JPH03129635A - カラー受像管映像スクリーンの露光方法 - Google Patents
カラー受像管映像スクリーンの露光方法Info
- Publication number
- JPH03129635A JPH03129635A JP21172290A JP21172290A JPH03129635A JP H03129635 A JPH03129635 A JP H03129635A JP 21172290 A JP21172290 A JP 21172290A JP 21172290 A JP21172290 A JP 21172290A JP H03129635 A JPH03129635 A JP H03129635A
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- Japan
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- film
- forming
- light source
- stripe
- exposure
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- Granted
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims abstract description 10
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
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- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はカラー受像管映像スクリーンの露光方法に関す
る。
る。
カラー受像管の映像スクリーンであるけい光膜を形成す
るための露光方法は、ブラックマトリックス膜(以下8
M膜という)形成とけい光膜(以下PHIl!!という
)形成とを同一条件で行なう方法が8M膜とPH膜の位
置ずれがなく、またその抽圧も不要となる。しかしなが
ら、BM膜形成時のホトレジストの膜厚は例えば0.6
μm程度と非常に薄いのに対し、PH膜形成時のけい光
体スラリーの膜厚は例えば30μm程度と前記ホトレジ
の膜71.(に比べ非常に厚く、またホトレジストとけ
い光体スラリーとでは感光特性が異なり、更に8M膜は
シャドウマスクの開口孔より小さく、すなわちスロット
形の開口孔の場合は8M膜漠の幅がスロットの帽より小
さく、円形の開口孔ではBM脱の径が円形の径より小さ
く、PH膜は膜厚の関係からシャドウマスクの開口孔よ
り大きく、すなわちスロット形の開口孔の場合はPH膜
の幅がスロットの蝙より大きく、円形の開口孔の場合は
pH111が円形の径より大きく形成しているので、向
者を同一条件で形成するのは、B M膜形成の裕度が代
ドすると共に、P )i膜形成の接着強度(照度×時間
)が不利となる。
るための露光方法は、ブラックマトリックス膜(以下8
M膜という)形成とけい光膜(以下PHIl!!という
)形成とを同一条件で行なう方法が8M膜とPH膜の位
置ずれがなく、またその抽圧も不要となる。しかしなが
ら、BM膜形成時のホトレジストの膜厚は例えば0.6
μm程度と非常に薄いのに対し、PH膜形成時のけい光
体スラリーの膜厚は例えば30μm程度と前記ホトレジ
の膜71.(に比べ非常に厚く、またホトレジストとけ
い光体スラリーとでは感光特性が異なり、更に8M膜は
シャドウマスクの開口孔より小さく、すなわちスロット
形の開口孔の場合は8M膜漠の幅がスロットの帽より小
さく、円形の開口孔ではBM脱の径が円形の径より小さ
く、PH膜は膜厚の関係からシャドウマスクの開口孔よ
り大きく、すなわちスロット形の開口孔の場合はPH膜
の幅がスロットの蝙より大きく、円形の開口孔の場合は
pH111が円形の径より大きく形成しているので、向
者を同一条件で形成するのは、B M膜形成の裕度が代
ドすると共に、P )i膜形成の接着強度(照度×時間
)が不利となる。
本発明は上記背景に立ってなされたもので、bM膜形成
の裕度およびPH膜形成の接着強度をそれぞれ向上させ
ると共に8M膜とPH膜の位置ずれを防止することがで
きるカラー受像管映像スクリーンの露光方法を提供する
ことを目的とする。
の裕度およびPH膜形成の接着強度をそれぞれ向上させ
ると共に8M膜とPH膜の位置ずれを防止することがで
きるカラー受像管映像スクリーンの露光方法を提供する
ことを目的とする。
以下、本発明を図示の一実施例により説明する。
第1図に示すように、カラー受像管のけい光面形成は、
パネル1の内面に塗布したホトレジストまたはけい光体
スラリー2上に水銀灯を直接線状光ij、g 3とした
露光装置によりシャドウマスク4に形成された開口孔の
スリットパターン5の露光感光を行なって、第2図に示
すように、BMll!aストライプ6およびPH[スト
ライプ7を形成している。
パネル1の内面に塗布したホトレジストまたはけい光体
スラリー2上に水銀灯を直接線状光ij、g 3とした
露光装置によりシャドウマスク4に形成された開口孔の
スリットパターン5の露光感光を行なって、第2図に示
すように、BMll!aストライプ6およびPH[スト
ライプ7を形成している。
この時、光スポット8の最小露光範囲Dmax、最小露
光範囲Dminは、光源3の直径をA、スリットパター
ン5のスリット幅をB、光源3からシャドウマスク4ま
での距離をP、シャドウマスク4からパネル1内面まで
の距離をQとすると、概略幾何学的に次式で表わされる
。
光範囲Dminは、光源3の直径をA、スリットパター
ン5のスリット幅をB、光源3からシャドウマスク4ま
での距離をP、シャドウマスク4からパネル1内面まで
の距離をQとすると、概略幾何学的に次式で表わされる
。
Dma x=(B+A)XQ/)’+BDmi n=(
B A)XQ/P+Bこの関係を図示すると第3図の
ように表わされる。
B A)XQ/P+Bこの関係を図示すると第3図の
ように表わされる。
さて、BM膜ストライプ6の幅Cは、ピユリティ裕度を
向上させるため、電子ビームの幅より小さく、すなわち
スリットパターン5のスリット幅Bより小さく形成する
。このことを第3図によって説明すると、光スポット9
のDminの方で露光感光するようにする。すなわち、
光源径Aが大きくなるとDminは小さくなり、小さい
BMI′lAストライプ6を形成するのに有利になる。
向上させるため、電子ビームの幅より小さく、すなわち
スリットパターン5のスリット幅Bより小さく形成する
。このことを第3図によって説明すると、光スポット9
のDminの方で露光感光するようにする。すなわち、
光源径Aが大きくなるとDminは小さくなり、小さい
BMI′lAストライプ6を形成するのに有利になる。
PH膜ストライプ7の形成は、吸尽が例えば30μmと
厚いけい光体スラリーを露光感光するため、充分な露光
量が必要となる。このことを第3図によって説明すると
、露光量を多くすることはDmaxの方で感光させるこ
とになる。すなわち、PHrlAストライプ7の幅Eは
スリットパターン5のスリット幅Bより大きくなるが、
最大幅は相隣接するPH膜ストライプ7にはみ出さない
幅にする。このためには、Dmaxがなるべく小さく、
DminとDmaxの差が小さい程有利となる。
厚いけい光体スラリーを露光感光するため、充分な露光
量が必要となる。このことを第3図によって説明すると
、露光量を多くすることはDmaxの方で感光させるこ
とになる。すなわち、PHrlAストライプ7の幅Eは
スリットパターン5のスリット幅Bより大きくなるが、
最大幅は相隣接するPH膜ストライプ7にはみ出さない
幅にする。このためには、Dmaxがなるべく小さく、
DminとDmaxの差が小さい程有利となる。
これを補足するには光源径Aが小さい方が良い。
そこで、BMl1%ストライプ6形成時は形成膜ストラ
イプ7形成時より太い光源径Aを備えた露光装置で露光
することにより、BM膜ストライプ6形成の裕度が向上
すると共に、PH膜ストライプ7形成の接着強度が向上
する。また、ホトレジストの膜厚と蛍光体スラリーの膜
厚とはその厚さに相当の差があるため、その麺を考慮し
て光源とシャドウマスク間の距離をBM膜形成時とPH
膜形成時とで異なる寸法とすることでPH膜と8M膜の
位置ずれを防止する。すなわち、第4図に示すようにa
点の光源3からシャドウマスク4の開口孔のスリットパ
ターン5を介してホトレンジスト膜2aを露光するとA
点が露光され、このA点を中心とした8M膜が形成され
る。一方蛍光体膜2bを8M膜の露光と同じa点から露
光すると膜厚の差によりA1点を中心として露光されて
A1点を中心としたPH膜が形成され、8M膜とPH膜
はABの距離だけ位置ずれが発生する。従って、蛍光膜
2bの露光をA点と中心が一致した0点を露光するよう
に、a点よりシャドウマスク4に近接したb点の光源3
から行うことによりBMMとPH膜の位置ずれを防止で
きる。例えば、光源径AはBM膜ストライプ6形成時に
1.5++aφを、P)11ストライプ7形成時に0.
9m+φをそれぞれ使用し、光源3からシャドウマスク
4までの距離Pは、BMl!i!ストライプ6形成時を
PH膜ストライプ7形成時より0.3m大きくして露光
位置ずれを補正して行なったところ、良奸な結果が得ら
れた。ここで、光源径の違いによるBM膜ストライプ6
とPH膜ストライブ7との露光位置ずれは、前記のよう
に距#IPを変えることによって対処できるが、この外
に補正レンズ、ガラス板(図示せず)の板厚を変えるこ
とでも対処できる。また、位置ずれ防止には光源径は8
M膜とPH1i!i!で同一であってもよい。
イプ7形成時より太い光源径Aを備えた露光装置で露光
することにより、BM膜ストライプ6形成の裕度が向上
すると共に、PH膜ストライプ7形成の接着強度が向上
する。また、ホトレジストの膜厚と蛍光体スラリーの膜
厚とはその厚さに相当の差があるため、その麺を考慮し
て光源とシャドウマスク間の距離をBM膜形成時とPH
膜形成時とで異なる寸法とすることでPH膜と8M膜の
位置ずれを防止する。すなわち、第4図に示すようにa
点の光源3からシャドウマスク4の開口孔のスリットパ
ターン5を介してホトレンジスト膜2aを露光するとA
点が露光され、このA点を中心とした8M膜が形成され
る。一方蛍光体膜2bを8M膜の露光と同じa点から露
光すると膜厚の差によりA1点を中心として露光されて
A1点を中心としたPH膜が形成され、8M膜とPH膜
はABの距離だけ位置ずれが発生する。従って、蛍光膜
2bの露光をA点と中心が一致した0点を露光するよう
に、a点よりシャドウマスク4に近接したb点の光源3
から行うことによりBMMとPH膜の位置ずれを防止で
きる。例えば、光源径AはBM膜ストライプ6形成時に
1.5++aφを、P)11ストライプ7形成時に0.
9m+φをそれぞれ使用し、光源3からシャドウマスク
4までの距離Pは、BMl!i!ストライプ6形成時を
PH膜ストライプ7形成時より0.3m大きくして露光
位置ずれを補正して行なったところ、良奸な結果が得ら
れた。ここで、光源径の違いによるBM膜ストライプ6
とPH膜ストライブ7との露光位置ずれは、前記のよう
に距#IPを変えることによって対処できるが、この外
に補正レンズ、ガラス板(図示せず)の板厚を変えるこ
とでも対処できる。また、位置ずれ防止には光源径は8
M膜とPH1i!i!で同一であってもよい。
このように光源とシャドウマスクとの距離を変えること
によってBM膜ストライプ6形成とPH膜ストライプ7
形成の品質を向上できるが、ストライプけい光面を形成
する場合には、第5図に示すようにスリットパターン5
の長手方向のブリッジ部9を消去する場合がある。この
ブリッジ部9を消去するためには、ブリッジ部9のピッ
チをF、線状光源3の長さをαとすると、12=(P+
Q)/Q −?’の長さの線状光源3が必要となる。
によってBM膜ストライプ6形成とPH膜ストライプ7
形成の品質を向上できるが、ストライプけい光面を形成
する場合には、第5図に示すようにスリットパターン5
の長手方向のブリッジ部9を消去する場合がある。この
ブリッジ部9を消去するためには、ブリッジ部9のピッ
チをF、線状光源3の長さをαとすると、12=(P+
Q)/Q −?’の長さの線状光源3が必要となる。
しかしながら、この線状光源3の長さQをBM膜ストラ
イプ6形成時とPH膜ストライプ7形形成とを同一長さ
で露光を行なうと、BH膜ストライプ6よりPH膜スト
ライプ7の有効面が長手方向において小さく形成される
ため、長手方向の端部に未発光部が生じ、けい光面の欠
点となる。これは8M膜ストライプ6の露光時の光源長
さQよりPH膜ストライプ7の露光時の光源長さ悲を、
例えば3〜4wm長くすることにより未発光部を除去で
きた。また、このことはvfJjIg光時の光源の長さ
Qを変えることなく光源の移動距離を金えても対処でき
る。
イプ6形成時とPH膜ストライプ7形形成とを同一長さ
で露光を行なうと、BH膜ストライプ6よりPH膜スト
ライプ7の有効面が長手方向において小さく形成される
ため、長手方向の端部に未発光部が生じ、けい光面の欠
点となる。これは8M膜ストライプ6の露光時の光源長
さQよりPH膜ストライプ7の露光時の光源長さ悲を、
例えば3〜4wm長くすることにより未発光部を除去で
きた。また、このことはvfJjIg光時の光源の長さ
Qを変えることなく光源の移動距離を金えても対処でき
る。
なお、上記実施例においては、ストライブタイプのカラ
ー受像管について説明したが、ドツトタイプのカラー受
像管のけい光面形成にも通用できる。
ー受像管について説明したが、ドツトタイプのカラー受
像管のけい光面形成にも通用できる。
以上の説明から明らかな如く、本発明の方法によれば、
8M膜の形成裕度が向上すると共に、PHPtAの接着
強度が向上し、さらに両膜の位置のずれを防止できる。
8M膜の形成裕度が向上すると共に、PHPtAの接着
強度が向上し、さらに両膜の位置のずれを防止できる。
図は本発明になる方法の一実施例を示し、第1図は真先
方法のIM理説明図、第2図はストライプタイプけい先
部の平面説明図、第3図は露光強度を示す説明図、第4
図は光源の位置と軸点とを説明するための原理説明図、
第5図はシャドウマスクのブリッジ部を消去するための
縁線状光源長さを示す原理説明図である。 1・・・パネル、2・・・ホトレジストまたはけい光体
スラリー 3・・・線状光源、4・・・シャドウマスク
、5・・・スリットパターン、6・・BMIiストライ
ブタイプ・・PH1l!4ストライ第 図 第 図 第 図 第 図
方法のIM理説明図、第2図はストライプタイプけい先
部の平面説明図、第3図は露光強度を示す説明図、第4
図は光源の位置と軸点とを説明するための原理説明図、
第5図はシャドウマスクのブリッジ部を消去するための
縁線状光源長さを示す原理説明図である。 1・・・パネル、2・・・ホトレジストまたはけい光体
スラリー 3・・・線状光源、4・・・シャドウマスク
、5・・・スリットパターン、6・・BMIiストライ
ブタイプ・・PH1l!4ストライ第 図 第 図 第 図 第 図
Claims (1)
- 1、パネル内面に塗布したホトレジストおよびけい光体
スラリーに光源からの光線をシャドウマスクの開口孔を
通して露光感光を行なってブラックマトリックス膜およ
びけい光膜をそれぞれ露光装置で形成するカラー受像管
映像スクリーンの露光方法において、前記ブラックマト
リックス膜形成時は前記けい光膜形成時より前記光源と
シャドウマスク間の距離を大きくして露光を行なうこと
を特徴とするカラー受像管映像スクリーンの露光方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2211722A JPH0616376B2 (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | カラー受像管映像スクリーンの露光方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2211722A JPH0616376B2 (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | カラー受像管映像スクリーンの露光方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12299881A Division JPS5825036A (ja) | 1981-08-07 | 1981-08-07 | カラ−受像管映像スクリ−ンの露光方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03129635A true JPH03129635A (ja) | 1991-06-03 |
JPH0616376B2 JPH0616376B2 (ja) | 1994-03-02 |
Family
ID=16610521
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2211722A Expired - Lifetime JPH0616376B2 (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | カラー受像管映像スクリーンの露光方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0616376B2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5082964A (ja) * | 1973-11-09 | 1975-07-04 |
-
1990
- 1990-08-13 JP JP2211722A patent/JPH0616376B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5082964A (ja) * | 1973-11-09 | 1975-07-04 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0616376B2 (ja) | 1994-03-02 |
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