JPS5863829A - 差圧測定装置 - Google Patents
差圧測定装置Info
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- JPS5863829A JPS5863829A JP16358781A JP16358781A JPS5863829A JP S5863829 A JPS5863829 A JP S5863829A JP 16358781 A JP16358781 A JP 16358781A JP 16358781 A JP16358781 A JP 16358781A JP S5863829 A JPS5863829 A JP S5863829A
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- JP
- Japan
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- electrode
- fixed
- movable electrode
- screw
- perot
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は差圧測定装置に関するものである。更に詳述す
れば、ペローの内外にそれぞれ測定圧を加え、ペローの
自由端の変位を電気容量の変化として検出する電気容量
検出方式の差圧測定装置に関するものである。
れば、ペローの内外にそれぞれ測定圧を加え、ペローの
自由端の変位を電気容量の変化として検出する電気容量
検出方式の差圧測定装置に関するものである。
近年、容量検出方式の差圧測定装置としては、ストレッ
チダイアフラムを圧力−変位変換要素として用いたもの
が多用されている。
チダイアフラムを圧力−変位変換要素として用いたもの
が多用されている。
このようなものにおいては、ダイアフラムには常に一定
の引張力が加えられていなければならない。このため、
ダイアフラムを固定するカプセル本体やカプセルを固定
するノ・ウジングは、周囲温度等の変化によって、ダイ
アフラムの引張力に悪影響を与えないように、ダイアプ
ラムの線膨張係数に合わせた高価な材料を用いねばなら
ず高価なものとなる。
の引張力が加えられていなければならない。このため、
ダイアフラムを固定するカプセル本体やカプセルを固定
するノ・ウジングは、周囲温度等の変化によって、ダイ
アフラムの引張力に悪影響を与えないように、ダイアプ
ラムの線膨張係数に合わせた高価な材料を用いねばなら
ず高価なものとなる。
次に、差圧伝送器においては、大きな静圧で使用される
ことが多い。このような場合には、大きなり圧によって
ハウジングがダイアフラムの半径方向に膨らみ、ダイア
フラムを引張り、ダイアフラムが剛くなる、このため静
圧スパンシフトを生ずる。また、大きな静圧に耐えるよ
うにするためにハウジング等は、ボルト等によυ強く締
めて組み立てられるが、この締付力もダイアフラムに影
響を及ぼしスパンシフトとして特性に悪影響を及ぼす。
ことが多い。このような場合には、大きなり圧によって
ハウジングがダイアフラムの半径方向に膨らみ、ダイア
フラムを引張り、ダイアフラムが剛くなる、このため静
圧スパンシフトを生ずる。また、大きな静圧に耐えるよ
うにするためにハウジング等は、ボルト等によυ強く締
めて組み立てられるが、この締付力もダイアフラムに影
響を及ぼしスパンシフトとして特性に悪影響を及ぼす。
更に、電気容量検出方式の差圧測定装置においては、測
定ダイアフラムを可動電極とし、測定ダイアフラムの両
側に対向して固定電極を配置して、変位を差動的に処理
するのが一般的であり、可動電極は固定電極間の中央に
正確に配置することが望オしい。次に、可動電極は固定
電極に対して平行に配置されることが望せしい。しかし
ながら、可動電極間は固定電極間の間に配置されている
ので斜に配置されていても出力としては面全体として平
均化されて出力が表われるので、組立て時に簡単にこれ
を知ることは困雉である。
定ダイアフラムを可動電極とし、測定ダイアフラムの両
側に対向して固定電極を配置して、変位を差動的に処理
するのが一般的であり、可動電極は固定電極間の中央に
正確に配置することが望オしい。次に、可動電極は固定
電極に対して平行に配置されることが望せしい。しかし
ながら、可動電極間は固定電極間の間に配置されている
ので斜に配置されていても出力としては面全体として平
均化されて出力が表われるので、組立て時に簡単にこれ
を知ることは困雉である。
本発明は、これ等の問題点を解決したものである。
本発明の目的は、静圧スパン誤差、温度スパン誤差、締
付はスパン誤差の少く、零点調整可能で、かつ、組立て
時に固定電極と可動電極が容易に、平行に組み立て可能
な差圧測定装置を提供するにある。
付はスパン誤差の少く、零点調整可能で、かつ、組立て
時に固定電極と可動電極が容易に、平行に組み立て可能
な差圧測定装置を提供するにある。
第１図は、本発明の一実施例の構成説明図である。
図において、１はカプセルユニットで、ペロー１１、可
動電極１２．スペーサー１３．絶縁体１４．１５と固定
電極１６．１７よ沙なる。ベロー１１の自由端１１．１
には、ベロー１１の軸に直交して板状の可動電極１２が
固定されている。可動電極１２のペローの自由端１１１
への固定部附近には、第２図に示す如く、同心状に半円
形の溝１２２が多数段けられ、オーバーレンジ可撓部１
２コが構成されている。絶縁体１４゜１５は円板状をな
し、可動電極１２の両側にそれぞれ対向して配置され、
その周辺部において、リング状のスペーサ１３が挾持さ
れている。固定用電極１６゜１７はリング状を表し、可
動電極１２に対向して、絶縁体１．４．１５の表面に配
置され、この場合は、真空蒸着により形成されている。
動電極１２．スペーサー１３．絶縁体１４．１５と固定
電極１６．１７よ沙なる。ベロー１１の自由端１１．１
には、ベロー１１の軸に直交して板状の可動電極１２が
固定されている。可動電極１２のペローの自由端１１１
への固定部附近には、第２図に示す如く、同心状に半円
形の溝１２２が多数段けられ、オーバーレンジ可撓部１
２コが構成されている。絶縁体１４゜１５は円板状をな
し、可動電極１２の両側にそれぞれ対向して配置され、
その周辺部において、リング状のスペーサ１３が挾持さ
れている。固定用電極１６゜１７はリング状を表し、可
動電極１２に対向して、絶縁体１．４．１５の表面に配
置され、この場合は、真空蒸着により形成されている。
而して、固定電極１６゜（１７）は、第５図に示す如く
放射状に設けられた絶縁部１６３ （１７３）によりこ
の場合は３個の電極部１６４゜１６５、１６６ （１７
４，１７５，１７６）に分けられている。而して、電極
部１６４．１６５．１６６ （１７４，１７５，１７６
）は電気的に一個の電極となるように、図の裏側に導き
出されたリード（図示せず）よりなる連結部１６７（１
７７）によシミ気菌に連結されている。
放射状に設けられた絶縁部１６３ （１７３）によりこ
の場合は３個の電極部１６４゜１６５、１６６ （１７
４，１７５，１７６）に分けられている。而して、電極
部１６４．１６５．１６６ （１７４，１７５，１７６
）は電気的に一個の電極となるように、図の裏側に導き
出されたリード（図示せず）よりなる連結部１６７（１
７７）によシミ気菌に連結されている。
２はハウジングユニットで、円柱状のハウジング本体２
１．２２とシールダイアフラム２３．２４と、リング状
のシール押え２５．２６より彦る０ハウジング本体２１
．２２はその凹部２１：Ｌ、 ２２１によりカプセルユ
ニット１を内蔵すると共に、その外周縁部において、互
に一体的になるよりに溶接２７されている。
１．２２とシールダイアフラム２３．２４と、リング状
のシール押え２５．２６より彦る０ハウジング本体２１
．２２はその凹部２１：Ｌ、 ２２１によりカプセルユ
ニット１を内蔵すると共に、その外周縁部において、互
に一体的になるよりに溶接２７されている。
ハウジング本体２１．２２の外側表面部２１２．２２２
には同心円状の波型面が形成されている。而して、ペロ
ー１１の固定端１１２は、ハウジング本体２１の外事面
部２１２において溶接工１３固定されている。而して、
ベロー１１の外側とハウジング本体２１，２２．絶縁体
１４，１５．スペーサー１３とによυ室３１が形成され
る。シールダイアフラム２３．２４はハウジング本体２
１．２２の外事面２１２．２２２をそれぞれ覆い、ハウ
ジング本体２１．２２とそれぞれ室２３１．２４１を形
成し、その周縁部はシール押え２５．２６によりハウジ
ング本体２１．２２に固定されている。３２は、ベロー
１１内部と室２３１を連通する連通孔である。３３は室
３１と室２４１を連通する連通孔である。４はペロ−１
１内部と連通孔３２と室２３１を満すシリコンオイル等
の封入液、５は室３１と連通孔３３と室２４１を；肯す
シリコンオイル等の封入液である。６，７は、それぞれ
シールダイアフラム２３．２４とシール押え２５．２６
を覆い、測定室６１．７１を形成するカバーである。
には同心円状の波型面が形成されている。而して、ペロ
ー１１の固定端１１２は、ハウジング本体２１の外事面
部２１２において溶接工１３固定されている。而して、
ベロー１１の外側とハウジング本体２１，２２．絶縁体
１４，１５．スペーサー１３とによυ室３１が形成され
る。シールダイアフラム２３．２４はハウジング本体２
１．２２の外事面２１２．２２２をそれぞれ覆い、ハウ
ジング本体２１．２２とそれぞれ室２３１．２４１を形
成し、その周縁部はシール押え２５．２６によりハウジ
ング本体２１．２２に固定されている。３２は、ベロー
１１内部と室２３１を連通する連通孔である。３３は室
３１と室２４１を連通する連通孔である。４はペロ−１
１内部と連通孔３２と室２３１を満すシリコンオイル等
の封入液、５は室３１と連通孔３３と室２４１を；肯す
シリコンオイル等の封入液である。６，７は、それぞれ
シールダイアフラム２３．２４とシール押え２５．２６
を覆い、測定室６１．７１を形成するカバーである。
６１１、７１１は測定室６１．７１に測定圧を導入する
導入孔である。１６１．１７１は固定電極１６．１７よ
り外部に引き出されたリードで、ハウジング２からの取
出し目部分に於ては、バーメチ、クシール１−６２．１
７２されている。８は零点調整機構で、スクリュー８１
とスプリング８２とよりなる。スクリー−８１は、第３
図、第４図に示す如く、カプセルユニット１の外周近く
を貫通し、ハウジング本体２１にねじ固定され、この場
合は、５個用いられている。スプリング８２は、スクリ
ュー８１に挿入され、カプセルユニ、ト１を図の右方向
に押圧している。
導入孔である。１６１．１７１は固定電極１６．１７よ
り外部に引き出されたリードで、ハウジング２からの取
出し目部分に於ては、バーメチ、クシール１−６２．１
７２されている。８は零点調整機構で、スクリュー８１
とスプリング８２とよりなる。スクリー−８１は、第３
図、第４図に示す如く、カプセルユニット１の外周近く
を貫通し、ハウジング本体２１にねじ固定され、この場
合は、５個用いられている。スプリング８２は、スクリ
ュー８１に挿入され、カプセルユニ、ト１を図の右方向
に押圧している。
以上の構成において、たとえば、測定室６１に導入孔６
１１より高い測定圧Ｐ１□が導入され、測定室７１゜に
導入孔７１１より低い測定圧ｐが導入されると、その圧
力は、シールダイアフラム２３．２４を介して封入液４
，５に伝えられる。この圧力はベロー１１の表裏面で力
に変換され、ベロー１１の有効面積をＡｅとすれば（Ｐ
−Ｐ ）ＡｅＯ力を発生する。ベロー１１の
Ｌ ばね定数をｋとすれば、ベロー１１−の先端の変位ばδ
＝（Ｐ −Ｐ ）Ａｅ／ｋ となる。ベロー１１の先
端には可Ｉ Ｌ 動電極１２が取付けられているので、賄〉ＰＬの場合は
可動電極１２は図の右方に移動し、電極１２と１６間の
電気容量は減少し、電極１２と１７間の電気容量は増加
する。ベロー１１と差圧（ｐＨ−ｐＬ）の関係は、変位
が小さい間はリニヤ−であり精度のよい圧力→変位の特
性が得られる。
１１より高い測定圧Ｐ１□が導入され、測定室７１゜に
導入孔７１１より低い測定圧ｐが導入されると、その圧
力は、シールダイアフラム２３．２４を介して封入液４
，５に伝えられる。この圧力はベロー１１の表裏面で力
に変換され、ベロー１１の有効面積をＡｅとすれば（Ｐ
−Ｐ ）ＡｅＯ力を発生する。ベロー１１の
Ｌ ばね定数をｋとすれば、ベロー１１−の先端の変位ばδ
＝（Ｐ −Ｐ ）Ａｅ／ｋ となる。ベロー１１の先
端には可Ｉ Ｌ 動電極１２が取付けられているので、賄〉ＰＬの場合は
可動電極１２は図の右方に移動し、電極１２と１６間の
電気容量は減少し、電極１２と１７間の電気容量は増加
する。ベロー１１と差圧（ｐＨ−ｐＬ）の関係は、変位
が小さい間はリニヤ−であり精度のよい圧力→変位の特
性が得られる。
而して、大きな静圧が測定圧として加わった場合に、従
来のストレッチダイアフラムを測定ダイアフラムとして
使用した場合の如く、ストレッチダイアフラムを支持し
ているハウジングが半径方向に膨らみ、この結果、測定
ダイアフラムを引張って、測定ダイアフラム自身が剛く
なり、スパン誤差を生ずると言うストレッチダイアプラ
ム方式の欠点は生じない。
来のストレッチダイアフラムを測定ダイアフラムとして
使用した場合の如く、ストレッチダイアフラムを支持し
ているハウジングが半径方向に膨らみ、この結果、測定
ダイアフラムを引張って、測定ダイアフラム自身が剛く
なり、スパン誤差を生ずると言うストレッチダイアプラ
ム方式の欠点は生じない。
即ち、受圧素子としてベロー１１を用いたので、ベロー
エンドが半径方向に伸縮しても、その影響を受けるのは
ベローエンドに近い部分のみであり、ベローの平均有効
面積としては殆んど変化しない。
エンドが半径方向に伸縮しても、その影響を受けるのは
ベローエンドに近い部分のみであり、ベローの平均有効
面積としては殆んど変化しない。
また、ベローは原理的には薄肉円筒とみなされるが、薄
肉円筒では円筒端末の変形が円筒内部に影響する軸方向
の長さは短く、ベロー主要部の寸法は安定な性質を有す
る。さらに、ベースに固定されるベローズエンド部分に
は、やや長い円筒部がつけられているのが普通であり、
この円筒部分もペースのひずみがベローに伝達されるの
を防止している。
肉円筒では円筒端末の変形が円筒内部に影響する軸方向
の長さは短く、ベロー主要部の寸法は安定な性質を有す
る。さらに、ベースに固定されるベローズエンド部分に
は、やや長い円筒部がつけられているのが普通であり、
この円筒部分もペースのひずみがベローに伝達されるの
を防止している。
帰するに、犬き々静圧によって、ハウジングが半径方向
に歪みを発生しても、ベローズエンドの円筒部でひずみ
が吸収される。さらに、取付は部分のひずみに強い性質
を本質的に有するベローズを用いているために静圧によ
るスパン誤差の生じにくい装置を得ることができる。
に歪みを発生しても、ベローズエンドの円筒部でひずみ
が吸収される。さらに、取付は部分のひずみに強い性質
を本質的に有するベローズを用いているために静圧によ
るスパン誤差の生じにくい装置を得ることができる。
同様な理由によって、ボルト等による締付はスパンシフ
トに対しても強いものが得られる。
トに対しても強いものが得られる。
更に、ストレッチダイアフラム型の場合には、ハウジン
グとダイアフラムに材質的な差があると、温度変化によ
ってダイアフラムの張力が変化し、大きなスパン変化を
生じる。したがって、たとえば、ダイアフラムとして恒
弾性材料を用いれば、ハウジングも同様としなければな
らず高価となる。
グとダイアフラムに材質的な差があると、温度変化によ
ってダイアフラムの張力が変化し、大きなスパン変化を
生じる。したがって、たとえば、ダイアフラムとして恒
弾性材料を用いれば、ハウジングも同様としなければな
らず高価となる。
本願においては、ハウジングとベローの材質が異なって
も、ハウジングの変形が前述の如く、ベロ一本体部分に
伝わらないため、材質の選択は自由となり安価な材料を
用いることができる。而して、熱膨張係数の差による温
度スパン誤差要因がない。
も、ハウジングの変形が前述の如く、ベロ一本体部分に
伝わらないため、材質の選択は自由となり安価な材料を
用いることができる。而して、熱膨張係数の差による温
度スパン誤差要因がない。
したがって、たとえば、ベローを恒弾性材料で作れば、
材質的な温度スパン誤差がなく、装置全体として温度ス
パン誤差のきわめて小さなものが得られかつ、安価にす
ることができる。
材質的な温度スパン誤差がなく、装置全体として温度ス
パン誤差のきわめて小さなものが得られかつ、安価にす
ることができる。
次に、装置としては、測定圧として過圧が加わった場合
に対しての保護が必要である。
に対しての保護が必要である。
本願においては、過圧が加わった場合に、シールダイア
フラム２３．２４がハウジング本体２１．２２にそれぞ
れ接することにより過圧からシールダイアフラム２３．
２４を保護する。しかしながら、測定受圧素子たるベロ
ー１１においては、シールダイアプラム面積はベロー面
積に比べて太きいだめに過圧に対して、ベローの変位は
ひじょうに大きくなる。
フラム２３．２４がハウジング本体２１．２２にそれぞ
れ接することにより過圧からシールダイアフラム２３．
２４を保護する。しかしながら、測定受圧素子たるベロ
ー１１においては、シールダイアプラム面積はベロー面
積に比べて太きいだめに過圧に対して、ベローの変位は
ひじょうに大きくなる。
これに対して固定電極１６．１７と可動電極１２のギャ
ツブは小さい。このだめ可動電極が破壊される恐れがあ
る。この理由により従来においては、測定受圧素子とし
てベローを選択することができなかった。本願において
は、可動電極１２にオーバーレンジ可撓部１２１を設け
だので、オーバーレンジ可撓部１２１が可撓変形してベ
ロー１１の変位を吸収し、可動電極が破壊する恐れのな
いものが得られる。
ツブは小さい。このだめ可動電極が破壊される恐れがあ
る。この理由により従来においては、測定受圧素子とし
てベローを選択することができなかった。本願において
は、可動電極１２にオーバーレンジ可撓部１２１を設け
だので、オーバーレンジ可撓部１２１が可撓変形してベ
ロー１１の変位を吸収し、可動電極が破壊する恐れのな
いものが得られる。
次に、本願においては、測定圧が加わらない状態におい
て零調整機構８のスフＩＪ、−８１をまわすことにより
、可動電極１２は、固定電極１６．１７の中央に容易に
配置することができ、可動電極１２−固定電極１６と可
動電極１２−固定電極１７の電気容量を正確に等しくす
ることができ、正確な零調整が容易にできる。而して、
たとえば、電極１６４と可動電極１２、電極１７４と可
動電極１２との間の電気容量を、電極１６４近くに設け
られたスクリー−８１Ａを使用して調整し、次に、電極
１６５．１７５と可動電極１２間の容量をスクリュー８
１Ｂで等しくなるように調節し、次に電極１６６、１７
６と可動電極１２間の容量をスフＩＪ 、、 −８１Ｃ
で調整すれば、電極間の平行を、可動電極を基準に調整
すると共に零点調整を行うことができる。調整終了後、
電極１６４〜１６６を電気的に一個の電極となるように
、リードよりなる連結部１６７で連結し、電極１７４〜
１７６も同様に連結部１７７により連結する。
て零調整機構８のスフＩＪ、−８１をまわすことにより
、可動電極１２は、固定電極１６．１７の中央に容易に
配置することができ、可動電極１２−固定電極１６と可
動電極１２−固定電極１７の電気容量を正確に等しくす
ることができ、正確な零調整が容易にできる。而して、
たとえば、電極１６４と可動電極１２、電極１７４と可
動電極１２との間の電気容量を、電極１６４近くに設け
られたスクリー−８１Ａを使用して調整し、次に、電極
１６５．１７５と可動電極１２間の容量をスクリュー８
１Ｂで等しくなるように調節し、次に電極１６６、１７
６と可動電極１２間の容量をスフＩＪ 、、 −８１Ｃ
で調整すれば、電極間の平行を、可動電極を基準に調整
すると共に零点調整を行うことができる。調整終了後、
電極１６４〜１６６を電気的に一個の電極となるように
、リードよりなる連結部１６７で連結し、電極１７４〜
１７６も同様に連結部１７７により連結する。
この結果、
（１） 可動電極１２の両側に封入液が配置され可動
電極１２と固定電極１６．１７間のそれぞれの電気容量
が周囲温度等の影響を受けてアンバランスとはならず、
しかも、固定電極１６．１７の中央に正確に可動電極１
２が配置できるので、可動電極１２の図の左右両方向に
必要な測定変位を精度よく取ることができる。
電極１２と固定電極１６．１７間のそれぞれの電気容量
が周囲温度等の影響を受けてアンバランスとはならず、
しかも、固定電極１６．１７の中央に正確に可動電極１
２が配置できるので、可動電極１２の図の左右両方向に
必要な測定変位を精度よく取ることができる。
（２）可動電極１２−固定電極１６と可動電極１２−固
定電極１７それぞれのストレイ容量が等しくなり一定の
特性が得られる。
定電極１７それぞれのストレイ容量が等しくなり一定の
特性が得られる。
（３）変位検出部分において、零点が、あらかじめ最初
に正確に調整できるので、リード１６１．１７１より取
シ出した電気容量信号を処理する電気回路部分（図示せ
ず）において、ゼロ調整・スパン調整が回路設計上、相
互に干渉するような欠点を有しない。
に正確に調整できるので、リード１６１．１７１より取
シ出した電気容量信号を処理する電気回路部分（図示せ
ず）において、ゼロ調整・スパン調整が回路設計上、相
互に干渉するような欠点を有しない。
（４） 可動電極１２は正確に中央に配置できるので
、周囲温度の変化等圧よるゼロシフトが小さい。
、周囲温度の変化等圧よるゼロシフトが小さい。
（５）固定電極１６．１７に対して、可動電極１２は平
行に配置できるので、装置としての特性の良好なものが
得られる。
行に配置できるので、装置としての特性の良好なものが
得られる。
等の利点が得られる。
以上説明したように、本発明によれば、静圧スパン誤差
、温度スパン誤差、締付はスパン誤差の少く、零点調整
可能で、特性の良好な差圧測定装置を実現することがで
きる。
、温度スパン誤差、締付はスパン誤差の少く、零点調整
可能で、特性の良好な差圧測定装置を実現することがで
きる。
第１図は本発明の一実施例の構成説明図、第２図〜第４
図は第１図の要部説明図でおる。 １・・・カフセルユニット、１１・・・ぺｏ−１１１１
・・・自由端、１１２・・・固定端、１２・・・可動電
極、１２１・・・オーバーレンジ可撓部、１２２・・・
溝、１３・・・スペーサー、１４、１５・・・絶縁体、
１６．１７・・・固定電極、１６３．１７３・・・絶縁
部、１６４〜１６６、１７４〜１７６・・・電極部、１
６７、１７７・・・連結部、２・・・ハウジングユニッ
ト、２１゜２２・・・ハウジング本体、２１１．２２１
、、、凹部、２１２．２２２・・・外事面、２３．２
４・・・シールダイアフラム、２３１゜２４１・・・室
、３１・・・室、３２．３３・・・連通孔、４，５・・
・封入液、６，７・・・カバー、６１．７１・・・測定
室、６１１．６１２・・・導入孔、８・・・零点調整機
構、８１・・・スクリュー、８２・・・スプリング。
図は第１図の要部説明図でおる。 １・・・カフセルユニット、１１・・・ぺｏ−１１１１
・・・自由端、１１２・・・固定端、１２・・・可動電
極、１２１・・・オーバーレンジ可撓部、１２２・・・
溝、１３・・・スペーサー、１４、１５・・・絶縁体、
１６．１７・・・固定電極、１６３．１７３・・・絶縁
部、１６４〜１６６、１７４〜１７６・・・電極部、１
６７、１７７・・・連結部、２・・・ハウジングユニッ
ト、２１゜２２・・・ハウジング本体、２１１．２２１
、、、凹部、２１２．２２２・・・外事面、２３．２
４・・・シールダイアフラム、２３１゜２４１・・・室
、３１・・・室、３２．３３・・・連通孔、４，５・・
・封入液、６，７・・・カバー、６１．７１・・・測定
室、６１１．６１２・・・導入孔、８・・・零点調整機
構、８１・・・スクリュー、８２・・・スプリング。
Claims (1)
- ペローと該ペローの自由端に該ペローの軸に直交して固
定され該ペローとの固定部分附近に設けられた溝により
形成されたオーバーレンジ可撓部を有する板状の可動電
極と、該可動電極にそれぞれ対面しリング状のスペーサ
ーを介して対向して配置された板状の絶縁体と該絶縁体
の前記可動電極と対面した面にそれぞれ設けられ中心部
分より放射状に設けられた絶縁部により互に絶縁された
少くとも２個の電極部と該電極部を相互に電気的に連結
する連結部とからなる固定電極を備えるカプセルユニッ
トと、該カプセルユニットを内部に設けられた室に配置
すると共に前記ペローの固定端が固定されその外側表面
に同心状の波型面が形成されたハウジング本体と前記波
型面を覆いその周面が該波型面に固定され過負荷時に該
波形面にヨリバックアップされるシールダイアフラムと
を具備するハウジングユニットと、該ノ・ウジングユニ
ットに前記カプセルユニットを取付けるスクリューと該
ハウジングユニットと前記カプセルユニットとの間に設
けられ該スクリューの締結力に対抗して配置されたスプ
リングとを具える零点調整機構と、前記シールダイアフ
ラムを覆い該シールダイアフラムと測定室を構成するカ
バーとを具備してなる差圧測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16358781A JPS5863829A (ja) | 1981-10-14 | 1981-10-14 | 差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16358781A JPS5863829A (ja) | 1981-10-14 | 1981-10-14 | 差圧測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5863829A true JPS5863829A (ja) | 1983-04-15 |
Family
ID=15776744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16358781A Pending JPS5863829A (ja) | 1981-10-14 | 1981-10-14 | 差圧測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5863829A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021110431A1 (de) * | 2019-12-03 | 2021-06-10 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Verfahren zum herstellen eines differenzdruckmessaufnehmers |
-
1981
- 1981-10-14 JP JP16358781A patent/JPS5863829A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021110431A1 (de) * | 2019-12-03 | 2021-06-10 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Verfahren zum herstellen eines differenzdruckmessaufnehmers |
| CN114746734A (zh) * | 2019-12-03 | 2022-07-12 | 恩德莱斯和豪瑟尔欧洲两合公司 | 用于制作差压传感器的方法 |
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