JPH0616376B2 - カラー受像管映像スクリーンの露光方法 - Google Patents
カラー受像管映像スクリーンの露光方法Info
- Publication number
- JPH0616376B2 JPH0616376B2 JP2211722A JP21172290A JPH0616376B2 JP H0616376 B2 JPH0616376 B2 JP H0616376B2 JP 2211722 A JP2211722 A JP 2211722A JP 21172290 A JP21172290 A JP 21172290A JP H0616376 B2 JPH0616376 B2 JP H0616376B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- light source
- stripe
- exposure
- picture tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明はカラー受像管映像スクリーンの露光方法に関す
る。
る。
カラー受像管の映像スクリーンであるけい光面を形成す
るための露光方法は、ブラックマトリックス膜(以下Ｂ
Ｍ膜という)形成とけい光膜(以下ＰＨ膜という)形成と
を同一条件で行なう方法がＢＭ膜ＰＨ膜との位置ずれが
なく、またその補正も不要となる。しかしながら、ＢＭ
膜形成時のホトレジストの膜厚は例えば０．６μｍ程度
と非常に薄いのに対し、ＰＨ膜形成時のけい光体スラリ
ーの膜厚は例えば３０μｍ程度と前記ホトレジの膜厚に
比べ非常に厚く、またホトレジストとけい光体スラリー
とでは感光特性が異なり、更にＢＭ膜はシャドウマスク
の開口孔より小さく、すなわちスロット形の開口孔の場
合はＢＭ膜の幅がスロットの幅より小さく、円形の開口
孔ではＢＭ膜の径が円形の径より小さく、ＰＨ膜は膜厚
の関係からシャドウマスクの開口孔より大きく、すなわ
ちスロット形の開口孔の場合はＰＨ膜の幅がスロットの
幅より大きく、円形の開口孔の場合はＰＨ膜が円形の径
より大きく形成しているので、両者を同一条件で形成す
るのは、ＢＭ膜形成の裕度が低下すると共に、ＰＨ膜形
成の接着強度(照度×時間)が不利となる。
るための露光方法は、ブラックマトリックス膜(以下Ｂ
Ｍ膜という)形成とけい光膜(以下ＰＨ膜という)形成と
を同一条件で行なう方法がＢＭ膜ＰＨ膜との位置ずれが
なく、またその補正も不要となる。しかしながら、ＢＭ
膜形成時のホトレジストの膜厚は例えば０．６μｍ程度
と非常に薄いのに対し、ＰＨ膜形成時のけい光体スラリ
ーの膜厚は例えば３０μｍ程度と前記ホトレジの膜厚に
比べ非常に厚く、またホトレジストとけい光体スラリー
とでは感光特性が異なり、更にＢＭ膜はシャドウマスク
の開口孔より小さく、すなわちスロット形の開口孔の場
合はＢＭ膜の幅がスロットの幅より小さく、円形の開口
孔ではＢＭ膜の径が円形の径より小さく、ＰＨ膜は膜厚
の関係からシャドウマスクの開口孔より大きく、すなわ
ちスロット形の開口孔の場合はＰＨ膜の幅がスロットの
幅より大きく、円形の開口孔の場合はＰＨ膜が円形の径
より大きく形成しているので、両者を同一条件で形成す
るのは、ＢＭ膜形成の裕度が低下すると共に、ＰＨ膜形
成の接着強度(照度×時間)が不利となる。
本発明は上記背景に立ってなされたもので、ＢＭ膜形成
の裕度およびＰＨ膜形成の接着強度をそれぞれ向上させ
ると共にＢＭ膜とＰＨ膜の位置ずれを防止することがで
きるカラー受像管映像スクリーンの露光方法を提供する
ことを目的とする。
の裕度およびＰＨ膜形成の接着強度をそれぞれ向上させ
ると共にＢＭ膜とＰＨ膜の位置ずれを防止することがで
きるカラー受像管映像スクリーンの露光方法を提供する
ことを目的とする。
以下、本発明を図示の一実施例により説明する。第１図
に示すように、カラー受像管のけい光面形成は、パネル
１の内面に塗布したホトレジストまたはけい光体スラリ
ー２上に水銀灯を直接線状光源３とした露光装置により
シャドウマスク４に形成された開口孔のスリットパター
ン５の露光感光を行なって、第２図に示すように、ＢＭ
膜ストライプ６およびＰＨ膜ストライプ７を形成してい
る。この時、光スポット８の最大露光範囲Ｄｍａｘ、最
小露光範囲Ｄｍｉｎは、光源３の直径をＡ、スリットパ
ターン５のスリット幅をＢ、光源３からシャドウマスク
４までの距離をＰ、シャドウマスク４からパネル１内面
までの距離をＱとすると、概略幾何学的に次式で表わさ
れる。
に示すように、カラー受像管のけい光面形成は、パネル
１の内面に塗布したホトレジストまたはけい光体スラリ
ー２上に水銀灯を直接線状光源３とした露光装置により
シャドウマスク４に形成された開口孔のスリットパター
ン５の露光感光を行なって、第２図に示すように、ＢＭ
膜ストライプ６およびＰＨ膜ストライプ７を形成してい
る。この時、光スポット８の最大露光範囲Ｄｍａｘ、最
小露光範囲Ｄｍｉｎは、光源３の直径をＡ、スリットパ
ターン５のスリット幅をＢ、光源３からシャドウマスク
４までの距離をＰ、シャドウマスク４からパネル１内面
までの距離をＱとすると、概略幾何学的に次式で表わさ
れる。
Ｄｍａｘ＝（Ｂ＋Ａ）×Ｑ／Ｐ＋Ｂ Ｄｍｉｎ＝（Ｂ−Ａ）×Ｑ／Ｐ＋Ｂ この関係を図示すると第３図のように表わされる。
さて、ＢＭ膜ストライプ６の幅Ｃは、ピュリテイ裕度を
向上させるため、電子ビームの幅より小さく、すなわち
スリットパターン５のスリット幅Ｂより小さく形成す
る。このことを第３図によって説明すると、光スポット
９のＤｍｉｎの方で露光感光するようにする。すなわ
ち、光源径Ａが大きくなるとＤｍｉｎは小さくなり、小
さいＢＭ膜ストライプ６を形成するのに有利になる。
向上させるため、電子ビームの幅より小さく、すなわち
スリットパターン５のスリット幅Ｂより小さく形成す
る。このことを第３図によって説明すると、光スポット
９のＤｍｉｎの方で露光感光するようにする。すなわ
ち、光源径Ａが大きくなるとＤｍｉｎは小さくなり、小
さいＢＭ膜ストライプ６を形成するのに有利になる。
ＰＨ膜ストライプ７の形成は、膜厚が例えば３０μｍと
厚いけい光体スラリーを露光感光するため、充分な露光
量が必要となる。このことを第３図によって説明する
と、露光量を多くすることはＤｍａｘの方で感光させる
ことになる。すなわち、ＰＨ膜ストライプ７の幅Ｅはス
リットパターン５のスリット幅Ｂより大きくなるが、最
大幅は相隣接するＰＨ膜ストライプ７にはみ出さない幅
にする。このためには、Ｄｍａｘがなるべく小さく、Ｄ
ｍｉｎとＤｍａｘの差が小さい程有利となる。これを満
足するには光源径Ａが小さい方が良い。
厚いけい光体スラリーを露光感光するため、充分な露光
量が必要となる。このことを第３図によって説明する
と、露光量を多くすることはＤｍａｘの方で感光させる
ことになる。すなわち、ＰＨ膜ストライプ７の幅Ｅはス
リットパターン５のスリット幅Ｂより大きくなるが、最
大幅は相隣接するＰＨ膜ストライプ７にはみ出さない幅
にする。このためには、Ｄｍａｘがなるべく小さく、Ｄ
ｍｉｎとＤｍａｘの差が小さい程有利となる。これを満
足するには光源径Ａが小さい方が良い。
そこで、ＢＭ膜ストライプ６形成時はＰＨ膜ストライプ
７形成時より太い光源径Ａを備えた露光装置で露光する
ことにより、ＢＭ膜ストライプ６形成の裕度が向上する
と共に、ＰＨ膜ストライプ７形成の接着強度が向上す
る。また、ホトレジストの膜厚と蛍光体スラリーの膜厚
とはその厚さに相当の差があるため、その差を考慮して
光源とシャドウマスク間の距離をＢＭ膜形成時とＰＨ膜
形成時とで異なる寸法とすることでＰＨ膜とＢＭ膜の位
置ずれを防止する。すなわち、第４図に示すようにａ点
の光源３からシャドウマスク４の開口孔のスリットパタ
ーン５を介してホトレンジスト膜２ａを露光するとＡ点
が露光され、このＡ点を中心としたＢＭ膜が形成され
る。一方蛍光体膜２ｂをＢＭ膜の露光と同じａ点から露
光すると膜厚の差によりＡ1点を中心として露光されて
Ａ1点を中心としたＰＨ膜が形成され、ＢＭ膜とＰＨ膜
はＡＢの距離だけ位置ずれが発生する。従って、蛍光膜
２ｂの露光をＡ点と中心が一致したＣ点を露光するよう
に、ａ点よりシャドウマスク４に近接したｂ点の光源３
から行うことによりＢＭ膜とＰＨ膜の位置ずれを防止で
きる。ａ点とｂ点との間の距離ΔＰは、けい光体スラリ
ーの膜厚がＴの場合、第４図において三角径ＡＬＣが三
角形ＮＬＭに相似である条件からΔＰ＝Ｔ×（Ｐ／Ｑ）
として算出される。例えば、光源径ＡはＢＭ膜ストライ
プ６形成時に１．５mmφを、ＰＨ膜ストライプ７形成時
に、０．９mmφをそれぞれ使用し、光源３からシャドウ
マスク４までの距離Ｐは、ＢＭ膜ストライプ６形成時を
ＰＨ膜ストライプ７形成時より０．３mm大きくして露光
位置ずれを補正して行なったところ、良好な結果が得ら
れた。ここで、光源径の違いによるＢＭ膜ストライプ６
とＰＨ膜ストライプ７との露光位置ずれは、前記のよう
に距離Ｐを変えることによって対処できるが、この外に
補正レンズ、ガラス板(図示せず)の板厚を変えることで
も対処できる。また、位置ずれ防止には光源径はＢＭ膜
とＰＨ膜で同一であってもよい。
７形成時より太い光源径Ａを備えた露光装置で露光する
ことにより、ＢＭ膜ストライプ６形成の裕度が向上する
と共に、ＰＨ膜ストライプ７形成の接着強度が向上す
る。また、ホトレジストの膜厚と蛍光体スラリーの膜厚
とはその厚さに相当の差があるため、その差を考慮して
光源とシャドウマスク間の距離をＢＭ膜形成時とＰＨ膜
形成時とで異なる寸法とすることでＰＨ膜とＢＭ膜の位
置ずれを防止する。すなわち、第４図に示すようにａ点
の光源３からシャドウマスク４の開口孔のスリットパタ
ーン５を介してホトレンジスト膜２ａを露光するとＡ点
が露光され、このＡ点を中心としたＢＭ膜が形成され
る。一方蛍光体膜２ｂをＢＭ膜の露光と同じａ点から露
光すると膜厚の差によりＡ1点を中心として露光されて
Ａ1点を中心としたＰＨ膜が形成され、ＢＭ膜とＰＨ膜
はＡＢの距離だけ位置ずれが発生する。従って、蛍光膜
２ｂの露光をＡ点と中心が一致したＣ点を露光するよう
に、ａ点よりシャドウマスク４に近接したｂ点の光源３
から行うことによりＢＭ膜とＰＨ膜の位置ずれを防止で
きる。ａ点とｂ点との間の距離ΔＰは、けい光体スラリ
ーの膜厚がＴの場合、第４図において三角径ＡＬＣが三
角形ＮＬＭに相似である条件からΔＰ＝Ｔ×（Ｐ／Ｑ）
として算出される。例えば、光源径ＡはＢＭ膜ストライ
プ６形成時に１．５mmφを、ＰＨ膜ストライプ７形成時
に、０．９mmφをそれぞれ使用し、光源３からシャドウ
マスク４までの距離Ｐは、ＢＭ膜ストライプ６形成時を
ＰＨ膜ストライプ７形成時より０．３mm大きくして露光
位置ずれを補正して行なったところ、良好な結果が得ら
れた。ここで、光源径の違いによるＢＭ膜ストライプ６
とＰＨ膜ストライプ７との露光位置ずれは、前記のよう
に距離Ｐを変えることによって対処できるが、この外に
補正レンズ、ガラス板(図示せず)の板厚を変えることで
も対処できる。また、位置ずれ防止には光源径はＢＭ膜
とＰＨ膜で同一であってもよい。
このように光源とシャドウマスクとの距離を変えること
によってＢＭ膜ストライプ６形成とＰＨ膜ストライプ７
形成の品質を向上できるが、ストライプけい光面を形成
する場合には、第５図に示すようにスリットパターン５
の長手方向のブリッジ部９を消去する場合がある。この
ブリッジ部９を消去するためには、ブリッジ部９のピッ
チをＦ、線状光源３の長さをｌとすると、ｌ＝(Ｐ＋Ｑ)
／Ｑ・Ｆの長さの線状光源３が必要となる。
によってＢＭ膜ストライプ６形成とＰＨ膜ストライプ７
形成の品質を向上できるが、ストライプけい光面を形成
する場合には、第５図に示すようにスリットパターン５
の長手方向のブリッジ部９を消去する場合がある。この
ブリッジ部９を消去するためには、ブリッジ部９のピッ
チをＦ、線状光源３の長さをｌとすると、ｌ＝(Ｐ＋Ｑ)
／Ｑ・Ｆの長さの線状光源３が必要となる。
しかしながら、この線状光源３の長さｌをＢＭ膜ストラ
イプ６形成時とＰＨ膜ストライプ７形成時とを同一長さ
で露光を行なうと、ＢＨ膜ストライプ６よりＰＨ膜スト
ライプ７の有効面が長手方向において小さい形成される
ため、長手方向の端部に未発光部が生じ、けい光面の欠
点となる。これはＢＭ膜ストライプ６の露光時の光源長
さｌよりＰＨ膜ストライプ７の露光時の光源長さｌを、
例えば３〜４mm長くすることにより未発光部を除去でき
た。また、このことは両露光時の光源の長さｌを変える
ことなく光源の移動距離を変えても対処できる。
イプ６形成時とＰＨ膜ストライプ７形成時とを同一長さ
で露光を行なうと、ＢＨ膜ストライプ６よりＰＨ膜スト
ライプ７の有効面が長手方向において小さい形成される
ため、長手方向の端部に未発光部が生じ、けい光面の欠
点となる。これはＢＭ膜ストライプ６の露光時の光源長
さｌよりＰＨ膜ストライプ７の露光時の光源長さｌを、
例えば３〜４mm長くすることにより未発光部を除去でき
た。また、このことは両露光時の光源の長さｌを変える
ことなく光源の移動距離を変えても対処できる。
なお、上記実施例においては、ストライプタイプのカラ
ー受像管について説明したが、ドットタイプのカラー受
像管のけい光面形成にも適用できる。
ー受像管について説明したが、ドットタイプのカラー受
像管のけい光面形成にも適用できる。
以上の説明から明らかな如く、本発明の方法によれば、
ＢＭ膜の形成裕度が向上すると共に、ＰＨ膜の接着強度
が向上し、さらに両膜の位置のずれを防止できる。
ＢＭ膜の形成裕度が向上すると共に、ＰＨ膜の接着強度
が向上し、さらに両膜の位置のずれを防止できる。
図は本発明になる方法の一実施例を示し、第１図は露光
方法の原理説明図、第２図はストライプタイプけい光面
の平面説明図、第３図は露光強度を示す説明図、第４図
は光源の位置と露点とを説明するための原理説明図、第
５図はシャドウマスクのブリッジ部を消去するための線
線状光源長さを示す原理説明図である。 １……パネル、２……ホトレジストまたはけい光体スラ
リー、３……線状光源、４……シャドウマスク、５……
スリットパターン、６……ＢＭ膜ストライプ、７……Ｐ
Ｈ膜ストライプ、８……スポット。
方法の原理説明図、第２図はストライプタイプけい光面
の平面説明図、第３図は露光強度を示す説明図、第４図
は光源の位置と露点とを説明するための原理説明図、第
５図はシャドウマスクのブリッジ部を消去するための線
線状光源長さを示す原理説明図である。 １……パネル、２……ホトレジストまたはけい光体スラ
リー、３……線状光源、４……シャドウマスク、５……
スリットパターン、６……ＢＭ膜ストライプ、７……Ｐ
Ｈ膜ストライプ、８……スポット。
Claims (1)
- 【請求項１】パネル内面に塗布したホトレジストおよび
けい光体スラリーに光源からの光線をシャドウマスクの
開口孔を通して露光感光を行なってブラックマトリック
ス膜およびけい光膜をそれぞれ露光装置で形成するカラ
ー受像管映像スクリーンの露光方法において、前記ブラ
ックマトリックス膜形成後の前記けい光膜形成時、前記
ブラックマトリックス膜形成時露光された点から垂直方
向に前記けい光体スラリーの膜厚分前記光源側の点が露
光される様前記光源を前記パネル側へ移動して露光を行
なうことを特徴とするカラー受像管映像スクリーンの露
光方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2211722A JPH0616376B2 (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | カラー受像管映像スクリーンの露光方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2211722A JPH0616376B2 (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | カラー受像管映像スクリーンの露光方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12299881A Division JPS5825036A (ja) | 1981-08-07 | 1981-08-07 | カラ−受像管映像スクリ−ンの露光方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03129635A JPH03129635A (ja) | 1991-06-03 |
| JPH0616376B2 true JPH0616376B2 (ja) | 1994-03-02 |
Family
ID=16610521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2211722A Expired - Lifetime JPH0616376B2 (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | カラー受像管映像スクリーンの露光方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0616376B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5082964A (ja) * | 1973-11-09 | 1975-07-04 |
-
1990
- 1990-08-13 JP JP2211722A patent/JPH0616376B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03129635A (ja) | 1991-06-03 |
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