JPS581763B2 - 回折限界の解像力を有する等倍複写用レンズ - Google Patents
回折限界の解像力を有する等倍複写用レンズInfo
- Publication number
- JPS581763B2 JPS581763B2 JP7392778A JP7392778A JPS581763B2 JP S581763 B2 JPS581763 B2 JP S581763B2 JP 7392778 A JP7392778 A JP 7392778A JP 7392778 A JP7392778 A JP 7392778A JP S581763 B2 JPS581763 B2 JP S581763B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- diffraction
- magnification copying
- diaphragm
- limited resolution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Lenses (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はＩ．Ｃ．製造の為の非接触焼付用の複写レンズ
に関するものである。
に関するものである。
これに要求されるレンズの性能はスペクトル線のｇ線の
単色光により直径約５０ｍｍの乳剤面の全面に４００〜
５００本／ｍｍの同折限界解像力を有することである。
単色光により直径約５０ｍｍの乳剤面の全面に４００〜
５００本／ｍｍの同折限界解像力を有することである。
本発明はこのきびしい要求に十分にこたえることができ
るように収差を極力微小に補正したレンズ系であって、
第１図に示された７群９枚のレンズ系を第２図のように
絞りに関して完全に対称に配置したものである。
るように収差を極力微小に補正したレンズ系であって、
第１図に示された７群９枚のレンズ系を第２図のように
絞りに関して完全に対称に配置したものである。
本発明は、この全系の２つの負の主点に物面と像面を配
置し、倍率−１で使用するもので１４群１８枚からなり
、絞の前部及び後部の系はそれぞれ７群９枚のレンズ系
であり、全系の屈折面の曲率半径を物体面に最も近い方
から順次ｒ１ ，ｒ２………ｒ３２とし、それらの屈折
面間隔をｄ１，ｄ２………ｄ３１とし、各レンズを構成
するガラスのスペクトル線のｇ線の屈折率を順次にＮ１
，Ｎ２………Ｎ１８とし、そのアツベ数を１瞳次にν１
，ν２………ν１８として、全系の焦点距離ｆを１７１
．０８３５、開口数０．１６４、像高２５なるときのよ
うにレンズ系の諸元をきめたものである。
置し、倍率−１で使用するもので１４群１８枚からなり
、絞の前部及び後部の系はそれぞれ７群９枚のレンズ系
であり、全系の屈折面の曲率半径を物体面に最も近い方
から順次ｒ１ ，ｒ２………ｒ３２とし、それらの屈折
面間隔をｄ１，ｄ２………ｄ３１とし、各レンズを構成
するガラスのスペクトル線のｇ線の屈折率を順次にＮ１
，Ｎ２………Ｎ１８とし、そのアツベ数を１瞳次にν１
，ν２………ν１８として、全系の焦点距離ｆを１７１
．０８３５、開口数０．１６４、像高２５なるときのよ
うにレンズ系の諸元をきめたものである。
次表に上記レンズの倍率−１におけるザイデル収差係数
を示す。
を示す。
但しＳ１は球面収差係数、Ｓ２はコマ収差係数、Ｓ３は
非点収差係数、Ｐはペツツバール係数、Ｓ，は歪曲収差
係数、Σは諸係数の各面についての和を表わす。
非点収差係数、Ｐはペツツバール係数、Ｓ，は歪曲収差
係数、Σは諸係数の各面についての和を表わす。
第３図は上記レンズ系の倍率−１（物体距離−１０４．
７８３）における収差補正状態を示すもので、極めて良
好に補正されていることがわかる。
７８３）における収差補正状態を示すもので、極めて良
好に補正されていることがわかる。
また本発明は前述の諸元の如くレンズ系を構成したので
、Ｉ．Ｃ．製造の為の非接触焼付用の複写レンズとして
要求される、スペクトル線のｇ線の単色光により直径約
５０ｍｍの乳剤面の全面に４００〜５００本／ｍｍの回
折限界解像力を有する、と云うきびしいレンズ性能を満
足できたものである。
、Ｉ．Ｃ．製造の為の非接触焼付用の複写レンズとして
要求される、スペクトル線のｇ線の単色光により直径約
５０ｍｍの乳剤面の全面に４００〜５００本／ｍｍの回
折限界解像力を有する、と云うきびしいレンズ性能を満
足できたものである。
第１図は本発明レンズの絞より後部の系の構成図、第２
図は第１図の系を絞を対称面として対称に配置した本発
明の等倍レンズ系の構成図、第３図は本発明レンズの収
差図である。
図は第１図の系を絞を対称面として対称に配置した本発
明の等倍レンズ系の構成図、第３図は本発明レンズの収
差図である。
Claims (1)
- １ １４群１８枚構成のレンズ系であり、絞より前部及
び後部に絞を対称而とする様に屈折面を配置した完全対
称光学系であって、絞の前部及び後部の系はそれぞれ７
群９枚のレンズ系からなり、全系の屈折而の曲率半径を
物体面に最も近い方から順次ｒ１，ｒ２………ｒ３２と
し、それらの屈折而間隔をｄ１，ｄ２………ｄ３１とし
、各レンズを構成するガラスのスペクトル線のｇ線の屈
折率を順次にＮ１，Ｎ２………Ｎ１８とし、そのアツベ
数を順次にν１，ν２………ν１８として、全系の焦点
距離ｆを１７１．０８３５、開口数０．１６４、像高２
５なるときの様にレンズ系の諸元を決めた回折限界の解
像力を有する等倍複写用レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7392778A JPS581763B2 (ja) | 1978-06-19 | 1978-06-19 | 回折限界の解像力を有する等倍複写用レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7392778A JPS581763B2 (ja) | 1978-06-19 | 1978-06-19 | 回折限界の解像力を有する等倍複写用レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5512902A JPS5512902A (en) | 1980-01-29 |
| JPS581763B2 true JPS581763B2 (ja) | 1983-01-12 |
Family
ID=13532253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7392778A Expired JPS581763B2 (ja) | 1978-06-19 | 1978-06-19 | 回折限界の解像力を有する等倍複写用レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS581763B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3396935B2 (ja) * | 1993-11-15 | 2003-04-14 | 株式会社ニコン | 投影光学系及び投影露光装置 |
| JP3360387B2 (ja) * | 1993-11-15 | 2002-12-24 | 株式会社ニコン | 投影光学系及び投影露光装置 |
| JPH08179204A (ja) | 1994-11-10 | 1996-07-12 | Nikon Corp | 投影光学系及び投影露光装置 |
| JP3500745B2 (ja) * | 1994-12-14 | 2004-02-23 | 株式会社ニコン | 投影光学系、投影露光装置及び投影露光方法 |
| USRE38465E1 (en) | 1994-12-14 | 2004-03-16 | Nikon Corporation | Exposure apparatus |
| JP3454390B2 (ja) * | 1995-01-06 | 2003-10-06 | 株式会社ニコン | 投影光学系、投影露光装置及び投影露光方法 |
| JP3864399B2 (ja) * | 1996-08-08 | 2006-12-27 | 株式会社ニコン | 投影露光装置及び該投影露光装置に用いられる投影光学系並びにデバイス製造方法 |
| JP3757536B2 (ja) * | 1996-10-01 | 2006-03-22 | 株式会社ニコン | 投影光学系及びそれを備えた露光装置並びにデバイス製造方法 |
| JPH116957A (ja) * | 1997-04-25 | 1999-01-12 | Nikon Corp | 投影光学系および投影露光装置並びに投影露光方法 |
| JP3925576B2 (ja) | 1997-07-24 | 2007-06-06 | 株式会社ニコン | 投影光学系、該光学系を備えた露光装置、及び該装置を用いたデバイスの製造方法 |
| US6700645B1 (en) | 1998-01-22 | 2004-03-02 | Nikon Corporation | Projection optical system and exposure apparatus and method |
| JPH11214293A (ja) | 1998-01-22 | 1999-08-06 | Nikon Corp | 投影光学系及び該光学系を備えた露光装置並びにデバイス製造方法 |
| JP6279178B1 (ja) * | 2016-05-20 | 2018-02-14 | オリンパス株式会社 | リレー光学系及びそれを備えた硬性鏡 |
-
1978
- 1978-06-19 JP JP7392778A patent/JPS581763B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5512902A (en) | 1980-01-29 |
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