JPS5847043B2 - 位置制御方式 - Google Patents
位置制御方式Info
- Publication number
- JPS5847043B2 JPS5847043B2 JP54012273A JP1227379A JPS5847043B2 JP S5847043 B2 JPS5847043 B2 JP S5847043B2 JP 54012273 A JP54012273 A JP 54012273A JP 1227379 A JP1227379 A JP 1227379A JP S5847043 B2 JPS5847043 B2 JP S5847043B2
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- JP
- Japan
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- control
- servo motor
- signal
- servo system
- circuit
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- Expired
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/19—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path
- G05B19/21—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device
- G05B19/23—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device for point-to-point control
- G05B19/231—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device for point-to-point control the positional error is used to control continuously the servomotor according to its magnitude
- G05B19/232—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device for point-to-point control the positional error is used to control continuously the servomotor according to its magnitude with speed feedback only
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/41—Servomotor, servo controller till figures
- G05B2219/41162—Large gain at start to overcome friction, then low gain
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Feedback Control In General (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、制御対象例えば移動台の位置決めを閉ループ
制御で行う場合の位置制御方式に関するものである。
制御で行う場合の位置制御方式に関するものである。
半導体集積回路の製造工程で用いられるホトマスクを作
製するためのステップ・アンド・リピータやさらにこの
原寸ホトマスクを使用せずレティクルから直接回路パタ
ーンをウエノ・上に投影露光する縮小投影露光装置等に
おいては、高速・高精度でガラス基板またはウェハの位
置決めを行うＸＹ移動台が用いられ、１５０Ｘ１５０ｍ
ｉ程度の移動範囲に対し１μｍ程度の位置決め精度が要
求される。
製するためのステップ・アンド・リピータやさらにこの
原寸ホトマスクを使用せずレティクルから直接回路パタ
ーンをウエノ・上に投影露光する縮小投影露光装置等に
おいては、高速・高精度でガラス基板またはウェハの位
置決めを行うＸＹ移動台が用いられ、１５０Ｘ１５０ｍ
ｉ程度の移動範囲に対し１μｍ程度の位置決め精度が要
求される。
従来この種の精密位置決めを行う移動台では、レーザ干
渉測長による位置検出系、目標位置からの偏差を演算す
る回路およびサーボモータと送りねじによる駆動系から
構成される閉ループ線形位置制御が多く用いられている
。
渉測長による位置検出系、目標位置からの偏差を演算す
る回路およびサーボモータと送りねじによる駆動系から
構成される閉ループ線形位置制御が多く用いられている
。
この種の閉ループ線形位置制御においては、第１図のよ
うに移動台の目標位置に対する位置偏差Ａｘが小さくな
るほどサーボモータの出力トルクＴｍは小さくなる。
うに移動台の目標位置に対する位置偏差Ａｘが小さくな
るほどサーボモータの出力トルクＴｍは小さくなる。
そのため移動台の案内部や送りネジ等に摩擦が存在する
場合には制御不可能な領域が存在する。
場合には制御不可能な領域が存在する。
すなわち第１図において前記摩擦力をサーボモータ軸の
トルクＴｄに換算すれば、位置フィードバックゲインに
１の場合には目標値の±δｄ以内は制御不可能であり、
位置決め誤差として残る。
トルクＴｄに換算すれば、位置フィードバックゲインに
１の場合には目標値の±δｄ以内は制御不可能であり、
位置決め誤差として残る。
この位置決め誤差を小さくするため位置フィードバック
ゲインをに２のように大きくすると制御系は不安定とな
り、ハンチングや発振をおこすため限界以上に大きくす
ることはできない。
ゲインをに２のように大きくすると制御系は不安定とな
り、ハンチングや発振をおこすため限界以上に大きくす
ることはできない。
他の方法は前記摩擦力の等価トルクＴｄを小さくする、
すなわちモータ軸と送りネジの間に減速機構等を入れる
ことであるが、これは高速性を損なう結果となる。
すなわちモータ軸と送りネジの間に減速機構等を入れる
ことであるが、これは高速性を損なう結果となる。
以上説明したように、位置決め誤差は移動台案内部や送
りねじ等の摩擦力の大きさに比例する。
りねじ等の摩擦力の大きさに比例する。
一般にこれらの摩擦力の大きさは摩擦速度に依存し、静
摩擦係数は動摩擦係数の２〜５倍にも達する。
摩擦係数は動摩擦係数の２〜５倍にも達する。
第１図においてサーボモータ軸に等価換算した静摩擦力
をＴｓとすると位置フィードバックゲインに１では±δ
８以内ではサーボモータは回転することができない。
をＴｓとすると位置フィードバックゲインに１では±δ
８以内ではサーボモータは回転することができない。
すなわち、位置偏差Ｊｘ（δ の状態からはサーボモー
タは起動しない。
タは起動しない。
これは移動台の送り量が大きい場合には動摩擦状態で線
形位置制御されるため目標値の±δｄ以内に位置決め可
能であるのに対し、送り量がδ８以下の場合には、位置
制御を開始しないためそのまま位置決め誤差となること
を示す。
形位置制御されるため目標値の±δｄ以内に位置決め可
能であるのに対し、送り量がδ８以下の場合には、位置
制御を開始しないためそのまま位置決め誤差となること
を示す。
本発明はこの欠点を解消するためになされたものであり
、制御対象例えば移動台の位置決めを閉ループ制御で行
う場合において、特に移動台の現在位置が目標値に近い
状態から位置決め制御を開始する場合における位置決め
精度向上を可能にした位置制御方式を提供するものであ
る。
、制御対象例えば移動台の位置決めを閉ループ制御で行
う場合において、特に移動台の現在位置が目標値に近い
状態から位置決め制御を開始する場合における位置決め
精度向上を可能にした位置制御方式を提供するものであ
る。
上記目的を達成するために、本発明では送り量が±δ８
以内の場合には、サーボモータが起動するに十分な信号
すなわち第１図におけるＴｓ以上のトルクをサーボモー
タが発生する信号をサーボモータ駆動回路に送り、サー
ボモータを起動させて前記摩擦を動摩擦状態とした後に
該信号を取り除き線形位置制御を行うようにしたもので
ある。
以内の場合には、サーボモータが起動するに十分な信号
すなわち第１図におけるＴｓ以上のトルクをサーボモー
タが発生する信号をサーボモータ駆動回路に送り、サー
ボモータを起動させて前記摩擦を動摩擦状態とした後に
該信号を取り除き線形位置制御を行うようにしたもので
ある。
以下、本発明を実施例を参照してさらに詳細に説明する
。
。
第２図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
一例として、移動台１は直流サーボモータ２とボールネ
ジ３により駆動される。
ジ３により駆動される。
制御回路４は例えばレーザトランスデユーサ・システム
で、レーザ干渉測長器５により検出される移動台１の位
置と電子計算機６より指令される目標位置との差をデジ
タル演算する。
で、レーザ干渉測長器５により検出される移動台１の位
置と電子計算機６より指令される目標位置との差をデジ
タル演算する。
その演算結果はＤ／Ａ変換器７、演算増幅器８、サーボ
アンプ９を介してその演算結果が小となる方向に直流サ
ーボモータ２を回転する。
アンプ９を介してその演算結果が小となる方向に直流サ
ーボモータ２を回転する。
タコジェネレータ１０はこれらの線形位置制御系を安定
化するために用いられる。
化するために用いられる。
１１は電子計算機６からのデジタル信号で動作するスイ
ッチ開閉（切換え）回路であり、単安定マルチバイブレ
ータ等で構成されている。
ッチ開閉（切換え）回路であり、単安定マルチバイブレ
ータ等で構成されている。
このスイッチ開閉回路１１は、電子計算機６からの信号
Ｓが１″から”０”になると、コンデンサと抵抗により
決定される時間ｔｍだげ信号局が°°Ｏ”′の状態とな
り、アナログスイッチ１２を開き、演算増幅器８の電圧
利得を無限大近くまで大きくする。
Ｓが１″から”０”になると、コンデンサと抵抗により
決定される時間ｔｍだげ信号局が°°Ｏ”′の状態とな
り、アナログスイッチ１２を開き、演算増幅器８の電圧
利得を無限大近くまで大きくする。
入力信号Ｓが“１′の時には出力信号局は１゛のままで
あり、アナログスイッチ１２を閉じて演算増幅器８に抵
抗１３，１４から決定される利得に３ を持たせる。
あり、アナログスイッチ１２を閉じて演算増幅器８に抵
抗１３，１４から決定される利得に３ を持たせる。
電子計算機６はこれから移動台１を移動すべき目標位置
と現在の移動台１の位置の差すなわち位置偏差ＪＸを算
出し、 １Ｊｘｌと前記理由からサーボモータ２が起動
できない位置偏差の大きさ１δ８１の大小を比較する。
と現在の移動台１の位置の差すなわち位置偏差ＪＸを算
出し、 １Ｊｘｌと前記理由からサーボモータ２が起動
できない位置偏差の大きさ１δ８１の大小を比較する。
もしｌ 、４ ｘ ｉ ＞ ｌδ８１であるなら、電子
計算機６はスイッチ開閉回路１１に“°１″の信号Ｓを
送り、アナログスイッチ１２を開じて演算増幅器８の利
得をに３ とする。
計算機６はスイッチ開閉回路１１に“°１″の信号Ｓを
送り、アナログスイッチ１２を開じて演算増幅器８の利
得をに３ とする。
その後電子計算機６は制御回路４に移動台１が移動すべ
き目標位置を転送し、線形位置制御を動作させろ。
き目標位置を転送し、線形位置制御を動作させろ。
この演算増幅器８の利得に３は、線形位置制御が安定で
ある範囲内の最大値に設定され、第１図におけるに１
の傾きを最大限度大きくして位置決め誤差δｄの極小化
をはかる。
ある範囲内の最大値に設定され、第１図におけるに１
の傾きを最大限度大きくして位置決め誤差δｄの極小化
をはかる。
もし１Ｊｘｌ≦１δ８１であるなら電子計算機６はスイ
ッチ開閉回路１１に０”の信号Ｓを送り、演算増幅器８
の利得を無限大とした後、前記と同様に制御動作を開始
させる。
ッチ開閉回路１１に０”の信号Ｓを送り、演算増幅器８
の利得を無限大とした後、前記と同様に制御動作を開始
させる。
これにより、サーボモータ２には移動台１が目標値に近
づく回転方向に最大許容電流が送られ、静摩擦トルクに
打ち勝って起動する。
づく回転方向に最大許容電流が送られ、静摩擦トルクに
打ち勝って起動する。
その後時間ｔｍ後にはスイッチ開閉回路１１の出力４が
°°１″となり演算増幅器８のゲインをに３ とし、安
定な線形制御に移行する。
°°１″となり演算増幅器８のゲインをに３ とし、安
定な線形制御に移行する。
この時間ｔｍは制御系の動特性により決定され、次のよ
うにして決定する。
うにして決定する。
第３図に示すごとく、タコジェネレータ１０から速度フ
ィードバックをかげた線形位置制御系においては、移動
台１の速度Ｖは位置偏差Ａｘに比例するように制御され
ながら目標値に近づく。
ィードバックをかげた線形位置制御系においては、移動
台１の速度Ｖは位置偏差Ａｘに比例するように制御され
ながら目標値に近づく。
その関係を直線ＶＪＸとする。
一方、前記したように１Ｊｘｌ≦１δ８１の条件から起
動する場合すなわち、図におけるＰ点から起動する場合
には、サーボモータ２は最大の加速力でＶｒのように目
標値に近づき、そのままでは直線ＶＪＸを越えて図示の
破線の軌道上を進み、目標値を行き過ぎ、ついには発振
してしまう。
動する場合すなわち、図におけるＰ点から起動する場合
には、サーボモータ２は最大の加速力でＶｒのように目
標値に近づき、そのままでは直線ＶＪＸを越えて図示の
破線の軌道上を進み、目標値を行き過ぎ、ついには発振
してしまう。
そこで軌道Ｖｒが直線ＶＡｘと交叉したならば制御系を
線形制御に切り換え、直線Ｖｌｘに沿わせれば最適な制
御が得られる。
線形制御に切り換え、直線Ｖｌｘに沿わせれば最適な制
御が得られる。
すなわち、ｔｍをサーボモータ２を起動させてから移動
台１の速度が直線ＶＪｘに達するまでの時間とすること
により、最短時間でなめらかな制御が可能となる。
台１の速度が直線ＶＪｘに達するまでの時間とすること
により、最短時間でなめらかな制御が可能となる。
しかしながらこのｔｍＯ値は起動する前の位置偏差Ａｘ
の大きさにより変動するため、固定のままでは常に最適
にはできない。
の大きさにより変動するため、固定のままでは常に最適
にはできない。
実施例ではＪｘ−（δ８＋δｄ）／２の場合に最適とな
るように設定し、この場合ｔｍは約２ｍｓであった。
るように設定し、この場合ｔｍは約２ｍｓであった。
上記実施例では回路構成の簡略化のために、起動した後
線形制御に切換える条件として起動後時間ｔｍを経過し
た後としたが、前述したように必らずしも常に最適では
ない。
線形制御に切換える条件として起動後時間ｔｍを経過し
た後としたが、前述したように必らずしも常に最適では
ない。
この点を改良した実施例を第４図により説明する。
この実施例では前例のスイッチ切換え回路１１０代わり
に、アナログスイッチ１２が閉じた場合に持つ演算増幅
器８の利得に３と同一利得の増幅器１５、ＳＲフリップ
フロップ１６、コンパレータ回路１７、絶対値回路１８
が新らたに設げられている。
に、アナログスイッチ１２が閉じた場合に持つ演算増幅
器８の利得に３と同一利得の増幅器１５、ＳＲフリップ
フロップ１６、コンパレータ回路１７、絶対値回路１８
が新らたに設げられている。
なお、図において、引用番号１乃至１４は、第２図と同
様のものを示す。
様のものを示す。
電子計算機６から０″の信号ＳがＳＲフリップフロップ
１６に送られると出力ＱはＩＴ ０９１となりアナログ
スイッチ１２を開く。
１６に送られると出力ＱはＩＴ ０９１となりアナログ
スイッチ１２を開く。
するとサーボモータ２は軌道Ｖｒ上の速度で回転する。
増幅器１５はに３の利得を持っているため、その出力は
第４図における直線■Ｊｘで示される信号と同一である
。
第４図における直線■Ｊｘで示される信号と同一である
。
他方タコジェネレータ１０の出力信号は移動台１の速度
■を表わすから、コンパレータ１７によって両者を比較
することにより、移動台速度Ｖが直線ＶＪｘより大きく
なった瞬間を見い出すことができる。
■を表わすから、コンパレータ１７によって両者を比較
することにより、移動台速度Ｖが直線ＶＪｘより大きく
なった瞬間を見い出すことができる。
すなわち、位置偏差Ａｘが負から起動する場合にはコン
パレータ１７の出力は−１の状態から、上記瞬間に０と
なり、さらに＋１へ移行する。
パレータ１７の出力は−１の状態から、上記瞬間に０と
なり、さらに＋１へ移行する。
Ａｘが正から起動する場合には−１からＯを通過して＋
１へ移行する。
１へ移行する。
そこで絶対値回路１８を通すことにより、Ａｘの符号に
かかわらず上記瞬間を”０″の出力として捕えることが
できる。
かかわらず上記瞬間を”０″の出力として捕えることが
できる。
この′０”信号はフリップフロップ１６をリセットして
アナログスイッチ１２を閉じ、制御を線形制御に切換え
る。
アナログスイッチ１２を閉じ、制御を線形制御に切換え
る。
以上の動作により、位置偏差Ａｘの大きさにかかわらず
、常に最適条件で線形制御への切換えができ、前例の欠
点を解消できる。
、常に最適条件で線形制御への切換えができ、前例の欠
点を解消できる。
また前記２つの実施例では等何曲に位置フィードバック
ゲインを増大させることにより目的を達成しているが、
制御時間の短縮を要求しないならばより簡単には位置偏
差ａＸの符号を考慮して一定の制御信号上Ｔで起動する
ことも可能である。
ゲインを増大させることにより目的を達成しているが、
制御時間の短縮を要求しないならばより簡単には位置偏
差ａＸの符号を考慮して一定の制御信号上Ｔで起動する
ことも可能である。
さらにこの符号も無視して常に一定の制御信号＋Ｔで起
動させることもできる。
動させることもできる。
このように、本発明においては、サーボ系を用いて制御
対象を目標位置に位置ぎめ制御する位置制御方式におい
て、制御前の目標位置からの位置偏差に応じ、該位置偏
差の大きさがあらかじめ決められた値よりも小さい場合
には、該サーボ系において安定であり得る位置フィード
バックゲインにより与えられる制御信号よりも大きな制
御信号で該サーボ系を起動させ、その後に前記位置フィ
ードバックゲインで動作するサーボ系に切換えることに
より、位置決め精度向上をはかることができた。
対象を目標位置に位置ぎめ制御する位置制御方式におい
て、制御前の目標位置からの位置偏差に応じ、該位置偏
差の大きさがあらかじめ決められた値よりも小さい場合
には、該サーボ系において安定であり得る位置フィード
バックゲインにより与えられる制御信号よりも大きな制
御信号で該サーボ系を起動させ、その後に前記位置フィ
ードバックゲインで動作するサーボ系に切換えることに
より、位置決め精度向上をはかることができた。
なお、本発明は、前述した実施例の説明に用いた閉ルー
プ線形位置決め制御の例に限定されるものではなく、広
く、サーボ系を用いて制御対象を目標位置に位置決め制
御する型の位置制御方式に適用可能なものである。
プ線形位置決め制御の例に限定されるものではなく、広
く、サーボ系を用いて制御対象を目標位置に位置決め制
御する型の位置制御方式に適用可能なものである。
また、本発明におけ＼
る制御対象は、前記実施例に用いた移動台に限定される
ものでなく、また実施例の説明に用いた具体的数値、回
路等に限定されるものではなく、設定条件等により適宜
、選択適用可能なものである。
ものでなく、また実施例の説明に用いた具体的数値、回
路等に限定されるものではなく、設定条件等により適宜
、選択適用可能なものである。
第１図は、閉ループ線形位置制御における一般的な特性
を説明する図、第２図は、本発明の一実施例を示すブロ
ック図、第３図は、本発明による特性を示す図、および
第４図は、本発明の他の実施例を示すブロック図である
。 １・・・・・・移動台、２・・・・・・サーボモータ、
３・・・・・・ボールネジ、４・・・・・・制御回路、
５・・・・・・レーザ干渉測長器、６・・・・・・電子
計算機、７・・・・・・Ｄ／Ａ変換器、８・・・・・・
演算増幅器、９・・・・・・サーボアンプ、１０・・・
・・・タコジェネレータ、１１・・・・・・スイッチ開
閉回路、１２・・・・・・アナログスイッチ、１３，１
４・・・・・・抵抗、１５・・・・・・増幅器、１６・
・・・・・ＳＲフリップフロップ、１７・・・・・・コ
ンパレータ回路、１８・・・・・・絶対値回路。
を説明する図、第２図は、本発明の一実施例を示すブロ
ック図、第３図は、本発明による特性を示す図、および
第４図は、本発明の他の実施例を示すブロック図である
。 １・・・・・・移動台、２・・・・・・サーボモータ、
３・・・・・・ボールネジ、４・・・・・・制御回路、
５・・・・・・レーザ干渉測長器、６・・・・・・電子
計算機、７・・・・・・Ｄ／Ａ変換器、８・・・・・・
演算増幅器、９・・・・・・サーボアンプ、１０・・・
・・・タコジェネレータ、１１・・・・・・スイッチ開
閉回路、１２・・・・・・アナログスイッチ、１３，１
４・・・・・・抵抗、１５・・・・・・増幅器、１６・
・・・・・ＳＲフリップフロップ、１７・・・・・・コ
ンパレータ回路、１８・・・・・・絶対値回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ サーボ系を用いて制御対象を目標位置に位置決め制
御する位置制御方式において、制御前の上記目標位置か
らの位置偏差に応じ、該位置偏差の大きさがあらかじめ
決められた値よりも小さい場合には、上記サーボ系にお
いて安定であり得る位置フィードバックゲインにより与
えられる制御信号よりも大きな制御信号で上記サーボ系
を起動させ、その後に上記位置フィードバックゲインで
動作するサーボ系に切換える如（構成したことを特徴と
する位置制御方式。 ２ 上記サーボ系が、上記制御対象を駆動せしめるサー
ボモータへの制御信号が上記目標位置に対する誤差に比
例する型のサーボ系で構成されたことを特徴とする特許 位置制御方式。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54012273A JPS5847043B2 (ja) | 1979-02-07 | 1979-02-07 | 位置制御方式 |
| FR7931915A FR2448745B1 (fr) | 1979-02-07 | 1979-12-28 | Systeme de commande de positionnement |
| NL8000212A NL8000212A (nl) | 1979-02-07 | 1980-01-14 | Positiebesturingsinrichting. |
| US06/115,410 US4282469A (en) | 1979-02-07 | 1980-01-25 | Positioning control system |
| DE3003486A DE3003486C2 (de) | 1979-02-07 | 1980-01-31 | Positioniereinrichtung |
| GB8003874A GB2041582B (en) | 1979-02-07 | 1980-02-05 | Position control system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54012273A JPS5847043B2 (ja) | 1979-02-07 | 1979-02-07 | 位置制御方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55105705A JPS55105705A (en) | 1980-08-13 |
| JPS5847043B2 true JPS5847043B2 (ja) | 1983-10-20 |
Family
ID=11800750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54012273A Expired JPS5847043B2 (ja) | 1979-02-07 | 1979-02-07 | 位置制御方式 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4282469A (ja) |
| JP (1) | JPS5847043B2 (ja) |
| DE (1) | DE3003486C2 (ja) |
| FR (1) | FR2448745B1 (ja) |
| GB (1) | GB2041582B (ja) |
| NL (1) | NL8000212A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0443705Y2 (ja) * | 1985-03-27 | 1992-10-15 |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS569801A (en) * | 1979-07-06 | 1981-01-31 | Hitachi Ltd | Automatic controller |
| JPS57139820A (en) * | 1981-02-24 | 1982-08-30 | Fanuc Ltd | Backlash correction system of double position feedback control system |
| JPS58169909A (ja) * | 1982-03-31 | 1983-10-06 | Hitachi Ltd | 移動台制御装置 |
| US4574227A (en) * | 1983-11-14 | 1986-03-04 | Datapoint Corporation | Dual mode servo |
| US4721895A (en) * | 1983-11-22 | 1988-01-26 | Qume Corporation | Multi-speed analog servo |
| JPS60213456A (ja) * | 1984-04-04 | 1985-10-25 | Citizen Watch Co Ltd | 位置決め装置 |
| JPS61116983A (ja) * | 1984-11-10 | 1986-06-04 | Fuji Photo Film Co Ltd | モ−タの回転停止方法 |
| JPS63148315A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-21 | Fanuc Ltd | サ−ボモ−タ制御装置 |
| JPS63148314A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-21 | Fanuc Ltd | セミクロ−ズドル−プサ−ボ制御系の制御装置 |
| JPH07120216B2 (ja) * | 1988-10-21 | 1995-12-20 | 新技術事業団 | 位置制御方法 |
| JPH07122830B2 (ja) * | 1989-05-31 | 1995-12-25 | 新技術事業団 | 超精密位置決め装置 |
| US4988932A (en) * | 1989-10-10 | 1991-01-29 | Eastman Kodak Company | Constant velocity servosystem wtih high positional accuracy |
| US5097185A (en) * | 1990-10-23 | 1992-03-17 | Tachi-S Co., Ltd. | Method and device for controlling speed of a motor in a powered seat |
| GB2251705B (en) * | 1991-01-12 | 1994-07-13 | Rover Group | A throttle valve control system for an engine of a vehicle |
| JP3613291B2 (ja) * | 1995-03-08 | 2005-01-26 | 株式会社ニコン | 露光装置 |
| US6144118A (en) * | 1998-09-18 | 2000-11-07 | General Scanning, Inc. | High-speed precision positioning apparatus |
| JP2004030500A (ja) * | 2002-06-28 | 2004-01-29 | Fanuc Ltd | モータ制御装置 |
| US7453228B2 (en) * | 2006-04-07 | 2008-11-18 | Asml Netherlands B.V. | Method for controlling a positioning device, positioning device, and lithographic apparatus provided with a positioning device |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5183980A (en) * | 1975-01-20 | 1976-07-22 | Hitachi Ltd | Saabokeino seigyohoshiki |
| JPS52156281A (en) * | 1976-06-23 | 1977-12-26 | Hitachi Ltd | Servo motor drive unit |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3320502A (en) * | 1964-01-24 | 1967-05-16 | Sperry Gyroscope Company Of Ca | Automatic gain control for servo systems |
| US3588254A (en) * | 1968-09-13 | 1971-06-28 | Gen Electric | Frequency control for tunable laser utilized in a position control system |
| US3644720A (en) * | 1969-10-06 | 1972-02-22 | Chandler Evans Inc | Gain multiplier |
| US3659175A (en) * | 1970-06-08 | 1972-04-25 | Information Storage Systems | Circuit to prevent oscillation in an electronic servosystem |
| US3731176A (en) * | 1972-04-21 | 1973-05-01 | Ibm | Deceleration and stop-lock motor control apparatus |
| GB1463067A (en) * | 1973-09-22 | 1977-02-02 | Ferranti Ltd | Servo systems |
| US4051423A (en) * | 1976-02-10 | 1977-09-27 | Sperry Rand Corporation | Servo system with feedback signal compensation |
-
1979
- 1979-02-07 JP JP54012273A patent/JPS5847043B2/ja not_active Expired
- 1979-12-28 FR FR7931915A patent/FR2448745B1/fr not_active Expired
-
1980
- 1980-01-14 NL NL8000212A patent/NL8000212A/nl not_active Application Discontinuation
- 1980-01-25 US US06/115,410 patent/US4282469A/en not_active Expired - Lifetime
- 1980-01-31 DE DE3003486A patent/DE3003486C2/de not_active Expired
- 1980-02-05 GB GB8003874A patent/GB2041582B/en not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5183980A (en) * | 1975-01-20 | 1976-07-22 | Hitachi Ltd | Saabokeino seigyohoshiki |
| JPS52156281A (en) * | 1976-06-23 | 1977-12-26 | Hitachi Ltd | Servo motor drive unit |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0443705Y2 (ja) * | 1985-03-27 | 1992-10-15 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3003486A1 (de) | 1980-08-14 |
| NL8000212A (nl) | 1980-08-11 |
| US4282469A (en) | 1981-08-04 |
| DE3003486C2 (de) | 1982-06-03 |
| GB2041582B (en) | 1983-06-08 |
| FR2448745B1 (fr) | 1985-06-21 |
| JPS55105705A (en) | 1980-08-13 |
| FR2448745A1 (fr) | 1980-09-05 |
| GB2041582A (en) | 1980-09-10 |
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