JPH1182833A - Vacuum flange - Google Patents
Vacuum flangeInfo
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- JPH1182833A JPH1182833A JP9262818A JP26281897A JPH1182833A JP H1182833 A JPH1182833 A JP H1182833A JP 9262818 A JP9262818 A JP 9262818A JP 26281897 A JP26281897 A JP 26281897A JP H1182833 A JPH1182833 A JP H1182833A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、管と管、管と容器、容
器と容器及び容器内を接合し管内又は容器内を真空にす
るために使用する真空フランジの改良に関する発明であ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement in a vacuum flange used for joining a tube to a tube, a tube to a container, a container to a container, and a vacuum in the tube or the container.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、図１０、図１１に示すように、管
と管を接続し管内を真空にするためには、図１０に示す
雄真空フランジ１２と図１１に示した雌真空フランジ１
３とを管と管の間に設置することにより管同士を接続し
ている。2. Description of the Related Art Conventionally, as shown in FIGS. 10 and 11, in order to connect pipes to each other and evacuate the pipes, a male vacuum flange 12 shown in FIG. 10 and a female vacuum flange 1 shown in FIG.
The pipes are connected to each other by disposing 3 between the pipes.
【０００３】前記雄真空フランジ１２の外方部には、複
数のボルト挿通孔１４、１４、１４・・・・が形成され
おり、前記ボルト挿通孔１４、１４、１４・・・・の内
方には、内突出部１５及び外突出部１６が形成されてい
るとともに、貫通孔１７が形成されている。A plurality of bolt insertion holes 14, 14, 14,... Are formed on an outer portion of the male vacuum flange 12, and the inside of the bolt insertion holes 14, 14, 14,. Has an inner protruding portion 15 and an outer protruding portion 16 and a through hole 17.
【０００４】また、前記雌真空フランジ１３の外方部に
は、横溝２１、２１ａ及び複数のボルト挿通孔１４、１
４、１４・・・・が形成されおり、内方には突出部１９
及び雄真空フランジ１２に形成されている内突出部１５
が嵌合する嵌合溝１８が形成されているとともに内部は
貫通孔１７が形成されている。Further, lateral grooves 21 and 21a and a plurality of bolt insertion holes 14, 1
Are formed, and a protruding portion 19 is provided inward.
And an inner protrusion 15 formed on the male vacuum flange 12.
Are formed, and a through hole 17 is formed inside.
【０００５】管同士を前記雄真空フランジ１２と前記雌
真空フランジ１３によりを接合するには、図１２に示す
ように、雄真空フランジ１２と雌真空フランジ１３を接
合し、雄真空フランジ１２及び雌真空フランジ１３に形
成されている管接合溝２０に管の一端を接合する方法で
管同士を接合し、管内を真空としていた。In order to join the tubes by the male vacuum flange 12 and the female vacuum flange 13, as shown in FIG. 12, the male vacuum flange 12 and the female vacuum flange 13 are joined, and the male vacuum flange 12 and the female vacuum flange 12 are joined together. The tubes were joined to each other by joining one end of the tubes to a tube joining groove 20 formed in the vacuum flange 13, and the inside of the tube was evacuated.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、管と管
を接続する際には雄真空フランジ１２，雌真空フランジ
１３を使用して管同士を接合する方法であるために、管
同士を接続する時に雄真空フランジ１２と雌真空フラン
ジ１３の前後を間違えてしまって、再度接続をし直す必
要が生じたりするために管同士を接続するために可成り
の手間暇が掛かってしまうとの欠点があった。However, when connecting the tubes, the male and female vacuum flanges 12 and 13 are used to connect the tubes when connecting the tubes. There is a disadvantage that it takes a considerable amount of time to connect the pipes because the front and rear of the male vacuum flange 12 and the female vacuum flange 13 are mistaken and need to be reconnected. Was.
【０００７】また、従来の雄真空フランジ１２及び雌真
空フランジ１３は、形状自体が可成り大型であり、取り
扱いに不便であり、作業性も悪いとの欠点もあった。Further, the conventional male vacuum flange 12 and female vacuum flange 13 are disadvantageously large in shape themselves, inconvenient to handle, and poor in workability.
【０００８】また、雄真空フランジ１２と雌真空フラン
ジ１３とを接合作業中に、雄真空フランジ１２に突設し
ている内突出部１５及び外突出部１６に取り扱い時に傷
を付けてしまうと、当該傷の部分より空気が侵入してき
て、真空にすることが不可能となってしまうとの欠点も
あった。Further, if the inner projection 15 and the outer projection 16 projecting from the male vacuum flange 12 are damaged during handling while the male vacuum flange 12 and the female vacuum flange 13 are joined, There is also a drawback that air enters from the scratched portion, making it impossible to make a vacuum.
【０００９】また、その傷ついた雄真空フランジ１２は
使用できなくなり、再度、新しい雄真空フランジ１２を
製造しなければならず費用が嵩み過ぎるとの欠点もあっ
た。In addition, the damaged male vacuum flange 12 cannot be used, and a new male vacuum flange 12 has to be manufactured again, which is disadvantageous in that the cost is too high.
【００１０】更に、これら欠点のため、超高真空という
更なる真空を保つには、今まで以上に準備に気を使わな
ければならず、今後の研究開発などに使用する上で時間
的にも経済的にも困難性がある。[0010] Further, due to these drawbacks, in order to maintain a further ultra-high vacuum, more attention must be paid to preparation than before, and time is required for use in future research and development. There are also financial difficulties.
【００１１】本発明は、上記の課題を解決するために、
軽量で、取り回しをし易く、常用に耐えうる強度を確保
し、また、ガスケットを圧縮する突出部に傷が付きにく
く、オスメスの区別のない任意形状の接合面に対応でき
るフランジを提供することを目的とする。The present invention has been made in order to solve the above problems.
To provide a flange that is lightweight, easy to handle, secures strength enough to withstand regular use, and has a projection that compresses a gasket that is hardly damaged and that can be used with any shape of joint surface that can be distinguished between male and female. Aim.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するために、任意形状の真空フランジにおいて、表
面には表面溝を形成し、前記表面溝には複数のボルト挿
通孔を形成するとともに、表面溝内にはガスケットを収
納するための収納溝を形成し、前記収納溝内には突条及
び内溝１ｄを形成し、背面には、必要に応じて、段差及
び溝底面を有する接合溝などを形成したことを特徴とす
る真空フランジの構成とした。According to the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, a surface groove is formed on a surface of a vacuum flange having an arbitrary shape, and a plurality of bolt insertion holes are formed in the surface groove. At the same time, a storage groove for storing a gasket is formed in the surface groove, a ridge and an inner groove 1d are formed in the storage groove, and a step and a groove bottom surface are formed on the rear surface as necessary. The structure of the vacuum flange is characterized by forming a joining groove or the like.
【００１３】[0013]
【実施例】下記の実施例は、任意形状のフランジの全て
に適用されるものであるが、任意形状の真空フランジの
１例として長方形状の真空フランジについて図面を参照
しながら説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The following embodiment is applied to all flanges of an arbitrary shape, but a rectangular vacuum flange will be described as an example of a vacuum flange of an arbitrary shape with reference to the drawings.
【００１４】図１は、本発明の真空フランジの１例であ
る長方形状の真空フランジを使用して管と管とを接続し
た状態の正面図である。図１に示すように、本真空フラ
ンジ１により管５と管６を接合し、管５、６内を真空状
態とするためには、先ず、管５を真空フランジ１に、管
６を真空フランジ１に接合した後、前記真空フランジ
１、１同士をボルトナット２、２、２、２・・・・に接
合し締め付け固定する。上記実施例である長方形状の真
空フランジ１の構成は、任意の形状の真空フランジの全
てに当てはまる。FIG. 1 is a front view of a state in which tubes are connected by using a rectangular vacuum flange which is an example of the vacuum flange of the present invention. As shown in FIG. 1, in order to join the tubes 5 and 6 with the present vacuum flange 1 and to make the inside of the tubes 5 and 6 vacuum, first, the tube 5 is attached to the vacuum flange 1 and the tube 6 is attached to the vacuum flange. After joining, the vacuum flanges 1, 1 are joined to bolt nuts 2, 2, 2, 2,... And tightened and fixed. The configuration of the rectangular vacuum flange 1 of the above embodiment is applicable to all the vacuum flanges of any shape.
【００１５】図２は本発明の１例である長方形状の真空
フランジにガスケットを取り付けた状態の斜視図、図７
は本発明である真空フランジ１の一実施例である長方形
状の真空フランジからガスケットを取り外した状態での
正面図である。FIG. 2 is a perspective view showing a state in which a gasket is attached to a rectangular vacuum flange according to an embodiment of the present invention.
FIG. 1 is a front view showing a state in which a gasket is removed from a rectangular vacuum flange which is one embodiment of the vacuum flange 1 of the present invention.
【００１６】図７に示すように、本真空フランジ１の形
状は直方体であり、中央部には貫通孔１ｅが、表面には
表面溝１ａが形成されている。そして、前記表面溝１ａ
内には複数のボルト挿通孔９、９、９、９、９、９、
９、９が穿設されている。As shown in FIG. 7, the shape of the present vacuum flange 1 is a rectangular parallelepiped, and a through hole 1e is formed at the center and a surface groove 1a is formed at the surface. Then, the surface groove 1a
A plurality of bolt insertion holes 9, 9, 9, 9, 9, 9, 9,
9, 9 are drilled.
【００１７】これらのボルト挿通孔９、９、９、９、
９、９、９、９は、本真空フランジ１同士を接合固定す
る際にボルトナット２のボルトを挿通するための孔であ
る。図７中では、中央部に貫通孔１ｅが存在するが、こ
の貫通孔１ｅは無くても良い。These bolt insertion holes 9, 9, 9, 9,
9, 9, 9, 9 are holes through which the bolts of the bolt nut 2 are inserted when the main vacuum flanges 1 are joined and fixed. In FIG. 7, the through hole 1e is present at the center, but the through hole 1e may not be provided.
【００１８】また、図２及び図７に示すように、ボルト
挿通孔９とボルト挿通孔９間には、横溝４、４ａが形成
されている。また、前記表面溝１ａ内にはガスケット３
を収納するための収納溝１ｂが形成され、前記収納溝１
ｂ内には突条１ｃが突設されていて、前記突条１ｃ内に
は内溝１ｄが形成されている。As shown in FIGS. 2 and 7, between the bolt insertion holes 9 are formed lateral grooves 4, 4a. A gasket 3 is provided in the surface groove 1a.
A storage groove 1b for storing the storage groove 1b is formed.
A protruding ridge 1c is protruded in b, and an inner groove 1d is formed in the protruding ridge 1c.
【００１９】図３は本発明である真空フランジの長方形
状の真空フランジの背面図である。図３に示すように、
本真空フランジ１の背面には、管を接合させるための接
合溝１ｆが貫通孔１ｅの外方に形成されている。符号１
ｇは、段差を示し、符号１ｈは接合溝１ｆの溝底面を示
す。接合される管の一端がこの接合溝１ｆの溝底面１ｈ
に接合させる。上記の実施例の長方形状の真空フランジ
１の構成は、任意形状の真空フランジにも全て当てはま
る。FIG. 3 is a rear view of the rectangular vacuum flange of the vacuum flange according to the present invention. As shown in FIG.
On the back surface of the vacuum flange 1, a joining groove 1f for joining a pipe is formed outside the through hole 1e. Sign 1
g indicates a step, and reference numeral 1h indicates a groove bottom surface of the joining groove 1f. One end of the pipe to be joined is groove bottom 1h of this joining groove 1f.
To be joined. The configuration of the rectangular vacuum flange 1 of the above-described embodiment can be applied to any shape of the vacuum flange.
【００２０】図４は本発明である真空フランジの長方形
状の真空フランジの左側面図、図５は当該真空フランジ
の右側面図である。図４及び図５に示すように、横溝
４、４ａが形成されていて、この横溝４、４ａの深さ
は、突条１ｃが突設されている状態が分かる程度の溝で
ある。上記の実施例の長方形状の真空フランジ１の構成
は、任意形状の真空フランジにも全て当てはまる。FIG. 4 is a left side view of a rectangular vacuum flange of the vacuum flange according to the present invention, and FIG. 5 is a right side view of the vacuum flange. As shown in FIGS. 4 and 5, the lateral grooves 4 and 4a are formed, and the depth of the lateral grooves 4 and 4a is such that the state in which the ridge 1c is projected can be recognized. The configuration of the rectangular vacuum flange 1 of the above-described embodiment can be applied to any shape of the vacuum flange.
【００２１】このように、横溝４、４ａから突条１ｃの
上端は、表面溝１ａの表面より低く形成されている。こ
のように、表面溝１ａの溝面より突出しないために、真
空フランジ１を取り扱う際に、突条１ｃの表面に傷がつ
きにくくなり超高真空にし易くすることが可能となる。
上記の実施例の長方形状の真空フランジは、任意形状の
真空フランジの構成にも全て当てはまる。As described above, the upper ends of the ridges 1c from the lateral grooves 4, 4a are formed lower than the surface of the surface groove 1a. As described above, since the protrusion does not protrude from the groove surface of the surface groove 1a, when the vacuum flange 1 is handled, the surface of the ridge 1c is less likely to be damaged, and it is possible to easily apply an ultra-high vacuum.
The rectangular vacuum flange of the above-described embodiment also applies to the configuration of a vacuum flange of any shape.
【００２２】図６は本発明である真空フランジの長方形
状の真空フランジに使用するガスケットの正面図、図６
ａは当該ガスケットの左側面図である。図６及び６ａに
示すように、本ガスケット３の形状は長方形で板状であ
る。ガスケット３内は、真空フランジ１の中央に形成さ
れている貫通孔１ｄと同形同大の孔が形成されている。
上記の実施例の長方形状の真空フランジ１の構成は、任
意の形状の真空フランジに全て当てはまる。FIG. 6 is a front view of a gasket used for a rectangular vacuum flange of a vacuum flange according to the present invention.
a is a left side view of the gasket. As shown in FIGS. 6 and 6a, the shape of the gasket 3 is rectangular and plate-shaped. In the gasket 3, a hole having the same shape and the same size as the through hole 1d formed in the center of the vacuum flange 1 is formed.
The configuration of the rectangular vacuum flange 1 of the above-described embodiment can be applied to all vacuum flanges of any shape.
【００２３】本ガスケット３は、真空フランジ１と真空
フランジ１同士を接合する際に、真空フランジ１と真空
フランジ１間に挟着させ、複数のボルトナット２、２、
２、２・・・・により締め付けて接合する際にパッキン
としての役割を果たし、密閉性を向上させるものであ
る。When joining the vacuum flanges 1 to one another, the gasket 3 is sandwiched between the vacuum flanges 1 and the plurality of bolt nuts 2, 2,.
When it is tightened and joined by 2, 2,..., It plays a role as a packing and improves sealing performance.
【００２４】また、ガスケット３の上端部と下端部に
は、上切込溝３ａ及び下切込溝３ｂが形成されている。
この上下切込溝３ａ、３ｂには、真空フランジ１、１同
士を接合させる際に、有底のピン挿入孔１０、１１にピ
ン８、８ａを挿入する際に邪魔にならず、ピン８、８ａ
がスム−ズに挿入できるようにするために形成されてい
る。An upper cut groove 3a and a lower cut groove 3b are formed at the upper and lower ends of the gasket 3.
When joining the vacuum flanges 1 and 1 to each other, the upper and lower cut grooves 3a and 3b do not interfere with the insertion of the pins 8 and 8a into the bottomed pin insertion holes 10 and 11. 8a
Are formed so that they can be inserted smoothly.
【００２５】この切込溝３ａ、３ｂは、挿入ピン８、８
ａの直径よりもやや小さく形成されている。このような
切込溝３ａ、３ｂに形成することにより、真空フランジ
１と真空フランジ１同士が接合し易くなる。又、ピンの
脱落防止にもなる。The cut grooves 3a, 3b are inserted into the insertion pins 8, 8, respectively.
It is formed slightly smaller than the diameter of a. By forming such cut grooves 3a and 3b, the vacuum flanges 1 and the vacuum flanges 1 are easily joined to each other. It also prevents the pins from falling off.
【００２６】図８は図２中のＡ−Ａ線に沿った縦断面
図、図８ａは本発明である真空フランジの他の実施例の
縦断面図である。図８に示すように、ガスケット３が収
納溝１ｂに収納される。FIG. 8 is a longitudinal sectional view taken along the line AA in FIG. 2, and FIG. 8A is a longitudinal sectional view of another embodiment of the vacuum flange according to the present invention. As shown in FIG. 8, the gasket 3 is stored in the storage groove 1b.
【００２７】図８に示す真空フランジ１の突条１ｃの断
面形状は、貫通孔１ｄ寄り及びガスケット３を収納する
収納溝１ｂ寄りは共に垂直に形成されている。In the sectional shape of the ridge 1c of the vacuum flange 1 shown in FIG. 8, the portion near the through hole 1d and the portion near the storage groove 1b for storing the gasket 3 are both formed vertically.
【００２８】図８ａに示すように、本例の長方形状の真
空フランジ１では、突条１ｃの断面形状が、貫通孔１ｄ
寄りは湾曲状に形成されているとともに、収納溝１ｂ寄
りはテ−パ−状に形成されている。As shown in FIG. 8A, in the rectangular vacuum flange 1 of the present embodiment, the cross-sectional shape of the ridge 1c is
The recess is formed in a curved shape, and the storage groove 1b is formed in a tapered shape.
【００２９】図９は、図１に示した本発明である真空フ
ランジにより管と管を接続した状態の縦断面図である。
真空フランジ１と真空フランジ１間にガスケット３を挟
着した状態で、ボルトナット２により締め付け固定し、
真空フランジ１、１の背面に形成されている接合溝１
ｆ、１ｆに管５、６を接合させる。FIG. 9 is a longitudinal sectional view showing a state where the tubes are connected by the vacuum flange of the present invention shown in FIG.
With the gasket 3 sandwiched between the vacuum flanges 1 and 2, the bolts and nuts 2 are tightened and fixed.
Joint flange 1 formed on the back of vacuum flange 1
The pipes 5 and 6 are joined to f and 1f.
【００３０】本発明である真空フランジ１は長方形状で
あるが、必要に応じて円筒形状、多角形状等の任意形状
としてもよい。また、本真空フランジ１の背面には接合
部分がない場合もある。The vacuum flange 1 of the present invention has a rectangular shape, but may have an arbitrary shape such as a cylindrical shape or a polygonal shape if necessary. Further, there is a case where there is no joining portion on the back surface of the main vacuum flange 1.
【００３１】[0031]
【発明の効果】本発明は、以上に説明したような構成で
あるから以下の効果が得られる。第１に、本フランジは
軽量なため取り扱いが非常に楽であり、接合に掛かる時
間の無駄を短縮することができる。第２に、オスメスの
区別がなく、前後の間違いや組み違えの手間が省け作業
性が向上する。第３に、ガスケットを圧縮する突出部が
フランジの表面より内側に内設されているため突出部に
傷がつきにくく、密閉性が向上する。第４に、傷がつき
にくいため、角フランジを無駄にすることも減り、経済
的にも良い。Since the present invention has the above-described configuration, the following effects can be obtained. First, since the present flange is lightweight, it is very easy to handle, and the waste of time required for joining can be reduced. Secondly, there is no distinction between male and female, so that troubles of mistakes and mistakes before and after are eliminated, and workability is improved. Third, since the protruding portion for compressing the gasket is provided inside the surface of the flange, the protruding portion is not easily damaged, and the sealing performance is improved. Fourth, since it is hard to be damaged, waste of the square flange is reduced, which is economically good.
【図１】本発明である真空フランジを使用して管と管と
を接続した状態を示したの正面図である。FIG. 1 is a front view showing a state where tubes are connected by using a vacuum flange according to the present invention.
【図２】本発明である真空フランジの斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a vacuum flange according to the present invention.
【図３】本発明である真空フランジの背面図である。FIG. 3 is a rear view of the vacuum flange according to the present invention.
【図４】本発明である真空フランジの左側面図である。FIG. 4 is a left side view of the vacuum flange according to the present invention.
【図５】本発明である真空フランジの右側面図である。FIG. 5 is a right side view of the vacuum flange according to the present invention.
【図６】本発明である真空フランジに使用するガスケッ
トの正面図である。FIG. 6 is a front view of a gasket used for a vacuum flange according to the present invention.
【図６ａ】本発明である真空フランジに使用するガスケ
ットの左側面図である。FIG. 6a is a left side view of a gasket used for a vacuum flange according to the present invention.
【図７】本発明である真空フランジからガスケットを取
り外した状態の正面図である。FIG. 7 is a front view showing a state in which a gasket is removed from a vacuum flange according to the present invention.
【図８】図７中のＡ−Ａ線に沿った縦断面図である。8 is a vertical sectional view taken along line AA in FIG.
【図８ａ】本発明である真空フランジの他の実施例の縦
断面図である。FIG. 8a is a longitudinal sectional view of another embodiment of the vacuum flange of the present invention.
【図９】本発明である真空フランジを使用して管と管を
接合し固定した状態の縦断面図である。FIG. 9 is a longitudinal sectional view of a state in which tubes are joined and fixed using a vacuum flange according to the present invention.
【図１０】従来から使用されていた雄真空フランジの斜
視図である。FIG. 10 is a perspective view of a conventionally used male vacuum flange.
【図１１】従来から使用されている雌真空フランジの斜
視図である。FIG. 11 is a perspective view of a conventionally used female vacuum flange.
【図１２】従来から使用されている雄真空フランジと雌
真空フランジを接合した状態の斜視図である。FIG. 12 is a perspective view of a state in which a conventionally used male vacuum flange and female vacuum flange are joined.
１ 真空フランジ １ａ 表面溝 １ｂ 収納溝 １ｃ 突条 １ｄ 内溝 １ｅ 貫通孔 １ｆ 接合溝 １ｇ 段差 １ｈ 溝底面 ２ ボルトナット ３ ガスケット ３ａ 上切込溝 ３ｂ 下切込溝 ４ 横溝 ４ａ 横溝 ５ 管 ６ 管 ７ ボルトナット ８ ピン ９ 挿通孔 １０ ピン挿入孔 １１ ピン挿入孔 １２ 雄真空フランジ １３ 雌真空フランジ １４ ボルト挿通孔 １５ 突出部 １６ 接合部 １７ 貫通孔 １８ 嵌合溝 １９ 接合部 ２０ 管接合溝 ２１ 横溝 ２１ａ 横溝 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vacuum flange 1a Surface groove 1b Storage groove 1c Ridge 1d Inner groove 1e Through hole 1f Joint groove 1g Step 1h Groove bottom 2 Bolt nut 3 Gasket 3a Upper cut groove 3b Lower cut groove 4 Side groove 4a Side groove 5 Tube 6 Tube Nut 8 Pin 9 Insertion Hole 10 Pin Insertion Hole 11 Pin Insertion Hole 12 Male Vacuum Flange 13 Female Vacuum Flange 14 Bolt Insertion Hole 15 Protrusion 16 Joining Section 17 Through Hole 18 Fitting Groove 19 Joining Section 20 Pipe Jointing Groove 21 Lateral Groove 21a Lateral Groove
Claims (4)
面には表面溝を形成し、前記表面溝には複数のボルト挿
通孔を形成するとともに、表面溝内にはガスケットを収
納するための収納溝を形成し、前記収納溝内には突条及
び内溝を形成し、背面には必要に応じて任意の形状の段
差及び溝底面を有する接合溝を形成したことを特徴とす
る真空フランジ。In a vacuum flange having an arbitrary shape, a surface groove is formed on a surface, a plurality of bolt insertion holes are formed in the surface groove, and a storage groove for storing a gasket in the surface groove. And a projection groove and an inner groove are formed in the storage groove, and a joint groove having a step and a groove bottom of an arbitrary shape is formed on the back surface as needed.
１記載の真空フランジ。2. The vacuum flange according to claim 1, wherein a lateral groove is formed.
求項１又は２記載の真空フランジ。3. The vacuum flange according to claim 1, wherein a pin insertion hole is provided.
溝及び下切込溝を設けたガスケットを収納したことを特
徴とする請求項１、２又は３記載の真空フランジ。4. The vacuum flange according to claim 1, wherein a gasket provided with an upper cut groove and a lower cut groove is stored in the storage groove for storing the gasket.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26281897A JP3430391B2 (en) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | Vacuum flange |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26281897A JP3430391B2 (en) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | Vacuum flange |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1182833A true JPH1182833A (en) | 1999-03-26 |
| JP3430391B2 JP3430391B2 (en) | 2003-07-28 |
Family
ID=17381049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26281897A Expired - Fee Related JP3430391B2 (en) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | Vacuum flange |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3430391B2 (en) |
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| JP2012163115A (en) * | 2011-02-03 | 2012-08-30 | Michio Otsuka | Flange, and gasket used in the same |
| WO2015073169A1 (en) * | 2013-11-13 | 2015-05-21 | Brookhaven Science Associates, Llc | Vacuum sealing flange |
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1997
- 1997-09-10 JP JP26281897A patent/JP3430391B2/en not_active Expired - Fee Related
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| WO2015073169A1 (en) * | 2013-11-13 | 2015-05-21 | Brookhaven Science Associates, Llc | Vacuum sealing flange |
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| JP3430391B2 (en) | 2003-07-28 |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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