JPS586901B2 - サアツオウドウソウチ - Google Patents
サアツオウドウソウチInfo
- Publication number
- JPS586901B2 JPS586901B2 JP50104579A JP10457975A JPS586901B2 JP S586901 B2 JPS586901 B2 JP S586901B2 JP 50104579 A JP50104579 A JP 50104579A JP 10457975 A JP10457975 A JP 10457975A JP S586901 B2 JPS586901 B2 JP S586901B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- diaphragm
- measuring diaphragm
- seal
- internal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、測定ダイアフラムとして平板を用いた3要素
式差圧応動装置に関するものである。
式差圧応動装置に関するものである。
一般に平板測定ダイアフラムを用いる差圧応動装置にお
いては、カバーを固定するボルト、ナットの締付力でカ
バーやその内部のハウジング、ボデイ等の構造物が固定
されている。
いては、カバーを固定するボルト、ナットの締付力でカ
バーやその内部のハウジング、ボデイ等の構造物が固定
されている。
したがって、締付力が変動するとボデイの受ける力が変
化しボデイ内部の測定ダイアフラムの張力が変わる。
化しボデイ内部の測定ダイアフラムの張力が変わる。
このため、単位圧力に対する測定ダイアフラムの変位(
以下スパンと記す)が締付力の大きさに応じて変化する
。
以下スパンと記す)が締付力の大きさに応じて変化する
。
また、この締付力のほかに、温度が変化すると、カバー
、ハウジング、ポデイ等の膨張係数の相違からボデイの
受ける力が変わシ、測定ダイアフラムの張力、すなわち
スパン、が変化する。
、ハウジング、ポデイ等の膨張係数の相違からボデイの
受ける力が変わシ、測定ダイアフラムの張力、すなわち
スパン、が変化する。
これらのスパン変化(以下スパンシフトと記す)は、ド
リフトや温度誤差等で示されるもので、工業計器にとっ
ては致命的な欠点となる。
リフトや温度誤差等で示されるもので、工業計器にとっ
ては致命的な欠点となる。
本発明の目的は、このような従来装置の欠点を}除去し
た3要素差圧応動装置を簡単な構成で実現することにあ
る。
た3要素差圧応動装置を簡単な構成で実現することにあ
る。
以下図面によって本発明を説明する。
第1図は本発明装置の一実施例の構成を示す断面図であ
る。
る。
図において、1は平板でなる測定ダイアフラム、2はボ
デイである。
デイである。
ボデイ2は、測定ダイアフラム1に関して左右の2つの
ブロック2A,2Bに分けられる。
ブロック2A,2Bに分けられる。
ブロック2A,2B内の座ぐり穴にはガラスのよう彦剛
性のある絶縁物21.22が充填され、この絶縁物21
,22の表面は測定ダイアヲラム1の変位曲面とほぼ等
しい球状凹面になっている。
性のある絶縁物21.22が充填され、この絶縁物21
,22の表面は測定ダイアヲラム1の変位曲面とほぼ等
しい球状凹面になっている。
この凹面には薄い金属皮膜23,24が施されている。
ボデイ2の組立は、測定ダイアフラム1に一定の張力を
かけて張り、この測定ダイアフラム1の両側を2つのブ
ロック2A,2Bで押さえ、図の25部分を全周にわた
って溶接することによって行なわれる。
かけて張り、この測定ダイアフラム1の両側を2つのブ
ロック2A,2Bで押さえ、図の25部分を全周にわた
って溶接することによって行なわれる。
したがって、ボデイ2内には、測定ダイアフラム1によ
って、2つの内部室26,27が形成される。
って、2つの内部室26,27が形成される。
また、金属皮膜23,24は一方のコンデンサ板を、測
定ダイアフラム1は他方のコンデンサ板をそれぞれ形成
する。
定ダイアフラム1は他方のコンデンサ板をそれぞれ形成
する。
28,29は金属皮膜23,24に接続されたリード線
である。
である。
なお、測定ダイアフラム1とボデイ2は、膨張係数がほ
ぼ等しい材料(同一材料を含む)で構成されている。
ぼ等しい材料(同一材料を含む)で構成されている。
3はハウジングであり、このハウジングは、測定ダイア
フラム1の平面に関して、ブロック3A,3Bに分けら
れる。
フラム1の平面に関して、ブロック3A,3Bに分けら
れる。
ブロック3Aには、内側から座ぐり穴31、外側から座
ぐり穴33、および貫通孔357’lE同軸的に設けら
れている。
ぐり穴33、および貫通孔357’lE同軸的に設けら
れている。
ブロック3Bには、内側から座ぐり穴32、外側から座
ぐシ穴34、および貫通孔36が同軸的に設けられてい
る。
ぐシ穴34、および貫通孔36が同軸的に設けられてい
る。
ブロック3は、ボデイ2を座ぐり穴3132が形成する
内部空所内に配置した後、37部分を溶接することによ
シ組み立てられる。
内部空所内に配置した後、37部分を溶接することによ
シ組み立てられる。
41.42は弾性部材であシ、図においては、貫通孔3
5,36に挿入されたチューブが示さしている。
5,36に挿入されたチューブが示さしている。
このチューブ41,42はそtぞれブロック2A,2B
と一体に形成されている。
と一体に形成されている。
また、こl,らチューブ41,42の先端部は、43.
44部分でブロック3A,3Bに溶接されている。
44部分でブロック3A,3Bに溶接されている。
しだがって、ボディ2はチューブ41,42によってハ
ウジング3の内部空所に吊られた状態になる。
ウジング3の内部空所に吊られた状態になる。
51.52はスペーサであり、ハウジング3の座ぐり穴
33.34に挿入固定されている。
33.34に挿入固定されている。
6162は、それぞれスペーサ51,52と同軸的に、
ハウジング3にシーム溶接等の手段で取り付けられたシ
ールダイアフラムである。
ハウジング3にシーム溶接等の手段で取り付けられたシ
ールダイアフラムである。
この実施例ではシールダイアフラム61,62として平
板を用いるため、これらシールダイアフラム61,62
とハウジング3とはほぼ膨張係薮の等しい材料で構成さ
れている。
板を用いるため、これらシールダイアフラム61,62
とハウジング3とはほぼ膨張係薮の等しい材料で構成さ
れている。
この材料としてはステンレス鋼が適している。
シールダイアフラム61,62とスペーサ51,52等
が形成する隔室63,64は、それぞれボデイ2の内部
室26,27に連通しており、これらの空間はシリコン
オイル等の封入液体で満たさわている。
が形成する隔室63,64は、それぞれボデイ2の内部
室26,27に連通しており、これらの空間はシリコン
オイル等の封入液体で満たさわている。
71,72はカバー、81はナット、82はボルトであ
る。
る。
ナット81とボルト82の締付力によって、カバー71
.72は、その周縁部73,74がシールダイアフラム
61,62を覆うように、ハウジング3の表面に押圧さ
れている。
.72は、その周縁部73,74がシールダイアフラム
61,62を覆うように、ハウジング3の表面に押圧さ
れている。
これによって、カバー71.72とシールダイアフラム
61,62は密閉された室75,76を形成し、この室
75,76のそれぞれに被測定圧力が導かれる。
61,62は密閉された室75,76を形成し、この室
75,76のそれぞれに被測定圧力が導かれる。
なお、周縁部73.74の内径はハウジング3の座ぐり
穴31,32の直径より大きい方が4よい。
穴31,32の直径より大きい方が4よい。
また、シールダイアフラム61,62の外径を周縁部7
3,74の内径より大きくしてもよい。
3,74の内径より大きくしてもよい。
このような装置の動作を次に述べる。
室75,76に導かれた被測定圧力はそれぞれシールダ
イアフラム61,62および封入液体を介して内部室2
6,27に伝えられる。
イアフラム61,62および封入液体を介して内部室2
6,27に伝えられる。
このため、測定ダイアフラム1が被測定圧力の差に応じ
た変位を生ずる。
た変位を生ずる。
したがって、この変位から差圧を求めることができる。
この実症例では、この変位を容量変化として検出してい
る。
る。
過圧に対しては、測定ダイアフラム1が金属皮膜23,
24が形成されている凹面に密着するので、測定ダイア
フラム1には過度の応力が生じない。
24が形成されている凹面に密着するので、測定ダイア
フラム1には過度の応力が生じない。
このような構成の本発明装置は、ナット81とボルト8
2による締付力変動や温度変化があっても、スパンシフ
トは生じない。
2による締付力変動や温度変化があっても、スパンシフ
トは生じない。
以下、これについて説明する。
締付力変動や温度変化によってハウジング3は軸方向に
変形するが、この変形のほとんどはチューブ41,42
によって吸収される。
変形するが、この変形のほとんどはチューブ41,42
によって吸収される。
したがって、ポデイ2に加わる軸方向の力は変化しない
。
。
また、ハウジング3は半径方向にも変形するが、この変
形もチューブ41,42によって大部分吸収されボデイ
には半径方向の力も加わらない。
形もチューブ41,42によって大部分吸収されボデイ
には半径方向の力も加わらない。
さらに、ボデイ2とダイアフラム1とは膨張係数が等し
い材料を用いているので、両者の間にダイアフラム1の
張力が変化する要素はない。
い材料を用いているので、両者の間にダイアフラム1の
張力が変化する要素はない。
結局、ボデイ2は外部から力の変動を受けず、また自ら
も発生しないので、測定ダイアフラム1の張力変動は生
ぜず、スパンシフトはない。
も発生しないので、測定ダイアフラム1の張力変動は生
ぜず、スパンシフトはない。
また、本発明装置はハウジング3にシールダイアフラム
61,62を取り付ける構成であるため、ハウジング3
とシールダイアフラム61,62の材質をそろえること
により平板のシールダイアフラム61,62を用いるこ
とができるばかりでなく、シールダイアフラム61,6
2の外径を大きく選べるなどの利点もある。
61,62を取り付ける構成であるため、ハウジング3
とシールダイアフラム61,62の材質をそろえること
により平板のシールダイアフラム61,62を用いるこ
とができるばかりでなく、シールダイアフラム61,6
2の外径を大きく選べるなどの利点もある。
第2図は本発明装置の他の実施例の構成を示す断面図で
ある。
ある。
この第2図実施例と第1図実施例との相違点は、ボデイ
2をハウジング3内に配置するだめの弾性部材として、
第1図実施例のチューブ41,42の他に金属Oリング
91,92をも用いたことにある(第1図に対応する部
分には同一符号を付す。
2をハウジング3内に配置するだめの弾性部材として、
第1図実施例のチューブ41,42の他に金属Oリング
91,92をも用いたことにある(第1図に対応する部
分には同一符号を付す。
なお、チューブ41,42としてはボデイ2と別個に構
成したものを示す)。
成したものを示す)。
本実施例は静圧によって溶接部25に加わる力を減少さ
せるだめの手段を構したものである。
せるだめの手段を構したものである。
すなわち、金属Oリング91,92をボデイ2とハウジ
ング30間に配置したものである。
ング30間に配置したものである。
一般に金属Oリングのつぶし量とそれに要する力の関係
は第3図のような特性曲線で示される。
は第3図のような特性曲線で示される。
第2図実施例では、この金属Oリング91,92は、そ
のつぶし量か第3図特性曲線上の平担部分に対応したつ
ぶし量αとなるように取り付けられている このため、
ボデイ2は静圧が零のときつぶし量に対応する力F(初
期圧縮力)で圧縮された状態にあり、その溶接部25は
この初期圧縮力Fを受けている。
のつぶし量か第3図特性曲線上の平担部分に対応したつ
ぶし量αとなるように取り付けられている このため、
ボデイ2は静圧が零のときつぶし量に対応する力F(初
期圧縮力)で圧縮された状態にあり、その溶接部25は
この初期圧縮力Fを受けている。
したがって、初期圧縮力Fを、F=0の場合に最大静圧
Pによって溶接部25が受ける引張力EPの、ほぼ半分
の大きさになるように選べば第4図からも明らかなよう
に、静圧により溶接部25が受ける引張力の最大値を半
減することができる。
Pによって溶接部25が受ける引張力EPの、ほぼ半分
の大きさになるように選べば第4図からも明らかなよう
に、静圧により溶接部25が受ける引張力の最大値を半
減することができる。
第3図の特性を示す他の弾性部材として皿ばねがある。
上記金属Oリング91,92のかわりに皿ばねを用いて
も同様の効果が得られる。
も同様の効果が得られる。
なお、第1図および第2図実施例における弾性部材のう
ち、チューブ41,42についてはゴム等で構成しても
よい。
ち、チューブ41,42についてはゴム等で構成しても
よい。
この場合、コンデンサ板をハウジング3から電気的に絶
縁することもできる。
縁することもできる。
々お、上記各実施例においては、測定ダイアフラム1の
変位を容量変化として検出するものを示したが、これに
限定されるものではない。
変位を容量変化として検出するものを示したが、これに
限定されるものではない。
以上説明したように、本発明装置は、ボデイ2を弾性部
材を用いてハウジング内に配置し、このハウジング3に
シールダイアフラム61,62を取り付けたものであり
、締付力変動や温度変化の影響を受けない簡単な構成の
差圧応動装置となる。
材を用いてハウジング内に配置し、このハウジング3に
シールダイアフラム61,62を取り付けたものであり
、締付力変動や温度変化の影響を受けない簡単な構成の
差圧応動装置となる。
第1図は本発明装置の一実施例の構成を示す断面図、第
2図は本発明装置の他の実施例の構成を示す断面図、第
3図は金属Oリングのつぶし量とそれに要する力との関
係を示す図、第4図は第2図実施例の静圧に関する説明
図である。 1・・・・・・測定ダイアフラム、2・・・・・・ボデ
イ、26,27・・・・・・内部室、3・・・・・・ハ
ウジング、61,62・・・・・・シールダイアフラム
、4L42・・・・・・チューブ(弾性部材)、91,
92・・・・・・金属Oリング(弾性部材)、63,6
4・・・・・・隔室。
2図は本発明装置の他の実施例の構成を示す断面図、第
3図は金属Oリングのつぶし量とそれに要する力との関
係を示す図、第4図は第2図実施例の静圧に関する説明
図である。 1・・・・・・測定ダイアフラム、2・・・・・・ボデ
イ、26,27・・・・・・内部室、3・・・・・・ハ
ウジング、61,62・・・・・・シールダイアフラム
、4L42・・・・・・チューブ(弾性部材)、91,
92・・・・・・金属Oリング(弾性部材)、63,6
4・・・・・・隔室。
Claims (1)
- 1 平板でなる測定ダイアフラムと、この測定ダイアフ
ラムによって形成された2つの内部室を有するボデイと
、内部空所を有するハウジングと、該ハウジングに隔室
を形成するように取り付けられた2枚のシールダイアフ
ラムと、弾性材で構成されていて前記ハウジングの内部
空所に前記ボデーを支持し対応する隔室と内部室を連通
ずる2本のチューブとを具備し、前記隔室、チューブお
よび内部室内の封入液体を介して前記2枚のシールダイ
アフラムの圧力が内部室にそれぞれ伝えられ、前記測定
ダイアフラムの変位から前記2枚のシー、ルダイアフラ
ムが受ける圧力の差が求められることを特徴とする差圧
応動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP50104579A JPS586901B2 (ja) | 1975-08-29 | 1975-08-29 | サアツオウドウソウチ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP50104579A JPS586901B2 (ja) | 1975-08-29 | 1975-08-29 | サアツオウドウソウチ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5229265A JPS5229265A (en) | 1977-03-04 |
JPS586901B2 true JPS586901B2 (ja) | 1983-02-07 |
Family
ID=14384335
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP50104579A Expired JPS586901B2 (ja) | 1975-08-29 | 1975-08-29 | サアツオウドウソウチ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS586901B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54173785U (ja) * | 1978-05-28 | 1979-12-07 | ||
JPS5565534U (ja) * | 1978-10-31 | 1980-05-06 | ||
JPS5562336A (en) * | 1978-11-02 | 1980-05-10 | Fuji Electric Co Ltd | Pressure measuring device |
JPS56143939A (en) * | 1980-04-09 | 1981-11-10 | Shimadzu Corp | Electrostatic capacity type differential pressure transmitter |
DE102014104831A1 (de) * | 2014-04-04 | 2015-10-08 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Differenzdrucksensor |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5513707U (ja) * | 1978-07-13 | 1980-01-29 |
-
1975
- 1975-08-29 JP JP50104579A patent/JPS586901B2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5513707U (ja) * | 1978-07-13 | 1980-01-29 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5229265A (en) | 1977-03-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4072058A (en) | Differential pressure transmitter with pressure sensor protection | |
US2883995A (en) | Pressure transmitter for liquid metal systems | |
US3618390A (en) | Differential pressure transducer | |
JPS641733B2 (ja) | ||
US4173149A (en) | Differential pressure sensing devices | |
JPS5840133B2 (ja) | 導管内部圧力検知用測定値変換器 | |
JP7157477B2 (ja) | 圧力センサ | |
US4073191A (en) | Differential pressure transducer | |
US5386729A (en) | Temperature compensated microbend fiber optic differential pressure transducer | |
US4559832A (en) | Piezoelectric pressure frequency sensor | |
US3232114A (en) | Pressure transducer | |
US3698248A (en) | Pressure responsive transducer | |
US5025667A (en) | Hermetic pressure sensor | |
GB2310498A (en) | Differential pressure transducer unit | |
JPS5921497B2 (ja) | 圧力測定装置 | |
JPS586901B2 (ja) | サアツオウドウソウチ | |
US3290945A (en) | Differential pressure responsive device | |
US5060520A (en) | Hermetic pressure sensor | |
US2770258A (en) | Differential pressure responsive assembly | |
US3280628A (en) | High precision capacitive strain gage | |
US2761471A (en) | Differential pressure responsive diaphragm device | |
US3020504A (en) | Pressure transducer | |
JPS587320Y2 (ja) | 差圧応動装置 | |
US3566750A (en) | Differential pressure cell with keystone structure | |
JPS5855833A (ja) | 差圧測定装置 |