JPS5879128A - 差圧測定装置 - Google Patents
差圧測定装置Info
- Publication number
- JPS5879128A JPS5879128A JP17786881A JP17786881A JPS5879128A JP S5879128 A JPS5879128 A JP S5879128A JP 17786881 A JP17786881 A JP 17786881A JP 17786881 A JP17786881 A JP 17786881A JP S5879128 A JPS5879128 A JP S5879128A
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- JP
- Japan
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- fixed
- bellows
- electrode
- zero point
- point adjustment
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/023—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using bellows
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は差圧測定装置に関するものである。更に詳述す
れば、ベローの内外にそれぞれ測定圧を加え、ベローの
自由端の変位を電気容量の変化として検出する電気容量
検出方式の差圧測定装置に関するものである。
れば、ベローの内外にそれぞれ測定圧を加え、ベローの
自由端の変位を電気容量の変化として検出する電気容量
検出方式の差圧測定装置に関するものである。
近年、容量検出方式の差圧測定装置としては、ストレッ
チダイアプラムを圧力−変位変換要素として用いたもの
が多用されている。
チダイアプラムを圧力−変位変換要素として用いたもの
が多用されている。
このようなものにおいては、ダイアフラムには常に一定
の引張力が加えられていなければガらない。このため、
ダイアフラムを固定するカプセル本体やカプセルを固定
するノ・ウジングは、周囲温度等の変化によって、ダイ
アフラムの引張力に悪影響を与えないように、ダイアプ
ラムの線膨張係数に合わせた高価な材料を用いねばなら
ず高価なものとなる。
の引張力が加えられていなければガらない。このため、
ダイアフラムを固定するカプセル本体やカプセルを固定
するノ・ウジングは、周囲温度等の変化によって、ダイ
アフラムの引張力に悪影響を与えないように、ダイアプ
ラムの線膨張係数に合わせた高価な材料を用いねばなら
ず高価なものとなる。
次に、差圧伝送器においては、大きな静圧で使用される
ことが多い。このような場合には、大きな静圧によって
ハウジングがダイアフラムの半径方向に膨らみ、ダイア
フラムを引張り、ダイアフラムが剛くなる、このため静
圧スパンシフトを生ずる。また、大きな静圧に耐えるよ
うにするだめにハウジング等は、ボルト等により強く締
めて組み立てられるが、この締付力もダイアフラムに影
響を及ぼしスパンシフトとして特性に悪影響を及ぼす。
ことが多い。このような場合には、大きな静圧によって
ハウジングがダイアフラムの半径方向に膨らみ、ダイア
フラムを引張り、ダイアフラムが剛くなる、このため静
圧スパンシフトを生ずる。また、大きな静圧に耐えるよ
うにするだめにハウジング等は、ボルト等により強く締
めて組み立てられるが、この締付力もダイアフラムに影
響を及ぼしスパンシフトとして特性に悪影響を及ぼす。
本発明は、これ等の問題点を解決したものである0
本発明の目的は、静圧スパン誤差、温度スノ(ン誤差、
締付はスパン誤差の少く、電気答景の零点調整の谷易な
差圧測定装置を提供するにある。
締付はスパン誤差の少く、電気答景の零点調整の谷易な
差圧測定装置を提供するにある。
第1図は、本発明の一実施例の構成説明図である0
図において、1はカプセルユニットで、ベロー11、可
動電極12、スペーサー13、絶縁体14.15、固定
板141.ゴー51、固定電極16.17、零点調整固
定電極161.171と零点調整可動電極162.17
2とストップパー18.19とよりなる。ベロー11の
自由!高111には、ベロー11の軸に直夕して板状の
可動電極12が固定されている。可動電極12のベロー
の自由端111への固定部附近には、第2図に示す如く
、同心状に半円形の溝122が多数段けられ、オーバー
レンジ可撓部121が構成されている。絶縁体14゜1
5は円板状をなし、可動′lL極12の両側にそれぞれ
対向して配装置され、その周辺部において、リング状の
スペーサ13が挾持されている。ld定[141,15
1は、円板状をなし、それぞれ絶縁体14.15の外側
表面に配置され、固定体141の中央部分はベローHの
固定端112に固定されている。固定体151はスペー
サー13.絶縁体14.15を貫通するボルト152に
より固定板141に固定されている。固定用電極16.
:L7はリング状をなし、可動電極12に対向(5) して、絶縁体14.15の表面に配置され、この場合は
、真空蒸着により形成されている。零点調整固定電極1
61.171は絶縁体14.15の外側表面にそれぞれ
固定され固定電極16.17とそれぞれ接続されている
。この1易合は、皿ネジ1611.171.1とナツト
1f:i12.1712で構成されている。零点調整可
動電極162、172は零点調整固定電極161.17
1に対向して配置され、この場合はT形状可動電極16
21.1721とす、 ) 1622.1722とより
なる。18.19は自由端111の両面に、それぞれ、
その一端が固定された断面丁字形状のスト、プバーであ
る。2はノ・ウジングユニットで、円柱状のハウジング
本体21.22とシールダイアフラム23.24とリン
グ状のシール押え25.26と0リング28.29とよ
りなる。ハウジング本体21.22はカプセルユニ、ト
1の絶縁体14゜15をその内部に挾持すると共に、そ
の外周縁部において、互に一体的になるように溶接27
されている。ハウジング本体21.22の外側平面部2
12.222には同心円状の波型面が形成されている。
動電極12、スペーサー13、絶縁体14.15、固定
板141.ゴー51、固定電極16.17、零点調整固
定電極161.171と零点調整可動電極162.17
2とストップパー18.19とよりなる。ベロー11の
自由!高111には、ベロー11の軸に直夕して板状の
可動電極12が固定されている。可動電極12のベロー
の自由端111への固定部附近には、第2図に示す如く
、同心状に半円形の溝122が多数段けられ、オーバー
レンジ可撓部121が構成されている。絶縁体14゜1
5は円板状をなし、可動′lL極12の両側にそれぞれ
対向して配装置され、その周辺部において、リング状の
スペーサ13が挾持されている。ld定[141,15
1は、円板状をなし、それぞれ絶縁体14.15の外側
表面に配置され、固定体141の中央部分はベローHの
固定端112に固定されている。固定体151はスペー
サー13.絶縁体14.15を貫通するボルト152に
より固定板141に固定されている。固定用電極16.
:L7はリング状をなし、可動電極12に対向(5) して、絶縁体14.15の表面に配置され、この場合は
、真空蒸着により形成されている。零点調整固定電極1
61.171は絶縁体14.15の外側表面にそれぞれ
固定され固定電極16.17とそれぞれ接続されている
。この1易合は、皿ネジ1611.171.1とナツト
1f:i12.1712で構成されている。零点調整可
動電極162、172は零点調整固定電極161.17
1に対向して配置され、この場合はT形状可動電極16
21.1721とす、 ) 1622.1722とより
なる。18.19は自由端111の両面に、それぞれ、
その一端が固定された断面丁字形状のスト、プバーであ
る。2はノ・ウジングユニットで、円柱状のハウジング
本体21.22とシールダイアフラム23.24とリン
グ状のシール押え25.26と0リング28.29とよ
りなる。ハウジング本体21.22はカプセルユニ、ト
1の絶縁体14゜15をその内部に挾持すると共に、そ
の外周縁部において、互に一体的になるように溶接27
されている。ハウジング本体21.22の外側平面部2
12.222には同心円状の波型面が形成されている。
而して、ベロー11の固定端112は、ハウジング本体
21の外(4) 平面部212において溶接113固定されている。而し
て、ベロー11の外側とハウジング本体21.絶縁体1
4,15.スペーサー13とにより室31が形成される
。シールダイアフラム23.24はノ・ウジング本体2
1、22の外平面212.222をそれぞれ覆い、ノ・
ウジング本体21.22とそれぞれ室231.241を
形成し、その周縁部はシール押え25.26によりI・
ウジング本体21.22に固定されている。28.29
は、自由端11.2及びハウジング本体22に、ストッ
プ−バー18゜19とそれぞれシール機構を構成するよ
うに設けられた0リングでおる。32は、ベロ−11内
部と室231とを連通ずる連通孔である。33は室31
と室241とを連通ずる連通孔である。4はベロ−11
内部と連通孔32と室231を満すシリコンオイル等の
封入液、5は室31と連通孔33と室241を満すシリ
コンオイル等の封入液である。6,7は、それぞれシー
ルダイアフラム23.24とシール押え25.26を覆
い、測定室61.71を形成するカバーである0611
、711測定室61.71に測定圧を導入する導入孔で
ある。163.173は固定電極16.17より外部に
91き出されたリードで、ハウジング2からの取出し目
部分に於て、ハーメチックシール164されている。
21の外(4) 平面部212において溶接113固定されている。而し
て、ベロー11の外側とハウジング本体21.絶縁体1
4,15.スペーサー13とにより室31が形成される
。シールダイアフラム23.24はノ・ウジング本体2
1、22の外平面212.222をそれぞれ覆い、ノ・
ウジング本体21.22とそれぞれ室231.241を
形成し、その周縁部はシール押え25.26によりI・
ウジング本体21.22に固定されている。28.29
は、自由端11.2及びハウジング本体22に、ストッ
プ−バー18゜19とそれぞれシール機構を構成するよ
うに設けられた0リングでおる。32は、ベロ−11内
部と室231とを連通ずる連通孔である。33は室31
と室241とを連通ずる連通孔である。4はベロ−11
内部と連通孔32と室231を満すシリコンオイル等の
封入液、5は室31と連通孔33と室241を満すシリ
コンオイル等の封入液である。6,7は、それぞれシー
ルダイアフラム23.24とシール押え25.26を覆
い、測定室61.71を形成するカバーである0611
、711測定室61.71に測定圧を導入する導入孔で
ある。163.173は固定電極16.17より外部に
91き出されたリードで、ハウジング2からの取出し目
部分に於て、ハーメチックシール164されている。
、以上の構成において、たとえば、測定室61に導入孔
611よ抄高い測定圧Pl(が導入され、測定室71に
導入孔711より低い測定圧PLが導入されると、その
圧力は、シールダイアスラム23.24を介して封入液
4,5に伝えられる。この圧力はペロー11の表襲面で
力に変換され、ペロー1,1の有効面積をAeとすれば
(p、 + PL)Aeの力を発生する。ペロー11の
ばね定数をkとすれば、ペロー11の先端の変位はδ=
(I)1(−PL) Ae/k となる。ペロー1
1の先端には可動電極12が取付けられているので、P
l(〉pLの場合は可動電極12は図の右方に移動シフ
、電極12と16間の電気容量は減少し、電極12と1
7間の電気容量は増加する。ペロー11と差圧(pl、
−pL)の関係は、変位が小さい間はリニヤ−であり精
度のよい圧力→変位の特性が得られる。
611よ抄高い測定圧Pl(が導入され、測定室71に
導入孔711より低い測定圧PLが導入されると、その
圧力は、シールダイアスラム23.24を介して封入液
4,5に伝えられる。この圧力はペロー11の表襲面で
力に変換され、ペロー1,1の有効面積をAeとすれば
(p、 + PL)Aeの力を発生する。ペロー11の
ばね定数をkとすれば、ペロー11の先端の変位はδ=
(I)1(−PL) Ae/k となる。ペロー1
1の先端には可動電極12が取付けられているので、P
l(〉pLの場合は可動電極12は図の右方に移動シフ
、電極12と16間の電気容量は減少し、電極12と1
7間の電気容量は増加する。ペロー11と差圧(pl、
−pL)の関係は、変位が小さい間はリニヤ−であり精
度のよい圧力→変位の特性が得られる。
而して、大きな静圧が測定圧として加わった場合に、従
来の、ストレッチダイアフラムを測定ダイアフラムとし
て使用した場合の如く、ストン。
来の、ストレッチダイアフラムを測定ダイアフラムとし
て使用した場合の如く、ストン。
チダイアフラムを支持しているハウジングが半径方向に
膨らみ、この結果、測定ダイアフラムを引張って、測定
ダイアフラム自身が剛くなり、スパン誤差を生ずると言
うストレッチダイアフラム方式の欠点は生じない。
膨らみ、この結果、測定ダイアフラムを引張って、測定
ダイアフラム自身が剛くなり、スパン誤差を生ずると言
うストレッチダイアフラム方式の欠点は生じない。
即ち、受圧素子としてペロー11を用いたので、ペロー
エンドが半径方向に伸縮しても、その影響を受けるのは
ペローエンドに近い部分のみであり、ペローの平均有効
面積としては殆んど変化しない。
エンドが半径方向に伸縮しても、その影響を受けるのは
ペローエンドに近い部分のみであり、ペローの平均有効
面積としては殆んど変化しない。
また、ペローは原理的には薄肉円筒とみなされるが、薄
肉円筒では円筒端末の変形が円筒内部に影響する軸方向
の長さは短く、ペロー主要部の寸法は安定な性質を有す
る。さらに、ベースに固定されるペローエンド部分には
、やや長い円筒部がつけられているのが普通であシ、こ
の円筒部分もペースのひずみがペローに伝達されるのを
防止している。
肉円筒では円筒端末の変形が円筒内部に影響する軸方向
の長さは短く、ペロー主要部の寸法は安定な性質を有す
る。さらに、ベースに固定されるペローエンド部分には
、やや長い円筒部がつけられているのが普通であシ、こ
の円筒部分もペースのひずみがペローに伝達されるのを
防止している。
要するに、大きな静圧によりて、ノーウジングが半径方
向に歪みを発生しても、ペローエンドの円(7) 筒部でひずみが吸収される。さらに、取付は部分のひず
みに強い性質を本質的に有するペローを用いているため
に静圧によるスパン誤差の生じにくい装置を得ることが
できる。
向に歪みを発生しても、ペローエンドの円(7) 筒部でひずみが吸収される。さらに、取付は部分のひず
みに強い性質を本質的に有するペローを用いているため
に静圧によるスパン誤差の生じにくい装置を得ることが
できる。
同様な理由によりて、ボルト等による締付はスパンシフ
トに対しても強いものが得られる。
トに対しても強いものが得られる。
更に、ストレッチダイアフラム型の場合には、ハウジン
グとダイアプラムに材質的な差があると、温度変化によ
ってダイアフラムの張力が変化し、大きなスパン変化を
生じる。したがって、たとえば、ダイアフラムとして恒
弾性材料を用いれば、ハウジングも同様としなければな
らず高価となる。
グとダイアプラムに材質的な差があると、温度変化によ
ってダイアフラムの張力が変化し、大きなスパン変化を
生じる。したがって、たとえば、ダイアフラムとして恒
弾性材料を用いれば、ハウジングも同様としなければな
らず高価となる。
本願においては、ハウジングとペローの材質が異なって
も、ノ・ウジングの変形が前述の如く、ペローに伝わら
ないため、材質の選択は自由となり安価な材料を用いる
ことができる。而して、線膨張係数の差による温度スパ
ン誤差要因がない。
も、ノ・ウジングの変形が前述の如く、ペローに伝わら
ないため、材質の選択は自由となり安価な材料を用いる
ことができる。而して、線膨張係数の差による温度スパ
ン誤差要因がない。
したがって、たとえば、ペローを恒弾性材料で作れば、
材質的な温度スパン誤差がなく、装置全体として温度ス
パン誤差のきわめて小さなものが(8) 得られ、かつ、安価にすることができる。
材質的な温度スパン誤差がなく、装置全体として温度ス
パン誤差のきわめて小さなものが(8) 得られ、かつ、安価にすることができる。
次に、測定圧pH”Lが導入されていない場合、即ち、
差圧が零のときは、電極12と16との間の電気容量と
電極12と17との間の電気容量は等しいことが望まし
いが、工作精度、組立精度が十分でないときは等しくな
ら表い。可動電極12の電位は、ペロー11、固定板1
41.151、ハウジング21.22と零点調整可動電
極162.172とは電気的に同電位である。一方、固
定電極16.17と零点調整固定電極161、171と
は同電位である。
差圧が零のときは、電極12と16との間の電気容量と
電極12と17との間の電気容量は等しいことが望まし
いが、工作精度、組立精度が十分でないときは等しくな
ら表い。可動電極12の電位は、ペロー11、固定板1
41.151、ハウジング21.22と零点調整可動電
極162.172とは電気的に同電位である。一方、固
定電極16.17と零点調整固定電極161、171と
は同電位である。
そこで、今、可動電極12と固定電極16の電気容量−
をCH1可動電極12と固定電極17の電気容量をCL
1零点調整固定電極161と零点調整可動電極162の
電気容量を01□′、零点調整固定電極171と零点調
整可動電極172の電気容量をCLoとし、この電気容
量を差動的に処理すれば出力C8U、はCout=CH
+C11°−<cL+ cLo> (1)と
なる0差圧が零の場合、C1(NCLであるならば(1
)式が零になるようにCH” CL’を調整すればよい
。
をCH1可動電極12と固定電極17の電気容量をCL
1零点調整固定電極161と零点調整可動電極162の
電気容量を01□′、零点調整固定電極171と零点調
整可動電極172の電気容量をCLoとし、この電気容
量を差動的に処理すれば出力C8U、はCout=CH
+C11°−<cL+ cLo> (1)と
なる0差圧が零の場合、C1(NCLであるならば(1
)式が零になるようにCH” CL’を調整すればよい
。
即ち、零点調整可動電極162.172を変位させて調
整すればよい。 ゛ この結果、装置として、はぼ完全な零調整が得られる。
整すればよい。 ゛ この結果、装置として、はぼ完全な零調整が得られる。
電気容量C1□、CLと調整容量C1□’、cL’も同
一封入液4,5が使用されているのでn+Th電率が同
じとなり、温度係数に差が生じないので、温度誤差の原
因とならない。更に加えるに、ナラ) 1612゜17
12はリード163.173の固定用す、トとしても兼
用することができる。
一封入液4,5が使用されているのでn+Th電率が同
じとなり、温度係数に差が生じないので、温度誤差の原
因とならない。更に加えるに、ナラ) 1612゜17
12はリード163.173の固定用す、トとしても兼
用することができる。
次に、装置としては、測定圧として過圧が加わった場合
に対しての保獲が必要である。
に対しての保獲が必要である。
一般に、過圧が加わった場合に、シールダイアフラム2
3.24がハウジング本体21.22にそれぞれ接する
ことにより過圧からシールダイアフラム23゜24を保
護する。しかしながら、測定受圧素子たるベロー11に
おいては、シールダイアフラム面積はベロー面積に比べ
て大きいために過圧に対して、ベロー11の変位はひじ
ょうに大きくなる。この理由により、従来においては、
測定受圧素子としてベローを選択することができなかっ
た。これに対して、本願においては、過圧が加わった場
合に、先ずスト、ブーバーが0リングに接し、封入液の
移動を阻止するので、ベロー11の変位は、それほど大
きなものとはならない利点を有する。次に、固定電極1
6.1.7と可動電極12のギャップはその性質上、非
常に小さい。したがって、ベロー11の変位が小さいと
しても、可動電極12が、固定電極16又は17に衝突
して、可動電極12が破壊される恐れがある。
3.24がハウジング本体21.22にそれぞれ接する
ことにより過圧からシールダイアフラム23゜24を保
護する。しかしながら、測定受圧素子たるベロー11に
おいては、シールダイアフラム面積はベロー面積に比べ
て大きいために過圧に対して、ベロー11の変位はひじ
ょうに大きくなる。この理由により、従来においては、
測定受圧素子としてベローを選択することができなかっ
た。これに対して、本願においては、過圧が加わった場
合に、先ずスト、ブーバーが0リングに接し、封入液の
移動を阻止するので、ベロー11の変位は、それほど大
きなものとはならない利点を有する。次に、固定電極1
6.1.7と可動電極12のギャップはその性質上、非
常に小さい。したがって、ベロー11の変位が小さいと
しても、可動電極12が、固定電極16又は17に衝突
して、可動電極12が破壊される恐れがある。
本願においては、可動電極12にオーバーレンジ可撓部
121を設けだので、オーバーレンジ可撓部121が可
撓変形してベロー11の変位を吸収し、可動電極が破壊
する恐れのないものが得られる。
121を設けだので、オーバーレンジ可撓部121が可
撓変形してベロー11の変位を吸収し、可動電極が破壊
する恐れのないものが得られる。
なお、上述の実施例においては、スト、プバー18、1
9とOリング28.29とにより構成されるシール機構
が用いられているが、ベロー11の変位は大きくなるが
、シール(裂溝はなくてもよいことは勿論である。
9とOリング28.29とにより構成されるシール機構
が用いられているが、ベロー11の変位は大きくなるが
、シール(裂溝はなくてもよいことは勿論である。
以上説明したように、本発明によれば、静圧スパン誤差
、温度スパン誤差、締付はス・くン誤差の少く、電気容
赦の零点調整の容易な差圧測定装置(11) を実現することができる。
、温度スパン誤差、締付はス・くン誤差の少く、電気容
赦の零点調整の容易な差圧測定装置(11) を実現することができる。
第1図は本発明の一実施例の構成説明図、第2図は第1
図の要部説明図である。 1・・・カプセルユニット、11・・・ベロー、111
・・・自由端、112・・・固定端、12・・・可動電
極、121・・・オーバーレンジ可撓部、122・・・
溝、13・・・スペーサー、14、15・・・絶縁体、
141.151・・・固定板、152・・・ポル)、1
6.17・・・固定電極、161.171・・・零点調
整固定電極、1611.1711・・・皿ねじ、161
2.1712・・・ナツト、162、172・・・零点
調整可動電極、1621.1721・・・可動電極、1
622.1722・・・ナツト、18.19・・・スト
ップバー、2・・・ハウジングユニット、21.22・
・・ハウジング本体、211.221・・・凹部、21
礼222・・・外平面、23.24・・・ゾールダイア
フラム、231.241・・・室、28.29・・・0
リング、31・・・室、32.33・・・連通孔、4,
5・・・封入液、6,700.カバー、61.71・・
・測定室、611.711°°。 導入孔。 ) ノ (12)
図の要部説明図である。 1・・・カプセルユニット、11・・・ベロー、111
・・・自由端、112・・・固定端、12・・・可動電
極、121・・・オーバーレンジ可撓部、122・・・
溝、13・・・スペーサー、14、15・・・絶縁体、
141.151・・・固定板、152・・・ポル)、1
6.17・・・固定電極、161.171・・・零点調
整固定電極、1611.1711・・・皿ねじ、161
2.1712・・・ナツト、162、172・・・零点
調整可動電極、1621.1721・・・可動電極、1
622.1722・・・ナツト、18.19・・・スト
ップバー、2・・・ハウジングユニット、21.22・
・・ハウジング本体、211.221・・・凹部、21
礼222・・・外平面、23.24・・・ゾールダイア
フラム、231.241・・・室、28.29・・・0
リング、31・・・室、32.33・・・連通孔、4,
5・・・封入液、6,700.カバー、61.71・・
・測定室、611.711°°。 導入孔。 ) ノ (12)
Claims (1)
- ベローと該ベローの自由端に該ベローの軸に直交して固
定され該ベローとの固定部分附近に設けられた溝によね
形成されるオーバーレンジ可撓部を有する板状の可動電
極と、該可動電極にそれぞれ対面しリング状のスペーサ
ーを介して対向して配置された板状の絶縁体と該絶縁体
の前記可動電極と対面した面に設けられた固定電極と、
前記絶縁体の外側表面にそれぞれ固定され前記ベローの
固定端と電気的に連通された固定板と、前記固定電極に
連通され前記絶縁体の外側表面にそれぞれ設けられた零
点調整固定筒1極と該零点調整固定電極に対向して前記
固定板に設けられ該零点調整電極と零点調整機構を構成
し該零点調整固定電極との容量を可変できる零点調整可
動電極とからなるカブ七ルユニットと、該カプセル本体
ッ)・を挾持すると共に前記ベローの固定端が固定され
その外側表面に同心状の波型面が形成されたノ・ウジン
グ本体と前記波型面を覆いその周囲が該波型面に固定さ
れ過負荷時に該波型面によりバックアップされるシール
ダイアプラムとを具備するノ為つジングユニソトと、該
シールダイアフラムを覆い該シールダイアフラムと測定
室を構成するカバーとを具備してなる差圧測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17786881A JPS5879128A (ja) | 1981-11-06 | 1981-11-06 | 差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17786881A JPS5879128A (ja) | 1981-11-06 | 1981-11-06 | 差圧測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5879128A true JPS5879128A (ja) | 1983-05-12 |
Family
ID=16038465
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17786881A Pending JPS5879128A (ja) | 1981-11-06 | 1981-11-06 | 差圧測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5879128A (ja) |
-
1981
- 1981-11-06 JP JP17786881A patent/JPS5879128A/ja active Pending
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