JP3133418B2 - カラー受像管の蛍光面形成用露光装置 - Google Patents
カラー受像管の蛍光面形成用露光装置Info
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- JP3133418B2 JP3133418B2 JP03250074A JP25007491A JP3133418B2 JP 3133418 B2 JP3133418 B2 JP 3133418B2 JP 03250074 A JP03250074 A JP 03250074A JP 25007491 A JP25007491 A JP 25007491A JP 3133418 B2 JP3133418 B2 JP 3133418B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、カラー受像管の蛍光
面形成用露光装置に係り、特に光源から放出される光の
軌道を補正する補正レンズに補正フィルター機能が付与
されたカラー受像管の蛍光面形成用露光装置に関する。
面形成用露光装置に係り、特に光源から放出される光の
軌道を補正する補正レンズに補正フィルター機能が付与
されたカラー受像管の蛍光面形成用露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般にカラー受像管は、外囲器を構成す
るパネルの内面に蛍光面が形成され、電子銃から放出さ
れる電子ビームを外囲器の外側に装着された偏向ヨーク
の発生する磁界により偏向し、かつシャドウマスクを介
して上記蛍光面を水平、垂直走査することにより、この
蛍光面上にカラー画像を表示する構造に形成されてい
る。
るパネルの内面に蛍光面が形成され、電子銃から放出さ
れる電子ビームを外囲器の外側に装着された偏向ヨーク
の発生する磁界により偏向し、かつシャドウマスクを介
して上記蛍光面を水平、垂直走査することにより、この
蛍光面上にカラー画像を表示する構造に形成されてい
る。
【０００３】上記蛍光面としては、青，緑，赤に発光す
るドット状またはストライプ状の３色蛍光体層からなる
蛍光面、および上記３色蛍光体層の隙間に黒色の光吸収
層が設けられたブラックマトリックス形またはブラック
ストライプ形といわれる蛍光面がある。
るドット状またはストライプ状の３色蛍光体層からなる
蛍光面、および上記３色蛍光体層の隙間に黒色の光吸収
層が設けられたブラックマトリックス形またはブラック
ストライプ形といわれる蛍光面がある。
【０００４】これら蛍光面は、従来より写真印刷法によ
り形成されている。すなわち、光吸収層をもたない３色
蛍光体層からなる蛍光面については、パネル内面に、蛍
光体と感光剤を主成分とする蛍光体スラリを塗布して蛍
光体スラリ層を形成し、この蛍光体スラリ層をシャドウ
マスクを介して露光し、現像して蛍光体層とし、これを
３色蛍光体層について繰返すことにより形成されてい
る。また光吸収層をもつブラックマトリックス形または
ブラックストライプ形蛍光面については、上記３色蛍光
体層を形成する前に、パネル内面に感光剤を塗布して感
光膜を形成し、この感光膜を露光し、現像して、蛍光体
層形成位置にドット状またはストライプ状のパターンか
らなるレジストを形成する。ついでこのレジストの形成
されたパネル内面に黒色塗料を塗布して黒色塗料層を形
成する。ついで上記レジスト上の黒色塗料層をレジスト
とともに剥離除去して光吸収層を形成する。その後、こ
の光吸収層の隙間に前記３色蛍光体層の形成方法と同様
の方法により蛍光体層を形成することにより形成され
る。
り形成されている。すなわち、光吸収層をもたない３色
蛍光体層からなる蛍光面については、パネル内面に、蛍
光体と感光剤を主成分とする蛍光体スラリを塗布して蛍
光体スラリ層を形成し、この蛍光体スラリ層をシャドウ
マスクを介して露光し、現像して蛍光体層とし、これを
３色蛍光体層について繰返すことにより形成されてい
る。また光吸収層をもつブラックマトリックス形または
ブラックストライプ形蛍光面については、上記３色蛍光
体層を形成する前に、パネル内面に感光剤を塗布して感
光膜を形成し、この感光膜を露光し、現像して、蛍光体
層形成位置にドット状またはストライプ状のパターンか
らなるレジストを形成する。ついでこのレジストの形成
されたパネル内面に黒色塗料を塗布して黒色塗料層を形
成する。ついで上記レジスト上の黒色塗料層をレジスト
とともに剥離除去して光吸収層を形成する。その後、こ
の光吸収層の隙間に前記３色蛍光体層の形成方法と同様
の方法により蛍光体層を形成することにより形成され
る。
【０００５】この蛍光面形成方法において、パネル内面
に形成された蛍光体スラリ層あるいは感光膜を露光する
ときに露光装置が使用される。通常この露光装置は、図
３に示すように、パネル１を位置決め支持する支持台２
を有し、この支持台２の下部内側に、パネル１内面に塗
布形成された蛍光体スラリ層３または感光膜にシャドウ
マスク４を介して光を照射する光源５と、この光源５か
ら放射される光の軌道を電子銃から放出される電子ビー
ムの軌道と一致させるための第１補正レンズ6a、第２補
正レンズ6bおよび電子ビームに対する地磁気の垂直成分
の影響を補正する第３補正レンズ6cなどからなる３個の
補正レンズ７とが配置されている。
に形成された蛍光体スラリ層あるいは感光膜を露光する
ときに露光装置が使用される。通常この露光装置は、図
３に示すように、パネル１を位置決め支持する支持台２
を有し、この支持台２の下部内側に、パネル１内面に塗
布形成された蛍光体スラリ層３または感光膜にシャドウ
マスク４を介して光を照射する光源５と、この光源５か
ら放射される光の軌道を電子銃から放出される電子ビー
ムの軌道と一致させるための第１補正レンズ6a、第２補
正レンズ6bおよび電子ビームに対する地磁気の垂直成分
の影響を補正する第３補正レンズ6cなどからなる３個の
補正レンズ７とが配置されている。
【０００６】上記光源５には、通常３６５nmの波長光を
放射する超高圧水銀ランプが用いられている。また補正
レンズ７には、それぞれ光の透過率を高めるために両面
に単層の反射防止膜が形成されている。
放射する超高圧水銀ランプが用いられている。また補正
レンズ７には、それぞれ光の透過率を高めるために両面
に単層の反射防止膜が形成されている。
【０００７】ところで、このような露光装置によりパネ
ル１内面に塗布形成された蛍光体スラリ層３や感光膜を
露光すると、光源５からパネル１の中心までの距離は、
光源５からパネル１の周辺部までの距離より小さいた
め、パネル１の中心部と周辺部とでは光量差が生ずる。
そのため、たとえばパネル１の中心部の蛍光体層が適正
な大きさになるように露光量を調整すると、パネル１の
周辺部の蛍光体層は小さくなりすぎる。逆にパネル１の
周辺部の蛍光体層が適正な大きさになるように露光量を
調整すると、パネル１の中心部の蛍光体層は小さくなり
すぎ、蛍光面全面にわたり所定大きさの蛍光体層を形成
することができない。そのため、露光装置には、上記パ
ネル１内面の光量分布を調整するため、周辺部の透過率
に対して中央部の透過率を下げる補正フィルター８が配
置されている。
ル１内面に塗布形成された蛍光体スラリ層３や感光膜を
露光すると、光源５からパネル１の中心までの距離は、
光源５からパネル１の周辺部までの距離より小さいた
め、パネル１の中心部と周辺部とでは光量差が生ずる。
そのため、たとえばパネル１の中心部の蛍光体層が適正
な大きさになるように露光量を調整すると、パネル１の
周辺部の蛍光体層は小さくなりすぎる。逆にパネル１の
周辺部の蛍光体層が適正な大きさになるように露光量を
調整すると、パネル１の中心部の蛍光体層は小さくなり
すぎ、蛍光面全面にわたり所定大きさの蛍光体層を形成
することができない。そのため、露光装置には、上記パ
ネル１内面の光量分布を調整するため、周辺部の透過率
に対して中央部の透過率を下げる補正フィルター８が配
置されている。
【０００８】この補正フィルター８は、ガラスなどの透
明基板に金属を蒸着して形成され、中央部の蒸着膜が厚
く、周辺部にいくにしたがって薄くして、図４に曲線９
で示すように、中央部から周辺部にゆくにしたがって透
過率が低くなる透過率分布の回転対称形状に形成されて
いる。
明基板に金属を蒸着して形成され、中央部の蒸着膜が厚
く、周辺部にいくにしたがって薄くして、図４に曲線９
で示すように、中央部から周辺部にゆくにしたがって透
過率が低くなる透過率分布の回転対称形状に形成されて
いる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、カラー
受像管の蛍光面形成には、パネルを位置決め支持する支
持台の下部内側に、パネル内面に塗布形成された蛍光体
スラリ層あるいは感光膜にシャドウマスクを介して光を
照射する光源と、この光源から放射される光の軌道を電
子銃から放出される電子ビームの軌道と一致させるため
の補正レンズと、パネル内面を照射する光の光量分布を
補正する補正フィルターが配置された露光装置が使用さ
れている。しかしその補正フィルターは、透明基板に金
属を蒸着して形成され、中央部から周辺部にゆくにした
がって透過率が低くなる透過率分布の回転対称形状であ
るため、所要の透過率分布にすることが難しく、かつ膜
が剥がれやすく、しかも中央部と周辺部との透過率の差
が大きいほど、その傾向が顕著になるなどの問題があ
る。
受像管の蛍光面形成には、パネルを位置決め支持する支
持台の下部内側に、パネル内面に塗布形成された蛍光体
スラリ層あるいは感光膜にシャドウマスクを介して光を
照射する光源と、この光源から放射される光の軌道を電
子銃から放出される電子ビームの軌道と一致させるため
の補正レンズと、パネル内面を照射する光の光量分布を
補正する補正フィルターが配置された露光装置が使用さ
れている。しかしその補正フィルターは、透明基板に金
属を蒸着して形成され、中央部から周辺部にゆくにした
がって透過率が低くなる透過率分布の回転対称形状であ
るため、所要の透過率分布にすることが難しく、かつ膜
が剥がれやすく、しかも中央部と周辺部との透過率の差
が大きいほど、その傾向が顕著になるなどの問題があ
る。
【００１０】この発明は、上記問題点を解決するために
なされたものであり、パネル内面の光量分布を補正する
手段を改良して、パネル内面の全面にわたり所定の大き
さの蛍光体層や光吸収層を形成し得る露光装置を構成す
ることを目的とする。
なされたものであり、パネル内面の光量分布を補正する
手段を改良して、パネル内面の全面にわたり所定の大き
さの蛍光体層や光吸収層を形成し得る露光装置を構成す
ることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】光源とこの光源から放出
される光の軌道を補正する少なくとも１個の補正レンズ
とを備えるカラー受像管の蛍光面形成用露光装置におい
て、その補正レンズに垂直に入射する光の透過率に対し
て斜めに入射する光の透過率を高くする多層膜を形成し
た。
される光の軌道を補正する少なくとも１個の補正レンズ
とを備えるカラー受像管の蛍光面形成用露光装置におい
て、その補正レンズに垂直に入射する光の透過率に対し
て斜めに入射する光の透過率を高くする多層膜を形成し
た。
【００１２】
【作用】一般に多層膜は、波長に対する透過率が相違
し、かつ入射角により透過率が変化する特性があり、多
層膜の波長に対する透過率を任意に選択することにより
任意の透過率分布とすることができる。したがって上記
のように補正レンズに多層膜を形成すると、補正レンズ
に所要の補正フィルター機能を付与することができる。
し、かつ入射角により透過率が変化する特性があり、多
層膜の波長に対する透過率を任意に選択することにより
任意の透過率分布とすることができる。したがって上記
のように補正レンズに多層膜を形成すると、補正レンズ
に所要の補正フィルター機能を付与することができる。
【００１３】
【実施例】以下、図面を参照してこの発明を実施例に基
づいて説明する。
づいて説明する。
【００１４】図１にその一実施例である露光装置を示
す。この露光装置は、パネル１を位置決め支持する支持
台２を有し、この支持台２の下部内側に、塗布形成され
た蛍光体スラリ層３または感光膜にシャドウマスク４を
介して光を照射する光源５と、この光源５から放射され
る光の軌道を電子銃から放出される電子ビームの軌道と
一致させるための第１、第２、第３補正レンズ10a ，10
b ，10c からなる３個の補正レンズ11とが配置されてい
る。上記光源５には、３６５nmの波長光を放射する超高
圧水銀ランプが用いられている。そしてこの例の露光装
置では、上記各補正レンズ10a 〜10c の両面に、上記支
持台２に位置決め支持されたパネル１の内面を照射する
光の光量分布を補正する多層膜12が形成されている。
す。この露光装置は、パネル１を位置決め支持する支持
台２を有し、この支持台２の下部内側に、塗布形成され
た蛍光体スラリ層３または感光膜にシャドウマスク４を
介して光を照射する光源５と、この光源５から放射され
る光の軌道を電子銃から放出される電子ビームの軌道と
一致させるための第１、第２、第３補正レンズ10a ，10
b ，10c からなる３個の補正レンズ11とが配置されてい
る。上記光源５には、３６５nmの波長光を放射する超高
圧水銀ランプが用いられている。そしてこの例の露光装
置では、上記各補正レンズ10a 〜10c の両面に、上記支
持台２に位置決め支持されたパネル１の内面を照射する
光の光量分布を補正する多層膜12が形成されている。
【００１５】今、上記各補正レンズ10a 〜10c の両面に
形成される多層膜をそれぞれ９層の積層構造とし、その
１つの多層膜について、たとえば図２に示すように、光
の入射角が０°すなわち垂直に入射する場合の透過率が
曲線13、入射角が４５°で斜めに通過する場合の透過率
が曲線14であると、光源５から放射される露光に有効な
３６５nmの波長光については、入射角が０°の場合の透
過率は８７％、入射角が４５°の場合の透過率は９８％
となる。したがってこの場合、３６５nmの波長光に対し
て３個の補正レンズ10a 〜10c の両面に形成された６個
の多層膜12の透過率は、入射角が０の場合、 （８７／１００） ＝４３％ 入射角が４５°の場合、 （９８／１００） ＝９０％ となる。これは、多層膜への光の入射角が大きくなる
と、波長に対する透過率曲線が曲線13，14で示したよう
に短波長側にシフトするためである。この多層膜の波長
に対する透過率特性は、単層膜では得られず、複数の単
層膜の積層することによりはじめて得られるものであ
る。
形成される多層膜をそれぞれ９層の積層構造とし、その
１つの多層膜について、たとえば図２に示すように、光
の入射角が０°すなわち垂直に入射する場合の透過率が
曲線13、入射角が４５°で斜めに通過する場合の透過率
が曲線14であると、光源５から放射される露光に有効な
３６５nmの波長光については、入射角が０°の場合の透
過率は８７％、入射角が４５°の場合の透過率は９８％
となる。したがってこの場合、３６５nmの波長光に対し
て３個の補正レンズ10a 〜10c の両面に形成された６個
の多層膜12の透過率は、入射角が０の場合、 （８７／１００） ＝４３％ 入射角が４５°の場合、 （９８／１００） ＝９０％ となる。これは、多層膜への光の入射角が大きくなる
と、波長に対する透過率曲線が曲線13，14で示したよう
に短波長側にシフトするためである。この多層膜の波長
に対する透過率特性は、単層膜では得られず、複数の単
層膜の積層することによりはじめて得られるものであ
る。
【００１６】したがって、多層膜12を構成する各単層膜
の材料、厚さ、その単層膜の積層数を適宜選択して透過
率曲線を変更して各補正レンズ10a〜10cの両面に形成す
ることにより、所要の透過率分布をもった補正フィルタ
ーとすることができ、補正レンズ11に所要の補正フィル
ター機能を付与することができ、それにより、パネル内
面の全面に所定の大きさの蛍光体層や光吸収層を形成す
ることができるようになる。
の材料、厚さ、その単層膜の積層数を適宜選択して透過
率曲線を変更して各補正レンズ10a〜10cの両面に形成す
ることにより、所要の透過率分布をもった補正フィルタ
ーとすることができ、補正レンズ11に所要の補正フィル
ター機能を付与することができ、それにより、パネル内
面の全面に所定の大きさの蛍光体層や光吸収層を形成す
ることができるようになる。
【００１７】しかも、従来の補正フィルターのように蒸
着膜厚の変化により透過率分布を得るものでは、所要の
透過率分布にすることが難しくかつ対称（回転対称）に
形成することが困難であったが、この多層膜12では、補
正レンズの表面に一様に形成するだけで所要の透過率分
布が得られ、かつ容易に対称に形成することができる。
着膜厚の変化により透過率分布を得るものでは、所要の
透過率分布にすることが難しくかつ対称（回転対称）に
形成することが困難であったが、この多層膜12では、補
正レンズの表面に一様に形成するだけで所要の透過率分
布が得られ、かつ容易に対称に形成することができる。
【００１８】なお、上記実施例では、３個の補正レンズ
の両面にそれぞれ多層膜を形成して補正フィルター機能
をもたせたが、この多層膜は、補正フィルターと組合わ
せてもよい。すなわち、補正レンズに補正フィルター機
能をもたせるとともに、補正フィルターを併用すると、
補正フィルター自体の透過率の補正量を少なくして、ば
らつきの少ないものとすることができ、前記実施例と同
様にパネル内面の光量分布を適正化できる。
の両面にそれぞれ多層膜を形成して補正フィルター機能
をもたせたが、この多層膜は、補正フィルターと組合わ
せてもよい。すなわち、補正レンズに補正フィルター機
能をもたせるとともに、補正フィルターを併用すると、
補正フィルター自体の透過率の補正量を少なくして、ば
らつきの少ないものとすることができ、前記実施例と同
様にパネル内面の光量分布を適正化できる。
【００１９】また、上記実施例では、３個の補正レンズ
の両面にそれぞれ多層膜を形成したが、この多層膜は、
必ずしも全ての補正レンズに形成する必要はなく、また
その両面に形成する必要もなく、一部に形成するだけで
も、同様の効果が得られる。
の両面にそれぞれ多層膜を形成したが、この多層膜は、
必ずしも全ての補正レンズに形成する必要はなく、また
その両面に形成する必要もなく、一部に形成するだけで
も、同様の効果が得られる。
【００２０】
【発明の効果】光源から放出される光の軌道を補正する
少なくとも１個の補正レンズに垂直に入射する光の透過
率に対して斜めに入射する光の透過率を高くする多層膜
を形成すると、垂直に入射する光の透過率と斜めに入射
する光の透過率とに差をもたせることができ、補正レン
ズに補正フィルター機能を付与することができる。した
がってその多層膜を構成する各単層膜の材料、厚さ、そ
の単層膜の積層数を適宜選択して透過率曲線を変更して
所要の透過率分布とすることが容易となり、パネル内面
に所定の大きさの蛍光体層や光吸収層を形成することが
できる。
少なくとも１個の補正レンズに垂直に入射する光の透過
率に対して斜めに入射する光の透過率を高くする多層膜
を形成すると、垂直に入射する光の透過率と斜めに入射
する光の透過率とに差をもたせることができ、補正レン
ズに補正フィルター機能を付与することができる。した
がってその多層膜を構成する各単層膜の材料、厚さ、そ
の単層膜の積層数を適宜選択して透過率曲線を変更して
所要の透過率分布とすることが容易となり、パネル内面
に所定の大きさの蛍光体層や光吸収層を形成することが
できる。
【図１】この発明の一実施例である露光装置の構成を示
す図である。
す図である。
【図２】その補正レンズに形成される多層膜を入射する
光の波長と透過率との関係を示す図である。
光の波長と透過率との関係を示す図である。
【図３】従来の露光装置の構成を示す図である。
【図４】その補正フィルターの透過率分布を示す図であ
る。
る。
１…パネル ２…支持台 ３…蛍光体スラリ層 ５…光源 11…補正レンズ 12…多層膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−122545（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−169097（ＪＰ，Ａ) 実開 昭54−42463（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭56−9028（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 9/227
Claims (1)
- 【請求項１】 光源とこの光源から放出される光の軌道
を補正する少なくとも１個の補正レンズとを備えるカラ
ー受像管の蛍光面形成用露光装置において、 上記補正レンズに垂直に入射する光の透過率に対して斜
めに入射する光の透過率を高くする多層膜が形成されて
いることを特徴とするカラー受像管の蛍光面形成用露光
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03250074A JP3133418B2 (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | カラー受像管の蛍光面形成用露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03250074A JP3133418B2 (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | カラー受像管の蛍光面形成用露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0589777A JPH0589777A (ja) | 1993-04-09 |
| JP3133418B2 true JP3133418B2 (ja) | 2001-02-05 |
Family
ID=17202424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03250074A Expired - Fee Related JP3133418B2 (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | カラー受像管の蛍光面形成用露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3133418B2 (ja) |
-
1991
- 1991-09-30 JP JP03250074A patent/JP3133418B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0589777A (ja) | 1993-04-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |