する切立ち面72とか
ら形成されている。そして、切立ち面72と入力面板2
1の周側面21aとを当接させることで、側管10に対
する入力面板21の確実な芯出しや位置決めが可能にな
る。
外面21Bに対峙して延在する環状の第1の封止板73
と、側管10の外側面11cに対峙すると共に第1の封
止板73から略直交して延在する環状の第2の封止板7
4とからなっている。このように、金属支持体24は、
入力面板21と側管10とからなるコーナ部分を保護す
るような形状になっている。また、金属支持体24と入
力面板21及び側管10との間には低融点金属23が装
填され、この低融点金属23は、金属支持体24の内面
に沿うように、入力面板21の外面21Bから側管10
の外側面11cに亙って延在している。すなわち、低融
点金属23は、第1の封止板73により入力面板21の
外面21Bに沿って延在すると同時に、第2の封止板7
4により側管10の外側面11cにも沿って延在するこ
とになる。従って、入力面板21と側管10とからなる
コーナ部分を、その全周に亙って、低融点金属23で外
側から包み込むことが可能になり、入力面板21が側管
10から外れにくくなるばかりか、電子管1内の気密性
保持に極めて有効である。
の外周縁部に環状の金属収容部75が切欠き形成され、
第1の封止板73の内端には、金属収容部75の段差面
75aに向けて延びる環状の入力面板当接片76が一体
形成され、この入力面板当接片76が段差面75aに当
接することで、第1の封止板73の内壁面と入力面板2
1の段差面75aとの間に低融点金属23が封入され
る。従って、組立て時において、低融点金属23が入力
面板21の外面21Bに必要以上はみ出すのを、入力面
板当接片76で適切に阻止し、入力面板21上で確保す
べき光入射領域が、低融点金属23により汚染されるこ
とがない。また、仮に、入力面板当接片76を越えて、
低融点金属23が金属支持体24からはみ出した場合で
も、金属収容部75内に低融点金属23を収容すること
ができるので、低融点金属23が入力面板21の外面2
1Bに必要以上にはみ出すのが確実に阻止されることに
なる。
着性及び気密性を向上させるに当たって、入力面板21
の周側面21aと側管10の端部との間に、所定量の低
融点金属23を介在させることが必要になる。そこで、
カソード電極11の先端部に切欠き状の金属流入部77
を形成する。この金属流入部77は、低融点金属23の
流入を許容するように、入力面板21の周側面21aか
ら離間する位置に形成された突起部78により具現化さ
れている。この金属流入部77は、カソード電極11と
入力面板21との間で幅0.3mm程度の溝状に形成さ
れ、第1の封止板73側を開放することで低融点金属2
3の流入を可能にしている。
装置(図示せず)内で、側管10と入力面板21との間
を低融点金属23で封止する手順について簡単に説明す
る。なお、封止の際、トランスファー装置の内部は、低
融点金属23が溶融しない融点以下の温度(例えば常
温)状態に維持されている。
(I)で示すように、金属支持体24の第1及び第2の
封止板73及び74の内壁面にリング状の低融点金属2
3が当接するように、所定量の低融点金属23を金属支
持体24上に置く。その後、ステップ(II)で示すよう
に、低融点金属23と金属支持体24とを一体化させる
ために、500℃に一旦加熱して低融点金属23を溶解
させる。その後、ステップ(III)で示すように、低融
点金属23が冷めるのを待って、余剰な低融点金属23
をカッター等で削り取る。このように、低融点金属23
と金属支持体24とが一体化されたものを、トランスフ
ァ装置内に入れる。
0と、光電面22をもった入力面板21と、低融点金属
23をもった金属支持体24とを、トランスファ装置内
で組み立てるにあたって、先ず、カソード電極11の面
板収容部70に入力面板21を嵌め込む。その後、低融
点金属23が、入力面板21と側管10とからなるコー
ナー部分に被さるように、金属支持体24を入力面板2
1に向けて押し付ける。このとき、低融点金属23を変
形させながら、入力面板21に向けて第1の封止板73
を加圧するので、第1の封止板73と入力面板21との
間で挟まれた低融点金属23に適切な圧力が加わること
になる。また、その影響により、第2の封止板74とカ
ソード電極11との間の低融点金属23にも適切な圧力
が加わることになる。その結果、入力面板21及びカソ
ード電極11に対する低融点金属23のなじみ性が良く
なり、電子管1の気密性をアップさせる。
を直に押すことで、面板支持面71に対して、入力面板
21の内面21Aを圧着させることができるので、この
部分での気密保持が可能になる。このように、低融点金
属23を加圧変形させるにあたって、第1の封止板73
を利用しているので、ガラス製の入力面板21を治具等
で直接加圧する場合に比べて、電子管1の大量生産に適
した構造といえる。
ものではなく、例えば、図5に示すように、金属支持体
24Aには入力面板当接片76が設けられていない。こ
の場合でも、金属収容部75内に低融点金属23を収容
しているので、低融点金属23が、入力面板21の外面
21Bに必要以上にはみ出すことがなく、入力面板21
の光入射領域を低融点金属23で汚染することがない。
は金属収容部75が設けられていない。この場合、入力
面板当接片76が入力面板21の外面21Bに当接する
ことで、低融点金属23が、入力面板21の外面21B
に必要以上にはみ出すことがない。そして、図7に示す
ように、突起部78の長さを短くすることで、金属流入
部77の体積は小さくなるが、低融点金属23の充填量
を多くすることができる。
外面21Bにおいて、その最外周縁にL字状の切欠き面
79を形成し、面板収容部70の切立ち面72を、入力
面板21の外面21Bの位置まで立ち上げる。その結
果、切欠き面79と切立ち面72との協働で、断面矩形
の金属流入部80が形成されることになる。
1Bにおいて、その最外周縁にテーパ状の切欠き面81
を形成し、面板収容部70の切立ち面72を、入力面板
21の外面21Bの位置まで立ち上げる。その結果、切
欠き面81と切立ち面72との協働で、断面三角形状の
金属流入部82を形成することもできる。この場合、面
板収容部70の面板支持面71と切立ち面72とが交わ
る部分で形成される環状のコーナラインAと、入力面板
21の内面21Aと周側面21aとが交わる部分で形成
される環状のコーナラインBとを合致させることで、側
管10に対する入力面板21の位置決めが可能になる。
このような位置決め手段を採用することで、面板収容部
70の切立ち面72の形状や入力面板21の周側面21
aの形状を任意にでき、面板収容部70の切立ち面72
と入力面板21の周側面21aとの間に所望形状の金属
流入部82を作り出すことができ、この部分に、必要量
の低融点金属23を入り込ませることができる。
立ち面83をテーパ状に形成し、入力面板21の周側面
21aを外面21Bに対して直角にすることで、断面三
角形状の金属流入部84を形成することもできる。ま
た、面板収容部70のコーナラインAと、入力面板21
のコーナラインBとを合致させることで、側管10に対
する入力面板21の位置決めが可能になる。
は、入力面板21に対する正確な位置決め機能をもたな
い面板収容部85が形成されている。この面板収容部8
5は、入力面板21を収容し且つ支持するために、入力
面板21の内面21Aを当接させる面板支持面86と、
面板支持面86から直角方向に立設する切立ち面87と
から形成されている。そして、切立ち面87の径は、入
力面板21の周側面21aの径より大きく形成されるこ
とで、面板収容部85内に入力面板21がルーズに嵌め
込まれることになる。このような構成は、大量生産に最
も適しており、側管10と入力面板21との芯出しに厳
密な精度が要求されない場合や、製品の製造コストを下
げる場合に適している。なお、図12に示すように、入
力面板当接片76を設けない金属支持体24Aを、図1
1の電子管1に適用させてもよい。
−8型のパッケージサイズを有している。この光電子増
倍管90は、コバール金属からなる円筒状の側管91を
有し、この側管91は、板厚0.3mmのコバール金属
をプレス加工にて筒状に形成し、その全長は約10mm
に達する。側管91の一端には、光を透過させるガラス
製の入力面板92が固設され、この入力面板92は、そ
の内側にGaAs結晶の光電面93を有すると共に、側
管91の第1の開口94側に配置されている。
気と酸素とで活性化した後、封止用金属として利用する
低融点金属(例えば、インジウムそれ自体、インジウム
を主成分とする加圧変形自在な合金、鉛又は鉛合金)2
3を介して側管91に一体化され、その結果、入力面板
92と側管91との間は低融点金属23で封止される。
また、低融点金属23で封止した部分は、コバール金属
からなる環状の封止用金属支持体24で外側から包囲さ
れている。更に、光電面93の周辺部分には、光電面9
3と低融点金属23とを電気的に接続するように、クロ
ムの薄膜よりなる光電面電極96が配置されている。こ
の光電面電極96の内径は光電面93の有効径を規定し
ている。なお、封止用金属として、加圧変形可能な金
(Au)が利用される場合もある。
(例えばコバール金属)よりなる円盤状のステム97が
抵抗溶接により固定されている。このステム97は、側
管96の第2の開口98側に配置されると共に、ガラス
99で絶縁した複数の貫通ピン100を有している。ま
た、側管91内には、光電面93から放出した電子を増
倍させる積層型ダイノード101が配置され、ダイノー
ド101の各ダイノード部101a〜101hは抵抗溶
接により8段に亙って組付けられている。そして、各ダ
イノード部101a〜101hを各貫通ピン100の先
端に抵抗溶接で固定することで、ダイノード101は側
管91内で固定されることになる。また、最終段ダイノ
ード部101hの上方には、増倍した電子を収集して検
出する陽極部102が配置されている。
端部には、絞り成形により面板収容部103が形成さ
れ、この面板収容部103は、入力面板92を収容し且
つ支持するために、入力面板92の内面92Aを当接さ
せる面板支持面104と、面板支持面104から略直角
方向に立設する切立ち面105とから形成されている。
また、側管91の最端部を外側に広げることで、面板収
容部103の切立ち面105を、入力面板92の周側面
92aに対して離間させることができ、この離間部分が
金属流入部106となる。このように、側管91の端部
を折曲げ形成するだけで、面板収容部103や金属流入
部106を所望の形状にすることができ、簡単な設計変
更で、種々の製品に対応させることができる。
成されているため、次のような効果を得る。すなわち、
側管の端面には、入力面板を収容し且つ支持する環状の
面板収容部が切欠き形成され、封止用金属支持体は、入
力面板の外面に対峙して延在する環状の第1の封止板
と、側管の外側面に対峙すると共に第1の封止板から略
直交して延在する環状の第2の封止板とからなるので、
電子管の気密性が良好になる。そして、第1の封止板を
利用して、低融点金属を加圧変形させることができるの
で、電子管の大量生産が可能となる。
面図である。
ある。
示す断面図である。
大断面図である。
部拡大断面図である。
部拡大断面図である。
部拡大断面図である。
部拡大断面図である。
部拡大断面図である。
要部拡大断面図である。
要部拡大断面図である。
要部拡大断面図である。
す断面図である。
ある。
…側管、10c…側管の外側面、12,98…第2の開
口、14,94…第1の開口、21,92…入力面板、
21a,92a…入力面板の周側面、21A,92A…
入力面板の内面、21B…入力面板の外面、22,93
…光電面、23…封止用金属(低融点金属)、24,2
4A…封止用金属支持体、31,97…ステム、71,
86,104…面板支持面、72,87,105…切立
ち面、73…第1の封止板、74…第2の封止板、75
…金属収容部、76…入力面板当接片、77,80,8
2,106…金属流入部。
Claims (5)
- 【請求項1】 第1の開口と前記第1の開口と反対側に
位置する第2の開口とを有する側管と、 前記側管の前記第1の開口側に設けられて、入射した光
に応じて電子を放出する光電面をもった入力面板と、 前記側管の前記第2の開口側に設けられて、前記入力面
板と共に真空領域を規定するステムとを備え、 加圧変形自在な封止用金属で前記入力面板と前記側管と
の間を封止し、前記封止用金属で封止した部分を環状の
封止用金属支持体で外側から包囲した電子管において、 前記側管の端面には、前記入力面板を収容し且つ支持す
る環状の面板収容部が切欠き形成され、前記封止用金属
支持体は、前記入力面板の外面に対峙して延在する環状
の第1の封止板と、前記側管の外側面に対峙すると共に
前記第1の封止板から略直交して延在する環状の第2の
封止板とからなることを特徴とする電子管。 - 【請求項2】 前記入力面板の前記外面の外周縁部に
は、前記第1の封止板と前記入力面板との間で挟まれた
前記封止用金属を収容する環状の金属収容部が切欠き形
成されていることを特徴とする請求項1記載の電子管。 - 【請求項3】 前記第1の封止板の内端には、前記入力
面板の前記外面に向けて延び、前記入力面板の前記外面
に当接する環状の入力面板当接片が形成されていること
を特徴とする請求項1又は2記載の電子管。 - 【請求項4】 前記面板収容部は、前記入力面板の内面
に対向すると共に前記入力面板を当接させる面板支持面
と、前記入力面板の周側面に対向すると共に前記面板支
持面から立設する切立ち面とから形成され、前記面板収
容部の前記切立ち面と前記入力面板の前記周側面とを当
接させたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項
記載の電子管。 - 【請求項5】 前記面板収容部は、前記入力面板の内面
に対向すると共に前記入力面板を当接させる面板支持面
と、前記入力面板の周側面に対向すると共に前記面板支
持面から立設する切立ち面とから形成され、前記面板収
容部の前記面板支持面と前記切立ち面とが交わる環状の
コーナラインと、前記入力面板の前記内面と前記周側面
とが交わる環状のコーナラインとを合致させたことを特
徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の電子管。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006046616A1 (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-04 | Hamamatsu Photonics K.K. | 光電子増倍管及びそれを含む放射線検出装置 |
WO2007111072A1 (ja) | 2006-03-29 | 2007-10-04 | Hamamatsu Photonics K.K. | 光電変換デバイスの製造方法 |
WO2017017811A1 (ja) * | 2015-07-29 | 2017-02-02 | パイオニア株式会社 | 撮像装置 |
JP2021027033A (ja) * | 2020-07-08 | 2021-02-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | イオン検出器、測定装置および質量分析装置 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6297489B1 (en) * | 1996-05-02 | 2001-10-02 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electron tube having a photoelectron confining mechanism |
US8267767B2 (en) * | 2001-08-09 | 2012-09-18 | Igt | 3-D reels and 3-D wheels in a gaming machine |
US7141926B2 (en) * | 2004-08-10 | 2006-11-28 | Burle Technologies, Inc. | Photomultiplier tube with improved light collection |
CN104733272A (zh) * | 2015-03-26 | 2015-06-24 | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 | 一种用于混合型光电探测器的电子光学*** |
US20210292247A1 (en) * | 2018-08-30 | 2021-09-23 | Kyocera Corporation | Ceramic structural body |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3153839A (en) * | 1962-01-11 | 1964-10-27 | Rauland Corp | Method of forming vacuum seals |
US3767283A (en) * | 1970-05-07 | 1973-10-23 | Emi Ltd | Improvements in or relating to electron discharge devices |
US4030789A (en) * | 1974-06-14 | 1977-06-21 | U.S. Philips Corporation | Method of manufacturing an electric discharge tube |
JPS5416167A (en) * | 1977-07-06 | 1979-02-06 | Akai Electric | Method of sealing electron tube |
JPS57136748A (en) * | 1981-02-18 | 1982-08-23 | Hitachi Ltd | Image pickup tube |
NL8204238A (nl) * | 1982-11-02 | 1984-06-01 | Philips Nv | Elektronenbuis en werkwijze voor het vervaardigen van deze elektronenbuis. |
US4608517A (en) * | 1984-06-28 | 1986-08-26 | Rca Corporation | Faceplate assembly having integral gauging means |
JPS61211941A (ja) * | 1985-03-18 | 1986-09-20 | Hitachi Ltd | 静電偏向撮像管 |
JPS63119141A (ja) * | 1986-11-07 | 1988-05-23 | Hitachi Ltd | 撮像管用タ−ゲツト |
JPH03133037A (ja) * | 1989-10-17 | 1991-06-06 | Nec Corp | 近接型イメージ管 |
JPH0458444A (ja) * | 1990-06-26 | 1992-02-25 | Nec Corp | イメージ管の封止構造 |
JPH06138439A (ja) * | 1992-10-27 | 1994-05-20 | Sharp Corp | 液晶表示装置 |
US5475227A (en) * | 1992-12-17 | 1995-12-12 | Intevac, Inc. | Hybrid photomultiplier tube with ion deflector |
-
1997
- 1997-02-21 JP JP03811297A patent/JP3626313B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-02-20 DE DE69813654T patent/DE69813654T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-02-20 US US09/027,206 patent/US6008579A/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-02-20 EP EP98301270A patent/EP0860857B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006046616A1 (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-04 | Hamamatsu Photonics K.K. | 光電子増倍管及びそれを含む放射線検出装置 |
JP2006127982A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Hamamatsu Photonics Kk | 光電子増倍管及び放射線検出装置 |
WO2007111072A1 (ja) | 2006-03-29 | 2007-10-04 | Hamamatsu Photonics K.K. | 光電変換デバイスの製造方法 |
US7867807B2 (en) | 2006-03-29 | 2011-01-11 | Hamamatsu Photonics K.K. | Method for manufacturing photoelectric converting device |
WO2017017811A1 (ja) * | 2015-07-29 | 2017-02-02 | パイオニア株式会社 | 撮像装置 |
JP2021027033A (ja) * | 2020-07-08 | 2021-02-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | イオン検出器、測定装置および質量分析装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6008579A (en) | 1999-12-28 |
JP3626313B2 (ja) | 2005-03-09 |
DE69813654T2 (de) | 2004-03-04 |
DE69813654D1 (de) | 2003-05-28 |
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EP0860857B1 (en) | 2003-04-23 |
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