JPS58146866A - 導電パタ−ンの検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （６）　　発明の！１ｗ分舒 本発明はガス放電表示パネルの電極やプリント板の配線
等のような絶縁基板上に近接配置された多数の導電パタ
ーンの断線を検査する方法に関するものである。

（ｂ）従来技術と間履点 一般にガス放電表示パネルの電極のような導電体パター
ンの新編検査には目視、顕微鏡観察、直流による導通テ
スシ等の方法が採られている。しかし目視、顕微鏡観察
による方法では、多大の作業時間と人手を安し、作業者
の視覚の疲労も激しく、見逃し賜の検査ミスを招くとい
う間層がある。

また直流による導通テスシでは、例えばガラス基板上に
並設された多数の線状電極の一端な共遥接続して、その
共通接続部に直流電圧を印加し、各電極の他端に直流電
圧検出用のプローブを直接接触させて導通の有無を検出
する方法が採られている。ところでこのような方法では
、各電極とプ璽−プ先端との接触状態を極めて真好に保
つ必要があるが、数百本以上にもなる電極のうちの何本
かが接触不良を起こし、断纏不皇とＷＡＩＩされること
があった・この接触不良の一つの原因は電極上に殉った
異物、例えばホトレジストによる場合もあリ、その対策
として電極端を損傷しない程度に研磨を行なっているが
確実な防止策にはなっていない。さらに電極材料やその
太さ、厚さによっては研磨等が不可能になり、蝮時間に
確実な検査を行なうことが困離であった。また電極上に
薄く誘電体膜を被覆した状態で断線検査を行なう必要が
しばしばあるが、このような場合、直流による導通テス
ト法では誘電体膜を除去しない限り不可能であった。そ
こで、電極の一端に交流電圧を印加し他端から誘電体層
を介して交流電圧を検出するような交流による導通検査
方法も提案されている。

この方法ではｍ接電極相瓦間の静電結合による誤検査を
防止する目的で、例えば一本おきの電極に交流電圧を印
加し、その他の＊極を接地する方法が採られるので、偶
数および奇数の電極検査を２回繰り返す必要があった。

また電極の一本おきに交流電圧印加と接地とを行なう特
別のコネクタを必要とし、さらにもともと各電極の一端
が共通接続されたような電極群に対しては適用できない
等の１ＩＩｉｉ１１があった。

（Ｃ）発明の目的 本発明は前述の点に鉱みなされたもので、絶縁基板上に
配設された多数の導電パターンの断線を容易かつ確実、
知時間に検査することのできる導電パターンの検査方法
の提供を目的とするものである。

（両　発明の構成 本発明による導電パターンの検査方法は、絶縁基板上に
近接配置された多数の被検査導電パターンの一端に交流
（ｊ号を印加する第１の電源と、被検査導電パターン上
に当該被検査導電パターンに対して静電結合するよう配
置された静電結合用導電部材と、該静電結合用導電部材
に前記第１の電源の交流信号とは異なるモードを有する
交流信号を印加する絶２の電源と、前記被検査導電パタ
ーンの他端から交Ｗｔ葡号を検出する手段とを設け、該
検出手段で検出された交流信号のモードにもと１こ づき、前■被検査導電パターンの断線を検知するように
したことを特做とするものである。

（−）発明の実施例 以下本発明の実施例をガス放電表示パネルの電極検査に
適用した場合について図面を参照して説明する・ 第１図は本発明による導電パターンの検査方法を説明す
るための要部概念図であり、１はガス放電表示パネルを
構成する一方のガラス基鈑である。

そのガラス基鈑１の表面には例えば線状の電極２が等間
隔で多数並設され、それら各電極２の一端は基板１０片
側（図の下側端部）に取出されている。そして各電極２
の一端は接続線８に共通接続されて検査用の第１の電源
４に接続される０図に示す状態は各電極意が被検査電極
となり、それら極２上には絶縁シート６（例えば〆リエ
ステルシ−）あるいは！イラーシーＦ等）を介して例え
ば導電ゴムシートや金属メツシュシートあるいは金属板
等の静電結合用導電部材６が配置され１その静電結合用
導電部材６と各電極２とは静電結合している。そして静
電結合用導電部材６には検査用の第２の電源７が接続さ
れ、その静電結合用導電部材６に電圧Ｖ、％周波数／１
の交流信号が印加されるようになっている。すなわち第
１の電＃１４と第２のＩＩｔ源７とから送出される信号
は例えば電圧ならびに周波数が各々異なるモードの交流
信号となっており、本実施例の場合、第１の電源４の電
圧Ｚブ書噛ｔル９汽へζ）賢１えばＶ、＜いＩｓ＜ｆｔ
に設定しである。また点線で匪んで示した部分８は各被
検査電極２の他端から交流信号を検出する手段であって
、本実施例の場合、その検出手段８は交流プローブ８＠
、増幅器赫、周波数弁別器８Ｃおよびレコーダ８Ｉ！か
らなる。なお交流プローブ徊の先端部は導体を例えばプ
ラスチックやガラス等の滑り易いｔｓｉ！体層で被覆し
である。

さて以上のような構成において、各電極２の他端上を実
線矢印Ａで示す方向に交流プローブ徊を搦鋤させるので
ある。いま電極２のＤで示す箇所が＃線しているものと
すれば、交流プローブ−が非断線電極２上にある時は、
その交流プローブ８６には第１の電源４から交流信号が
強く検出きれる。

しかし交流プ四−１８６が断線している電１１ｇ上にあ
る時には、ｊｌｌの電１１４の交流信号はＳ＊電極相互
間の浮遊容量結合を通してしか現われず、むしろ静電結
合用導電部材６からの結合容量を通し第２の電源７から
の交流信号が強く検出される。

したがって、交流プν−１８６が各非断線電極２上にあ
る時よりも、断―電極２上にある時の方が、周波数弁別
器νの出力レベルが高くなり、レコーダＵに記録された
電圧レベルにもとづき、断線電極を検知することができ
るのである。

なお本夷總例においては、各電極型がガテス基板１表面
に露出した形で配設された場合について述べているが、
もし各電極２表面が膜厚の薄い誘電体膜で被覆されてい
る際には、絶縁シート器を省略してもよいし、交流プ四
−ブーの先端部は露出した導体であってもよい。このよ
うに導体が露出した先端部を有する交流プ四−プを用い
る際には、電極やその表面を被覆した誘電体膜等に損傷
を与えないよう、ポリエチレンシーシ略を敷いた状態で
交流プリー１を摺動さてもよいし、あるいは各電極２の
他端と静電納会するよう髄かなギャプで浮かせて移動さ
せても同様の効果を得ることができる。また絶縁シー）
６を用いないで、前記静電結合用導電部材６を各電極２
上方に儀かなギャップで浮かせて配置することにより、
静電結合用導電部材６と各電極２とを静電的に結合させ
ることもできる。

さらにｆ＃電結合用導電部材は前述のように固定してお
いてもよいが、第２図および第８５４に示すように、被
検査電極上を交流プローブと共に移動する移動式にする
こともできる。すなわち第２図における８番は交流プワ
ープ、９は例えば導電ゴムからなるローラである。その
導電リーラ９は導電枠組ｌＯならびに支持部１１および
絶縁支持体１２によって、交流プローブ８１と一体的に
組立てられている。そして各被検金電極！上を交流プロ
ーブ−と共に導電ローフ９が移動する。なおこの際、被
検査電極２が誘電体膜で被覆されていれば、その誘電体
膜上を前記導１ル−テ９を回転移動させればよい。しか
し各電極２が露出している時は、それら各電ｉｉｇ上に
ポリエステルシートやマイチーシー）等の絶縁シート（
図示省略）を敷いて、その上を前記導電−−ラ９を回転
移動させてもよいし、場合によっては導電製−テ９表面
を絶縁被覆しておいてもよい。また第１図における１３
は例えば燐青銅の薄板バネからなる導電たれ幕であって
、その導電たれ幕１３は絶縁支持体１２によって交流プ
ローブ８６と一体的に組立てられている。そして各電極
２上を交流プ田−プーの移動と共に前記導電たれ幕１３
が移動する。この際も必要に応じて導電たれ幕１３表面
を絶縁被覆することもできる・なお前記導電たれ幕１３
の代りに弾力性のある針金の集合体からなる導電ブラシ
を用いることもできる。また前述の実施例では嬉１およ
び第意の電源の交流信号の電圧ならびに周波数を異なら
せて交流信号のモードを変えた場合について述べたが、
それに限らず、電圧、周波数あるいは位相等の交流信号
モードな個★に異ならせたり、あるいはそれらの中の２
種類以上を同時に変えてもよい。なお本発明においては
第！の電源の交流信号を第１の電源の交流信号のモード
と＾ならせる際に、第２の電源の交流信号を零ボルト、
つまり静電結合用導電部材の電位を接地電位に保持する
ことも可能であり、また逆に第２の電源に対し第１の電
源を零ボルトとすることも含むものとする。重た被検査
電極表面が誘電体膜で被覆されている際には、静電結合
用導電部材として電解液のような液状導電体を用いるこ
ともできる。さらにまた検出手段によって検出された交
流信号のモードの指示はレコーダに限らずランプ、ブザ
ー、電圧針を用いる等任意の方法が可能であり、さらに
検出モードを利用して自動的に不良電極にインク等で不
良マークを付することも可能である。また各電極を共通
接続する方法としては圧着コネクタ、導電ペーストある
いは導電ゴムシー）勢を用いることができるしもともと
各電極の一端が共通ｊｉｉ！Ｍされたものではそのまま
の状態で検査が可能である。

また前述の実施例では静電結合用導電部材を交流プロー
ブと被検査「を極の一端、つまり給電点との間に配置し
たが、そのような配置に限らす、被材の順で配置しても
よい・つまり前述の実施例における交流プ豐−プと静電
結合用導電部材との位置関係を逆にすることもできる。

なお本発明の要旨とするところはガス放電表示パネルに
限らず、液晶表示パネル等その他の表示パネルの電極検
査やプリント板の配線検査等に適用しても同様の効果を
得ることができる。

ω　発明の効果 以上の説明から明らかなように本発明は絶縁基板上に近
接配置された多数の電極の断線を容易かつ確実、短時間
に検知することができ、検査効率の向上、検査に対する
信頼性の向上環にきわめて有効である。

【図面の簡単な説明】

第１ｗＪは本発明をガス放電表示パネルの電極断線検査
に適用した場合の実施例を説明するための要部概念図、
第８図および第８図は本発明に用いる静電結合用導電部
材の他の実施例の構造を説明するための概念的に示した
要部斜視図である。 図において、ｌはガラス基板、２は被検査電極４は第１
のＷ源、ｂは絶縁シート、６は静電結合用導電部材、７
は第２の電源、８は交流信号検出手段、８４ｊ交流プワ
ーブ、８ｂは増幅器、シは周波数弁別器、斜はレフーダ
、９は導電ローラ、１３は導電たれ幕をそれぞれ示す。 第１図 第２図 Ｎ′ 第３ｅ２１

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 絶縁基板上に近接配置された多数の被検査導電パターン
   の一端に交流信号を印加する第１の電源と、被検査導電
   パターン上に当該被検査導電パターンに対して―電結合
   するよう配置された静電結合用導電部材と、該静電結合
   用導電部材に前記第１の電源の交流信号とは興なるモー
   ドを有する交流信号を印加する第８の電源と、前記被検
   査導電パターンの他端から交流信号を検出する手段とを
   設け、該検出手段で検出された交流信号の毫−ドにもと
   ず會、前記被検査導電パターンの断線を検知するように
   したことを特徴とする導電パターンの検査方法。