JP3430391B2 - Vacuum flange - Google Patents
Vacuum flangeInfo
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- JP3430391B2 JP3430391B2 JP26281897A JP26281897A JP3430391B2 JP 3430391 B2 JP3430391 B2 JP 3430391B2 JP 26281897 A JP26281897 A JP 26281897A JP 26281897 A JP26281897 A JP 26281897A JP 3430391 B2 JP3430391 B2 JP 3430391B2
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、管と管、管と容器、容
器と容器及び容器内を接合し管内又は容器内を真空にす
るために使用する真空フランジの改良に関する発明であ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement in a vacuum flange used for joining pipes to pipes, pipes to containers, containers to containers and insides of containers to make a vacuum inside the pipes or inside the containers.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、図１０及び図１１に示すように、
管と管を接続し管内を真空にするためには、図１０に示
す雄真空フランジ１２と図１１に示した雌真空フランジ
１３とを管と管の間に設置することにより管同士を接続
している。2. Description of the Related Art Conventionally, as shown in FIGS.
In order to connect the tubes to each other to create a vacuum in the tubes, the male vacuum flange 12 shown in FIG. 10 and the female vacuum flange 13 shown in FIG. 11 are installed between the tubes to connect the tubes to each other. ing.
【０００３】図１０に示した雄真空フランジ１２の外方
部には複数のボルト挿通孔１４、１４、１４・・・・が
形成されいる。前記ボルト挿通孔１４、１４、１４・・
・・の内方には内突出部１５及び外突出部１６が形成さ
れているとともに、貫通孔１７が形成されている。A plurality of bolt insertion holes 14, 14, 14 ... Are formed in the outer portion of the male vacuum flange 12 shown in FIG. The bolt insertion holes 14, 14, 14 ...
An inner protruding portion 15 and an outer protruding portion 16 are formed on the inner side of ... And a through hole 17 is formed.
【０００４】また、図１１に示した雌真空フランジ１３
の外方部には、横溝２１、２１ａ及び複数のボルト挿通
孔１４、１４、１４・・・・が形成されている。また、
内方には突出部１９及び雄真空フランジ１２に形成され
ている内突出部１５が嵌合する嵌合溝１８が形成されて
いるとともに、内部は貫通孔１７が形成されている。Further, the female vacuum flange 13 shown in FIG.
The lateral grooves 21, 21a and a plurality of bolt insertion holes 14, 14, 14 ... Are formed on the outer side of the. Also,
A fitting groove 18 into which the protrusion 19 and the inner protrusion 15 formed on the male vacuum flange 12 are fitted is formed inside, and a through hole 17 is formed inside.
【０００５】管同士を雄真空フランジ１２と雌真空フラ
ンジ１３により接合するには、図１２に示すように、雄
真空フランジ１２と雌真空フランジ１３を接合し、雄真
空フランジ１２及び雌真空フランジ１３に形成されてい
る管接合溝２０に管の一端を接合する方法で管同士を接
合し、管内を真空としていた。To connect the tubes to each other by the male vacuum flange 12 and the female vacuum flange 13, as shown in FIG. 12, the male vacuum flange 12 and the female vacuum flange 13 are joined, and the male vacuum flange 12 and the female vacuum flange 13 are joined. The pipes were joined together by the method of joining one end of the pipes to the pipe joining groove 20 formed in the above, and the inside of the pipes was evacuated.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、管と管
を接続する際には雄真空フランジ１２、雌真空フランジ
１３を使用して管同士を接合する方法であるために、管
同士を接続する時に雄真空フランジ１２と雌真空フラン
ジ１３の前後を間違えてしまって、再度接続をし直す必
要が生じたりするために管同士を接続するために可成り
の手間暇が掛かってしまうとの欠点があった。However, since the male vacuum flange 12 and the female vacuum flange 13 are used to join the pipes to each other when connecting the pipes, the pipes are connected to each other. There is a drawback that the male vacuum flange 12 and the female vacuum flange 13 are mistaken before and after, and it becomes necessary to reconnect them, so that it takes a lot of time and effort to connect the tubes. It was
【０００７】また、従来の雄真空フランジ１２及び雌真
空フランジ１３は、形状自体が可成り大型であり、取り
扱いに不便であり、作業性も悪いとの欠点もあった。Further, the conventional male vacuum flange 12 and the female vacuum flange 13 have the disadvantages that the shapes themselves are rather large, they are inconvenient to handle, and the workability is poor.
【０００８】また、雄真空フランジ１２と雌真空フラン
ジ１３とを接合作業中に、雄真空フランジ１２に突設し
ている内突出部１５及び外突出部１６に取り扱い時に傷
を付けてしまうと、当該傷の部分より空気が侵入してき
て、真空にすることが不可能となってしまうとの欠点も
あった。Also, during the work of joining the male vacuum flange 12 and the female vacuum flange 13, if the inner protruding portion 15 and the outer protruding portion 16 protruding from the male vacuum flange 12 are damaged during handling, There is also a drawback that air cannot penetrate into the wound portion to make a vacuum.
【０００９】また、内突出部１５及び外突出部１６に傷
ついた雄真空フランジ１２は使用できなくなり、再度、
新しい雄真空フランジ１２を製造しなければならず、費
用が嵩み過ぎるとの欠点もあった。Further, the male vacuum flange 12 having the inner protruding portion 15 and the outer protruding portion 16 damaged cannot be used, and again,
A new male vacuum flange 12 had to be manufactured, and there was a drawback that the cost was too high.
【００１０】更に、これら欠点のため、超高真空という
更なる真空を保つには、今まで以上に準備に気を使わな
ければならず、今後の研究開発などに使用する上で時間
的にも経済的にも困難性がある。Furthermore, due to these drawbacks, in order to maintain a further vacuum of ultra-high vacuum, it is necessary to pay more attention to preparations than ever before, and in terms of time to use in future research and development, etc. There are financial difficulties as well.
【００１１】そこで、本発明は、上記の課題を解決する
ために、軽量で、取り回しをし易く、常用に耐えうる強
度を確保し、また、ガスケットを圧縮する突出部に傷が
付きにくく、オスメスの区別のない任意形状の接合面に
対応できるフランジを提供することを目的とする。Therefore, in order to solve the above problems, the present invention is light in weight, easy to handle, secures strength enough to withstand normal use, and the protrusion for compressing the gasket is not easily scratched. It is an object of the present invention to provide a flange that can be applied to a joint surface of any shape without distinction.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するために、直方体形状の真空フランジにおいて、
中央部には貫通孔１ｅを、表面には表面溝１ａを形成
し、前記表面溝１ａに複数のボルト挿通孔９、９、９・
・を穿設するとともに前記ボルト挿通孔９とボルト挿通
孔９間に横溝４、４ａを形成し、前記表面溝１ａ内にガ
スケット３を収納するための収納溝１ｂを形成し、前記
収納溝１ｂ内に突条１ｃを突設するとともに前記突条１
ｃ内に内溝１ｄを形成し、背面には段差１ｇ及び溝底面
１ｈを有する接合溝１ｆを前記貫通孔１ｅの外方に形成
したことを特徴とする真空フランジの構成とした。In order to solve the above problems, the present invention provides a rectangular parallelepiped vacuum flange,
A through hole 1e is formed in the central portion and a surface groove 1a is formed on the surface, and a plurality of bolt insertion holes 9, 9, 9 ...
And forming lateral grooves 4, 4a between the bolt insertion holes 9 and the bolt insertion holes 9 and forming a storage groove 1b for storing the gasket 3 in the surface groove 1a. The ridge 1c is provided in the inside and the ridge 1
An inner groove 1d is formed in c, and a joining groove 1f having a step 1g and a groove bottom surface 1h is formed on the back surface outside the through hole 1e.
【００１３】[0013]
【実施例】下記の実施例は、任意形状のフランジの全て
に適用されるものであるが、任意形状の真空フランジの
１例として長方形状の真空フランジについて図面を参照
しながら説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Although the following embodiments are applicable to all flanges of arbitrary shape, a rectangular vacuum flange will be described as an example of the vacuum flange of arbitrary shape with reference to the drawings.
【００１４】図１は、本発明の真空フランジの１例であ
る長方形状の真空フランジを使用して管と管とを接続し
た状態の正面図である。図１に示すように、本発明であ
る真空フランジ１、１に管５と管６を接合する。FIG. 1 is a front view showing a state in which tubes are connected to each other by using a rectangular vacuum flange which is an example of the vacuum flange of the present invention. As shown in FIG. 1, the tubes 5 and 6 are joined to the vacuum flanges 1 and 1 of the present invention.
【００１５】接合した後に管５及び管６内を真空状態と
するためには、先ず、管５を真空フランジ１に、管６を
真空フランジ１に接合した後、前記真空フランジ１、１
同士をボルトナット２、２、２、２・・・・に接合し締
め付け固定する。上記実施例である長方形状の真空フラ
ンジ１の構成は、任意の形状の真空フランジの全てに当
てはまる。In order to make the inside of the tubes 5 and 6 a vacuum state after joining, first, the tube 5 is joined to the vacuum flange 1 and the tube 6 is joined to the vacuum flange 1, and then the vacuum flanges 1 and 1 are joined.
Join each other to the bolts and nuts 2, 2, 2, 2, ... The configuration of the rectangular vacuum flange 1 according to the above-described embodiment is applicable to all vacuum flanges having an arbitrary shape.
【００１６】図２は本発明の１例である長方形状の真空
フランジにガスケットを取り付けた状態の斜視図、図７
は本発明である真空フランジ１の一実施例である長方形
状の真空フランジからガスケットを取り外した状態での
正面図である。FIG. 2 is a perspective view showing a state in which a gasket is attached to a rectangular vacuum flange which is an example of the present invention.
FIG. 3 is a front view showing a state in which a gasket is removed from a rectangular vacuum flange which is an embodiment of the vacuum flange 1 according to the present invention.
【００１７】図７に示すように、本発明である真空フラ
ンジ１の形状は直方体である。本真空フランジ１の中央
部には貫通孔１ｅが、表面には表面溝１ａが形成されて
いる。そして、表面溝１ａ内には、複数のボルト挿通孔
９、９、９、９、９、９、９、９が穿設されている。As shown in FIG. 7, the vacuum flange 1 of the present invention has a rectangular parallelepiped shape. A through hole 1e is formed in the center of the vacuum flange 1, and a surface groove 1a is formed on the surface. A plurality of bolt insertion holes 9, 9, 9, 9, 9, 9, 9, 9 are bored in the surface groove 1a.
【００１８】これらのボルト挿通孔９、９、９、９、
９、９、９、９は、本発明である真空フランジ１同士を
接合固定する際にボルトナット２のボルトを挿通するた
めの挿通孔である。図７中では、中央部に貫通孔１ｅが
存在するが、この貫通孔１ｅは無くても良い。These bolt insertion holes 9, 9, 9, 9,
Reference numerals 9, 9, 9, 9 are through holes for inserting the bolts of the bolt nut 2 when joining and fixing the vacuum flanges 1 according to the present invention. In FIG. 7, the through hole 1e exists in the central portion, but the through hole 1e may be omitted.
【００１９】また、図２及び図７に示すように、ボルト
挿通孔９とボルト挿通孔９間には、横溝４、４ａが形成
されている。また、表面溝１ａ内にはガスケット３を収
納するための収納溝１ｂが形成されている。この収納溝
１ｂ内には、突条１ｃが突設されている。そして、突条
１ｃ内には、内溝１ｄが形成されている。Further, as shown in FIGS. 2 and 7, lateral grooves 4, 4a are formed between the bolt insertion holes 9 and the bolt insertion holes 9. A storage groove 1b for storing the gasket 3 is formed in the front surface groove 1a. A ridge 1c is provided in the storage groove 1b. An inner groove 1d is formed in the ridge 1c.
【００２０】図３は本発明である真空フランジの長方形
状の真空フランジの背面図である。図３に示すように、
本真空フランジ１の背面には、管５、６の一端を接合さ
せるための接合溝１ｆが貫通孔１ｅの外方に形成されて
いる。FIG. 3 is a rear view of the rectangular vacuum flange of the vacuum flange according to the present invention. As shown in FIG.
On the back surface of the vacuum flange 1, a joining groove 1f for joining one ends of the tubes 5 and 6 is formed outside the through hole 1e.
【００２１】符号１ｇは段差を示し、符号１ｈは接合溝
１ｆの溝底面を示す。接合される管５、６の一端がこの
接合溝１ｆの溝底面１ｈに接合される。上記の実施例の
長方形状の真空フランジ１の構成は、任意形状の真空フ
ランジにも全て当てはまる。Reference numeral 1g indicates a step, and reference numeral 1h indicates a groove bottom surface of the joining groove 1f. One ends of the pipes 5 and 6 to be joined are joined to the groove bottom surface 1h of the joining groove 1f. The configuration of the rectangular vacuum flange 1 according to the above-described embodiment is also applicable to any shape of vacuum flange.
【００２２】図４は本発明である真空フランジの左側面
図、図５は本発明である真空フランジの右側面図であ
る。図４及び図５に示すように、横溝４、４ａが形成さ
れている。FIG. 4 is a left side view of the vacuum flange of the present invention, and FIG. 5 is a right side view of the vacuum flange of the present invention. As shown in FIGS. 4 and 5, lateral grooves 4 and 4a are formed.
【００２３】この横溝４、４ａの深さは、突条１ｃが突
設されている状態が分かる程度の溝である。上記の実施
例の長方形状の真空フランジ１の構成は、任意形状の真
空フランジにも全て当てはまる。The depth of the lateral grooves 4 and 4a is such that it can be seen that the projecting ridge 1c is provided. The configuration of the rectangular vacuum flange 1 according to the above-described embodiment is also applicable to any shape of vacuum flange.
【００２４】このように、横溝４、４ａから突条１ｃの
上端は、表面溝１ａの表面より低く形成されている。こ
のように、表面溝１ａの溝面より突出しないために、真
空フランジ１を取り扱う際に、突条１ｃの表面に傷がつ
きにくくなり超高真空にし易くすることが可能となる。
上記の実施例の長方形状の真空フランジは、任意形状の
真空フランジの構成にも全て当てはまる。In this way, the upper ends of the lateral grooves 4 and 4a to the protrusion 1c are formed lower than the surface of the surface groove 1a. As described above, since the surface does not protrude from the groove surface of the surface groove 1a, the surface of the ridge 1c is less likely to be scratched when the vacuum flange 1 is handled, and it is possible to easily establish an ultrahigh vacuum.
The rectangular vacuum flanges of the above embodiments are all applicable to vacuum flange configurations of arbitrary shape.
【００２５】図６は本発明である真空フランジの長方形
状の真空フランジに使用するガスケットの正面図、図６
ａは当該ガスケットの左側面図である。図６及び図６ａ
に示すように、本発明である真空フランジ１に取り付け
るガスケット３の形状は、長方形で板状である。FIG. 6 is a front view of a gasket used for the rectangular vacuum flange of the vacuum flange according to the present invention.
a is a left side view of the gasket. 6 and 6a
As shown in, the shape of the gasket 3 attached to the vacuum flange 1 according to the present invention is rectangular and plate-shaped.
【００２６】ガスケット３内は、本発明である真空フラ
ンジ１の中央に形成されている貫通孔１ｅと同形同大の
孔が形成されている。上記の実施例の長方形状の真空フ
ランジ１の構成は、任意の形状の真空フランジに全て当
てはまる。Inside the gasket 3, a hole having the same shape and size as the through hole 1e formed in the center of the vacuum flange 1 according to the present invention is formed. The configuration of the rectangular vacuum flange 1 according to the above-described embodiment can be applied to any shape of vacuum flange.
【００２７】本ガスケット３は、本発明である真空フラ
ンジ１と本発明である真空フランジ１同士を接合する際
に、真空フランジ１と真空フランジ１間に挟着させ、図
１に示すように、複数のボルトナット２、２、２、２・
・・・により締め付けて接合する際にパッキンとしての
役割を果たし、密閉性を向上させるものである。The gasket 3 is sandwiched between the vacuum flange 1 and the vacuum flange 1 when the vacuum flange 1 of the present invention and the vacuum flanges 1 of the present invention are joined to each other, and as shown in FIG. Multiple bolt nuts 2, 2, 2, 2 ...
It plays a role as a packing when it is fastened and joined by ... and improves the airtightness.
【００２８】また、ガスケット３の上端部と下端部に
は、上切込溝３ａ及び下切込溝３ｂが形成されている。
この上切込溝３ａ及び下切込溝３ｂには、真空フランジ
１、１同士を接合させる際に、有底のピン挿入孔１０、
１１にピン８、８ａを挿入する際に邪魔にならず、ピン
８、８ａがスム−ズに挿入できるようにするために形成
されている。An upper cut groove 3a and a lower cut groove 3b are formed at the upper end and the lower end of the gasket 3.
When joining the vacuum flanges 1 and 1 to the upper cut groove 3a and the lower cut groove 3b, a bottomed pin insertion hole 10,
It is formed so that the pins 8 and 8a can be smoothly inserted without disturbing the insertion of the pins 8 and 8a into the pin 11.
【００２９】この上下切込溝３ａ、３ｂは、挿入ピン
８、８ａの直径よりもやや小さく形成されている。この
ような切込溝３ａ、３ｂに形成することにより、真空フ
ランジ１と真空フランジ１同士が接合し易くなる。又、
ピン８、８ａが脱落するのを防止することができる。The upper and lower cut grooves 3a and 3b are formed slightly smaller than the diameter of the insertion pins 8 and 8a. By forming such cut grooves 3a and 3b, the vacuum flange 1 and the vacuum flanges 1 can be easily joined to each other. or,
It is possible to prevent the pins 8 and 8a from falling off.
【００３０】図８は図２中のＡ−Ａ線に沿った縦断面図
である。図８に示すように、ガスケット３が収納溝１ｂ
に収納される。図８に示すように、本発明である真空フ
ランジ１の突条１ｃの断面形状は、貫通孔１ｅ寄りの面
及びガスケット３を収納する収納溝１ｂ寄りの面は共に
垂直に形成されている。FIG. 8 is a vertical sectional view taken along the line AA in FIG. As shown in FIG. 8, the gasket 3 has the storage groove 1b.
Is stored in. As shown in FIG. 8, in the cross-sectional shape of the protrusion 1c of the vacuum flange 1 according to the present invention, both the surface near the through hole 1e and the surface near the storage groove 1b for housing the gasket 3 are formed vertically.
【００３１】図８ａは、本発明である真空フランジの他
の実施例の縦断面図である。図８ａに示すように、本例
の長方形状の真空フランジ１では、突条１ｃの断面形状
が、貫通孔１ｅ寄りの面は湾曲状に形成されているとと
もに、収納溝１ｂ寄りの面はテーパー状に形成されてい
る。FIG. 8a is a vertical sectional view of another embodiment of the vacuum flange according to the present invention. As shown in FIG. 8a, in the rectangular vacuum flange 1 of this example, the cross-sectional shape of the protrusion 1c is such that the surface near the through hole 1e is formed in a curved shape and the surface near the storage groove 1b is tapered. It is formed into a shape.
【００３２】図９は、図１に示した本発明である真空フ
ランジにより管と管を接続した状態の縦断面図である。
真空フランジ１と真空フランジ１間にガスケット３を挟
着した状態で、ボルトナット２により締め付け固定し、
真空フランジ１、１の背面に形成されている接合溝１
ｆ、１ｆに管５、６を接合させる。FIG. 9 is a vertical sectional view showing a state in which the tubes are connected by the vacuum flange according to the present invention shown in FIG.
With the gasket 3 sandwiched between the vacuum flange 1 and the vacuum flange 1, tighten the bolts and nuts 2 to fix them.
Bonding groove 1 formed on the back surface of the vacuum flanges 1 and 1
The tubes 5 and 6 are joined to f and 1f.
【００３３】本発明である真空フランジ１は長方形状で
あるが、長方形状のみに限らず円筒形状、多角形状等の
任意形状としてもよい。また、本真空フランジ１の背面
には接合部分がない場合もある。Although the vacuum flange 1 according to the present invention has a rectangular shape, the vacuum flange 1 is not limited to the rectangular shape and may have an arbitrary shape such as a cylindrical shape or a polygonal shape. Further, there may be a case where there is no joint on the back surface of the vacuum flange 1.
【００３４】[0034]
【発明の効果】本発明は、以上に説明したような構成で
あるから以下の効果が得られる。第１に、本発明である
フランジは軽量なため取り扱いが非常に楽であり、接合
に掛かる時間の無駄を短縮することができる。Since the present invention has the above-described structure, the following effects can be obtained. First, since the flange of the present invention is lightweight, it is very easy to handle and it is possible to reduce waste of time required for joining.
【００３５】第２に、本発明である真空フランジでは、
雄真空フランジ、雌真空フランジの区別がなく、１個の
真空フランジが雄真空フランジと雌真空フランジの機能
があり、管を接合する際に「前」であるか「後」である
かの間違いや組み違えが無くなるために手間が省け作業
性が向上する。Secondly, in the vacuum flange of the present invention,
There is no distinction between male vacuum flange and female vacuum flange, and one vacuum flange has the functions of a male vacuum flange and a female vacuum flange. It is a mistake whether it is "front" or "rear" when joining pipes. Since there is no misassembly, labor is saved and workability is improved.
【００３６】第３に、本発明である真空フランジにガス
ケットを取り付ける際に、ガスケットを圧縮する突出部
がフランジの表面より内側に内設されているため突出部
に傷がつきにくく密閉性が向上する。Thirdly, when the gasket is attached to the vacuum flange of the present invention, since the protrusion for compressing the gasket is provided inside the surface of the flange, the protrusion is less likely to be damaged and the hermeticity is improved. To do.
【００３７】第４に、本発明である真空フランジの突出
部に、ガスケットを取り付ける際に傷がつきにくいた
め、角フランジを無駄にすることも減り経済的にも良
い。Fourthly, since the protrusion of the vacuum flange according to the present invention is not easily scratched when the gasket is attached, the square flange is less wasted and economical.
【図１】本発明である真空フランジを使用して管と管と
を接続した状態を示したの正面図である。FIG. 1 is a front view showing a state where pipes are connected to each other using a vacuum flange according to the present invention.
【図２】本発明である真空フランジの斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a vacuum flange according to the present invention.
【図３】本発明である真空フランジの背面図である。FIG. 3 is a rear view of the vacuum flange according to the present invention.
【図４】本発明である真空フランジの左側面図である。FIG. 4 is a left side view of the vacuum flange according to the present invention.
【図５】本発明である真空フランジの右側面図である。FIG. 5 is a right side view of the vacuum flange according to the present invention.
【図６】本発明である真空フランジに使用するガスケッ
トの正面図である。FIG. 6 is a front view of a gasket used in the vacuum flange according to the present invention.
【図６ａ】本発明である真空フランジに使用するガスケ
ットの左側面図である。FIG. 6a is a left side view of a gasket used in the vacuum flange of the present invention.
【図７】本発明である真空フランジからガスケットを取
り外した状態の正面図である。FIG. 7 is a front view of the vacuum flange of the present invention with a gasket removed.
【図８】図７中のＡ−Ａ線に沿った縦断面図である。8 is a vertical cross-sectional view taken along the line AA in FIG.
【図８ａ】本発明である真空フランジの他の実施例の縦
断面図である。FIG. 8a is a vertical cross-sectional view of another embodiment of the vacuum flange according to the present invention.
【図９】本発明である真空フランジを使用して管と管を
接合し固定した状態の縦断面図である。FIG. 9 is a vertical cross-sectional view showing a state in which tubes are joined and fixed using the vacuum flange of the present invention.
【図１０】従来から使用されていた雄真空フランジの斜
視図である。FIG. 10 is a perspective view of a conventionally used male vacuum flange.
【図１１】従来から使用されている雌真空フランジの斜
視図である。FIG. 11 is a perspective view of a conventionally used female vacuum flange.
【図１２】従来から使用されている雄真空フランジと雌
真空フランジを接合した状態の斜視図である。FIG. 12 is a perspective view showing a state in which a male vacuum flange and a female vacuum flange which have been conventionally used are joined.
１ 真空フランジ １ａ 表面溝 １ｂ 収納溝 １ｃ 突条 １ｄ 内溝 １ｅ 貫通孔 １ｆ 接合溝 １ｇ 段差 １ｈ 溝底面 ２ ボルトナット ３ ガスケット ３ａ 上切込溝 ３ｂ 下切込溝 ４ 横溝 ４ａ 横溝 ５ 管 ６ 管 ７ ボルトナット ８ ピン ９ 挿通孔 １０ ピン挿入孔 １１ ピン挿入孔 １２ 雄真空フランジ １３ 雌真空フランジ １４ ボルト挿通孔 １５ 内突出部 １６ 外突出部 １７ 貫通孔 １８ 嵌合溝 １９ 突出部 ２０ 管接合溝 ２１ 横溝 ２１ａ 横溝 1 vacuum flange 1a Surface groove 1b storage groove 1c ridge 1d inner groove 1e through hole 1f junction groove 1g step 1h groove bottom 2 bolt nuts 3 gasket 3a Upper notch groove 3b Lower notch 4 lateral grooves 4a lateral groove 5 tubes 6 tubes 7 bolt nut 8 pin 9 insertion holes 10 pin insertion hole 11 pin insertion hole 12 Male vacuum flange 13 female vacuum flange 14 bolt insertion hole 15 Internal protrusion 16 External protrusion 17 Through hole 18 Fitting groove 19 Projection 20 pipe joint groove 21 lateral groove 21a lateral groove
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 昭61−202787（ＪＰ，Ｕ) 特公 平７−81657（ＪＰ，Ｂ２) 実公 平４−26780（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16L 23/16 ─────────────────────────────────────────────────── --Continued from the front page (56) Bibliography Sho 61-202787 (JP, U) Japanese Patent Publication 7-81657 (JP, B2) Actual Public Publication 4-26780 (JP, Y2) (58) Field (Int.Cl. 7 , DB name) F16L 23/16
Claims (2)
央部には貫通孔１ｅを、表面には表面溝１ａを形成し、
前記表面溝１ａに複数のボルト挿通孔９、９、９・・を
穿設するとともに前記ボルト挿通孔９とボルト挿通孔９
間には横溝４、４ａを形成し、前記表面溝１ａ内にガス
ケット３を収納するための収納溝１ｂを形成し、前記収
納溝１ｂ内に突条１ｃを突設するとともに前記突条１ｃ
内に内溝１ｄを設け、背面には段差１ｇ及び溝底面１ｈ
を有する接合溝１ｆを前記貫通孔１ｅの外方に形成した
ことを特徴とする真空フランジ。1. A rectangular parallelepiped vacuum flange having a through hole 1e formed in the center and a surface groove 1a formed on the surface,
A plurality of bolt insertion holes 9, 9, 9, ... Are bored in the surface groove 1a and the bolt insertion hole 9 and the bolt insertion hole 9 are formed.
Transverse grooves 4 and 4a are formed therebetween, a storage groove 1b for storing the gasket 3 is formed in the surface groove 1a, and a ridge 1c is provided in the storage groove 1b and the ridge 1c.
An inner groove 1d is provided inside, and a step 1g and a groove bottom 1h are provided on the back surface.
A vacuum flange having a joint groove 1f having a groove formed outside the through hole 1e.
央に形成されている貫通孔１ｅと同形同大の孔を形成
し、上端部にはピン８がスム−ズに挿入できる上切込溝
３ａを形成するとともに下端部にもピン８ａがスム−ズ
に挿入できる下切込溝３ｂを形成した長方形で板状のガ
スケットを収納したことを特徴とする請求項１に記載の
真空フランジ。2. A hole having the same shape and size as the through hole 1e formed in the center of the vacuum flange 1 is formed in the center of the housing groove, and the pin 8 can be smoothly inserted into the upper end portion. The vacuum flange according to claim 1, wherein a rectangular plate-shaped gasket is formed in which the lower groove 3b is formed so that the pin 8a can be smoothly inserted into the lower groove as well as the groove 3a. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26281897A JP3430391B2 (en) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | Vacuum flange |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26281897A JP3430391B2 (en) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | Vacuum flange |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1182833A JPH1182833A (en) | 1999-03-26 |
| JP3430391B2 true JP3430391B2 (en) | 2003-07-28 |
Family
ID=17381049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26281897A Expired - Fee Related JP3430391B2 (en) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | Vacuum flange |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3430391B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5798752B2 (en) * | 2011-02-03 | 2015-10-21 | 美智夫 大塚 | Flange and gasket used for it |
| US10281069B2 (en) * | 2013-11-13 | 2019-05-07 | Brookhaven Science Associates, Llc | Vacuum sealing flange |
-
1997
- 1997-09-10 JP JP26281897A patent/JP3430391B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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| JPH1182833A (en) | 1999-03-26 |
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