JPS59134621A - 放電加工装置 - Google Patents
放電加工装置Info
- Publication number
- JPS59134621A JPS59134621A JP677983A JP677983A JPS59134621A JP S59134621 A JPS59134621 A JP S59134621A JP 677983 A JP677983 A JP 677983A JP 677983 A JP677983 A JP 677983A JP S59134621 A JPS59134621 A JP S59134621A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- machining
- pulse
- power source
- processing
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
- B23H7/02—Wire-cutting
- B23H7/04—Apparatus for supplying current to working gap; Electric circuits specially adapted therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電極と被加工体を対向した間隙にパルス放電を
行なって加工する放電加工装置、ワイヤカット放電加工
装置、放電を利用しＩＣＣ研削エニー装置改良に係る。
行なって加工する放電加工装置、ワイヤカット放電加工
装置、放電を利用しＩＣＣ研削エニー装置改良に係る。
電極、被加工体の加工間隙にパルス放電を゛繰返すとき
、電極加工面に炭化物とか加工屑等が付着して形状変形
により加工精度が低下したり、付着物を介してアーク放
電が発生し加ニーが進まなかった。り断線する。また付
着物により目詰りを起して研削加工が低下するといった
事が起る。
、電極加工面に炭化物とか加工屑等が付着して形状変形
により加工精度が低下したり、付着物を介してアーク放
電が発生し加ニーが進まなかった。り断線する。また付
着物により目詰りを起して研削加工が低下するといった
事が起る。
このため従来、加工用電源に被加工体側を陽極とする正
極性パルスと被加工体側を陰極とする負極性パルスとを
有するパルスを供給する電源を用いることが試みられて
いる。しかしながら正極性パルスと負極性パルスの電流
波高値が等しい場合電極の消耗量が増加し、その分波加
工体の加工量が減少して結果的に加工速度が低下する欠
点がある。
極性パルスと被加工体側を陰極とする負極性パルスとを
有するパルスを供給する電源を用いることが試みられて
いる。しかしながら正極性パルスと負極性パルスの電流
波高値が等しい場合電極の消耗量が増加し、その分波加
工体の加工量が減少して結果的に加工速度が低下する欠
点がある。
本発明はこの欠点を除去するために、加工用電源の出力
に出力パルスの正極性パルス電流波高値と負極性パルス
−電流波高値との一方若しくは両方を変更制御する回路
を設けたものである。
に出力パルスの正極性パルス電流波高値と負極性パルス
−電流波高値との一方若しくは両方を変更制御する回路
を設けたものである。
以下図面の一実施例により本発明を説明する。
第１図において、１はワイヤ電極で、リール２．から供
給され他方のリール３に巻取られる。４は加工部上下の
ガイドで、リール２から供給されたワイヤ１がこのガイ
ド４間を所定の張力と速度をもって走行移動しリール３
に巻取られる。５がキャプスタン、６がブレーキ、７が
ガイド４間のワイヤ電極１に対向させた被加工体で、通
常図示しないテーブルに固定され、テーブルはＮＣ制御
装置により制御されるＸ−Ｙ平面方向の送りモータによ
り駆動制御される。８はワイヤ電極１と被加工体７の対
向間隙に正極性パルス及び負極性パルスを交互に供給す
る加工用電源、９はコンデンサ１０とスイッチ素子１１
との直列回路と、及びダイオード１２の単極性１〜リガ
回路とからなる正極性パルス電流波高値の増大制御する
回路で、加工用型＃ｉ８の出力に並列接続しである。１
３は加工間隙に並列接−統したコンデンサである。
給され他方のリール３に巻取られる。４は加工部上下の
ガイドで、リール２から供給されたワイヤ１がこのガイ
ド４間を所定の張力と速度をもって走行移動しリール３
に巻取られる。５がキャプスタン、６がブレーキ、７が
ガイド４間のワイヤ電極１に対向させた被加工体で、通
常図示しないテーブルに固定され、テーブルはＮＣ制御
装置により制御されるＸ−Ｙ平面方向の送りモータによ
り駆動制御される。８はワイヤ電極１と被加工体７の対
向間隙に正極性パルス及び負極性パルスを交互に供給す
る加工用電源、９はコンデンサ１０とスイッチ素子１１
との直列回路と、及びダイオード１２の単極性１〜リガ
回路とからなる正極性パルス電流波高値の増大制御する
回路で、加工用型＃ｉ８の出力に並列接続しである。１
３は加工間隙に並列接−統したコンデンサである。
加工用電源８の出ノｊパルスは第２図に示すように正、
逆交互にパルス出力する。出力パルスはワイヤ１と被加
工体７間に加わって放電を行ない相対移動形状の切断加
工が行なわれる。しかるにワイヤと被加工体間に流れる
パルス電流は、加工用電源８から出力するパルスが被加
工体７を陽極とする正極性パルスが出力するときはダイ
オード１２を通してスイッチ１１にトリガ電圧が加わり
、スイン、チ１１オンしてコンデンサ１０を充電すると
共に充電電荷の放電が行なわれる。このコンデンサ１０
の放電電流は常時充放電を繰返すコンデンサ１３の放電
に重畳するから正極パルスの放電電流波高値は増大する
。次に加工用電源８から被加工体７を陰極とする負極性
パルスが出力するときはスイッチ１１はトリガされない
からコンデンサ１０は充電されずコンデンサ１３だけの
放電が行なわれ負極性パルス電流波高値は低く制御され
る。なおコンデンサ１０及び１３の容量の選択によって
電流波高値は任意に選択制御され、正極性パルス電流波
高値ど負極性パルス電流波高値の変更制御が行なえる。
逆交互にパルス出力する。出力パルスはワイヤ１と被加
工体７間に加わって放電を行ない相対移動形状の切断加
工が行なわれる。しかるにワイヤと被加工体間に流れる
パルス電流は、加工用電源８から出力するパルスが被加
工体７を陽極とする正極性パルスが出力するときはダイ
オード１２を通してスイッチ１１にトリガ電圧が加わり
、スイン、チ１１オンしてコンデンサ１０を充電すると
共に充電電荷の放電が行なわれる。このコンデンサ１０
の放電電流は常時充放電を繰返すコンデンサ１３の放電
に重畳するから正極パルスの放電電流波高値は増大する
。次に加工用電源８から被加工体７を陰極とする負極性
パルスが出力するときはスイッチ１１はトリガされない
からコンデンサ１０は充電されずコンデンサ１３だけの
放電が行なわれ負極性パルス電流波高値は低く制御され
る。なおコンデンサ１０及び１３の容量の選択によって
電流波高値は任意に選択制御され、正極性パルス電流波
高値ど負極性パルス電流波高値の変更制御が行なえる。
一般に被加工体側を陽極とする正極性パルスだけで加工
した場合、勿論諸種加工条件によって異なるが、例えば
加工平均電流が１５０Ａ ／ ｃｍ ２の加工において
、被加工体の加工量と電極の消耗量との比率はｌ ：
０，３程度である。従って加工速度への寄与率−は全
加工量（被加工体加工聞＋電極消耗量）の約６０％程度
にしかならない。そこで逆極性パルスを加えてやれば電
極に金属等の付着があるが、その付＠量が増大すること
によって加工速度はかえって低下する。
した場合、勿論諸種加工条件によって異なるが、例えば
加工平均電流が１５０Ａ ／ ｃｍ ２の加工において
、被加工体の加工量と電極の消耗量との比率はｌ ：
０，３程度である。従って加工速度への寄与率−は全
加工量（被加工体加工聞＋電極消耗量）の約６０％程度
にしかならない。そこで逆極性パルスを加えてやれば電
極に金属等の付着があるが、その付＠量が増大すること
によって加工速度はかえって低下する。
そこで本発明により正極性パルス電流を大きく負極性パ
ルス電流を小さく制御する。即ち、実施例図におけるコ
ンデンサ１０を２μｍ：とし、コンデンサ１３を０．０
１μＦとした場合加工速度の率は８５％程度になった。
ルス電流を小さく制御する。即ち、実施例図におけるコ
ンデンサ１０を２μｍ：とし、コンデンサ１３を０．０
１μＦとした場合加工速度の率は８５％程度になった。
このように本発明では電極の消耗をなくし、また（＝Ｊ
看量を少なくして加工速度を高めることが容易にできる
。
看量を少なくして加工速度を高めることが容易にできる
。
第３図は、パルス放電電流の波高値を変更制御する回路
の他の実施例で、（ａ ”１図はコンデンサト０１とス
イッチ１１１の直列回路に、スイッチ１１１に並列にイ
ンダクタンス１１２を接続した回路である。スイッチ１
１１は第１図のスイッチ１１と同様に正極性パルスが加
えられたとき導通ずるようゲート回路が形成されている
。（ｂ）図は更にインダクタンス１１２に並列にコンデ
ンサ１１３を接続した回路、（Ｃ）、（ｄ ）図はスイ
ッチ１１１の代りに単方向性ダイオード１１４を用いた
例である。
の他の実施例で、（ａ ”１図はコンデンサト０１とス
イッチ１１１の直列回路に、スイッチ１１１に並列にイ
ンダクタンス１１２を接続した回路である。スイッチ１
１１は第１図のスイッチ１１と同様に正極性パルスが加
えられたとき導通ずるようゲート回路が形成されている
。（ｂ）図は更にインダクタンス１１２に並列にコンデ
ンサ１１３を接続した回路、（Ｃ）、（ｄ ）図はスイ
ッチ１１１の代りに単方向性ダイオード１１４を用いた
例である。
次に、具体的に実施例を説明すれば、線径０．２■φの
銅線をワイヤ電極とし、被加工体に８５５０材の厚さ２
．５ ｍ ｍの板材のワイヤカットを行なうとき、加工
液には比抵抗が約４０ｘ １（１０ｃｍの水を用い、加
工パルスがτｏｎ４μＳ、１ｐ１Ｂ０Ａ〒キ嗜、 の条
件で、正極性パルス加工にお いて加工速度が約３２１１ＩＩｌｌ／ｍｉｎであった。
銅線をワイヤ電極とし、被加工体に８５５０材の厚さ２
．５ ｍ ｍの板材のワイヤカットを行なうとき、加工
液には比抵抗が約４０ｘ １（１０ｃｍの水を用い、加
工パルスがτｏｎ４μＳ、１ｐ１Ｂ０Ａ〒キ嗜、 の条
件で、正極性パルス加工にお いて加工速度が約３２１１ＩＩｌｌ／ｍｉｎであった。
この場合のワイヤ電極の走行移動速度は６ｍ ／ｎ＋ｔ
ｎであった。そこで負極性パルスを３０％加える加工用
電源を用いたときワイヤの走行速度を２ｍ／ｍｉｎに低
下させることができたが、加工速度は約２３ｍｍ／ｍｉ
ｎに低下した。
ｎであった。そこで負極性パルスを３０％加える加工用
電源を用いたときワイヤの走行速度を２ｍ／ｍｉｎに低
下させることができたが、加工速度は約２３ｍｍ／ｍｉ
ｎに低下した。
これを本発明により前記加工用電源の出力に第３図（ａ
）図の回路を接続し、コンデンサ１０１に１．４μＦ
１インダクタンス１１２に３．６μＨを用いスイッチ１
１１に高速トランジスタスイッチを用いたとき、加工速
度は約３１１／１ｎになった。また第３図（ｂ ）図の
回路を用い、コンデンサ１１３に０．０６μＦを用いた
ときも加工速度はほとんど同じであった。またいずれの
回路を用いた場合においてもワイヤの走行移動速度は２
１１１ ／ｍｉｎで断線することなく安定した加工が行
なわれた。
）図の回路を接続し、コンデンサ１０１に１．４μＦ
１インダクタンス１１２に３．６μＨを用いスイッチ１
１１に高速トランジスタスイッチを用いたとき、加工速
度は約３１１／１ｎになった。また第３図（ｂ ）図の
回路を用い、コンデンサ１１３に０．０６μＦを用いた
ときも加工速度はほとんど同じであった。またいずれの
回路を用いた場合においてもワイヤの走行移動速度は２
１１１ ／ｍｉｎで断線することなく安定した加工が行
なわれた。
以上のように本発明は電極消耗を少なくし且つ加工速度
を高めることができる効果があり、ワイヤカットにおい
てはワイヤの使用量を少なくして能率の高い加工ができ
、また加工形状電極を用いる型彫加工においては電極使
用量を少なくして精度の高い加工ができる等実用上効果
が大ぎい。
を高めることができる効果があり、ワイヤカットにおい
てはワイヤの使用量を少なくして能率の高い加工ができ
、また加工形状電極を用いる型彫加工においては電極使
用量を少なくして精度の高い加工ができる等実用上効果
が大ぎい。
なお加工用電源は矩形波パルスを出力するものに限らず
用いることができ、コンデンサと併用して所定極性パル
ス電流の波高値を変更制御するスイッチ、ダイオード等
も同様の機能素子を適宜用い−ることができる。
用いることができ、コンデンサと併用して所定極性パル
ス電流の波高値を変更制御するスイッチ、ダイオード等
も同様の機能素子を適宜用い−ることができる。
第１図は本発明の一実施例図、第２図はその一部機能の
説明図、第３図は他の実施例の一部回路説明図である。 １・・・・・・・・・ワイヤ電極 ７・・・・・・・・・被加工体 ８・・・・・・・・・加工用電源 １０・・・・・・・・・コンデンサ １１・・・・・・・・・スイッチ １２・・・・・・・・・ダイオード １３・・・・・・・・・コンデンサ １０１・・・・・・・・・コンデンサ １１１・・・・・・・・・スイッチ １１２・・・・・・・・・インダクタンス１１３・・・
・・・・・・コンデンサ １１４・・・・・・・・・ダイオード 特 許 出 願 人 株式会社井上ジャパックス研究所 代表者 井 上 潔 ；Ｔｉｔ硝 イ２Ｉ男 ’ｊａｙ ｌ謳１１ ） ２ １’ｆ ２
説明図、第３図は他の実施例の一部回路説明図である。 １・・・・・・・・・ワイヤ電極 ７・・・・・・・・・被加工体 ８・・・・・・・・・加工用電源 １０・・・・・・・・・コンデンサ １１・・・・・・・・・スイッチ １２・・・・・・・・・ダイオード １３・・・・・・・・・コンデンサ １０１・・・・・・・・・コンデンサ １１１・・・・・・・・・スイッチ １１２・・・・・・・・・インダクタンス１１３・・・
・・・・・・コンデンサ １１４・・・・・・・・・ダイオード 特 許 出 願 人 株式会社井上ジャパックス研究所 代表者 井 上 潔 ；Ｔｉｔ硝 イ２Ｉ男 ’ｊａｙ ｌ謳１１ ） ２ １’ｆ ２
Claims (1)
- 電極と被加工体を対向した加工間隙にパルスを加えて放
電加工する放電加工装置において、前記加工間隙に被加
工体側を陽極とする正極性パルスと被加工体側を陰極と
する負極性パルスとを有するパルスを加える加工用電源
を設け、該加工用電源の出力に出力パルスの正極性パル
ス電流波高値と負極性パルス電流波高値との一方若しく
は両方を変更制御する回路を設けたことを特徴とする放
電加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP677983A JPS59134621A (ja) | 1983-01-18 | 1983-01-18 | 放電加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP677983A JPS59134621A (ja) | 1983-01-18 | 1983-01-18 | 放電加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59134621A true JPS59134621A (ja) | 1984-08-02 |
Family
ID=11647657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP677983A Pending JPS59134621A (ja) | 1983-01-18 | 1983-01-18 | 放電加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59134621A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5874703A (en) * | 1994-09-15 | 1999-02-23 | Agie Sa | Method and apparatus for impulse generator for electroerosive machining of workpieces |
| US20110114604A1 (en) * | 2008-07-24 | 2011-05-19 | Mitsubishi Electric Corporation | Electric discharge machining apparatus, electric discharge machining method, and semiconductor substrate manufacturing method |
| JP2012125880A (ja) * | 2010-12-15 | 2012-07-05 | Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd | マルチワイヤ放電加工装置及びそれを用いた炭化ケイ素板の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51108397A (ja) * | 1975-03-20 | 1976-09-25 | Inoue Japax Res | Hodenkakosochi |
-
1983
- 1983-01-18 JP JP677983A patent/JPS59134621A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51108397A (ja) * | 1975-03-20 | 1976-09-25 | Inoue Japax Res | Hodenkakosochi |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5874703A (en) * | 1994-09-15 | 1999-02-23 | Agie Sa | Method and apparatus for impulse generator for electroerosive machining of workpieces |
| US20110114604A1 (en) * | 2008-07-24 | 2011-05-19 | Mitsubishi Electric Corporation | Electric discharge machining apparatus, electric discharge machining method, and semiconductor substrate manufacturing method |
| US9550245B2 (en) * | 2008-07-24 | 2017-01-24 | Mitsubishi Electric Corporation | Electric discharge machining apparatus, electric discharge machining method, and semiconductor substrate manufacturing method |
| JP2012125880A (ja) * | 2010-12-15 | 2012-07-05 | Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd | マルチワイヤ放電加工装置及びそれを用いた炭化ケイ素板の製造方法 |
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