JPS5825036A - カラ−受像管映像スクリ−ンの露光方法 - Google Patents
カラ−受像管映像スクリ−ンの露光方法Info
- Publication number
- JPS5825036A JPS5825036A JP12299881A JP12299881A JPS5825036A JP S5825036 A JPS5825036 A JP S5825036A JP 12299881 A JP12299881 A JP 12299881A JP 12299881 A JP12299881 A JP 12299881A JP S5825036 A JPS5825036 A JP S5825036A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- film stripes
- formation
- light source
- stripes
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
- H01J9/2271—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines by photographic processes
- H01J9/2272—Devices for carrying out the processes, e.g. light houses
- H01J9/2274—Light sources particularly adapted therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はカラー受像管映偉スクリーンの露光方法に関す
る。
る。
カラー受像管の映倫スクリーンであるけい光面を形成す
るための露光方法は、ブラックマトリックス膜（以下８
Ｍ膜という）形成とけい光膜（以下ＰＨ膜という）形成
とを同一条件で行なう方法が８Ｍ膜とＰＨ膜の位置ずれ
がなく、またその補正も不要となる。しかしながら、Ｂ
ＭＭ形成時のホトレジストの膜厚は０．６μｍと非常に
薄いのに対し、ＰＨ膜形成時のけい光体スラリーの膜厚
は３０μｍと非常に厚く、またホトレジストとけい光体
スラリーとでは感光特性が異なり、更に８Ｍ膜はシャド
ウアスクの開口孔より小さく、ＰＨ膜は膜厚の関係から
シャドウマスクの開口孔より大きく形成しているので、
両者を同一条件で形成するのは、ＢＭ膜ストライプ形成
の裕度が低下すると共に、ＰＨ膜ストライプ形成の接着
強度（照度Ｘ時間）が不刹となる。
るための露光方法は、ブラックマトリックス膜（以下８
Ｍ膜という）形成とけい光膜（以下ＰＨ膜という）形成
とを同一条件で行なう方法が８Ｍ膜とＰＨ膜の位置ずれ
がなく、またその補正も不要となる。しかしながら、Ｂ
ＭＭ形成時のホトレジストの膜厚は０．６μｍと非常に
薄いのに対し、ＰＨ膜形成時のけい光体スラリーの膜厚
は３０μｍと非常に厚く、またホトレジストとけい光体
スラリーとでは感光特性が異なり、更に８Ｍ膜はシャド
ウアスクの開口孔より小さく、ＰＨ膜は膜厚の関係から
シャドウマスクの開口孔より大きく形成しているので、
両者を同一条件で形成するのは、ＢＭ膜ストライプ形成
の裕度が低下すると共に、ＰＨ膜ストライプ形成の接着
強度（照度Ｘ時間）が不刹となる。
本発明は上記背景に立ってなされたもので、ＢＭ膜スス
トライブ形成裕度詔よびＰＨ膜ストライプ形成の接着強
度をそれぞれ向上させることができるカラー受儂管映倫
スクリーンの露光方法を提供することを目的とする〇 以下、本発明を図示の一笑施偶により説明する。
トライブ形成裕度詔よびＰＨ膜ストライプ形成の接着強
度をそれぞれ向上させることができるカラー受儂管映倫
スクリーンの露光方法を提供することを目的とする〇 以下、本発明を図示の一笑施偶により説明する。
第１図に示すように、カラー受像管のけい光面形成は、
パネルｌの内面に塗布したホトレジストおよびけい光体
スラリー２上に水銀灯を直接線状光ＷＩ３とした露光装
置によりシャドウマスク４に形成されたスリットパター
ン５の露光感光を行なって、第２図に示すように、ＢＭ
膜ストライプ６およびＰＨ膜ストライプ７を形成してい
る。この時、光スポット８の最大露光範囲Ｄｍａｘ、最
小露光範１１Ｄｍｉｎは、光源３の直径を人、スリット
パターン５のスリット幅を８１光源３からシャドウマス
ク４までの距離をＰ１シャドツマスク４からパネルｌ内
面までの距離をＱとすると、概略幾何学的に次式で表わ
される。
パネルｌの内面に塗布したホトレジストおよびけい光体
スラリー２上に水銀灯を直接線状光ＷＩ３とした露光装
置によりシャドウマスク４に形成されたスリットパター
ン５の露光感光を行なって、第２図に示すように、ＢＭ
膜ストライプ６およびＰＨ膜ストライプ７を形成してい
る。この時、光スポット８の最大露光範囲Ｄｍａｘ、最
小露光範１１Ｄｍｉｎは、光源３の直径を人、スリット
パターン５のスリット幅を８１光源３からシャドウマス
ク４までの距離をＰ１シャドツマスク４からパネルｌ内
面までの距離をＱとすると、概略幾何学的に次式で表わ
される。
Ｄ ｗａｘ ｗ （Ｂ ＋Ａ ） Ｘ ” ＋ ＢＤｍ
ｉｎ＝（Ｂ−人）ＸＱ＋Ｂ この関係を図示すると第３図のように表わされる。
ｉｎ＝（Ｂ−人）ＸＱ＋Ｂ この関係を図示すると第３図のように表わされる。
さて、ＢＭ膜ストライプ６の幅Ｃは、ピユリティ裕度を
向上させるため、電子ビームの幅より小さく、すなわち
スリットパターン５のスリット幅Ｂより小さく形成する
。このことを第３図によつ感光するようにする。すなわ
ち、光源径Ａが大きくなるとＤ ｍｉｎは小さくなり、
小さいＢＭ膜ストライプ６を形成するのに有利になる。
向上させるため、電子ビームの幅より小さく、すなわち
スリットパターン５のスリット幅Ｂより小さく形成する
。このことを第３図によつ感光するようにする。すなわ
ち、光源径Ａが大きくなるとＤ ｍｉｎは小さくなり、
小さいＢＭ膜ストライプ６を形成するのに有利になる。
ＰＨ膜ストライプ７の形成は、膜厚が３０μｍと厚いけ
い光体スラリーを露光感光するため、充分な露光量が必
要となる。このことを第３図によって説明すると、露光
量を多くすることはＤｍａｘの方で感光させることにな
る。すなわち、ＰＨ膜ストライプ７の幅Ｅはスリットパ
ターン５のスリット幅Ｂより大きくなるが、最大幅は相
隣接するＰＨ膜ストライプ７にはみ出さない幅にする。
い光体スラリーを露光感光するため、充分な露光量が必
要となる。このことを第３図によって説明すると、露光
量を多くすることはＤｍａｘの方で感光させることにな
る。すなわち、ＰＨ膜ストライプ７の幅Ｅはスリットパ
ターン５のスリット幅Ｂより大きくなるが、最大幅は相
隣接するＰＨ膜ストライプ７にはみ出さない幅にする。
このためには、Ｄｍａｚがなるべく小さく、Ｄ ｍｉｎ
とＤｍａｘの差が小さい程有刹となる。これを満足する
には光源径Ａが小さい方が良い。
とＤｍａｘの差が小さい程有刹となる。これを満足する
には光源径Ａが小さい方が良い。
そこで、ＢＭ膜ストライプ６形成時はＰＨ膜ストライプ
７形成時より太い光源径ムを備えた露光装置で嵩光する
ことにより、ＢＭ膜ラストライプ６形成裕度が向上する
と共に、ＰＨ膜ストライプ７形成の接着強度が向上する
。例えば、光源径Ａは、ＢＭ膜ストライプ６形成時に１
．５Ｗφを、ＰＨ膜ストライプ７形成時に０．９Ｗφを
それぞれ使用し、光源３からシャドウマスク４までの距
＠Ｐは、ＢＭ膜ストライプ６形成時をＰＨ膜ストライプ
７形成時より０．３ｍ大きくして露光位置ずれを補正し
て行なったところ、良好な結果力Ｓ得られた。
７形成時より太い光源径ムを備えた露光装置で嵩光する
ことにより、ＢＭ膜ラストライプ６形成裕度が向上する
と共に、ＰＨ膜ストライプ７形成の接着強度が向上する
。例えば、光源径Ａは、ＢＭ膜ストライプ６形成時に１
．５Ｗφを、ＰＨ膜ストライプ７形成時に０．９Ｗφを
それぞれ使用し、光源３からシャドウマスク４までの距
＠Ｐは、ＢＭ膜ストライプ６形成時をＰＨ膜ストライプ
７形成時より０．３ｍ大きくして露光位置ずれを補正し
て行なったところ、良好な結果力Ｓ得られた。
ここで、光源径の違いによるＢＭ膜ストライブ各とＰＨ
膜ストライプ７との露光位置ずれ番よ、前記のように距
離Ｐを変えることによって対処できるが、この外に補正
レンズ、ガラス板（図示せず）の板厚を変えることでも
対処できる。
膜ストライプ７との露光位置ずれ番よ、前記のように距
離Ｐを変えることによって対処できるが、この外に補正
レンズ、ガラス板（図示せず）の板厚を変えることでも
対処できる。
このように光源ｔＡを変えることによってＢＭ膜ラスト
ライプ６形成ＰＨＩＩＸ ） ５（７’７％ＩＥ（Ｄ品
健を向上できるが、ストライプけｌ、Ｎ光面を形成する
場合には、第４図に示すようにスリットノ（ターン５の
長手方向のブリッジ部９を消去する必要がある。このブ
リッジ部９を消去するために番よ、ブリッジ部９のピッ
チをＦ１線状光源３の長さを］とすると Ｊ −ム、
ｐの長さの鐘状光源３が必要となる。
ライプ６形成ＰＨＩＩＸ ） ５（７’７％ＩＥ（Ｄ品
健を向上できるが、ストライプけｌ、Ｎ光面を形成する
場合には、第４図に示すようにスリットノ（ターン５の
長手方向のブリッジ部９を消去する必要がある。このブ
リッジ部９を消去するために番よ、ブリッジ部９のピッ
チをＦ１線状光源３の長さを］とすると Ｊ −ム、
ｐの長さの鐘状光源３が必要となる。
しかしなが４、この線状光１［３の長さｊをＢＭ膜スト
ライプ６形成時とＦｕｌｌストライプ７形成時形成量一
長さで露光を行なうと、ＢＨ膜ストライプ６よりＰＨ膜
ストライプ７の有効面が長手方向において小さく形成さ
れるため、長手方向の端部に未発光部が生じ、けい光面
の欠点となる。これはＢＭ膜ストライプ６の露光時の光
源長さ！よりＰＨ膜ストライプ７の露光時の光源長さＩ
を、例えば３〜４ｍ長くすることにより未発光部を除去
できた。
ライプ６形成時とＦｕｌｌストライプ７形成時形成量一
長さで露光を行なうと、ＢＨ膜ストライプ６よりＰＨ膜
ストライプ７の有効面が長手方向において小さく形成さ
れるため、長手方向の端部に未発光部が生じ、けい光面
の欠点となる。これはＢＭ膜ストライプ６の露光時の光
源長さ！よりＰＨ膜ストライプ７の露光時の光源長さＩ
を、例えば３〜４ｍ長くすることにより未発光部を除去
できた。
なお、上記集論例においては、ストライプタイプのカラ
ー受儂管について説明したが、光源佳人についてはドツ
トタイプのカラー受会管のけい光面形成にも適用できる
。
ー受儂管について説明したが、光源佳人についてはドツ
トタイプのカラー受会管のけい光面形成にも適用できる
。
以上の説明から明らかな如く、本発明の方法によれば、
ＢＭ膜ストライプの形成裕度が向上すると共に、ＰＨ膜
ストライプの接着強度が向上する。
ＢＭ膜ストライプの形成裕度が向上すると共に、ＰＨ膜
ストライプの接着強度が向上する。
図は本発明になる方法の一実施例を示し、第１図は露光
方法のａｍ説明図、１１２図はストライプタイプけい光
面の平面説明図、第３図は露光強度を示す説明図、第４
図はシャドラマスクのブリッジ部を、消、去するための
線状光源長さを示す原理説明図である。 ｌ・・・パネル、 ２・・・ホトレジストおよびけい
光体スラリー、 ３・・・線状光源、 ４・・
・シャドウマスク、 ５・・スリーットパターン、
６・・・ＢＭ膜ストライプ、 ７・・・ＰＨ
膜ストライプ、８・・・スポット。 第１図 第２図 第３図 第４図
方法のａｍ説明図、１１２図はストライプタイプけい光
面の平面説明図、第３図は露光強度を示す説明図、第４
図はシャドラマスクのブリッジ部を、消、去するための
線状光源長さを示す原理説明図である。 ｌ・・・パネル、 ２・・・ホトレジストおよびけい
光体スラリー、 ３・・・線状光源、 ４・・
・シャドウマスク、 ５・・スリーットパターン、
６・・・ＢＭ膜ストライプ、 ７・・・ＰＨ
膜ストライプ、８・・・スポット。 第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- パネル内面ｌζ塗布したホトレジストおよびけい光体ス
ラリーに光源からの光線をシャドウマスクの開口孔を通
して露光感光を行なってブラックマトリックス膜および
けい光膜をそれぞれ別個の露光装置で形成するカラー受
儂管映儂スクリーンの露光方法において、前記ブラック
マトリックス膜形成時は前記けい光膜形成時より前記光
源径を大きくして露光を行なうことを特徴とするカラー
受儂管映儂スクリーンの露光方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12299881A JPS5825036A (ja) | 1981-08-07 | 1981-08-07 | カラ−受像管映像スクリ−ンの露光方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12299881A JPS5825036A (ja) | 1981-08-07 | 1981-08-07 | カラ−受像管映像スクリ−ンの露光方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2211722A Division JPH0616376B2 (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | カラー受像管映像スクリーンの露光方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5825036A true JPS5825036A (ja) | 1983-02-15 |
| JPH0437533B2 JPH0437533B2 (ja) | 1992-06-19 |
Family
ID=14849737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12299881A Granted JPS5825036A (ja) | 1981-08-07 | 1981-08-07 | カラ−受像管映像スクリ−ンの露光方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5825036A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62293963A (ja) * | 1986-06-12 | 1987-12-21 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 継続接続電力変換器の制御装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5222228A (en) * | 1975-08-12 | 1977-02-19 | Schneider Jean Claude | Head rest for automotive seat |
-
1981
- 1981-08-07 JP JP12299881A patent/JPS5825036A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5222228A (en) * | 1975-08-12 | 1977-02-19 | Schneider Jean Claude | Head rest for automotive seat |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62293963A (ja) * | 1986-06-12 | 1987-12-21 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 継続接続電力変換器の制御装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0437533B2 (ja) | 1992-06-19 |
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