JPH03129635A - カラー受像管映像スクリーンの露光方法 - Google Patents
カラー受像管映像スクリーンの露光方法Info
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- JPH03129635A JPH03129635A JP21172290A JP21172290A JPH03129635A JP H03129635 A JPH03129635 A JP H03129635A JP 21172290 A JP21172290 A JP 21172290A JP 21172290 A JP21172290 A JP 21172290A JP H03129635 A JPH03129635 A JP H03129635A
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- forming
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims abstract description 10
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
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- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
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- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はカラー受像管映像スクリーンの露光方法に関す
る。
る。
カラー受像管の映像スクリーンであるけい光膜を形成す
るための露光方法は、ブラックマトリックス膜（以下８
Ｍ膜という）形成とけい光膜（以下ＰＨＩｌ！！という
）形成とを同一条件で行なう方法が８Ｍ膜とＰＨ膜の位
置ずれがなく、またその抽圧も不要となる。しかしなが
ら、ＢＭ膜形成時のホトレジストの膜厚は例えば０．６
μｍ程度と非常に薄いのに対し、ＰＨ膜形成時のけい光
体スラリーの膜厚は例えば３０μｍ程度と前記ホトレジ
の膜７１．（に比べ非常に厚く、またホトレジストとけ
い光体スラリーとでは感光特性が異なり、更に８Ｍ膜は
シャドウマスクの開口孔より小さく、すなわちスロット
形の開口孔の場合は８Ｍ膜漠の幅がスロットの帽より小
さく、円形の開口孔ではＢＭ脱の径が円形の径より小さ
く、ＰＨ膜は膜厚の関係からシャドウマスクの開口孔よ
り大きく、すなわちスロット形の開口孔の場合はＰＨ膜
の幅がスロットの蝙より大きく、円形の開口孔の場合は
ｐＨ１１１が円形の径より大きく形成しているので、向
者を同一条件で形成するのは、Ｂ Ｍ膜形成の裕度が代
ドすると共に、Ｐ ）ｉ膜形成の接着強度（照度×時間
）が不利となる。
るための露光方法は、ブラックマトリックス膜（以下８
Ｍ膜という）形成とけい光膜（以下ＰＨＩｌ！！という
）形成とを同一条件で行なう方法が８Ｍ膜とＰＨ膜の位
置ずれがなく、またその抽圧も不要となる。しかしなが
ら、ＢＭ膜形成時のホトレジストの膜厚は例えば０．６
μｍ程度と非常に薄いのに対し、ＰＨ膜形成時のけい光
体スラリーの膜厚は例えば３０μｍ程度と前記ホトレジ
の膜７１．（に比べ非常に厚く、またホトレジストとけ
い光体スラリーとでは感光特性が異なり、更に８Ｍ膜は
シャドウマスクの開口孔より小さく、すなわちスロット
形の開口孔の場合は８Ｍ膜漠の幅がスロットの帽より小
さく、円形の開口孔ではＢＭ脱の径が円形の径より小さ
く、ＰＨ膜は膜厚の関係からシャドウマスクの開口孔よ
り大きく、すなわちスロット形の開口孔の場合はＰＨ膜
の幅がスロットの蝙より大きく、円形の開口孔の場合は
ｐＨ１１１が円形の径より大きく形成しているので、向
者を同一条件で形成するのは、Ｂ Ｍ膜形成の裕度が代
ドすると共に、Ｐ ）ｉ膜形成の接着強度（照度×時間
）が不利となる。
本発明は上記背景に立ってなされたもので、ｂＭ膜形成
の裕度およびＰＨ膜形成の接着強度をそれぞれ向上させ
ると共に８Ｍ膜とＰＨ膜の位置ずれを防止することがで
きるカラー受像管映像スクリーンの露光方法を提供する
ことを目的とする。
の裕度およびＰＨ膜形成の接着強度をそれぞれ向上させ
ると共に８Ｍ膜とＰＨ膜の位置ずれを防止することがで
きるカラー受像管映像スクリーンの露光方法を提供する
ことを目的とする。
以下、本発明を図示の一実施例により説明する。
第１図に示すように、カラー受像管のけい光面形成は、
パネル１の内面に塗布したホトレジストまたはけい光体
スラリー２上に水銀灯を直接線状光ｉｊ、ｇ ３とした
露光装置によりシャドウマスク４に形成された開口孔の
スリットパターン５の露光感光を行なって、第２図に示
すように、ＢＭｌｌ！ａストライプ６およびＰＨ［スト
ライプ７を形成している。
パネル１の内面に塗布したホトレジストまたはけい光体
スラリー２上に水銀灯を直接線状光ｉｊ、ｇ ３とした
露光装置によりシャドウマスク４に形成された開口孔の
スリットパターン５の露光感光を行なって、第２図に示
すように、ＢＭｌｌ！ａストライプ６およびＰＨ［スト
ライプ７を形成している。
この時、光スポット８の最小露光範囲Ｄｍａｘ、最小露
光範囲Ｄｍｉｎは、光源３の直径をＡ、スリットパター
ン５のスリット幅をＢ、光源３からシャドウマスク４ま
での距離をＰ、シャドウマスク４からパネル１内面まで
の距離をＱとすると、概略幾何学的に次式で表わされる
。
光範囲Ｄｍｉｎは、光源３の直径をＡ、スリットパター
ン５のスリット幅をＢ、光源３からシャドウマスク４ま
での距離をＰ、シャドウマスク４からパネル１内面まで
の距離をＱとすると、概略幾何学的に次式で表わされる
。
Ｄｍａ ｘ＝（Ｂ＋Ａ）ＸＱ／）’＋ＢＤｍｉ ｎ＝（
Ｂ Ａ）ＸＱ／Ｐ＋Ｂこの関係を図示すると第３図の
ように表わされる。
Ｂ Ａ）ＸＱ／Ｐ＋Ｂこの関係を図示すると第３図の
ように表わされる。
さて、ＢＭ膜ストライプ６の幅Ｃは、ピユリティ裕度を
向上させるため、電子ビームの幅より小さく、すなわち
スリットパターン５のスリット幅Ｂより小さく形成する
。このことを第３図によって説明すると、光スポット９
のＤｍｉｎの方で露光感光するようにする。すなわち、
光源径Ａが大きくなるとＤｍｉｎは小さくなり、小さい
ＢＭＩ′ｌＡストライプ６を形成するのに有利になる。
向上させるため、電子ビームの幅より小さく、すなわち
スリットパターン５のスリット幅Ｂより小さく形成する
。このことを第３図によって説明すると、光スポット９
のＤｍｉｎの方で露光感光するようにする。すなわち、
光源径Ａが大きくなるとＤｍｉｎは小さくなり、小さい
ＢＭＩ′ｌＡストライプ６を形成するのに有利になる。
ＰＨ膜ストライプ７の形成は、吸尽が例えば３０μｍと
厚いけい光体スラリーを露光感光するため、充分な露光
量が必要となる。このことを第３図によって説明すると
、露光量を多くすることはＤｍａｘの方で感光させるこ
とになる。すなわち、ＰＨｒｌＡストライプ７の幅Ｅは
スリットパターン５のスリット幅Ｂより大きくなるが、
最大幅は相隣接するＰＨ膜ストライプ７にはみ出さない
幅にする。このためには、Ｄｍａｘがなるべく小さく、
ＤｍｉｎとＤｍａｘの差が小さい程有利となる。
厚いけい光体スラリーを露光感光するため、充分な露光
量が必要となる。このことを第３図によって説明すると
、露光量を多くすることはＤｍａｘの方で感光させるこ
とになる。すなわち、ＰＨｒｌＡストライプ７の幅Ｅは
スリットパターン５のスリット幅Ｂより大きくなるが、
最大幅は相隣接するＰＨ膜ストライプ７にはみ出さない
幅にする。このためには、Ｄｍａｘがなるべく小さく、
ＤｍｉｎとＤｍａｘの差が小さい程有利となる。
これを補足するには光源径Ａが小さい方が良い。
そこで、ＢＭｌ１％ストライプ６形成時は形成膜ストラ
イプ７形成時より太い光源径Ａを備えた露光装置で露光
することにより、ＢＭ膜ストライプ６形成の裕度が向上
すると共に、ＰＨ膜ストライプ７形成の接着強度が向上
する。また、ホトレジストの膜厚と蛍光体スラリーの膜
厚とはその厚さに相当の差があるため、その麺を考慮し
て光源とシャドウマスク間の距離をＢＭ膜形成時とＰＨ
膜形成時とで異なる寸法とすることでＰＨ膜と８Ｍ膜の
位置ずれを防止する。すなわち、第４図に示すようにａ
点の光源３からシャドウマスク４の開口孔のスリットパ
ターン５を介してホトレンジスト膜２ａを露光するとＡ
点が露光され、このＡ点を中心とした８Ｍ膜が形成され
る。一方蛍光体膜２ｂを８Ｍ膜の露光と同じａ点から露
光すると膜厚の差によりＡ１点を中心として露光されて
Ａ１点を中心としたＰＨ膜が形成され、８Ｍ膜とＰＨ膜
はＡＢの距離だけ位置ずれが発生する。従って、蛍光膜
２ｂの露光をＡ点と中心が一致した０点を露光するよう
に、ａ点よりシャドウマスク４に近接したｂ点の光源３
から行うことによりＢＭＭとＰＨ膜の位置ずれを防止で
きる。例えば、光源径ＡはＢＭ膜ストライプ６形成時に
１．５＋＋ａφを、Ｐ）１１ストライプ７形成時に０．
９ｍ＋φをそれぞれ使用し、光源３からシャドウマスク
４までの距離Ｐは、ＢＭｌ！ｉ！ストライプ６形成時を
ＰＨ膜ストライプ７形成時より０．３ｍ大きくして露光
位置ずれを補正して行なったところ、良奸な結果が得ら
れた。ここで、光源径の違いによるＢＭ膜ストライプ６
とＰＨ膜ストライブ７との露光位置ずれは、前記のよう
に距＃ＩＰを変えることによって対処できるが、この外
に補正レンズ、ガラス板（図示せず）の板厚を変えるこ
とでも対処できる。また、位置ずれ防止には光源径は８
Ｍ膜とＰＨ１ｉ！ｉ！で同一であってもよい。
イプ７形成時より太い光源径Ａを備えた露光装置で露光
することにより、ＢＭ膜ストライプ６形成の裕度が向上
すると共に、ＰＨ膜ストライプ７形成の接着強度が向上
する。また、ホトレジストの膜厚と蛍光体スラリーの膜
厚とはその厚さに相当の差があるため、その麺を考慮し
て光源とシャドウマスク間の距離をＢＭ膜形成時とＰＨ
膜形成時とで異なる寸法とすることでＰＨ膜と８Ｍ膜の
位置ずれを防止する。すなわち、第４図に示すようにａ
点の光源３からシャドウマスク４の開口孔のスリットパ
ターン５を介してホトレンジスト膜２ａを露光するとＡ
点が露光され、このＡ点を中心とした８Ｍ膜が形成され
る。一方蛍光体膜２ｂを８Ｍ膜の露光と同じａ点から露
光すると膜厚の差によりＡ１点を中心として露光されて
Ａ１点を中心としたＰＨ膜が形成され、８Ｍ膜とＰＨ膜
はＡＢの距離だけ位置ずれが発生する。従って、蛍光膜
２ｂの露光をＡ点と中心が一致した０点を露光するよう
に、ａ点よりシャドウマスク４に近接したｂ点の光源３
から行うことによりＢＭＭとＰＨ膜の位置ずれを防止で
きる。例えば、光源径ＡはＢＭ膜ストライプ６形成時に
１．５＋＋ａφを、Ｐ）１１ストライプ７形成時に０．
９ｍ＋φをそれぞれ使用し、光源３からシャドウマスク
４までの距離Ｐは、ＢＭｌ！ｉ！ストライプ６形成時を
ＰＨ膜ストライプ７形成時より０．３ｍ大きくして露光
位置ずれを補正して行なったところ、良奸な結果が得ら
れた。ここで、光源径の違いによるＢＭ膜ストライプ６
とＰＨ膜ストライブ７との露光位置ずれは、前記のよう
に距＃ＩＰを変えることによって対処できるが、この外
に補正レンズ、ガラス板（図示せず）の板厚を変えるこ
とでも対処できる。また、位置ずれ防止には光源径は８
Ｍ膜とＰＨ１ｉ！ｉ！で同一であってもよい。
このように光源とシャドウマスクとの距離を変えること
によってＢＭ膜ストライプ６形成とＰＨ膜ストライプ７
形成の品質を向上できるが、ストライプけい光面を形成
する場合には、第５図に示すようにスリットパターン５
の長手方向のブリッジ部９を消去する場合がある。この
ブリッジ部９を消去するためには、ブリッジ部９のピッ
チをＦ、線状光源３の長さをαとすると、１２＝（Ｐ＋
Ｑ）／Ｑ −？’の長さの線状光源３が必要となる。
によってＢＭ膜ストライプ６形成とＰＨ膜ストライプ７
形成の品質を向上できるが、ストライプけい光面を形成
する場合には、第５図に示すようにスリットパターン５
の長手方向のブリッジ部９を消去する場合がある。この
ブリッジ部９を消去するためには、ブリッジ部９のピッ
チをＦ、線状光源３の長さをαとすると、１２＝（Ｐ＋
Ｑ）／Ｑ −？’の長さの線状光源３が必要となる。
しかしながら、この線状光源３の長さＱをＢＭ膜ストラ
イプ６形成時とＰＨ膜ストライプ７形形成とを同一長さ
で露光を行なうと、ＢＨ膜ストライプ６よりＰＨ膜スト
ライプ７の有効面が長手方向において小さく形成される
ため、長手方向の端部に未発光部が生じ、けい光面の欠
点となる。これは８Ｍ膜ストライプ６の露光時の光源長
さＱよりＰＨ膜ストライプ７の露光時の光源長さ悲を、
例えば３〜４ｗｍ長くすることにより未発光部を除去で
きた。また、このことはｖｆＪｊＩｇ光時の光源の長さ
Ｑを変えることなく光源の移動距離を金えても対処でき
る。
イプ６形成時とＰＨ膜ストライプ７形形成とを同一長さ
で露光を行なうと、ＢＨ膜ストライプ６よりＰＨ膜スト
ライプ７の有効面が長手方向において小さく形成される
ため、長手方向の端部に未発光部が生じ、けい光面の欠
点となる。これは８Ｍ膜ストライプ６の露光時の光源長
さＱよりＰＨ膜ストライプ７の露光時の光源長さ悲を、
例えば３〜４ｗｍ長くすることにより未発光部を除去で
きた。また、このことはｖｆＪｊＩｇ光時の光源の長さ
Ｑを変えることなく光源の移動距離を金えても対処でき
る。
なお、上記実施例においては、ストライブタイプのカラ
ー受像管について説明したが、ドツトタイプのカラー受
像管のけい光面形成にも通用できる。
ー受像管について説明したが、ドツトタイプのカラー受
像管のけい光面形成にも通用できる。
以上の説明から明らかな如く、本発明の方法によれば、
８Ｍ膜の形成裕度が向上すると共に、ＰＨＰｔＡの接着
強度が向上し、さらに両膜の位置のずれを防止できる。
８Ｍ膜の形成裕度が向上すると共に、ＰＨＰｔＡの接着
強度が向上し、さらに両膜の位置のずれを防止できる。
図は本発明になる方法の一実施例を示し、第１図は真先
方法のＩＭ理説明図、第２図はストライプタイプけい先
部の平面説明図、第３図は露光強度を示す説明図、第４
図は光源の位置と軸点とを説明するための原理説明図、
第５図はシャドウマスクのブリッジ部を消去するための
縁線状光源長さを示す原理説明図である。 １・・・パネル、２・・・ホトレジストまたはけい光体
スラリー ３・・・線状光源、４・・・シャドウマスク
、５・・・スリットパターン、６・・ＢＭＩｉストライ
ブタイプ・・ＰＨ１ｌ！４ストライ第 図 第 図 第 図 第 図
方法のＩＭ理説明図、第２図はストライプタイプけい先
部の平面説明図、第３図は露光強度を示す説明図、第４
図は光源の位置と軸点とを説明するための原理説明図、
第５図はシャドウマスクのブリッジ部を消去するための
縁線状光源長さを示す原理説明図である。 １・・・パネル、２・・・ホトレジストまたはけい光体
スラリー ３・・・線状光源、４・・・シャドウマスク
、５・・・スリットパターン、６・・ＢＭＩｉストライ
ブタイプ・・ＰＨ１ｌ！４ストライ第 図 第 図 第 図 第 図
Claims (1)
- １、パネル内面に塗布したホトレジストおよびけい光体
スラリーに光源からの光線をシャドウマスクの開口孔を
通して露光感光を行なってブラックマトリックス膜およ
びけい光膜をそれぞれ露光装置で形成するカラー受像管
映像スクリーンの露光方法において、前記ブラックマト
リックス膜形成時は前記けい光膜形成時より前記光源と
シャドウマスク間の距離を大きくして露光を行なうこと
を特徴とするカラー受像管映像スクリーンの露光方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2211722A JPH0616376B2 (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | カラー受像管映像スクリーンの露光方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2211722A JPH0616376B2 (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | カラー受像管映像スクリーンの露光方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12299881A Division JPS5825036A (ja) | 1981-08-07 | 1981-08-07 | カラ−受像管映像スクリ−ンの露光方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03129635A true JPH03129635A (ja) | 1991-06-03 |
| JPH0616376B2 JPH0616376B2 (ja) | 1994-03-02 |
Family
ID=16610521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2211722A Expired - Lifetime JPH0616376B2 (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | カラー受像管映像スクリーンの露光方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0616376B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5082964A (ja) * | 1973-11-09 | 1975-07-04 |
-
1990
- 1990-08-13 JP JP2211722A patent/JPH0616376B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5082964A (ja) * | 1973-11-09 | 1975-07-04 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0616376B2 (ja) | 1994-03-02 |
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